JPH0594584U - メタルダイヤフラム弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 弁箱内部の弁座シートの外周側の環状凹部を
無くして弁箱内底面をフラットにし、弁を小型化した際
の弁箱内の加工を容易にし、また複合電解研摩を可能に
し、さらに弁箱内に流体のデットゾーンを無くし、弁箱
の内容積を小さくして流体を滞流せずにスムースに流
し、しかも流通する流体を置換した際、前の流体が弁箱
内に残ることがなく、置換性が向上するメタルダイヤフ
ラム弁を提供する。 【構成】 弁箱内部と弁の開閉作動機構とをメタルダイ
ヤフラムにより隔離して、弁箱内部を清浄に保つ且つ弁
の開閉作動機構によりメタルダイヤフラムの裏面を弁箱
内部の弁座シート面に押し当てることにより弁の閉鎖を
行うメタルダイヤフラム弁に於いて、前記弁箱内部の弁
座シートを、弁箱内中心に開口された流体入口通路の出
口又は流体出口通路の入口の周囲に設けた環状溝に嵌入
し、前記流体入口通路の出口又は流体出口通路の入口の
周壁を拡開して弁座シートをかしめ止めしたことを特徴
とするメタルダイヤフラム弁。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体やＩＣの製造システム配管ラインに使用されるメタルダイヤ フラム弁に係り、特に流体通路径の小さい超小型のメタルダイヤフラム弁に好適 な弁構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種のメタルダイヤフラム弁は、図２に示すように円形傘形形状の薄 いメタルダイヤフラム１が弁箱２に内蔵されていて、弁閉鎖時、弁の開閉作動機 構３によりその先端のダイヤフラムピース３ａでメタルダイヤフラム１を押し込 み、その裏面を弁座シート４の上面に密着して、弁の閉鎖を得るものである。

【０００３】 このメタルダイヤフラム弁のメタルダイヤフラム１は、弁の開閉作動機構３と 全く結合されておらず、弁箱２の内部と弁の開閉作動機構とを離隔して弁箱２の 内部を清浄に保っているのが特徴であり、弁開動作時、ダイヤフラムピース３が 一点鎖線の如く上方に移動すると、弁座シート４の上面に押し付けられていたメ タルダイヤフラム１は、押し付け力から解放され、取り残されるが、メタルダイ ヤフラム自身が有する剛性に基づく復元力により、元の傘形形状に復元し、メタ ルダイヤフラム１の裏面は、弁座シート４の上面から離れて、ガスの通路が形成 される。

【０００４】 ところで、かかる構成、作用のメタルダイヤフラム弁は、環状の弁座シート４ を内周側及び外周側の両側からかしめ止めにて固定するために、弁座シート４の 外周方向に環状凹部５が形成されている。

【０００５】 一方、半導体やＩＣの製造システム配管ラインに使用されるメタルダイヤフラ ム弁としては、弁を小型化することが重要であるが、上記構造のメタルダイヤフ ラム弁を小型化すると、弁座シート４の外周方向の環状凹部５の切削加工及び研 摩加工が極めて困難になり、コーナー部に研摩残りが生じたり、メタルシール部 が研摩され過ぎたりする。また複合電解研摩ができなくなる。さらにメタルダイ ヤフラム弁を折角小型化しても環状凹部５を有すると、この部分が流体のデッド ゾーンとなる為、弁箱２の内容積を小さくすることができず、流通する流体はデ ッドゾーンに滞溜し易い。しかも流通する流体を置換した際、デッドゾーンに前 の流体が残ることがあって、置換性が悪いものである。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

そこで本考案は、弁座シートのかしめ止め構造を変えて環状凹部を無くし、弁 を小型化した際の上記問題点を解消できるメタルダイヤフラム弁を提供しようと するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するための本考案のメタルダイヤフラム弁は、弁箱内部と弁の 開閉作動機構とをメタルダイヤフラムにより隔離して、弁箱内部を清浄に保つ且 つ弁の開閉作動機構によりメタルダイヤフラムの裏面を弁箱内部の弁座シート面 に押し当てることにより弁の閉鎖を行うメタルダイヤフラム弁に於いて、前記弁 箱内部の弁座シートを、弁箱内中心に開口された流体入口通路の出口又は流体出 口通路の入口の周囲に設けた環状溝に嵌入し、前記流体入口通路の出口又は流体 出口通路の入口の周壁を拡開して弁座シートをかしめ止めしたことを特徴とする ものである。

【０００８】

【作用】

上記のように構成された本考案のメタルダイヤフラム弁は、弁箱内部の弁座シ ートの外周方向に環状凹部が無く、フラットであるので、小型化した際の極めて 困難な環状凹部の切削加工及び研摩加工が不要となる。また複合電解研摩が可能 となる。さらに弁箱内部に於ける流体のデッドゾーンが無くなり、弁箱の内容積 が小さくなって流体は滞溜することなくスムースに流れ、しかも流通する流体を 置換した際、前の流体が弁箱内部に残ることがなくなる。

【０００９】

【実施例】

本考案のメタルダイヤフラム弁の一実施例を図１によって説明すると、１は弁 箱２に内蔵された円形傘形形状の薄いメタルダイヤフラムで、弁箱２の内部と弁 の開閉作動機構３とを離隔して、弁箱２の内部を清浄に保つ且つ弁の開閉作動機 構３によりその先端のダイヤフラムピース３ａでメタルダイヤフラム１の裏面を 弁箱２の内部の弁座シート４の上面に押し当てることにより密着して弁の閉鎖が 行われるようになっている。

【００１０】 前記弁箱２の内部の弁座シート４は、弁箱２内の中心に開口された流体入口通 路１０の出口１０ａの周囲に設けた環状溝１１に嵌入され、流体入口通路１０の 出口１０ａの周壁１２を漏斗状に拡開して、弁座シート４を内周側からかしめ止 めしている。

【００１１】 １３は弁座シート４の外周側のフラットな弁箱２の底面に入口１３ａを開口し た流体出口通路である。弁箱２の底面周縁の環状突起１４は、弁箱２の円筒状垂 直部２ａ内に挿入され締付固定されたボンネット１５とにより、メタルダイヤフ ラム１の周縁部を固定している。

【００１２】 このように構成された実施例のメタルダイヤフラム弁は、弁箱２の内部の弁座 シート４の外周側に従来のような環状凹部がなく、弁箱２の底面がフラットであ るので、小型化した際の極めて困難な環状凹部の切削加工及び研摩加工が不要と なる。また複合電解研摩が可能である。さらに弁箱２の内部に於ける流体のデッ ドゾーンが無くなり、弁箱２の内容積が小さくなり、流体は滞流することなくス ムースに流れ、しかも流通する流体を置換した際、前の流体が弁箱２の内部に残 ることがなくなる。

【００１３】 尚、上記実施例のメタルダイヤフラム弁は、弁箱２内の中心に流体入口通路１ ０の出口１０ａが開口しているが、逆に流体出口通路の入口が開口していても良 いものである。つまり流体入口通路１０と流体出口通路１３は逆であっても良い ものである。

【００１４】 また、上記実施例のメタルダイヤフラム弁に於ける開閉作動機構３は、手動式 、自動式のいずれでも良いものである。

【００１５】

【考案の効果】

以上の通り本考案のメタルダイヤフラム弁は、弁箱内部の弁座シートの外周側 に環状凹部が無く、弁箱内底面がフラットであるので、小型化した際の弁箱内の 加工が容易で手間がかからず、また複合電解研摩が可能であり、さらに弁箱内に 流体のデッドゾーンが無くなり、弁箱の内容積が小さくなって流体は滞流せずに スムースに流れ、しかも流通する流体を置換した際、前の流体が弁箱内に残るこ とがなくなり、置換性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のメタルダイヤフラム弁の一実施例を示
す要部破断面図である。

【図２】従来のメタルダイヤフラム弁を示す要部破断面
図である。

【符号の説明】

１ メタルダイヤフラム ２ 弁箱 ３ 弁の開閉作動機構 ４ 弁座シート １０ 流体入口通路 １０ａ 流体入口通路の出口 １１ 環状溝 １２ 流体入口通路の出口の周壁

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 弁箱内部と弁の開閉作動機構とをメタル
   ダイヤフラムにより隔離して、弁箱内部を清浄に保つ且
   つ弁の開閉作動機構によりメタルダイヤフラムの裏面を
   弁箱内部の弁座シート面に押し当てることにより弁の閉
   鎖を行うメタルダイヤフラム弁に於いて、 前記弁箱内部の弁座シートを、弁箱内中心に開口された
   流体入口通路の出口又は流体出口通路の入口の周囲に設
   けた環状溝に嵌入し、前記流体入口通路の出口又は流体
   出口通路の入口の周壁を拡開して弁座シートをかしめ止
   めしたことを特徴とするメタルダイヤフラム弁。