JPH0594187U - 多結晶シリコンの収容容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 取扱いやすく破損の虞が少ない多結晶シリコ
ンの収容容器の提供 【構成】 塊状の多結晶シリコンを収容する内カゴと、
該内カゴを収容する外袋とを有し、該内カゴは洗浄カゴ
を兼用しかつ上記多結晶シリコンの破砕端の突起の平均
外径よりも小さい孔径の多数の通液孔を有し、一方、上
記外袋は洗浄工程を経た塊状の多結晶シリコンを内カゴ
に収容した状態で封止されることを特徴とする多結晶シ
リコンの収容容器。 【効果】 内カゴが洗浄カゴを兼用しているので、破砕
した多結晶シリコンを内カゴに収容した状態で洗浄し、
そのまま乾燥して外袋に詰めることができるので、洗浄
後の再汚染の問題がなく、しかも洗浄から出荷用の袋詰
め作業に至る一連の作業を連続して行なうことができる
ので作業能率が大幅に向上する。また、破砕した多結晶
シリコンは内カゴに収容されて袋詰めされているので、
その鋭利な破砕端が直接に外袋に接触してこれを破損す
るなどの虞がなく信頼性が高い。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、製品として出荷される多結晶シリコンを収容する容器であって、洗 浄工程から袋詰め工程に至る一連の作業能率を高め、かつ内部に収容した多結晶 シリコンによって袋が破損するなどの問題がなく、取扱いが便利であり、搬送や 保存の信頼性の高い収容容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

多結晶シリコンの製造においては、通常、１〜２mm程度の棒状に成長させた多 結晶シリコンを２００mm程度の長さのチャンクと称する塊に切断し、このチャン クを更に小さなランプと呼ばれる塊に破砕し、エッチング洗浄して表面の酸化被 膜などを除去した後、これを製品として出荷する。 この場合、半導体用材料として用いられる多結晶シリコンは極めて高純度の品 質を有することが必要とされる。そこで、製品として出荷する多結晶シリコンは 外部から汚染されないように、ポリエチレン製などの高分子材料の袋に詰めて出 荷されている。

【０００３】 従来は洗浄したランプ状の多結晶シリコンを直接に袋詰めして出荷しているが、 この多結晶シリコンの外表面には鋭利な破砕端が突出していることが多く、この 突起が直接に収容袋に触れて袋が破損し、外部から汚染物質が侵入し、また袋の 微細な破損屑が付着して製品を汚染する問題がある。 また、従来の製造工程では、ランプ状の多結晶シリコンを洗浄した後に手作業 で袋詰めしているために再汚染されたり、また人手を多く必要とし、作業能率も 低い。

【０００４】

【考案の解決課題】

本考案は従来の袋詰め作業における上記問題を解消するものであって、鋭利な 破砕端を有する多結晶シリコンを収容しても破損し難く、かつ洗浄工程から袋詰 め工程に至る一連の作業工程での再汚染を防ぎ、かつ作業能率を高める収容容器 を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題の解決手段】

本考案によれば、塊状の多結晶シリコンを収容する内カゴと、該内カゴを収容 する外袋とを有し、該内カゴは洗浄カゴを兼用しかつ上記多結晶シリコンの破砕 端の突起の平均外径よりも小さい孔径の多数の通液孔を有し、一方、上記外袋は 洗浄工程を経た塊状の多結晶シリコンを内カゴに収容した状態で封止されること を特徴とする多結晶シリコンの収容容器が提供される。

【０００６】 一般に、出荷用の収容容器は収容物を外部から遮断して保護するために用いら れるものであり、一方、洗浄工程で用いる洗浄カゴは内部の多結晶シリコンが洗 浄液に接触し易いように保持するために用いられるものであって、両者はその使 用目的が異なる。またその構造も前者は外部に対して閉鎖型であるが後者は開放 型であり共通性がないため従来は出荷用の収容容器と洗浄カゴを兼用することは 全く行なわれていない。 本考案は出荷用の収容容器を外袋と内カゴによって形成することにより、内カ ゴを洗浄カゴとして兼用できるようにした。

【０００７】 上記内カゴの形状は、上部が開放した箱状のものでもよく、また筒状のもので もよい。なお取扱い易さの点から、開口部を上側にして静置できる形状が好まし い。外形寸法は収容する多結晶シリコン塊の量および大きさによって適宜定めら れる。また該内カゴはその形状および大きさに応じて十分な強度を有し、かつ洗 浄液に対して耐蝕性を持つ材質が選択される。なお金属材料は多結晶シリコンの 汚染源となるので好ましくない。

【０００８】 上記内カゴの一例として、５Kgのシリコンランプを収容する、ポリプロピレン 製の内寸、１７０mm×１７０mm×２００mmの角型内カゴが提示される。ポリプロ ピレンは洗浄液（弗酸と硝酸の混酸）に対して耐蝕性を有し、洗浄後の乾燥工程 での高温に耐え、かつシリコンへの汚染が少ない材質であり、上記内カゴの材質 として好ましい。また容積効率の点から一般に角型の荷姿が採用され、その大き さも作業性の点から５Kg程度の収容容積が適当である。

【０００９】 上記内カゴは洗浄カゴとしても用いられるので、洗浄液に浸漬した際に洗浄液 の出入りが良好で、かつ液切れの良いことが求められる。このためには側壁およ び底面に孔径の大きな通液孔を多数設ければよいが、既に述べたように、収容し た多結晶シリコンの表面には鋭利な破砕端が突出している場合が多いので、通液 孔が大きいと、破砕端が外部に突出して外袋を破損する懸念があるので、破砕端 が外部に突出して外袋を破損しない程度の口径、一般的には破砕端の突起の平均 外径よりも小さい孔径の通液孔が設けられる。通常、破砕端の端面角度は４５° 〜６０°であるので、３Kg容量の内カゴの場合、３mm〜４mm径の丸孔、または短 辺３mm〜４mmの長方形ないし正方形の通液孔であれば良い。なお通液孔を大きく する場合には、内カゴの外表面にリブ等を突設して内カゴと外袋との間に空間を 形成するとよい。 なお、該通液孔に適する孔径を有する網状部材によって上記内カゴを形成しも よく、または板状部材に上記通液孔を適宜の個数穿設して内カゴを形成しても良 い。 洗浄液の出入りを良くするためには、内カゴの底面に設けた通液孔の面積を底 面全体の面積比で１５％程度にすると良い。通液孔の面積が大き過ぎると、多結 晶シリコンの小さい破片が洗浄工程で流出し、また底面の強度が不足するので好 ましくない。

【００１０】 上記内カゴは、好適な実施態様として、その開口部を上側にして吊下げ自在に 形成される。例えば、内カゴの両側面にフックを設け、またはフックを係合する 突起部が設けられる。また、吊り下げ自在に形成された外カゴの中に内カゴを入 れる構造とし、この状態で洗浄工程に付した後に外カゴから内カゴを取り出して 内カゴのままシリコンランプを外袋に収容しても良い。洗浄工程および洗浄後の 外袋への装入に至る一連の作業を内カゴを吊下げた状態で行なうことにより、連 続して効率よく行なうことができる。また自動化にも適する。

【００１１】 上記外袋は、多結晶シリコンを収容した内カゴを内部に装入した状態で封止さ れる。封止方法は制限されない。例えば、外袋の上端を熱溶着して密閉してもよ く、または開口部を蓋材によって覆い、その周縁全体を熱溶着し、または接着剤 を用いて密閉しても良い。該外袋の材質は、シリコンへの汚染の影響が少なく、 熱溶着が容易なポリエチレンが一般に用いられる。

【００１２】

【実施例】

本考案に係る収容容器の具体例を図１〜図３に示す。 図１において、ポリプロピレン製の内カゴ１０はやや長方形の底面を持つ角型 の形状を有する。該内カゴ１０の両側面には口径３mm〜４mmの通液孔１１が縦横 各々８列ずつ設けられており、底面には口径３〜４mmの通液孔が３６個設けられ ている。この内カゴ１０はポリエチレン製の外袋１２に装入されており、該外袋 １２の上端開口１３はその中央を寄合わせた状態に閉じられている。

【００１３】 図２の収容容器は、図１と同様の内カゴ１０をポリエチレン製の外袋１２に装 入し、その上端開口をポリエチレン製の蓋材１４によって覆い、該蓋材１４の周 縁１５を外袋１２の開口縁部に熱溶着して封止したものである。なお、内カゴ１ ０には図１の場合と同様に通液孔１１が穿設されている。

【００１４】 図３の収容容器は、円筒形のポリプロピレン製の内カゴ１６と同形の外袋１７ によって形成されており、該内カゴ１６の周面には図１の内カゴ１０のものと同 様の通液孔１１が縦６列、横２１列穿設されている。また底面には口径４mmの丸 形の通液孔が２５個設けられている。外袋１７の上端開口は円形の蓋材１８によ って覆われており、該蓋材１８の周縁は外袋１７に接着されている。

【００１５】

【考案の効果】

本考案の収容容器は、外袋と内カゴによって形成されており、この内カゴが洗 浄カゴを兼用しているので、破砕した多結晶シリコンを内カゴに収容した状態で 洗浄し、そのまま乾燥して外袋に詰めることができるので、洗浄後の再汚染の問 題がなく、しかも洗浄から出荷用の袋詰め作業に至る一連の作業を連続して行な うことができるので作業能率が大幅に向上する。また、破砕した多結晶シリコン は内カゴに収容されて袋詰めされているので、その鋭利な破砕端が直接に外袋に 接触してこれを破損するなどの虞がなく信頼性が高い。

【提出日】平成４年８月７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００２

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００２】

【従来の技術】

多結晶シリコンの製造においては、通常、１〜２ｍ程度の棒状に成長させた多 結晶シリコンを２００ｍｍ程度の長さのチャンクと称する塊に切断し、このチャ ンクを更に小さなランプと呼ばれる塊に破砕し、エッチング洗浄して表面の酸化 被膜などを除去した後、これを製品として出荷する。 この場合、半導体用材料として用いられる多結晶シリコンは極めて高純度の品 質を有することが必要とされる。そこで、製品として出荷する多結晶シリコンは 外部から汚染されないように、ポリエチレン製などの高分子材料の袋に詰めて出 荷されている。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】 上記内カゴは洗浄カゴとしても用いられるので、洗浄液に 浸漬した際に洗浄液の出入りが良好で、かつ液切れの良いことが求められる。こ のためには側壁および底面に孔径の大きな通液孔を多数設ければよいが、既に述 べたように、収容した多結晶シリコンの表面には鋭利な破砕端が突出している場 合が多いので、通液孔が大きいと、破砕端が外部に突出して外袋を破損する懸念 があるので、破砕端が外部に突出して外袋を破損しない程度の口径、一般的には 破砕端の突起の平均外径よりも小さい孔径の通液孔が設けられる。通常、破砕端 の端面角度は４５°〜６０°であるので、３Ｋｇ容量の内カゴの場合、３ｍｍ〜 ４ｍｍ径の丸孔、または短辺３ｍｍ〜４ｍｍの長方形ないし正方形の通液孔であ れば良い。なお通液孔を大きくする場合には、内カゴの外表面にリブ等を突設し て内カゴと外袋との間に空間を形成するとよい。 なお、該通液孔に適する孔径を有する網状部材によって上記内カゴを形成して もよく、または板状部材に上記通液孔を適宜の個数穿設して内カゴを形成しても 良い。 洗浄液の出入りを良くするためには、内カゴの底面に設けた通液孔の面積を底 面全体の面積比で１５％程度にすると良い。通液孔の面積が大き過ぎると、多結 晶シリコンの小さい破片が洗浄工程で流出し、また底面の強度が不足するので好 ましくない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案に係る収容容器の斜視図

【図２】 本考案に係る収容容器の斜視図

【図３】 本考案に係る収容容器の斜視図

【符号の説明】

１０、１６−内カゴ １１−通液孔 １２、１７−外袋 １４、１８−蓋材 １３−上端開口 １５−周縁

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 塊状の多結晶シリコンを収容する内カゴ
   と、該内カゴを収容する外袋とを有し、該内カゴは洗浄
   カゴを兼用しかつ上記多結晶シリコンの破砕端の突起の
   平均外径よりも小さい孔径の多数の通液孔を有し、一
   方、上記外袋は洗浄工程を経た塊状の多結晶シリコンを
   内カゴに収容した状態で封止されることを特徴とする多
   結晶シリコンの収容容器。
2. 【請求項２】 上記内カゴが開口部を上側にして吊下げ
   自在である請求項１の収容容器。