JPH05830Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、レーザ光線の出力検出装置に関す
る。

「従来の技術」 従来、レーザ装置として、レーザ発振器とレー
ザ増幅器とを備えるものが知られている。すなわ
ちこの種のレーザ装置は、混合ガスが供給された
チヤンバー内でレーザ光線を励起させてこのレー
ザ光線をフロントミラーとリアミラーとの間で発
振させ、かつ該レーザ光線を上記フロントミラー
を透過させて外部に放射するレーザ発振器と、混
合ガスが供給されたチヤンバー内をフロント透過
部材とリア透過部材とで密封し、かつ上記レーザ
発振器からのレーザ光線を上記リア透過部材から
フロント透過部材へ透過させるとともに該レーザ
光線を増幅するレーザ増幅器とを備えている。

ところで従来、レーザ光線の出力を検出するレ
ーザ光線の出力検出装置として、例えばレーザ発
振器のリアミラーをレーザ光線の一部が透過可能
なハーフミラーから構成するとともに、そのリア
ミラーの後部にレーザ光線の出力を検出する検出
器を配置し、リアミラーを透過してきたレーザ光
線の一部をその検出器で検出するようにしたもの
が知られている。

また、その他の手段として、上記レーザ増幅器
のフロント透過部材を透過したレーザ光線の光軸
上にビームスプリツターを配置し、レーザ光線の
一部をそのビームスプリツターから取出してこれ
を検出器で検出することも行なわれている。

「考案が解決しようとする問題点」 しかしながら、前者および後者の手段において
は、それぞれエネルギーロスが大きいという欠点
があり、特に後者の手段においてはレーザ光線が
ビームスプリツターを透過する際に散乱現象を生
じさせてレーザ光線の質を低下させるという問題
点がある。

「問題点を解決するための手段」 本考案はそのような問題点に鑑み、上述したレ
ーザ発振器とレーザ増幅器とを備えたレーザ装置
において、上記レーザ増幅器のフロント透過部材
又はリア透過部材にレーザ光線の光軸に対して傾
斜した傾斜面を形成し、かつこの傾斜面によつて
反射されたレーザ光線を上記検出器で検出させる
ようにしたものである。

「作用」 上述した構成によれば、レーザ増幅器に本来必
要なフロント透過部材又はリア透過部材をレーザ
光線の出力検出装置として利用できるので、従来
のレーザ発振器のリアミラーをハーフミラーで構
成したものに比べてエネルギーロスが小さくな
り、しかもレーザ光線をビームスプリツターに透
過させる必要もないので、レーザ光線の質が低下
するという問題も生じることもなく、良好にレー
ザ光線の出力を検出することができる。

「実施例」 以下図示実施例について本考案を説明すると、
第１図において、TEレーザ発振器１はチヤンバ
ー２内に一対の電極３、フロントミラー４および
リアミラー５を備えており、上記フロントミラー
４はチヤンバー２に形成した開口２ａを閉鎖して
そのチヤンバー２内を密封している。

上記TEレーザ発振器１は、上記チヤンバー２
内に混合ガスを供給した状態で一対の電極３間に
放電を生じさせることによりレーザ光線Ｌを励起
させるようになつており、この励起されたレーザ
光線Ｌはフロントミラー４とリアミラー５との間
で発振され、かつ上記フロントミラー４を透過し
て外部に放射されるようになつている。

上記レーザ発振器１には、このレーザ発振器１
から放射されたレーザ光線Ｌを増幅するレーザ増
幅器６を一体に設けてあり、このレーザ増幅器６
は、チヤンバー７内に設けた一対の電極８と、チ
ヤンバー７の右方に形成した開口７ａを閉鎖し、
かつレーザ光線Ｌの透過を許容するフロント透過
部材９とを備えている。

上記チヤンバー７にはその左方にも開口７ｂを
形成してあり、この開口７ｂから他方の開口７ａ
へ向けて上記レーザ発振器１からのレーザ光線Ｌ
を通過させることができるようにしてある。そし
てこの開口７ｂは上記フロントミラー４で閉鎖し
てあり、それによつてチヤンバー７内を密封して
内部に供給した混合ガスが外部に漏洩しないよう
にしている。

然して、第２図に拡大して示すように、上記フ
ロント透過部材９は全体として円板形状に形成し
てあり、かつレーザ光線Ｌの光軸に対して所定の
角度だけ傾斜させて配置し、それによつてその表
裏面をレーザ光線Ｌの光軸に対して傾斜した傾斜
面としている。

そしてレーザ光線Ｌがフロント透過部材９を透
過する際に、傾斜面の表裏面間で往復反射された
レーザ光線L₁の光軸上にその出力を検出する検
出器１０を配設している。一例によれば、上記フ
ロント透過部材９は、これに入力してくるレーザ
光線の98.8％の透過を許容して残りの1.2％を反
射させるようになつている。

以上の構成において、上記レーザ発振器１で発
振されたレーザ光線Ｌがフロントミラー４を透過
してレーザ増幅器６内に導入されると、このレー
ザ増幅器６は上記レーザ発振器１と同期して作動
され、導入されたレーザ光線Ｌを増幅してフロン
ト透過部材９から外部に放射させる。

そしてこの際、レーザ増幅器６として本来的に
必要なフロント透過部材９をレーザ光線の出力検
出装置として利用し、そのフロント透過部材９の
傾斜面の表裏面間で往復反射させたレーザ光線
L₁を上記検出器１０に入力させるようにしてい
る。

したがつて、従来のレーザ発振器１のリアミラ
ー５をハーフミラーで構成したもののようにエネ
ルギーロスが大きいという問題点が改善され、し
かもレーザ光線Ｌをビームスプリツターに透過さ
せる必要がないので、レーザ光線の質が低下する
という問題も生じることがない。

加えて本実施例においては、レーザ発振器１の
フロントミラー４をレーザ増幅器６のリア透過部
材に兼用させているので、上記レーザ発振器１で
発振されてフロントミラー４を透過したレーザ光
線Ｌは、フロント透過部材９のみを透過してレー
ザ増幅器６から外部に放射されるようになり、し
たがつて従来のようにレーザ発振器１のフロント
ミラー４とは別個に上記開口７ｂを閉鎖するリア
透過部材を設け、レーザ光線Ｌをそのリア透過部
材と上記フロント透過部材９とに透過させる場合
に比較して、エネルギーロスを低減することがで
きるようになる。

なお必要に応じて、第１図の想像線で示すよう
に、上記開口７ｂをフロントミラー４とは別のリ
ア透過部材１１で密封するようにしてもよく、リ
ア透過部材１１を設ける場合には、フロント透過
部材９の代りにこれに傾斜面を形成し、その傾斜
面で反射されたレーザ光線を検出器１０で検出さ
せるようにすることも可能である。

「考案の効果」 以上のように、本考案によれば、レーザ光線Ｌ
の出力を検出するに当つて、エネルギーロスを最
少にできるとともに、レーザ光線の質の低下を防
止することができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す概略構成図、
第２図は第１図の要部の拡大図である。 １……TEレーザ発振器、２，７……チヤンバ
ー、２ａ，７ａ，７ｂ……開口、３，８……電
極、４……フロントミラー、５……リアミラー、
６……レーザ増幅器、９……フロント透過部材、
１０……検出器、１１……リア透過部材、Ｌ，
L₁……レーザ光線。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 混合ガスが供給されたチヤンバー内でレーザ
   光線を励起させてこのレーザ光線をフロントミ
   ラーとリアミラーとの間で発振させ、かつ該レ
   ーザ光線を上記フロントミラーを透過させて外
   部に放射するレーザ発振器と、混合ガスが供給
   されたチヤンバー内をフロント透過部材とリア
   透過部材とで密封し、かつ上記レーザ発振器か
   らのレーザ光線を上記リア透過部材からフロン
   ト透過部材へ透過させるとともに該レーザ光線
   を増幅するレーザ増幅器と、さらに上記レーザ
   光線の出力を検出する検出器とを備えたレーザ
   装置において、 上記レーザ増幅器のフロント透過部材又はリ
   ア透過部材にレーザ光線の光軸に対して傾斜し
   た傾斜面を形成し、かつこの傾斜面によつて反
   射されたレーザ光線を上記検出器で検出させる
   ことを特徴とするレーザ光線の出力検出装置。 (2) 上記傾斜面がフロント透過部材に形成され、
   かつレーザ発振器のフロントミラーがレーザ増
   幅器のリア透過部材を兼用していることを特徴
   とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
   レーザ光線の出力検出装置。