JPH0582865A - エキシマレーザ発振器 - Google Patents
エキシマレーザ発振器Info
- Publication number
- JPH0582865A JPH0582865A JP8788191A JP8788191A JPH0582865A JP H0582865 A JPH0582865 A JP H0582865A JP 8788191 A JP8788191 A JP 8788191A JP 8788191 A JP8788191 A JP 8788191A JP H0582865 A JPH0582865 A JP H0582865A
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- Japan
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- mirror holder
- block
- mirror
- holder
- oscillator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シール性を損なうことなく、ミラーホルダの
傾きを簡単に調整できるようにしたエキシマレーザ発振
器を提供することにある。 【構成】 発振器本体１に固着されたブロック３と、こ
のブロック３の球面状の凹部３ａにシール部材５を挟ん
で嵌合された球面状の凸部６ａを有するミラーホルダ６
と、このミラーホルダ６をブロック３に固着する傾き調
整ねじ機構７とを備えている。この傾き調整ねじ機構７
は、周方向に等間隔に配置された３本の調整ねじ１７，
１８を有し、これら調整ねじ１７，１８のそれぞれに
は、ミラーホルダ６をブロック３側に押込む押しばね２
１と、ミラーホルダ６をブロック３側から引離す戻し２
２ばねとが、交互に装着されている。
傾きを簡単に調整できるようにしたエキシマレーザ発振
器を提供することにある。 【構成】 発振器本体１に固着されたブロック３と、こ
のブロック３の球面状の凹部３ａにシール部材５を挟ん
で嵌合された球面状の凸部６ａを有するミラーホルダ６
と、このミラーホルダ６をブロック３に固着する傾き調
整ねじ機構７とを備えている。この傾き調整ねじ機構７
は、周方向に等間隔に配置された３本の調整ねじ１７，
１８を有し、これら調整ねじ１７，１８のそれぞれに
は、ミラーホルダ６をブロック３側に押込む押しばね２
１と、ミラーホルダ６をブロック３側から引離す戻し２
２ばねとが、交互に装着されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエキシマレーザ発振器に
係り、特にミラーホルダの傾きを容易に調整できるよう
にしたエキシマレーザ発振器に関する。
係り、特にミラーホルダの傾きを容易に調整できるよう
にしたエキシマレーザ発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、アノード、カソード間の放電に
より、レーザガスを励起させて、レーザ光を出力するよ
うにしたエキシマレーザ発振器は知られている。この種
の発振器は、発振器本体の両端にミラーを備え、これら
ミラー間でレーザ光を共振、増幅させて、出力するよう
に構成されている。
より、レーザガスを励起させて、レーザ光を出力するよ
うにしたエキシマレーザ発振器は知られている。この種
の発振器は、発振器本体の両端にミラーを備え、これら
ミラー間でレーザ光を共振、増幅させて、出力するよう
に構成されている。
【０００３】図５は従来のミラー支持構造を示してい
る。発振器本体５１にはミラーホルダ５２を介してミラ
ー５３が支持されている。ミラーホルダ５２には窪み部
５４が形成され、この窪み部５４にはＯリング５５を挟
んでミラー５３が嵌め込まれている。このミラー５３に
はスペーサ５６が宛がわれ、その上には、止め具５７が
螺合されている。止め具５７の外周にはおねじが形成さ
れ、窪み部５４の内周にはめねじが形成されている。
る。発振器本体５１にはミラーホルダ５２を介してミラ
ー５３が支持されている。ミラーホルダ５２には窪み部
５４が形成され、この窪み部５４にはＯリング５５を挟
んでミラー５３が嵌め込まれている。このミラー５３に
はスペーサ５６が宛がわれ、その上には、止め具５７が
螺合されている。止め具５７の外周にはおねじが形成さ
れ、窪み部５４の内周にはめねじが形成されている。
【０００４】発振器本体５１とミラーホルダ５２との間
にはＯリング５８が介装され、ミラーホルダ５２は、調
整ねじ５９及び調整ばね６０を介して発振器本体５１に
螺着されている。６１ａ〜６１ｃはレーザ光の通る孔で
ある。
にはＯリング５８が介装され、ミラーホルダ５２は、調
整ねじ５９及び調整ばね６０を介して発振器本体５１に
螺着されている。６１ａ〜６１ｃはレーザ光の通る孔で
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
構造では、調整ねじ５９及び調整ばね６０を用いて、ミ
ラーホルダ５２全体の傾きを調整する際、Ｏリング５８
の潰し代が場所によって変化するので、Ｏリング５８の
シール性が損なわれるという問題がある。
構造では、調整ねじ５９及び調整ばね６０を用いて、ミ
ラーホルダ５２全体の傾きを調整する際、Ｏリング５８
の潰し代が場所によって変化するので、Ｏリング５８の
シール性が損なわれるという問題がある。
【０００６】又、ミラー５３の平行度をアライメントす
る際には、上記の調整を常に行うので、シール性が損な
われると、その都度、Ｏリング５８を交換しなければな
らないという問題がある。
る際には、上記の調整を常に行うので、シール性が損な
われると、その都度、Ｏリング５８を交換しなければな
らないという問題がある。
【０００７】そこで、本発明の目的は、上述した従来の
技術が有する問題点を解消し、シール性を損なうことな
く、ミラーホルダの傾きを簡単に調整できるようにした
エキシマレーザ発振器を提供することにある。
技術が有する問題点を解消し、シール性を損なうことな
く、ミラーホルダの傾きを簡単に調整できるようにした
エキシマレーザ発振器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、発振器本体と、この発振器本体に固着さ
れた球面状の凹部を有するブロックと、この球面状の凹
部にシール部材を挟んで嵌合された球面状の凸部を有す
るミラーホルダと、このミラーホルダをブロックに固着
する傾き調整ねじ機構とを備え、この傾き調整ねじ機構
は、周方向にほぼ等間隔に配置された少なくとも３本の
調整ねじを有し、これら調整ねじのそれぞれには、ミラ
ーホルダをブロック側に押込む押しばねと、ミラーホル
ダをブロック側から引離す戻しばねとが、交互に装着さ
れていることを特徴とするものである。
に、本発明は、発振器本体と、この発振器本体に固着さ
れた球面状の凹部を有するブロックと、この球面状の凹
部にシール部材を挟んで嵌合された球面状の凸部を有す
るミラーホルダと、このミラーホルダをブロックに固着
する傾き調整ねじ機構とを備え、この傾き調整ねじ機構
は、周方向にほぼ等間隔に配置された少なくとも３本の
調整ねじを有し、これら調整ねじのそれぞれには、ミラ
ーホルダをブロック側に押込む押しばねと、ミラーホル
ダをブロック側から引離す戻しばねとが、交互に装着さ
れていることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】本発明によれば、ミラーホルダをブロック側に
押込む押しばねと、ミラーホルダをブロック側から引離
す戻しばねとを、調整ねじの１本、１本に交互に介装し
ているので、押し戻しの力のバランスが採られ、調整ね
じの締込み過ぎを防止することができ、よって、シール
部材の潰し代を均等に維持することができ、そのシール
性の低下を防止することができる。
押込む押しばねと、ミラーホルダをブロック側から引離
す戻しばねとを、調整ねじの１本、１本に交互に介装し
ているので、押し戻しの力のバランスが採られ、調整ね
じの締込み過ぎを防止することができ、よって、シール
部材の潰し代を均等に維持することができ、そのシール
性の低下を防止することができる。
【００１０】又、ブロックとミラーホルダとは、球面状
の凹部と凸部とを介して嵌合されているので、調整に際
して角度変化が滑らかになり、仮に、調整ねじの締込み
過ぎが発生しても、従来のものに比べて、潰し代の部分
的な増大は抑えられ、これによってもシール部材のシー
ル性の低下を防止することができる。
の凹部と凸部とを介して嵌合されているので、調整に際
して角度変化が滑らかになり、仮に、調整ねじの締込み
過ぎが発生しても、従来のものに比べて、潰し代の部分
的な増大は抑えられ、これによってもシール部材のシー
ル性の低下を防止することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明によるエキシマレーザ発振器の
一実施例を図１及び図２を参照して説明する。
一実施例を図１及び図２を参照して説明する。
【００１２】図１において、１は発振器本体を示してい
る。この発振器本体１にはＯリング２を挟んでブロック
３が宛がわれ、このブロック３は、図２に示すように、
４本のボルト４を介して発振器本体１に固定されてい
る。ブロック３には球面状の凹部３ａが形成され、この
凹部３ａにはＯリング５を挟んで球面状の凸部６ａを有
するミラーホルダ６が宛がわれ、このミラーホルダ６は
傾き調整ねじ機構７を介してブロック３に螺合されてい
る。
る。この発振器本体１にはＯリング２を挟んでブロック
３が宛がわれ、このブロック３は、図２に示すように、
４本のボルト４を介して発振器本体１に固定されてい
る。ブロック３には球面状の凹部３ａが形成され、この
凹部３ａにはＯリング５を挟んで球面状の凸部６ａを有
するミラーホルダ６が宛がわれ、このミラーホルダ６は
傾き調整ねじ機構７を介してブロック３に螺合されてい
る。
【００１３】ミラーホルダ６には窪み部１０が形成さ
れ、この窪み部１０にはＯリング１１を挟んでミラー１
２が嵌め込まれている。このミラー１２にはスペーサ１
３が宛がわれ、その上には、止め具１４が螺合されてい
る。止め具１４の外周にはおねじが形成され、窪み部１
０の内周にはめねじが形成されている。尚、１６ａ〜１
６ｄはレーザ光の通る通し孔である。
れ、この窪み部１０にはＯリング１１を挟んでミラー１
２が嵌め込まれている。このミラー１２にはスペーサ１
３が宛がわれ、その上には、止め具１４が螺合されてい
る。止め具１４の外周にはおねじが形成され、窪み部１
０の内周にはめねじが形成されている。尚、１６ａ〜１
６ｄはレーザ光の通る通し孔である。
【００１４】傾き調整ねじ機構７は、図２に示すよう
に、周方向に等間隔に配置された３本の調整ねじ１７，
１８，１９を備えている。調整ねじ１７は一旦固定した
後は基準になる半固定式のねじであり、そのねじ軸に
は、図１に示すように、ミラーホルダ６をブロック３側
に押込む押しばね２１が装着されている。
に、周方向に等間隔に配置された３本の調整ねじ１７，
１８，１９を備えている。調整ねじ１７は一旦固定した
後は基準になる半固定式のねじであり、そのねじ軸に
は、図１に示すように、ミラーホルダ６をブロック３側
に押込む押しばね２１が装着されている。
【００１５】２本の調整ねじ１８，１９は同一の形状で
ある。これらはミラーホルダ６の傾きを調整する際に微
調整されるねじであり、そのねじ軸には、ミラーホルダ
６をブロック３側から引離す戻しばね２２が装着されて
いる。又、調整ねじ１８，１９の端部には、図１に示す
ように、ノブ２３が固着され、このノブ２３には凸部２
３ａが形成され、この凸部２３ａはミラーホルダ６に固
定されたノブ座２５の凹部２５ａに嵌合されている。こ
のノブ座２５を設けると、摩擦抵抗が減少するので、調
整ねじ１８，１９の調整が容易になる。
ある。これらはミラーホルダ６の傾きを調整する際に微
調整されるねじであり、そのねじ軸には、ミラーホルダ
６をブロック３側から引離す戻しばね２２が装着されて
いる。又、調整ねじ１８，１９の端部には、図１に示す
ように、ノブ２３が固着され、このノブ２３には凸部２
３ａが形成され、この凸部２３ａはミラーホルダ６に固
定されたノブ座２５の凹部２５ａに嵌合されている。こ
のノブ座２５を設けると、摩擦抵抗が減少するので、調
整ねじ１８，１９の調整が容易になる。
【００１６】しかして、上記構成によれば、ミラーホル
ダ６の傾きを調整する場合、調整ねじ１７はそのまゝに
して、即ち、これを基準にして、調整ねじ１８，１９を
締めたり緩めたりする。これを調整すればミラー１２の
平行度が調整される。
ダ６の傾きを調整する場合、調整ねじ１７はそのまゝに
して、即ち、これを基準にして、調整ねじ１８，１９を
締めたり緩めたりする。これを調整すればミラー１２の
平行度が調整される。
【００１７】この場合、本実施例によれば、調整ねじ１
７，１８，１９のそれぞれに押しばね２１と戻しばね２
２とが１本おきに交互に装着されているので、押し戻し
の力のバランスが採られ、調整ねじ１８，１９の締込み
過ぎを防止することができる。従って、Ｏリング５の潰
し代が部分的に増大するようなことはなく、そのシール
性の低下を防止することができる。
７，１８，１９のそれぞれに押しばね２１と戻しばね２
２とが１本おきに交互に装着されているので、押し戻し
の力のバランスが採られ、調整ねじ１８，１９の締込み
過ぎを防止することができる。従って、Ｏリング５の潰
し代が部分的に増大するようなことはなく、そのシール
性の低下を防止することができる。
【００１８】又、ブロック３とミラーホルダ６とは、球
面状の凹部３ａと凸部６ａとを介して嵌合されているの
で、調整に際して角度変化が滑らかになり、仮に、調整
ねじ１８，１９の締込み過ぎが発生しても、従来のもの
に比べて、潰し代の部分的な増大は抑えられ、これによ
ってもＯリング５のシール性の低下を防止することがで
きる。
面状の凹部３ａと凸部６ａとを介して嵌合されているの
で、調整に際して角度変化が滑らかになり、仮に、調整
ねじ１８，１９の締込み過ぎが発生しても、従来のもの
に比べて、潰し代の部分的な増大は抑えられ、これによ
ってもＯリング５のシール性の低下を防止することがで
きる。
【００１９】図３は他の実施例を示している。傾き調整
ねじ機構７は、周方向に等間隔に配置された６本の調整
ねじ３１〜３６を備えている。調整ねじ３１，３３，３
５は一旦固定した後は基準になる半固定式のねじであ
り、そのねじ軸には上記と同様にミラーホルダをブロッ
ク側に押込む押しばね（図示せず）が装着されている。
又、調整ねじ３２，３４，３６はミラーホルダの傾きを
調整する際に微調整されるねじであり、そのねじ軸には
上記と同様にミラーホルダをブロック側から引離す戻し
ばね（図示せず）が装着されている。
ねじ機構７は、周方向に等間隔に配置された６本の調整
ねじ３１〜３６を備えている。調整ねじ３１，３３，３
５は一旦固定した後は基準になる半固定式のねじであ
り、そのねじ軸には上記と同様にミラーホルダをブロッ
ク側に押込む押しばね（図示せず）が装着されている。
又、調整ねじ３２，３４，３６はミラーホルダの傾きを
調整する際に微調整されるねじであり、そのねじ軸には
上記と同様にミラーホルダをブロック側から引離す戻し
ばね（図示せず）が装着されている。
【００２０】これによれば、調整ねじ３１〜３６の本数
が多いほど、ミラーホルダの傾きの調整が容易になる。
ただし、その分だけ構造が複雑になる欠点を有する。
が多いほど、ミラーホルダの傾きの調整が容易になる。
ただし、その分だけ構造が複雑になる欠点を有する。
【００２１】以上、一実施例に基づいて本発明を説明し
たが、本発明は、これに限定されるものではない。全反
射側のミラー１２の裏面には、図４に示すように、１０
０％のコーティング３９を施すことが望ましい。これに
よれば、ミラー１２の内面に金属や化合物の微粉末など
が付着しても、それが目立つので、内面のクリーニング
が容易になる。又、ミラーホルダ６は黒色にすることが
望ましい。これによれば、ミラーホルダ６を通しての放
熱が促進される。
たが、本発明は、これに限定されるものではない。全反
射側のミラー１２の裏面には、図４に示すように、１０
０％のコーティング３９を施すことが望ましい。これに
よれば、ミラー１２の内面に金属や化合物の微粉末など
が付着しても、それが目立つので、内面のクリーニング
が容易になる。又、ミラーホルダ６は黒色にすることが
望ましい。これによれば、ミラーホルダ６を通しての放
熱が促進される。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ミラーホルダをブロック側に押込む押しばね
と、ミラーホルダをブロック側から引離す戻しばねと
を、調整ねじの１本、１本に交互に介装したので、押し
戻しの力のバランスが採られ、調整ねじの締込み過ぎを
防止することができる。従って、Ｏリングの潰し代を均
等に維持することができ、そのシール性の低下を防止す
ることができる。又、ブロックとミラーホルダとは、球
面状の凹部と凸部とを介して嵌合されているので、調整
に際して角度変化が滑らかになり、仮に、調整ねじの締
込み過ぎが発生しても、従来のものに比べ、潰し代の部
分的な増大は抑制されるので、これによってもＯリング
のシール性の低下を防止することができる。
によれば、ミラーホルダをブロック側に押込む押しばね
と、ミラーホルダをブロック側から引離す戻しばねと
を、調整ねじの１本、１本に交互に介装したので、押し
戻しの力のバランスが採られ、調整ねじの締込み過ぎを
防止することができる。従って、Ｏリングの潰し代を均
等に維持することができ、そのシール性の低下を防止す
ることができる。又、ブロックとミラーホルダとは、球
面状の凹部と凸部とを介して嵌合されているので、調整
に際して角度変化が滑らかになり、仮に、調整ねじの締
込み過ぎが発生しても、従来のものに比べ、潰し代の部
分的な増大は抑制されるので、これによってもＯリング
のシール性の低下を防止することができる。
【図１】本発明によるエキシマレーザ発振器の一実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】同じく正面図である。
【図３】他の実施例を示す正面図である。
【図４】ミラーを示す側面図である。
１ 発振器本体 ３ ブロック ６ ミラーホルダ ７ 傾き調整ねじ機構 １２ ミラー １７〜１９ 調整ねじ ３１〜３６ 調整ねじ ２１ 押しばね ２２ 戻しばね
【手続補正書】
【提出日】平成４年９月２１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図５
【補正方法】追加
【補正内容】
【図５】 従来のミラー支持構造を示す断面図で
ある。
ある。
Claims (1)
- 【請求項１】 発振器本体と、この発振器本体に固着さ
れた球面状の凹部を有するブロックと、この球面状の凹
部にシール部材を挟んで嵌合された球面状の凸部を有す
るミラーホルダと、このミラーホルダを前記ブロックに
固着する傾き調整ねじ機構とを備え、この傾き調整ねじ
機構は、周方向にほぼ等間隔に配置された少なくとも３
本の調整ねじを有し、これら調整ねじのそれぞれには、
前記ミラーホルダをブロック側に押込む押しばねと、前
記ミラーホルダをブロック側から引離す戻しばねとが、
交互に装着されていることを特徴とするエキシマレーザ
発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8788191A JPH0582865A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | エキシマレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8788191A JPH0582865A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | エキシマレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582865A true JPH0582865A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=13927214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8788191A Pending JPH0582865A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | エキシマレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0582865A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6828030B2 (en) | 2000-10-25 | 2004-12-07 | Chugoku Marine Paints, Ltd. | (poly)oxyalkylene block silyl ester copolymer, antifouling coating composition, antifouling coating formed from antifouling coating composition, antifouling method using antifouling coating composition and hull or underwater structure covered with antifouling coating |
| JP2013168473A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Gigaphoton Inc | エキシマレーザおよびレーザ装置 |
| CN111906437A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-11-10 | 华工法利莱切焊系统工程有限公司 | 用于对激光头进行快速拆装的连接装置、激光头及激光加工设备 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6319807B2 (ja) * | 1980-09-16 | 1988-04-25 | Hitachi Ltd |
-
1991
- 1991-03-27 JP JP8788191A patent/JPH0582865A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6319807B2 (ja) * | 1980-09-16 | 1988-04-25 | Hitachi Ltd |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6828030B2 (en) | 2000-10-25 | 2004-12-07 | Chugoku Marine Paints, Ltd. | (poly)oxyalkylene block silyl ester copolymer, antifouling coating composition, antifouling coating formed from antifouling coating composition, antifouling method using antifouling coating composition and hull or underwater structure covered with antifouling coating |
| JP2013168473A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Gigaphoton Inc | エキシマレーザおよびレーザ装置 |
| CN111906437A (zh) * | 2020-09-04 | 2020-11-10 | 华工法利莱切焊系统工程有限公司 | 用于对激光头进行快速拆装的连接装置、激光头及激光加工设备 |
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