JPH0580861A - 温度制御回路 - Google Patents
温度制御回路Info
- Publication number
- JPH0580861A JPH0580861A JP23854291A JP23854291A JPH0580861A JP H0580861 A JPH0580861 A JP H0580861A JP 23854291 A JP23854291 A JP 23854291A JP 23854291 A JP23854291 A JP 23854291A JP H0580861 A JPH0580861 A JP H0580861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- temperature control
- control circuit
- faults
- set value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体製造装置などの温度制御回路に於ける温
度制御異常を防止する。 【構成】熱電対を従来の１本から２本とし、高温，低温
及び２本の熱電対間の起電力差を設定値と常に比較させ
ることにより異常を検出する。 【効果】製品特性など日常点検頻度を少なくすること
や、実温測定回数を少なく安定に制御出来るという利点
を有し温度制御異常による製品異常をなくすことが出来
る。
度制御異常を防止する。 【構成】熱電対を従来の１本から２本とし、高温，低温
及び２本の熱電対間の起電力差を設定値と常に比較させ
ることにより異常を検出する。 【効果】製品特性など日常点検頻度を少なくすること
や、実温測定回数を少なく安定に制御出来るという利点
を有し温度制御異常による製品異常をなくすことが出来
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は拡散炉、スパッタなど半
導体製造装置に用いられる温度制御回路に関する。
導体製造装置に用いられる温度制御回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の温度制御回路は図２に示す通り温
度設定値と熱電対ＴＣ１からの起電力を差動増幅器Ａ１
で比較増幅し、パワーアンプＡ２で電力増幅しヒータＨ
に電力を供給し加熱する。ヒータＨによって加熱された
温度を熱電対ＴＣ１で温度を起電力としてとらえ、差動
増幅器Ａ１にフィードバックして設定値と比較させ差動
増幅器Ａ１の出力電圧をコントロールすることにより温
度制御するものである。しかし、制御系に何らかの異常
があった場合には正常な制御が出来なくなり温度異常と
なる。これを防ぐため加熱する部分に加熱防止計Ｍなど
のメータを取付一定以上の温度になったとき警報を発生
させる。
度設定値と熱電対ＴＣ１からの起電力を差動増幅器Ａ１
で比較増幅し、パワーアンプＡ２で電力増幅しヒータＨ
に電力を供給し加熱する。ヒータＨによって加熱された
温度を熱電対ＴＣ１で温度を起電力としてとらえ、差動
増幅器Ａ１にフィードバックして設定値と比較させ差動
増幅器Ａ１の出力電圧をコントロールすることにより温
度制御するものである。しかし、制御系に何らかの異常
があった場合には正常な制御が出来なくなり温度異常と
なる。これを防ぐため加熱する部分に加熱防止計Ｍなど
のメータを取付一定以上の温度になったとき警報を発生
させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の加熱防止形
Ｍを取付けた温度制御回路では、加熱防止形Ｍそのもの
が制御温度に対してラフな測定（１０℃以上）しか出来
ないため、微妙な温度誤差（０．５℃）の場合（熱電対
の微妙な位置ズレや、熱電対の劣化など）とか、設定値
よりも低い値で制御された場合は異常検出が不可能であ
る。これを補うため製品特性などの日常点検を頻繁に行
い温度異常をチェックしなければならないことや、実温
を測定したり、熱電対の劣化を考えなければならないな
どの問題点があり製品不良が発生していた。
Ｍを取付けた温度制御回路では、加熱防止形Ｍそのもの
が制御温度に対してラフな測定（１０℃以上）しか出来
ないため、微妙な温度誤差（０．５℃）の場合（熱電対
の微妙な位置ズレや、熱電対の劣化など）とか、設定値
よりも低い値で制御された場合は異常検出が不可能であ
る。これを補うため製品特性などの日常点検を頻繁に行
い温度異常をチェックしなければならないことや、実温
を測定したり、熱電対の劣化を考えなければならないな
どの問題点があり製品不良が発生していた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の温度制御異常防
止回路は２つの熱電対を設け、その起電力を、上限異常
温度設定値、下限異常温度設定値、また２つの熱電対起
電力を差動増幅器に入力して設定値範囲内であるかを監
視し警報を発することによって温度異常を防止する。
止回路は２つの熱電対を設け、その起電力を、上限異常
温度設定値、下限異常温度設定値、また２つの熱電対起
電力を差動増幅器に入力して設定値範囲内であるかを監
視し警報を発することによって温度異常を防止する。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００６】図１に示す通り熱電対ＴＣ１の他に熱電対
ＴＣ２を設け、それぞれの出力を差動増幅Ａ３〜Ａ８に
接続しそれぞれの信号を図１の如く、温度異常上限設定
値、温度異常下限設定値、熱電対ＴＣ１，ＴＣ２間の誤
差範囲設定値とを比較させ、それぞれ設定値よりオーバ
ーした場合警報を発する回路を有する。このことにより
設定温度よりも高い温度で制御した場合、設定温度より
も低い温度で制御した場合、熱電対の異常劣化、位置ズ
レなどが高制度である差動増幅器によって高精度に温度
誤差を検出出来る。
ＴＣ２を設け、それぞれの出力を差動増幅Ａ３〜Ａ８に
接続しそれぞれの信号を図１の如く、温度異常上限設定
値、温度異常下限設定値、熱電対ＴＣ１，ＴＣ２間の誤
差範囲設定値とを比較させ、それぞれ設定値よりオーバ
ーした場合警報を発する回路を有する。このことにより
設定温度よりも高い温度で制御した場合、設定温度より
も低い温度で制御した場合、熱電対の異常劣化、位置ズ
レなどが高制度である差動増幅器によって高精度に温度
誤差を検出出来る。
【０００７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は温度制御異
常を防止することが出来るので製品特性などの日常点検
を頻繁に行ったり、長時間を要する実温を測定する回数
が少なく安定に制御出来るという利点を有し、温度異常
による製品のダメージがなく製品異常をなくするという
効果がある。
常を防止することが出来るので製品特性などの日常点検
を頻繁に行ったり、長時間を要する実温を測定する回数
が少なく安定に制御出来るという利点を有し、温度異常
による製品のダメージがなく製品異常をなくするという
効果がある。
【図１】本発明の実施例のブロック図で警報回路１〜５
を有し温度異常制御を防止している。
を有し温度異常制御を防止している。
【図２】従来の温度制御回路（加熱防止計形）である。
Ａ１，３〜８ 差動増幅器 Ａ２ パワーアンプ Ｈ ヒータ ＴＣ１，２ 熱電対 Ｍ 加熱防止計
Claims (1)
- 【請求項１】 第１および第２の熱電対を有し、温度異
常上限設定値、温度異常下限設定値および前記第１およ
び第２の熱電対間の設定範囲設定値を比較し、設定値を
越えた場合に、警報を発するようにしたことを特徴とす
る温度制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23854291A JPH0580861A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 温度制御回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23854291A JPH0580861A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 温度制御回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0580861A true JPH0580861A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17031805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23854291A Pending JPH0580861A (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 温度制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0580861A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016204178A (ja) * | 2015-04-16 | 2016-12-08 | 信越半導体株式会社 | 単結晶製造装置 |
| WO2018066220A1 (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 株式会社デンソー | 輻射ヒータ装置 |
| US10605497B2 (en) | 2016-02-26 | 2020-03-31 | Gentherm Gmbh | Device for regulating the temperature of at least one object and method for checking the functional capability of a sensor device having at least two sensors |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55135911A (en) * | 1979-04-11 | 1980-10-23 | Omron Tateisi Electronics Co | Temperature regulator |
| JPS61251918A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 温度調節装置 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP23854291A patent/JPH0580861A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55135911A (en) * | 1979-04-11 | 1980-10-23 | Omron Tateisi Electronics Co | Temperature regulator |
| JPS61251918A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 温度調節装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016204178A (ja) * | 2015-04-16 | 2016-12-08 | 信越半導体株式会社 | 単結晶製造装置 |
| US10605497B2 (en) | 2016-02-26 | 2020-03-31 | Gentherm Gmbh | Device for regulating the temperature of at least one object and method for checking the functional capability of a sensor device having at least two sensors |
| WO2018066220A1 (ja) * | 2016-10-03 | 2018-04-12 | 株式会社デンソー | 輻射ヒータ装置 |
| JPWO2018066220A1 (ja) * | 2016-10-03 | 2019-03-14 | 株式会社デンソー | 輻射ヒータ装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971118 |