JPH0580273B2 - - Google Patents

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JPH0580273B2
JPH0580273B2 JP63056481A JP5648188A JPH0580273B2 JP H0580273 B2 JPH0580273 B2 JP H0580273B2 JP 63056481 A JP63056481 A JP 63056481A JP 5648188 A JP5648188 A JP 5648188A JP H0580273 B2 JPH0580273 B2 JP H0580273B2
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
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    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、改良されたプラズマアーク溶射法
および装置に関するもので、従来のプラズマ溶射
システムよりも4倍のジエツト速度を有し、より
高い電流、電圧で動作し、伸長アークプラズマジ
エツト内の粒子のかなり小さな寿命(dwell
time)にかかわりなく粉末溶射粒子の加熱を促
進するためかなりの伸長したアークで動作するこ
とを特徴とするものである。
〔従来の技術〕
1950年代に表面被覆形成のための金属およびセ
ラミツクスのプラズマ溶射の出現以来、プラズマ
溶射法は商業的に非常に重要なものとなつてい
る。驚くべきことだが使われている装置(基本的
技術配列)は、本質的に変化しなかつた。
第1図に従来のプラズマ溶射トーチ10bを示
す。説明を簡略にするため、水冷却手段は意図的
にこの図から省略している。円筒形でカツプ型の
電気絶縁ボデー10bが陰極電極12を同軸に支
持している。電気絶縁ボデー10bは、陰極電極
12を支持する側と反対側を第2ボデー11によ
り閉じられており、陰極電極12は第2ボデーに
向かつて接触しないように伸びている。第2ボデ
ー11には、プラズマ溶射トーチノズル通路9を
形成する軸方向の穴11aが設けられている。陰
極電極12と陽極となる第2ボデー11の間に電
圧を加えることによりアーク17が形成される。
アーク17は、電極12からノズル通路9の内壁
へおよんでいる。その長さは、ガス供給チユーブ
15を通つて陰極電極12のまわりの環状マニフ
オールド24へ流入する、矢印Gで示されたプラ
ズマ形成ガスの流れにより長くなる。チユーブ1
5は、円筒形ボデー10bの側面内の一直線にそ
ろえた放射状の穴15aを通つてボデー10b内
へつながつている。ボデー10bと同様の絶縁体
からなる横断隔壁13が電極12を支持してい
る。隔壁13には、電極12の先細の先端12a
のまわりに流れを有するノズル通路9へ通じる多
数の小径通路23が設けられている。矢印Pで示
された溶射される粉末が、アーク17の陽極端1
8を越えた点でアーク加熱されたガス中へ流入す
る。粉末は、チユーブ16を通つて導入され、チ
ユーブに整列された通路16′へ流入する。通路
16′は、ノズル9の端からでてくる高温ガスジ
エツト25にそつてできるだけ粉末流の中心がそ
ろうように穴11aへ開口している。
非常に明るい円錐形のアーク領域19が、ノズ
ル9の出口を越えてわずかな距離に拡がつてお
り、この領域は、イオン化したガス種の拡張部を
形成している。この円錐形領域内では、熱伝達が
非常に大きい。高温ガスジエツト25でイオン化
領域19を越えて粒子Pにガス状の加熱が加えら
れることが理解できるであろう。さらに粒子は、
高速(音速以下)ジエツト25内で速度を増し、
加工品22の表面に当たり被覆21を形成する。
代表的な従来のプラズマ溶射トーチ10′は、
5/16インチ口径のノズル通路9を使い100SCHF
の窒素ガスGの流れを流し、動作電流750A、ア
ーク電圧80Vで動作する。イオン化ゾーンまたは
領域19は、ノズルの先端9aから約1/3インチ
伸びている。到達した総出力レベルは60Kwであ
る。陰極と陽極を合わせた損失は約30Vで、正味
の加熱能力(ガスのI2R加熱)は、37.5Kwであ
る。冷却水による熱損失を20%とすると、ガス加
熱は30Kwある。上記従来の動作パラメータで従
来システムにおけるプラズマガスのエンタルピー
増加は、約14500Btu/ポンドである。なお、Btu
は1ポンドの水をカ氏1度だけ暖めるのに要する
熱量である英国熱量単位をいう。
〔発明が解決しようとする課題〕
本出願人は、リツドトランスフアープラズマア
ークトーチの伸長した高温超音速フレームカツト
装置および方法の有益の効果の詳細な研究を行な
つてきた。この研究と結果は、たとえば本出願人
の最近の米国特許第4620648号に示されている。
ノントランスフアープラズマアークトーチ内のア
ークを伸長する有益な効果の考察と関連して、本
出願人は、伸長アークの形成を促進するものとし
て、トーチノズル通路を通るプラズマガスのうず
流の利用を考察した。その考察において、本出願
人は、過去において、ノントランスフアープラズ
マアークトーチ内のうず流は、動作の信頼性を損
なうことを知つた。音速以下のジエツト速度を用
いると、アーク柱は折れまがり、第1図の従来の
プラズマアーク溶射トーチの角度のついたもの
(たとえば第2ボデー11)の端面に、ノズル9
aの出口から放射状に十分はなれた点でぶつか
る。その結果、急速なトーチの腐食が生じる。
この知識にもかかわらず、本出願人は、超音速
ジエツト速度で短い寿命(ドウエルタイム)を有
する粒子を被覆される基板に十分な溶融を保証
し、トーチは腐食させずに方向づけるために用い
ることのできる改良された高電圧、高電流拡張イ
オン化アーク柱ノントランスフアープラズマアー
クトーチを探求した。
〔課題を解決するための手段〕
上述した課題を解決するため本発明のプラズマ
アーク溶射法は、第1の陰極電極を収容するチヤ
ンバを通し、このチヤンバから、第2の陽極電極
を形成するとともに前記第1の電極と整列しかつ
間隔をおいて設けられた陽極ノズル通路を形成す
る溶射ノズルを通して加圧下でプラズマ生成ガス
を供給し、前記ノズル通路を出るプラズマフレー
ムジエツトを形成するため前記第1および第2電
極間に電気アークを生成し、ノズル出口の前面か
つ下流側に置かれた基板に当てて被覆するため前
記フレームジエツト内で物質を溶融加速するよう
に前記フレームジエツト中へ前記物質を供給する
プラズマアーク溶射方法において、陽極通路を通
つて伸長するガス流の低圧核を生成するためにプ
ラズマ生成ガスの渦流を形成し、陽極ノズル通路
全域に伸長したイオン化アーク柱を形成し、ノズ
ル通路径の約4倍の長さだけノズルの端部を越え
て拡がつている超音速の伸長したイオン化アーク
柱を形成するため陽極ノズル通路径に対しガス流
の速度とアーク電流を調節することを特徴とする
ものである。
また、本発明のプラズマアーク溶射装置は、陽
極ノズル通路を同軸に含み陽極電極を形成する第
1の導電性端壁と第2の反対側端壁を有するチヤ
ンバを形成する円筒形ケースと、この円筒形ケー
スの前記反対側端壁内に同軸に取り付けられ、前
記第1の端壁とは絶縁され、わずかに離れた陰極
電極と、前記陽極ノズル通路は、前記陰極電極に
面する端部で外側に開き円錐形に拡大しており、
前記円筒ケースと陰極電極と両端壁で画成される
チヤンバに加圧下でプラズマ生成ガスを導入する
手段と、前記陽極ノズル通路から出るプラズマア
ークフレームを生成するために前記陽極を構成す
る前記第1の端壁と前記陰極電極の間に電位差を
発生させる手段とを含むプラズマアーク溶射装置
において、前記チヤンバに加圧下でプラズマ生成
ガスの流れを供給する前記手段は、陽極ノズル通
路を通つて伸びた低圧核を示すガスの渦流を形成
するために前記陽極ノズル通路から離れた前記チ
ヤンバの端に接線方向で前記ガスを供給する手段
を含み前記核は前記陽極ノズル通路を通り外へ伸
びた小径アーク柱を形成し、前記陽極ノズル通路
は比較的小さな径を有し、前記装置は、さらに前
記ノズルの放電端をノズル通路径の約4倍の距離
だけ越えて伸びた超音速伸長イオン化アーク柱を
形成するため前記陰極と前記陽極間で前記アーク
のアーク電流とガス流を調節する手段を含むこと
を特徴とするものである。
〔作用〕
本発明は上記手段により、従来のプラズマ溶射
システムよりも数倍のジエツト速度を有し、より
高い電流、電圧で動作し、伸長アークプラズマジ
エツト内の粒子のかなり小さい寿命(dwell
time)にかかわりなく粉末溶射粒子の加熱を促
進するためかなり伸長したアークで動作すること
ができる。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を、第2aおよび2
b図を参照して説明する。改良されたプラズマ溶
射トーチ10は、第1図の従来例のボデー10b
と同様の円筒形の電気絶縁ボデー30を用いてい
る。ボデー30は、一端を第2円筒形ボデー31
でふさがれており、ボデー30の他端は、同軸に
陰極電極32を支持する横断壁30aを有してい
る。陰極32電極の脚部32aは、トーチノズル
通路34を形成する穴31aの円錐形縮小部35
へ突きでている。この発明は、伸長イオン化アー
ク柱ゾーンを形成するための高うず強度プラズマ
ガス流に依存している。この場合、ガス供給パイ
プまたはチユーブ26は、陰極32のまわりの環
状室41にかんして接線方向に設けられ、矢印G
で示されたガス流は、第2b図に示されているよ
うに通路33を通つて接線方向に室41へ入り、
ノズル通路34を形成し縮少された径の穴31a
へ通じる円錐形縮小部35を通つて出ていく。そ
のようなものとして、円錐形縮小部35は、滑ら
かにうず流を縮少径ノズル通路34へ通過させ
る。角運動量保存の法則により、ガス流の外側境
界径が減少すればうず強度はより大きくなる。こ
のうずの小径の核は、通路34の壁近くのガス層
の圧力と比較して低い圧力を示す低圧核である。
伸長したアーク柱37は、低圧核を通過する位置
に生じ、ノズル34の出口34aを十分に越えて
伸びている。
ノズル径の減少、および/またはアーク電流の
増加が、ノズル34を通つて大気へ到る通路にお
ける臨海圧力低下以上のものを生じ、音速以下の
場合におけるアークアノードスポツトの突然の変
化を除去する。超音速流では、アノード領域はよ
り分散し、ノズル出口近くのノズル34内壁およ
びノズルの出口34aのまわりのボデー31の薄
い周辺放射状領域にひろがる。伸長アーク37
(イオン化区域)は、第1図の従来のトーチのイ
オン化区域とくらべて半径が小さい。ノズル出口
34aを越えて伸長しているその長さも、第1図
の装置のイオン化区域19の長さよりかなり長
い。この発明の原理を用いた第2a,2b図の改
良されたトーチ10の1例と第1図の従来装置に
関し論じた例との比較は、改良されたトーチの従
来のトーチとの重要な差を区別する助けになる。
トーチ10は、120SCFHの窒素を用い、陰極3
2電極と陽極31間の〓間に200Vの電圧を加え、
400Aの電流で動作する。このサンプル装置では、
ノズル径3/16インチで上記動作パラメータのと
き、イオン化区域はノズル出口34aを越えて1
−1/4インチ伸びている。電極損失は同じく約
30Vで、正味のガス退出エンタルピーは(20%の
冷却損失後)27000Btu/ポンドに達つした。第
1図の従来装置のそれのほとんど2倍である。出
口のジエツト速度を計算または決定することは困
難だが、第2a,2b図の改良されたプラズマ溶
射トーチ10を用いた第2例のジエツト速度は、
第1図の従来のトーチ10′と対照して、ガスエ
ンタルピーとノズル断面積に基づき比較できる。
この関係のもとで、トーチ10を用いた第2例の
ガス流は、トーチ10′を用いた第1例のそれの
1.2倍である。ノズル面積の逆関係を適用して、
第2例(あるガスエンタルピーで)のジエツト速
度は第1例の3−1/3倍である。エンタルピーの
比の平方根を適用して、付加速度増加1.4が生じ
る。従つて、プラズマフレームジエツト38のジ
エツト速度は、従来例のフレームジエツト25の
最大約4−1/2倍であることがわかる。
この発明の大きな加熱容量とジエツト速度の増
加が、プラズマ溶射におる大規模な技術的進歩を
生みだす。過去を考慮すると、プラズマ溶射にお
いて、濃密な被覆は高い粒子衝突速度を必要とす
る。しかし、さらに適当な粒子加熱が基板と衝突
するまえに物質の溶融または半溶融条件を保証す
るために必要である。出願人の方法と装置は、増
加したガスエンタルピーが、適当に粒子を加熱す
ることができ、粒子はその高速度によりジエツト
38中に、被覆される基板に衝突する前ごく短時
間とどまる。本質的にこの発明は、ノズルを通過
するガスのより大きな臨界圧力低下を必要とす
る。そのような低下は、第2a図の装置のフレー
ムジエツト38内のシヨツクダイアモンド40の
存在を観察することにより視覚的に証明される。
また、イオン化区域(ノズル出口34aを越えて
伸長しているアークの長さ)は、最良のフレーム
溶射結果にたいし、ノズル口(穴31a)径の小
くとも4倍あるべきである。
第2a,2b図に示した装置は、第2a図の矢
印Pで示した粉末物質のフレーム溶射を含んでい
た。この発明は、高品質フレーム溶射被覆を形成
するため線状および棒状の物質を溶射することも
できる。事実、今日までプラズマ溶射において実
際的な線材の使用は、第1図の装置のジエツト2
5のような低速度プラズマジエツトによる線材の
噴霧化の不充分さのため不可能であつた。
第3a,3b図は、二つの異なるプラズマジエ
ツト−線材配列を示すもので、大きく伸長したア
ーク状況のため使用できる。第3a図は、第2
a,2b図の実施例の変形を示し、この発明の他
の実施例をなすものである。線材50は、矢印で
示されたように駆動される一対のフイードロール
51にはさまれており、ゆつくりと矢印28の方
向にある角度θ1でプラズマジエツト37中へ供給
される。線材50は、トーチ10にたいしボデー
31内のノズル34のノズル出口34aに近くに
位置しており、全アーク陽極加熱を高比率でうけ
とる。非常に大きな溶融消散が生じる。多くの金
属にとつて、これは好ましい配列である。他の物
質にたいし、このような高加熱は、加熱しすぎで
あり、実際好ましくない蒸発を生じる。たとえ
ば、亜鉛線材を溶射すると、第3a図の配置では
白い酸化亜鉛の微粒子の大きな雲が生じる。臨界
的な成分比率を有する合金は、好ましくない損害
をこうむる傾向がある。
第3b図は、さらに他の実施例を示す。この実
施例は、基本的に第2a,2b図のトーチ10と
同じだが、粒子がパイプ27、通路27′を通し
て供給されるのでなく、線材または棒材50が矢
印の方向に回転する一対の駆動フイードロール5
1により同じ圧力ではさまれ矢印28の方向に供
給される。しかし、第3a図の大きな角度θ1とく
らべて小さな鋭角θ2を使うことにより、第3b図
は多くの低融点物質および臨界的合金物質に対し
より好ましい線材供給モードを示している。さら
に、線材または棒材50の先端の進入点は、イオ
ン化区域、すなわち伸長したアーク37の端近く
であり、わずかに陽極加熱が生じるのみである。
第3a図の配列との比較で、第3b図で示した配
列を用いた結果は、噴霧化溶融小滴のわずかな過
熱をともなう高温ガス加熱と似ている。これらの
条件では、亜鉛線材は、濃密な雲を生じることは
ない。
線材溶射の率を高めるため、伸長したイオン化
区域に一以上の線材を供給してもよい。たとえ
ば、第3a,3b図に示された態様を同時に用い
てもよい。ある場合には、最大溶融率を達成する
ため、同時にジエツト中へ3以上の線材を供給す
ることが有利である。
イオン化区域、すなわち伸長したイオン化アー
ク柱37に複数の線材を供給するかわりに、第2
図に示されたトーチ10は、第4図では、金属ま
たは他の物質の細片60を伸長したイオン化アー
ク柱37に矢印の方向に斜めに供給するように変
形されている。細片60は、第3a,3b図と同
様に一対の確実に駆動されるローラーまたはホイ
ール(図示省略)ではさまれて駆動される。試験
の結果、溶融率は第3a,3b図における線材に
対するよりもかなり大きいことが確かめられた。
アーク生成に用いうれる高電圧、高電流および生
じた利用可能な熱により、溶融率が大幅に改善さ
れることに注目すべきである。50Kwの出力レベ
ルでの一連のテスト試行において、ステンレス鋼
細片にたいし、最適の細片断面は、厚さ3/32イン
チ、幅3/4インチであつた。
この発明は、特に高電圧を用いており、その結
果、ある電力にたいしアンペア数が低いという利
点を有している。80Kwの時、400Aは1000Aの電
流よりも使用する際はるかに信頼性がある。特に
ノズル陽極の問題は、この発明の方法と装置を使
うことにより大いに減少する。達達成された高速
度で、フレームジエツト速度が線材噴霧化にたい
し適切である時、さらにトーチ出力の増加により
溶融率を増加させることにおける意味はほとんど
ない。
第5図は、第2a,2b図のトーチ10を用い
たこの発明の一実施例を示すものである。この実
施例においても、パイプ27、通路27′、およ
びP(第2a図)における粉末状の物質の供給は
用いられておらず、トーチ10は、固定して二つ
の線材71,72を支持し、伸長したイオン化ア
ーク柱にそつ二つの異なる位置で伸長イオン化ア
ーク柱37への通路へ供給する。さらに、低電圧
溶接機械の出力が、基板(図示略)へ溶融されて
溶融被覆される線材へ加えられる。図に示された
DC電源70は、前述の低電圧溶接機械の出力を
構成し、二つの金属線材71,72間にリード線
76,77を通して加えられる。プラズマアーク
は、プラズマジエツトにそつてさらに遠くに位置
する設地電位線材72まで通じている。さらに、
付加的アーク73が伸長イオン化アーク柱37の
近くで二つの線材71,72の近づきつつある先
端間に生じる。これは、電極損失を直接線材7
1,72へ加え、その結果、さらに溶融率が増加
する。電気回路は、ノズル陽極31と下流側線材
72が共通の接地を構成するものである。なぜな
ら、導電性チユーブ78が下流側線材72のガイ
ドとして機能し、導電性のひもまたは支持体79
でノズル陽極を構成するボデー31へ機械的、電
気的に接続されるからである。線材71は、第2
a図のトーチ10の第二陰極(陰極32にたい
し)となり、線材71は、通過するボデー31か
ら電気的に絶縁されていなければならない。この
点を考慮してノズルアノードボデー31中に形成
された斜めの穴80内に固定された絶縁チユーブ
75により線材71は摺動可能に支持される。再
び、線材は線材をはさみイオン化アーク柱37へ
軸方向に動かす駆動ロール51の回転により、確
実に矢印の方向に駆動される。伸長イオン化アー
ク柱37は、この場合主アーク柱だが、線材71
から線材72への電子の流れを活性化するイオン
化通路を提供する。そのようなものとして、アー
ク37がまず確立され、線材71と72がアーク
37へ押しやられ、物理的に約1/4インチの間隔
がとられる。
さらにこの発明の利点は、線材と粉末の両者を
同時に溶射する装置の能力である。そのようなも
のとして、トーチ10は、パイプまたはチユーブ
27と通路27′を残し、同時に第3a図の線材
50を伸長したイオン化アーク柱37へ供給する
対のロールを用いてもよい。したがつて、各タイ
プの溶射モードはそれ自身の特性をもち、説明し
た実施例の組合せは、特意な結果を生じうる。溶
射される線材は、完全な溶融粒子または単に熱で
軟化した粒子を生じなければならない。線材は、
よりより強度と被覆密度を生じるかもしれない。
しかし、高温度レベルは、不利な酸化または他の
損失を物体へもたらす傾向がある。
非常に高出力レベルを要求されるところでは、
第6図に示される実施例の配列を使うことが必要
である。このより複雑な配列の理由は、第2a,
2b図の第1実施例をみると一番よくわかる。高
出力をうるためには、アークの電流または電圧を
増加しなければならない。電流が増加すると、陽
極結合点はノズル通路34内へ後退し軸方向に電
圧を減少させる。増加した電圧は、ガス流の増加
でえられるかもしれない。しかし、トーチ10内
のガス圧は、この実施例の陰極32の急速の減退
をもたらすかもしれない。第6図の実施例では、
改良されたプラズマ溶射トーチ10″は、第2a,
2b図のトーチ10と同じように動作する。カツ
プ型円筒形の電気絶縁ボデー30′が陰極電極6
0をこの発明の第1実施例と同様に同軸方向に支
持し、ボデー10が閉じられたこの発明の第1実
施例と同様に、トーチ10″の陽極を構成する第
2ボデー61で閉じられている。第6図で、陽極
60はDC電源59にリード線57で接続し、一
方リード線58が第2ボデー61へ通じている。
なお、第6図の実施例は第1図の先行技術のトー
チを含めてすべてのトーチの陰極、陽極間に電位
差を供給する方法を説明している。さらに、第2
a,2b図の実施例と同様、主ガスGは、チユー
ブ26から接線方向に設けられた通路33を通つ
て陰極60と絶縁ボデー30′の内壁間に整列し
た環状室41内へ流入する。円錐形の縮小部35
は、再びなめらかにガスのうず流を、トーチ1
0″にたいし陽極として使用する第2ボデー61
の上流端で、通路55の減少した径のノズルへ連
通させる。第2ボデー61は、二つの軸方向に分
離した導電性構成品、上流側構成品61aと下流
側構成品61bとからなる。環状溝64がボデー
61の周面に形成され、プラズマ溶射トーチ1
0″の第1ボデー30′を形成する電気絶縁体と同
様の物質からなる短かいリング52がはめられ
る。リング52は、電気的に第2ボデー61の構
成品61aを61bから絶縁する。それゆえ、技
術的な意味で、リード線58は、電源から陽極側
で、第2ボデー61の下流側構成品61bに接続
する。円錐形縮小部35は、第一ノズル定義する
ボデー61の構成品61aの第1上流側ノズル通
路55を形成する軸方向穴62へ通じている。ボ
デー61の第2構成品61bは、第2ノズルを形
成し、第2ノズル通路56を形成するやや小さな
径の穴63が設けられている。第2ノズル通路5
6の上流側端は、ガス流通路の円錐径縮小部65
を形成するように外側に開いている。したがつ
て、第2ボデー61の下流側構成品61bは、第
1上流側ノズル61aと軸方向に離れた第2ノズ
ルを形成する。このトーチのアノード領域53
は、多くのノズル通路径と等しい長さで大気中に
伸長したイオン化アーク柱37を有する通路56
の出口56aに近接している。
第1ノズル61aは、電気的に浮遊していて、
単にイオン化アーク柱37を長くすることにより
アーク電圧を増加させる働きをする。多くの場
合、第1ノズル通路55を限度する第1ノズル構
成品の穴62は、第2ノズル通路56を限定する
穴63より径が大きい。
この装置と方法は、上流側および下流側ノズル
61a,61bおよびこれら二つのノズルをたが
いに結合し分離している電気絶縁リング52で限
定される円筒形室66へ供給される。矢印G′で
示される第2ガスを用いていることに注意するこ
とは重要である。第2ガスは、第2ガス室66へ
接線方向に開口している小径の接線方向通路68
へ入れられるチユーブ67によつて供給される。
第2ガスG′は主ガスGは、伸長イオン化アーク
柱を支え流出する、二つのガスを有する装置内の
単に二つの異なる点で供給される同じガスであつ
てもよい。粒子はプラズマガス流に上流で供給さ
れてもよいし、従来例のように、伸張したイオン
化アーク柱37で供給されてもよい。
あるアークノズル長と径に対し、最適のガス流
を決定することは、比較的簡単である。このガス
流は、実験により、イオン化アーク柱37をノズ
ル出口を十分越えて伸長するものとして見られる
もので、さらに、ノズル穴(第3b図の実施例
で、34で示されたような)内のアノードアーク
状況の大部分を保持するものである。ノズル出口
を越えた第2ボデー61の開放面上の陽極作用の
割合が大き過ぎると、急速な摩損を生じる。ノズ
ル出口のすぐまわりのある陽極作用は、最適動作
を示す。
最適ガス流を決める方法は、ガス圧力に関して
アーク電圧変化を測定することである。第7図の
プロツトは、3/16インチ径のノズル穴63を有す
る下流側ノズル61bに対する代表的なケースを
説明している。この曲線は、ガス圧力とともに電
圧が増加することを示している。ガス圧力は、ガ
ス流の基準である。第7図のプロツトで示された
例では使用したガス窒素であつた。電圧は、この
曲線の点A,B間では、着実、一様に増加する。
Bを越えると、即ち、曲線の点B,C間では、わ
づかな流れの増加が急速な電圧の増加を引き起こ
す。点Bを越えた条件では、アークの陽極はノズ
ル穴63を出はじめる。点Bの近くでは、大部分
のアノード動作は、まだノズル穴内である。最適
条件は、第7図のプロツトでガス圧力が165〜
170psiのオーダーである斜線で示した領域内で生
じる。
この簡単な最適動作の指標は、強力な設計上の
道具である。たとえば、電源(シリコン整流器)
は、最大動作電圧が200Vである。最大規定電流
は400Aである。最大100%のデユーテイ比での出
力は80Kwある。これらの最大条件下で動作さ
せ、さらに超音速退出ジエツト速度を生成させな
がらノズル寿命を最大にすることは困難な仕事で
ある。第1に、正当なノズル径と長さが選択され
る。1例として、ノズル径は5/32インチ、長さは
1インチが選択された。窒素流が増加すると、ア
ーク電圧の増加率は減少し、最大160Vに達した。
陽極点は、ノズル出口を越える方向に向けられな
かつた。1つ利用可能な選択は、ノズルの長さを
減らすことであろう。他の選択は、一方は一定に
して、ノズル径をわずかに増加させることであ
る。後者の変化が選択され、その結果は第7図に
示されている。
この発明は、好ましい実施例に関して詳細に説
明してきたが、この分野の当業者にとつて、形
態、細部の様々な変更がこの発明の精神と範囲か
ら離れることなくなしうることが理解されるであ
ろう。
〔発明の効果〕
以上、実施例の説明から明らかなように、本発
明によれば、従来のプラズマアーク溶射法及び装
置に比較して数倍のジエツト速度を得ることがで
きるとともに、アーク生成に用いられる電圧、電
流が大きく、加熱容量を大きくすることができ
る。
また、本発明によれば、ノズル出口より長く伸
長したイオン化アーク柱を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、基板の溶射被覆に用いられる従来の
プラズマ溶射トーチの縦断面図、第2a図は、こ
の発明の好ましい一実施例をなす改良されたノン
トランスフアープラズマアークトーチの縦断面
図、第2b図は、第2a図のトーチを線2b−2
bで切断した横断面図、第3a図は、フレーム溶
射される物質を棒状に伸長した長さのアーク柱に
供給する第2a図の改良されたノントランスフア
ープラズマアークトーチの1部を示す縦断面図、
第3b図は、フレーム溶射される物質を棒状で伸
長アーク柱の軸に十分小さな鋭角で供給するよう
に変形された第2a図の装置の1部を示す縦断面
図、第4図は、フレーム溶射される物質が伸長ア
ーク柱に比較的薄い平らな板として供給される第
2a図の装置の一部断面一部斜視図、第5図は、
棒状のフレーム溶射される物質に対し2つの別々
の物質供給を行ない、伸長したアーク柱に異なる
角度で物質を供給し、縦方向に分離した位置でア
ーク柱にぶつかるようにした第2a図の装置の1
部変形例を示す縦断面図、第6図は、この発明の
他の実施例をなす伸長したアーク柱を有する改良
されたノントランスフアープラズマアークトーチ
の縦断面図、第7図は、第2b図の伸長したアー
ク柱型ノントランスフアープラズマアークトーチ
の最適動作条件を示すガス圧力と電圧の関係を示
す図である。 10……溶射トーチ、26……チユーブ、27
……パイプ、30,31……ボデー、32……陰
極、33……通路、34……ノズル、35……円
錐形縮小部、37……イオン化アーク柱、38…
…フレームジエツト、40……シヨツクダイアモ
ンド、41……環状室、50……線状、51……
フイードロール、52……リング、53……アノ
ード領域、55……第1ノズル通路、56……第
2ノズル通路、57,58……リード線、59…
…DC電源、60……陰極、61……第2ボデー、
62……軸方向穴、63……穴、64……環状
溝、65……円錐形縮小部、66……円筒形室。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 第1の陰極電極を収容するチヤンバを通し、
    このチヤンバから、第2の陽極電極を形成すると
    ともに前記第1の電極と整列しかつ間隔をおいて
    設けられた陽極ノズル通路を形成する溶射ノズル
    を通して加圧下でプラズマ生成ガスを供給し、前
    記ノズル通路を出るプラズマフレームジエツトを
    形成するため前記第1および第2電極間に電気ア
    ークを生成し、ノズル出口の前面かつ下流側に置
    かれた基板に当てて被覆するため前記フレームジ
    エツト内で物質を溶融加速するように前記フレー
    ムジエツト中へ前記物質を供給するプラズマアー
    ク溶射方法において、陽極通路を通つて伸長する
    ガス流の低圧核を生成するためにプラズマ生成ガ
    スの渦流を形成し、陽極ノズル通路全域に伸長し
    たイオン化アーク柱を形成し、ノズル通路径の約
    4倍の長さだけノズルの端部を越えて拡がつてい
    る超音速の伸長したイオン化アーク柱を形成する
    ため陽極ノズル通路径に対しガス流の速度とアー
    ク電流を調節することを特徴とするプラズマアー
    ク溶射法。 2 溶射される物質を有害なほど過熱せず溶射率
    を最大とするため、ノズルの端を越えて伸長した
    イオン化アーク柱に沿つたある点で前記物質を導
    入する段階を含むことを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載のプラズマアーク溶射法。 3 伸長したイオン化アーク柱に溶射される物質
    を導入する前記段階は、噴霧化および溶射のた
    め、ガス流の方向に、伸長したイオン化アーク柱
    に斜めに前記物質で形成された少くとも1つの線
    材を供給することを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載のプラズマアーク溶射法。 4 前記陽極ノズル通路を通つてガス流中へ粉末
    状の物質の少なくとも1つの別の流れを同時に供
    給する段階を含むことを特徴とする特許請求の範
    囲第3項記載のプラズマアーク溶射法。 5 フレーム溶射される物質の少くとも1つの線
    材を供給する段階は、2つの線材を前記陽極ノズ
    ル通路の下流で伸長したイオン化アーク柱へ斜め
    に供給することを含み、前記線材は導電性の物質
    で形成され、前記方法はさらに、伸長したイオン
    化アーク柱へ供給される2つの線材の端部間に第
    2のアーク柱を形成するために前記2つの線材に
    電位差を加える段階を含み、前記第2のアーク
    は、プラズマトーチ陽極ノズル通路から放出する
    伸長したイオン化アーク柱と同時に強制的に流れ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の
    プラズマアーク溶射法。 6 前記粉末の粒子を前記伸長したイオン化アー
    ク柱と接触する前に湿気のある物質の薄層であら
    かじめ被覆し、続けて前記被覆された粉末粒子
    を、この粒子が前記線材を構成する物質から形成
    された溶融小滴に付着するのに必要な程度にのみ
    加熱するステツプを含むことを特徴とする特許請
    求の範囲第4項記載のプラズマアーク溶射法。 7 プラズマアーク溶射ジエツトを形成し、非安
    定粉末物質の粒子に湿気のある物質の薄い被覆を
    形成し、前記被覆された粒子を前記プラズマアー
    ク溶射フレームジエツトに供給し、前記粒子を前
    記フレームジエツト中で他の粒子へ付着が有効と
    なるだけの温度に加熱し、前記被覆された粒子の
    物質と類似または同一の物質から成る粒子を、前
    記被覆されたフレーム溶射粒子への付着を有効と
    するように加熱軟化または溶融するためにプラズ
    マアーク溶射フレームジエツトへさらに別に供給
    する段階を含む、非安定粉末物質をフレーム溶射
    することを特徴とするプラズマアーク溶射法。 8 前記粒子は、ニツケルを含む物質で被覆され
    たダイヤモンドからなることを特徴とする特許請
    求の範囲第7項記載のプラズマアーク溶射法。 9 前記本質的に熱非安定な物質は、シリコンカ
    ーバイドであることを特徴とする特許請求の範囲
    第7項のプラズマアーク溶射法。 10 前記非安定な粉末物質は、溶射の方向と斜
    めにプラズマアーク溶射ジエツト中に供給される
    連続供給金属板の核としてプラズマアーク溶射フ
    レームジエツト中へ供給され前記プラズマアーク
    溶射フレームジエツトの軸と同一平面上の前記板
    は前記ジエツトを切断することを特徴とする特許
    請求の範囲第7項記載のプラズマアーク溶射法。 11 陽極ノズル通路を同軸に含み陽極電極を形
    成する第1の導電性端壁と第2の反対側端壁を有
    するチヤンバを形成する円筒形ケースと、この円
    筒形ケースの前記反対側端壁内に同軸に取り付け
    られ、前記第1の端壁とは絶縁され、わずかに離
    れた陰極電極と、前記陽極ノズル通路は、前記陰
    極電極に面する端部で外側に開き円錐形に拡大し
    ており、前記円筒ケースと陰極電極と両端壁で画
    成されるチヤンバに加圧下でプラズマ生成ガスを
    導入する手段と、前記陽極ノズル通路から出るプ
    ラズマアークフレームを生成するために前記陽極
    を構成する前記第1の端壁と前記陰極電極の間に
    電位差を発生させる手段とを含むプラズマアーク
    溶射装置において、前記チヤンバに加圧下でプラ
    ズマ生成ガスの流れを供給する前記手段は、陽極
    ノズル通路を通つて伸びた低圧核を示すガスの渦
    流を形成するために前記陽極ノズル通路から離れ
    た前記チヤンバの端に接線方向で前記ガスを供給
    する手段を含み、前記核は前記陽極ノズル通路を
    通り外へ伸びた小径アーク柱を形成し、前記陽極
    ノズル通路は比較的小さな径を有し、前記装置
    は、さらに前記ノズルの放電端をノズル通路径の
    約4倍の距離だけ越えて伸びた超音速伸長イオン
    化アーク柱を形成するため前記陰極と前記陽極間
    で前記アークのアーク電流とガス流を調節する手
    段を含むことを特徴とするプラズマアーク溶射装
    置。 12 前記ノズルの出口の前面、下流側に置かれ
    た基板へ打ち当てるため物質を溶融し加速するた
    め前記フレームジエツト中へ物質を供給する手段
    を含むことを特徴とする特許請求の範囲第11項
    記載のプラズマアーク溶射装置。 13 フレームジエツト中へ物質を供給する前記
    手段は、溶射物質の有害な加熱を生じることな
    く、溶射率を最大とするため前記ノズルの出口の
    下流で前記伸長イオン化アーク柱へ前記物質を供
    給する手段を含むことを特徴とする特許請求の範
    囲第11項記載のプラズマアーク溶射装置。 14 前記物質供給手段は、前記ノズルの出口か
    ら離れた伸長イオン化アーク柱の端へ物質を粉
    末、線材または棒状で供給する手段を含むことを
    特徴とする特許請求の範囲第12項記載のプラズ
    マアーク溶射装置。 15 前記物質導入装置は、前記物質の線材をは
    さみ、前記線材を、フレームジエツトの方向に前
    記伸長イオン化アーク柱の通路中へ斜めに移動さ
    せる1対の反対方向に駆動されるローラを含むこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第14項記載のプ
    ラズマアーク溶射装置。 16 前記物質は第1および第2の線材を含み、
    前記導入手段は前記ノズルの出口を越えた前記イ
    オン化アーク柱に沿つて縦方向に離れた点で前記
    アーク柱と接触するように前記アーク柱の通路へ
    前記伸長イオン化アーク柱と斜めの角度で軸方向
    に線材を供給する手段と、前記線材の一方を前記
    陽極電極へ接地する手段と、前記線材間に電位差
    を生成する手段を含み、第2アーク柱が伸長イオ
    ン化アーク柱の近くの線材の端部間を横切つて生
    成され、前記第2のアーク柱は、プラズマアーク
    トーチから出る主アークと同時に流れるように拘
    束され、前記装置によるフレーム溶射される物質
    の割合を増加させることを特徴とする特許請求の
    範囲第14項記載のプラズマアーク溶射装置。 17 前記第1の端壁は第1、第2構成品を含
    み、前記構成品は、前記陰極電極と整列した同軸
    穴を含み、前記第1、第2構成品は軸方向に離れ
    ており、電気的に絶縁されていて、前記同軸穴の
    径より大きな径を有する円筒形第2ガス室がその
    間に形成され、前記第1端壁構成品内の前記同軸
    穴は整列した第1上流側および第2下流側ノズル
    通路を構成し、前記装置はさらに、前記第1およ
    び第2ノズル通路の中間の前記第2ガス室へ接線
    方向に第2ガスを供給する手段を含み、前記陰極
    電極と前記陽極電極間に電位差を与える前記手段
    は、電源を、前記陰極電極と、前記陰極電極から
    離れた前記第1端壁の前記陽極電極を形成する前
    記構成品との間に接続する手段を含み、前記第1
    の上流側ノズル通路を形成する前記端壁の構成品
    は、陰極電極と陽極電極間に形成されるアーク柱
    を長くすることによりアーク電圧を上昇させるた
    めの働きをしている間、電気的に絶縁されてお
    り、前記下流側ノズルのノズル通路径の数倍の距
    離だけ大気中に伸びている伸長イオン化アーク柱
    が生じることを特徴とする特許請求の範囲第11
    項記載のプラズマアーク溶射装置。 18 前記第1端壁の構成品は、互いに向き合う
    端面と、この端面上の外周内に環状溝を含んでお
    り、電気絶縁性物質のリングがそれぞれの端部で
    前記溝内に嵌合されており、前記構成品間の軸方
    向間隔を保持し、第2のガスパイプが前記リング
    へ結合されており、前記リングは内周に接線方向
    に開口した通路手段を含み、第2ガスの渦流を有
    効にし、前記第2構成品の陽極ノズル通路と前記
    第1端壁の前記浮遊第1構成品のノズル通路を通
    つて拡がる前記低圧核の生成を促進することを特
    徴とする特許請求の範囲第17項記載のプラズマ
    アーク溶射装置。
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