JPH057725Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、電子銃部分の絶縁と冷却を絶縁油を
用いて行うようにした、電子線描画装置等に用い
て好適な電子銃構造に関する。

［従来の技術］ 電子顕微鏡や電子線描画装置等の高電圧が供給
される電子銃にあつては、電子放射陰極と制御電
極より成る電子線発生部の上部の高電圧導入部が
配置される鏡筒内は、放電を防止するため、その
構造に注意が払われている。この放電防止のた
め、該高電圧導入部が配置された鏡筒内空間に絶
縁油を充填する方式も採用されている。この場
合、発生する電子線の安定度を増すために、該鏡
筒内空間の絶縁油をポンプによつて外部の冷却タ
ンクとの間で循環させ、該電子線発生部の温度を
一定に保つようにしている。

［考案が解決しようとする問題点］ しかしながら、絶縁油を循環させる方式では、
ポンプや冷却タンク等の追加の構成が必要とな
り、装置のコストがアツプする。更に、ポンプに
よる絶縁油の循環に伴い、脈流による振動が該電
子線発生部に伝わる。この振動は、電子線描画装
置や電子顕微鏡等の高精度の描画や観察を行う装
置にあつては、甚だ好ましくない現象である。

本考案は、上述した点に鑑みてなされてもので
あり、振動による悪影響を及ぼすことなく、電子
銃部分の絶縁と冷却を効果的に行うことができる
と共に、絶縁油の温度変化に伴う容積の変化を吸
収することのできる電子銃構造を提供することを
目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本考案に基づく電子銃構造は、鏡筒内に配置さ
れ、電子放射陰極、制御電極より成る電子線発生
部と、該電子線発生部への高電圧の導入部が配置
された鏡筒内空間に絶縁油を充填するように構成
した電子銃構造において、絶縁油を充填する前記
鏡筒内空間と連通する補助室を前記鏡筒壁から外
部へ突出して設け、該補助室を良熱伝導材料で形
成すると共に該補助室を部分的にベローズで形成
した電子銃構造を特徴としている。

［作用］ 絶縁油を充填する鏡筒内空間と連通する補助室
を鏡筒壁から外部へ突出して設け、補助室を良熱
伝導材料で形成すると共に補助室を部分的にベロ
ーズで形成したため、振動による悪影響を電子銃
に与えることなく絶縁油を冷却できる。更に、油
の温度変化によつて該油の容積が変動しても、該
ベローズの伸縮によりその変動は吸収される。従
つて、電子線発生部に余分な力が加わつて、その
部分が変形し、それにより電子線発生に悪影響を
及ぼすようなことがない。

［実施例］ 以下本考案の一実施例を添附図面に基づいて詳
述する。

図中１は鏡筒壁であり、該鏡筒内部には、絶縁
碍子２に固定されたステム３によつて支持された
電子放射陰極４および制御電極５より成る電子線
発生部６が配置されている。該電子線発生部６は
導電性支持体７、碍子８を介して鏡筒１の突出部
９に固定されている。該ステム３は、該突出部９
の上部の鏡筒内に配置された碍子１０からの端子
１１に電気的に接続されているが、該端子１１は
該碍子１０内およびケーブル１２内の導線を介し
て図示していない高電圧電源に接続されている。
該突出部９から下部の電子線発生部６が配置され
た空間と、該突出部の上部の碍子１０等が配置さ
れた空間とは、該突出部９、支持体７、碍子８に
よつて真空定に分離されており、該電子線発生部
が配置された空間は、高真空に排気されている。
該突出部９の上部の鏡筒壁１には、開口１３，１
４が穿たれている。該開口１３部分には、良熱伝
導材料で形成された溶接ベローズ１５が鏡筒の外
側に取付けられており、蓋部１６と共に、補助室
１７を形成している。該開口１４には、蓋体１８
が設けられる。なお、鏡筒壁は該突出部９の下部
で分離可能となつており、その部分には蝶番１９
が取付けられており、電子放射陰極の交換が可能
な構成となつている。

上述した如き構成において、碍子１０や端子１
１等の高電圧導入部が配置された鏡筒上部の空間
は、事前に真空に排気され、その後、適宜な真空
度となつた空間および補助室１７内には、開口１
４を介して絶縁油２０が封入される。この絶縁油
を封入する前に、空間を真空に排気することによ
り、該空間の内部の隅々まで絶縁油を注入するこ
とが可能となり、絶縁効果を高めることができ
る。該空間に絶縁油２０を注入した後、開口１４
には蓋体１８が被せられ、該絶縁油は封入される
ことになり、陰極４の交換の際、鏡筒上部を傾け
ても、該絶縁油が漏れることはなくなる。ここ
で、電子線を発生させるために陰極４に高電圧を
印加すると、該絶縁油は、電子線発生部６および
高電圧導入部における発熱により加熱されるが、
該絶縁油の熱は、補助室１７部分において特に、
外部に放出され冷却される。すなわち、この冷却
効果は、該補助室の周囲がベローズで形成されて
おり、その熱交換表面積が大きく、又、電子線描
画装置等を設置する部屋は、通常クリーンルーム
であり、天井から恒温のクリーンエアが強く吹き
出されているため、鏡筒から突出した補助室の冷
却効果が大きいことによるものである。

このように、上述した実施例では、電子線発生
部、高電圧導入部における発熱は、効率的に冷却
され、電子線発生部を一定の温度に維持すること
ができ、安定度の高い電子銃が得られる。また、
補助室１７部分にベローズを使用したため、油の
温度変化によつて該油の容積が変動しても、該ベ
ロースの伸縮によりその変動は吸収され、電子線
発生部に余分な力が加わり、その部分が変形して
電子線発生に悪影響を及ぼすようなことはない。

［効果］ 本考案によれば、絶縁油を充填する鏡筒内空間
と連通する補助室を鏡筒壁から外部へ突出して設
け、補助室を良熱伝導材料で形成すると共に補助
室を部分的にベローズで形成したため、振動によ
る悪影響を電子銃に与えることなく絶縁油を冷却
できる。更に、油の温度変化によつて該油の容積
が変動しても、該ベローズの伸縮によりその変動
は吸収される。従つて、電子線発生部に余分な力
が加わり、その部分が変形して電子線発生に悪影
響を及ぼすようなことがない。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本考案の一実施例を示す図である。 １……鏡筒壁、３……ステム、２，８，１０…
…碍子、４……陰極、５……制御電極、６……電
子線発生部、７……支持体、９……突出部、１１
……端子、１２……ケーブル、１３，１４……開
口、１５……ベローズ、１６……蓋部、１７……
補助室、１８……蓋体、１９……蝶番、２０……
絶縁油。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 鏡筒内に配置され、電子放射陰極、制御電極よ
   り成る電子線発生部と、該電子線発生部への高電
   圧の導入部が配置された鏡筒内空間に絶縁油を充
   填するように構成した電子銃構造において、絶縁
   油を充填する前記鏡筒内空間と連通する補助室を
   前記鏡筒壁から外部へ突出して設け、該補助室を
   良熱伝導材料で形成すると共に該補助室を部分的
   にベローズで形成した電子銃構造。