JPH057277A - 光学ユニツト検査装置 - Google Patents
光学ユニツト検査装置Info
- Publication number
- JPH057277A JPH057277A JP3182049A JP18204991A JPH057277A JP H057277 A JPH057277 A JP H057277A JP 3182049 A JP3182049 A JP 3182049A JP 18204991 A JP18204991 A JP 18204991A JP H057277 A JPH057277 A JP H057277A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical unit
- image sensor
- output value
- light
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Facsimiles In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光学ユニットの不良品を確実に検出して生産
性の向上を図る。 【構成】 イメージセンサ１０９の分光感度、フィルタ
１０７の光透過率及び光源２０２の分光分布の標準値と
公差に基づいて光学ユニットの感度を求める。次に、光
学ユニットに照射される原稿面での照度を照度計２０４
により測定する。上記感度と照度とにより検査対象であ
る光学ユニットの出力値の範囲を求める。その後、光学
ユニットにタイミング信号を入力して所定のタイミング
にて該光学ユニットの出力値を得る。該出力値が上記感
度と照度とにより求めた出力値の範囲内に入っているか
否かを演算器２０７が判断して光学ユニットの合否を決
定し、その結果を表示部２０８に表示する。
性の向上を図る。 【構成】 イメージセンサ１０９の分光感度、フィルタ
１０７の光透過率及び光源２０２の分光分布の標準値と
公差に基づいて光学ユニットの感度を求める。次に、光
学ユニットに照射される原稿面での照度を照度計２０４
により測定する。上記感度と照度とにより検査対象であ
る光学ユニットの出力値の範囲を求める。その後、光学
ユニットにタイミング信号を入力して所定のタイミング
にて該光学ユニットの出力値を得る。該出力値が上記感
度と照度とにより求めた出力値の範囲内に入っているか
否かを演算器２０７が判断して光学ユニットの合否を決
定し、その結果を表示部２０８に表示する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、デジタル複写機、ファ
クシミリ等に使用される画像情報を読み取る光学ユニッ
トに対する検査装置に関し、特に光学系とイメージセン
サが一体構成された光学ユニットの検査装置に関する。
クシミリ等に使用される画像情報を読み取る光学ユニッ
トに対する検査装置に関し、特に光学系とイメージセン
サが一体構成された光学ユニットの検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】原稿読取装置の読取センサとして、等倍
（密着）センサを用いることが近年増加してきている。
即ち、これは等倍（密着）センサを用いることにより装
置自体を小さくできることや光学系が単純化できること
に起因している。
（密着）センサを用いることが近年増加してきている。
即ち、これは等倍（密着）センサを用いることにより装
置自体を小さくできることや光学系が単純化できること
に起因している。
【０００３】等倍（密着）センサを用いた場合には、殆
どの場合光学系としてセルフォックレンズアレイを使用
する。このセルフォックレンズアレイは直径１ｍｍ程の
レンズ素子が多数集まったもので、像を原稿に対して等
倍にて結像させるものである。従って、調整等の場合を
除いては、光学系の位置は変倍、等倍に係わらず、常に
一定にする必要があるため、等倍（密着）センサとセル
フォックレンズアレイを保持部材で固定することにより
光学ユニットとして一体構成させていた。
どの場合光学系としてセルフォックレンズアレイを使用
する。このセルフォックレンズアレイは直径１ｍｍ程の
レンズ素子が多数集まったもので、像を原稿に対して等
倍にて結像させるものである。従って、調整等の場合を
除いては、光学系の位置は変倍、等倍に係わらず、常に
一定にする必要があるため、等倍（密着）センサとセル
フォックレンズアレイを保持部材で固定することにより
光学ユニットとして一体構成させていた。
【０００４】上記の如く構成された光学ユニットにあっ
ては、各部品の性能もさることながら、一体構成された
光学ユニットとしての性能の方がより重要な問題とな
る。即ち、各部品が高性能であったとしても組立時にお
いてゴミや埃が各部に付着したり、或いは傷を付けてし
まったような場合にあっては、該光学ユニットを不良品
として処置しなければならず、誤って上記の如き不良な
光学ユニットが市場に出た場合には画像読取処理におい
て支障をきたす恐れがあるため、確実なる不良品の摘出
が重要な課題となっていた。
ては、各部品の性能もさることながら、一体構成された
光学ユニットとしての性能の方がより重要な問題とな
る。即ち、各部品が高性能であったとしても組立時にお
いてゴミや埃が各部に付着したり、或いは傷を付けてし
まったような場合にあっては、該光学ユニットを不良品
として処置しなければならず、誤って上記の如き不良な
光学ユニットが市場に出た場合には画像読取処理におい
て支障をきたす恐れがあるため、確実なる不良品の摘出
が重要な課題となっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
あっては、光学ユニットの組立時において不良品を出さ
ないように注意を喚起する程度であって、光学ユニット
に対する検査手段がなかった。その結果、光学ユニット
の組立時において発生した不良を確実に検出することが
できず、生産性の向上を阻害するという問題点があっ
た。
あっては、光学ユニットの組立時において不良品を出さ
ないように注意を喚起する程度であって、光学ユニット
に対する検査手段がなかった。その結果、光学ユニット
の組立時において発生した不良を確実に検出することが
できず、生産性の向上を阻害するという問題点があっ
た。
【０００６】本発明は、上記に鑑みてなされたものであ
って、光学ユニットの不良品を確実に検出して生産性の
向上を図ることを目的とする。
って、光学ユニットの不良品を確実に検出して生産性の
向上を図ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、画像を読み取るイメージセンサと、前記
イメージセンサに画像を結像させるための光学系と、前
記イメージセンサを駆動し読み取った画像信号を出力す
る制御系とが一体構成された光学ユニットに対する検査
を行う光学ユニット検査装置において、前記光学系、イ
メージセンサに対して光を照射する光源と、前記光源か
らの光を受けて前記イメージセンサから出力される電圧
出力値を測定する演算手段とを具備する光学ユニット検
査装置を提供するものである。
達成するため、画像を読み取るイメージセンサと、前記
イメージセンサに画像を結像させるための光学系と、前
記イメージセンサを駆動し読み取った画像信号を出力す
る制御系とが一体構成された光学ユニットに対する検査
を行う光学ユニット検査装置において、前記光学系、イ
メージセンサに対して光を照射する光源と、前記光源か
らの光を受けて前記イメージセンサから出力される電圧
出力値を測定する演算手段とを具備する光学ユニット検
査装置を提供するものである。
【０００８】また、前記光源により前記光学系に入射さ
れる光量を測定する光量測定手段を備え、前記演算手段
に前記光源の分光分布／前記イメージセンサの分光感度
／前記光学系の各部における透過率の値（感度）及び前
記光量測定手段から出力される光量（照度）を入力して
前記光学ユニットの出力値の範囲を決定する光学ユニッ
ト検査装置を提供するものである。
れる光量を測定する光量測定手段を備え、前記演算手段
に前記光源の分光分布／前記イメージセンサの分光感度
／前記光学系の各部における透過率の値（感度）及び前
記光量測定手段から出力される光量（照度）を入力して
前記光学ユニットの出力値の範囲を決定する光学ユニッ
ト検査装置を提供するものである。
【０００９】また、前記演算手段は、前記電圧出力値が
前記出力値の範囲内か否かを判断することにより、光学
ユニットの合否を決定する光学ユニット検査装置を提供
するものである。
前記出力値の範囲内か否かを判断することにより、光学
ユニットの合否を決定する光学ユニット検査装置を提供
するものである。
【００１０】また、前記演算手段から出力される演算結
果に基づき前記光学ユニットの合否を表示する表示手段
を具備することが望ましい。
果に基づき前記光学ユニットの合否を表示する表示手段
を具備することが望ましい。
【００１１】
【作用】イメージセンサの分光感度、フィルタの光透過
率及び光源の分光分布の標準値と公差に基づいて光学ユ
ニットの感度を求める。次に、光学ユニットに照射され
る原稿面での照度を測定する。上記感度と照度とにより
検査対象である光学ユニットの出力値の範囲を求める。
その後、光学ユニットにタイミング信号を入力して所定
のタイミングにて該光学ユニットの出力値を得る。該出
力値が上記感度と照度とにより求めた出力値の範囲内に
入っているか否かを全画素について検査し、光学ユニッ
トの合否を決定する。
率及び光源の分光分布の標準値と公差に基づいて光学ユ
ニットの感度を求める。次に、光学ユニットに照射され
る原稿面での照度を測定する。上記感度と照度とにより
検査対象である光学ユニットの出力値の範囲を求める。
その後、光学ユニットにタイミング信号を入力して所定
のタイミングにて該光学ユニットの出力値を得る。該出
力値が上記感度と照度とにより求めた出力値の範囲内に
入っているか否かを全画素について検査し、光学ユニッ
トの合否を決定する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、光学ユニットを含んだデジタル原稿読取
装置のスキャン走査系の構成を示し、原稿１０１を載置
するガラス等の透明な原稿面基板のコンタクトガラス１
０２と、該コンタクトガラス１０２上に載置された原稿
１０１に対して光を照射するための光源１０３と、原稿
１０１の反射光を導く等倍結像素子のセルフォックレン
ズアレイ１０４と、該セルフォックレンズアレイ１０４
を支持するためのセルフォックホルダ１０５と、セルフ
ォックレンズアレイ１０４を介して入射した反射光を光
電変換して入力するイメージセンサ（密着型等倍セン
サ）１０９と、イメージセンサ１０９を駆動するための
プリント基板１０６と、イメージセンサ１０９に近接し
て設置された赤外カットフィルタ／マゼンタフィルタ１
０７とから構成されている。
する。図１は、光学ユニットを含んだデジタル原稿読取
装置のスキャン走査系の構成を示し、原稿１０１を載置
するガラス等の透明な原稿面基板のコンタクトガラス１
０２と、該コンタクトガラス１０２上に載置された原稿
１０１に対して光を照射するための光源１０３と、原稿
１０１の反射光を導く等倍結像素子のセルフォックレン
ズアレイ１０４と、該セルフォックレンズアレイ１０４
を支持するためのセルフォックホルダ１０５と、セルフ
ォックレンズアレイ１０４を介して入射した反射光を光
電変換して入力するイメージセンサ（密着型等倍セン
サ）１０９と、イメージセンサ１０９を駆動するための
プリント基板１０６と、イメージセンサ１０９に近接し
て設置された赤外カットフィルタ／マゼンタフィルタ１
０７とから構成されている。
【００１３】尚、１０８は光源１０３、セルフォックレ
ンズアレイ１０４、セルフォックホルダ１０５、プリン
ト基板１０６、赤外カットフィルタ／マゼンタフィルタ
１０７及びイメージセンサ１０９によって構成されるキ
ャリッジ部を示す。
ンズアレイ１０４、セルフォックホルダ１０５、プリン
ト基板１０６、赤外カットフィルタ／マゼンタフィルタ
１０７及びイメージセンサ１０９によって構成されるキ
ャリッジ部を示す。
【００１４】以上の構成において、原稿１０１を走査す
るためにキャリッジ部１０８が図中の矢印Ａ方向に移動
することにより、光源１０３からの光がコンタクトガラ
ス１０２を介して原稿１０１を照射し、その反射光がセ
ルフォックレンズアレイ１０４によって結像されてイメ
ージセンサ１０９に入射する。
るためにキャリッジ部１０８が図中の矢印Ａ方向に移動
することにより、光源１０３からの光がコンタクトガラ
ス１０２を介して原稿１０１を照射し、その反射光がセ
ルフォックレンズアレイ１０４によって結像されてイメ
ージセンサ１０９に入射する。
【００１５】図２は、本発明による光学ユニットの検査
装置の概略構成を示す説明図であり、被検査ユニット２
０１に光を照射するための検査用光源２０２と、完全拡
散光を作る拡散板２０３と、拡散板２０３を介した光源
の照度を測定する照度計２０４（２１０は照度計２０４
のプローブ）と、プリント基板１０６に駆動タイミング
を出力するタイミング発生部２０５と、被検査ユニット
２０１におけるプリント基板１０６からの出力を入力
し、アナログ／デジタル変換をを実行するＡ／Ｄ変換器
２０６と、Ａ／Ｄ変換器２０６からのデジタル値と、照
度計２０４から出力される照度とを入力し、既に入力さ
れているイメージセンサ１０９の分光感度と、赤外カッ
トフィルタ／マゼンタフィルタ１０７の透過率と、光源
２０２の分光分布とから出力値を演算する演算器２０７
と、該演算器２０７により被検査ユニット２０１の合否
を判定し、その結果を表示する表示部２０８とから構成
されている。
装置の概略構成を示す説明図であり、被検査ユニット２
０１に光を照射するための検査用光源２０２と、完全拡
散光を作る拡散板２０３と、拡散板２０３を介した光源
の照度を測定する照度計２０４（２１０は照度計２０４
のプローブ）と、プリント基板１０６に駆動タイミング
を出力するタイミング発生部２０５と、被検査ユニット
２０１におけるプリント基板１０６からの出力を入力
し、アナログ／デジタル変換をを実行するＡ／Ｄ変換器
２０６と、Ａ／Ｄ変換器２０６からのデジタル値と、照
度計２０４から出力される照度とを入力し、既に入力さ
れているイメージセンサ１０９の分光感度と、赤外カッ
トフィルタ／マゼンタフィルタ１０７の透過率と、光源
２０２の分光分布とから出力値を演算する演算器２０７
と、該演算器２０７により被検査ユニット２０１の合否
を判定し、その結果を表示する表示部２０８とから構成
されている。
【００１６】以上の構成において、その動作を説明す
る。イメージセンサ１０９の分光感度と、赤外カットフ
ィルタ／マゼンタフィルタ１０７の透過率及び光源２０
２の分光分布は既知であるとし、その標準値と公差を演
算器２０７に入力して被検査ユニット２０１の感度を計
算で求める。即ち、各々の検査において合格した部品を
正常な方法により組み付けることによって得られた被検
査ユニット２０１において照射された光の照度に対して
出力端子に現れる電圧値の範囲を算出し、光学ユニット
の特性を明確にする。
る。イメージセンサ１０９の分光感度と、赤外カットフ
ィルタ／マゼンタフィルタ１０７の透過率及び光源２０
２の分光分布は既知であるとし、その標準値と公差を演
算器２０７に入力して被検査ユニット２０１の感度を計
算で求める。即ち、各々の検査において合格した部品を
正常な方法により組み付けることによって得られた被検
査ユニット２０１において照射された光の照度に対して
出力端子に現れる電圧値の範囲を算出し、光学ユニット
の特性を明確にする。
【００１７】被検査ユニット２０１の感度を求める方法
としては、例えば下記のものがある。光源２０２からの
光を直接イメージセンサ１０９に照射した場合と同様
に、光源２０２のエネルギー比とイメージセンサ１０９
の相対感度比（Ｒ，Ｇ，Ｂ各色）とをかけたものに、更
に赤外カットフィルタ／マゼンタフィルタ１０７とセル
フォックレンズアレイ１０４の透過率の標準値を各波長
においてかけ合わせる。これをグラフにプロットしてつ
なぎ、囲んだ部分の面積を求める。即ち、これは光源２
０２を使用した場合の被検査ユニット２０１の出力の相
対積分値である。
としては、例えば下記のものがある。光源２０２からの
光を直接イメージセンサ１０９に照射した場合と同様
に、光源２０２のエネルギー比とイメージセンサ１０９
の相対感度比（Ｒ，Ｇ，Ｂ各色）とをかけたものに、更
に赤外カットフィルタ／マゼンタフィルタ１０７とセル
フォックレンズアレイ１０４の透過率の標準値を各波長
においてかけ合わせる。これをグラフにプロットしてつ
なぎ、囲んだ部分の面積を求める。即ち、これは光源２
０２を使用した場合の被検査ユニット２０１の出力の相
対積分値である。
【００１８】次に、光源２０２からの光を直接イメージ
センサ１０９に照射した場合と、上記被検査ユニット２
０１に対して照射した場合の相対積分値の比率を求め
る。これとイメージセンサ１０９の感度の標準値をかけ
たものが、該被検査ユニット２０１におけるイメージセ
ンサ１０９の受光面における感度となる。
センサ１０９に照射した場合と、上記被検査ユニット２
０１に対して照射した場合の相対積分値の比率を求め
る。これとイメージセンサ１０９の感度の標準値をかけ
たものが、該被検査ユニット２０１におけるイメージセ
ンサ１０９の受光面における感度となる。
【００１９】しかし、実際にはセルフォックホルダ１０
５等にイメージセンサ１０９が固定されているため、受
光面での照度は光学ユニットを分解しない限り、測定す
ることはできない。そこで、原稿面の照度に換算して規
定するようにする。
５等にイメージセンサ１０９が固定されているため、受
光面での照度は光学ユニットを分解しない限り、測定す
ることはできない。そこで、原稿面の照度に換算して規
定するようにする。
【００２０】次に、光学ユニットに照射される原稿面で
の照度を照度計２０４により測定する。図２に示すよう
に検査用の光源２０２の下に拡散板２０３を配置し、そ
の下に照度計２０４のプローブ２１０を当てて照度を測
定し、該測定結果を演算器２０７に入力する。上記算出
された被検査ユニット２０１の感度と、この照度とによ
り被検査ユニット２０１の出力値の範囲が求まる。
の照度を照度計２０４により測定する。図２に示すよう
に検査用の光源２０２の下に拡散板２０３を配置し、そ
の下に照度計２０４のプローブ２１０を当てて照度を測
定し、該測定結果を演算器２０７に入力する。上記算出
された被検査ユニット２０１の感度と、この照度とによ
り被検査ユニット２０１の出力値の範囲が求まる。
【００２１】次に、照度計２０４のプローブ２１０を拡
散板２０３からはずして、代わりに被検査ユニット２０
１を設置し、タイミング発生部２０５からのタイミング
信号を入力して該被検査ユニット２０１の出力値を得
る。該アナログ出力値をＡ／Ｄ変換器２０６に入力して
デジタル化し、演算器２０７に出力する。
散板２０３からはずして、代わりに被検査ユニット２０
１を設置し、タイミング発生部２０５からのタイミング
信号を入力して該被検査ユニット２０１の出力値を得
る。該アナログ出力値をＡ／Ｄ変換器２０６に入力して
デジタル化し、演算器２０７に出力する。
【００２２】該演算器２０７においては、感度と照度か
ら既に求めた出力値の範囲内に、実際の出力値が入って
いるか否かを全画素について検査して光学ユニットの合
否を判断し、該内容は表示部２０８に表示されオペレー
タに示される。
ら既に求めた出力値の範囲内に、実際の出力値が入って
いるか否かを全画素について検査して光学ユニットの合
否を判断し、該内容は表示部２０８に表示されオペレー
タに示される。
【００２３】尚、検査用の光源は実際の装置と同じもの
を使用すればよいが、光量等の関係により別のものを使
用する場合（例えば、蛍光灯の代わりにハロゲンラン
プ）は、分光分布を演算器に入力しなおせばよい。従っ
て、どのような種類の光源にも本発明の装置は対応する
ことができる。
を使用すればよいが、光量等の関係により別のものを使
用する場合（例えば、蛍光灯の代わりにハロゲンラン
プ）は、分光分布を演算器に入力しなおせばよい。従っ
て、どのような種類の光源にも本発明の装置は対応する
ことができる。
【００２４】以上の如く、本実施例においては、イメー
ジセンサと光学系が一体構成された光学ユニットの性能
を容易に把握することができる。また、光学ユニットと
しての仕様（感度）を明らかにし、組付け時におけるゴ
ミや埃などの混入や傷等を容易に発見し、光学ユニット
の検査を確実に実行することができる。
ジセンサと光学系が一体構成された光学ユニットの性能
を容易に把握することができる。また、光学ユニットと
しての仕様（感度）を明らかにし、組付け時におけるゴ
ミや埃などの混入や傷等を容易に発見し、光学ユニット
の検査を確実に実行することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明による光学ユ
ニット検査装置によれば、イメージセンサの分光感度、
フィルタの光透過率及び光源の分光分布の標準値と公差
に基づいて光学ユニットの感度を求める。次に、光学ユ
ニットに照射される原稿面での照度を測定する。上記感
度と照度とにより検査対象である光学ユニットの出力値
の範囲を求める。その後、光学ユニットにタイミング信
号を入力して所定のタイミングにて該光学ユニットの出
力値を得る。該出力値が上記感度と照度とにより求めた
出力値の範囲内に入っているか否かを全画素について検
査し、光学ユニットの合否を決定するため、光学ユニッ
トの不良品を確実に検出して生産性の向上を図ることが
できる。
ニット検査装置によれば、イメージセンサの分光感度、
フィルタの光透過率及び光源の分光分布の標準値と公差
に基づいて光学ユニットの感度を求める。次に、光学ユ
ニットに照射される原稿面での照度を測定する。上記感
度と照度とにより検査対象である光学ユニットの出力値
の範囲を求める。その後、光学ユニットにタイミング信
号を入力して所定のタイミングにて該光学ユニットの出
力値を得る。該出力値が上記感度と照度とにより求めた
出力値の範囲内に入っているか否かを全画素について検
査し、光学ユニットの合否を決定するため、光学ユニッ
トの不良品を確実に検出して生産性の向上を図ることが
できる。
【図１】光学ユニットを含んだデジタル原稿読取装置に
おけるスキャン走査系の概略構成を示す説明図である。
おけるスキャン走査系の概略構成を示す説明図である。
【図２】本発明に係る光学ユニット検査装置の概略構成
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１０３ 光源 １０４ セルフォック
レンズアレイ １０７ 赤外カットフィルタ／マゼンタフィルタ １０９ イメージセンサ ２０１ 被検査ユニッ
ト ２０２ 光源 ２０３ 拡散板 ２０４ 照度計 ２０６ Ａ／Ｄ変換器 ２０７ 演算器 ２０８ 表示部 ２１０ プローブ
レンズアレイ １０７ 赤外カットフィルタ／マゼンタフィルタ １０９ イメージセンサ ２０１ 被検査ユニッ
ト ２０２ 光源 ２０３ 拡散板 ２０４ 照度計 ２０６ Ａ／Ｄ変換器 ２０７ 演算器 ２０８ 表示部 ２１０ プローブ
Claims (4)
- 【請求項１】 画像を読み取るイメージセンサと、前記
イメージセンサに画像を結像させるための光学系と、前
記イメージセンサを駆動し読み取った画像信号を出力す
る制御系とが一体構成された光学ユニットに対する検査
を行う光学ユニット検査装置において、前記光学系、イ
メージセンサに対して光を照射する光源と、前記光源か
らの光を受けて前記イメージセンサから出力される電圧
出力値を測定する演算手段とを具備することを特徴とす
る光学ユニット検査装置。 - 【請求項２】 前記光源により前記光学系に入射される
光量を測定する光量測定手段を備え、前記演算手段に前
記光源の分光分布／前記イメージセンサの分光感度／前
記光学系の各部における透過率の値（感度）及び前記光
量測定手段から出力される光量（照度）を入力して前記
光学ユニットの出力値の範囲を決定することを特徴とす
る前記請求項１記載の光学ユニット検査装置。 - 【請求項３】 前記演算手段は、前記電圧出力値が前記
出力値の範囲内か否かを判断することにより、光学ユニ
ットの合否を決定することを特徴とする前記請求項１，
２記載の光学ユニット検査装置。 - 【請求項４】 前記演算手段から出力される演算結果に
基づき前記光学ユニットの合否を表示する表示手段を具
備することを特徴とする前記請求項１，２記載の光学ユ
ニット検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18204991A JP3168029B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 光学ユニット検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18204991A JP3168029B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 光学ユニット検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH057277A true JPH057277A (ja) | 1993-01-14 |
| JP3168029B2 JP3168029B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=16111446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18204991A Expired - Fee Related JP3168029B2 (ja) | 1991-06-26 | 1991-06-26 | 光学ユニット検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3168029B2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-26 JP JP18204991A patent/JP3168029B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3168029B2 (ja) | 2001-05-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8040502B2 (en) | Optical inspection of flat media using direct image technology | |
| US5436464A (en) | Foreign particle inspecting method and apparatus with correction for pellicle transmittance | |
| JP2009025311A (ja) | 凝集反応を分析するためのイメージング装置を校正するための方法及び装置 | |
| KR960015001A (ko) | 반도체 기판의 제조방법과 피검사체상의 패턴결함을 검사하기 위한 방법 및 장치 | |
| EP1070243A1 (en) | Method and apparatus for the automatic inspection of optically transmissive planar objects | |
| JPH10160683A (ja) | 異物検査方法とその装置 | |
| US6735333B1 (en) | Pattern inspection apparatus | |
| JP3168029B2 (ja) | 光学ユニット検査装置 | |
| JP2009109263A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
| JPS63163150A (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JPH0565021B2 (ja) | ||
| JP3409272B2 (ja) | 露光マスクの異物検査方法 | |
| CN108180950B (zh) | 检验生化反应容器品质检测系统及方法 | |
| JPH06267315A (ja) | 線状照明装置及びラインイメージセンサ検査装置 | |
| JPH023148Y2 (ja) | ||
| KR20010074256A (ko) | 레이저 위상차 해석과 가시광 영상 신호 해석 방식의조합에 의한 고속, 정밀 검사 시스템 | |
| JPH11183151A (ja) | 透明シート検査装置 | |
| JPH07128250A (ja) | 半導体装置製造用フォトマスクの異物検査装置 | |
| JP3006853B2 (ja) | Ｍｔｆ測定装置 | |
| JPH10293103A (ja) | 光学測定方法および装置およびパターン付き基板用光学測定装置 | |
| JPH08313234A (ja) | 光反射を利用した真直度検査装置 | |
| JPH04319675A (ja) | 固体撮像素子等の検査方法 | |
| WO1998009248A1 (en) | Apparatus for measuring percentage dot in printing and the like applications | |
| JP3873088B2 (ja) | 光学的検査装置 | |
| JPH02103435A (ja) | レンズの解像性能検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |