JPH0572038U - エアーロックチャンバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 エアーロックチャンバ４は、高真空状態にさ
れたエンドステーションにおけるウエーハ３の搬入およ
び搬出をウエーハ収容空間部８を介して行なわせるもの
である。そして、ウエーハ収容空間部に面した内面部と
なる窓板６の下面および側壁体５の内周面には、塵埃を
付着させる粘着性部材２０が設けられている。 【効果】 ウエーハ収容空間部８に存在する塵埃の大部
分は、粘着性部材２０によって固定されるため、ウエー
ハ収容空間部８とエンドステーションとを連通状態にし
た際における塵埃のエンドステーションへの移動量を極
めて低減させることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、エンドステーションの搬入搬出部に設けられたエアーロックチャン バに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

イオン注入装置は、一般に、イオン照射対象物であるウエーハをエンドステー ションに収容し、このウエーハに特定のイオン種からなるイオンビームを高真空 下で照射することによってイオン注入を行なうものである。従って、エンドステ ーションは、イオン注入時に高真空状態である必要があり、ウエーハの搬入時お よび搬出時にエンドステーションの真空度が低下した場合には、真空ポンプ等に よって高真空状態に復帰させた後にイオン注入を行なうことが必要になる。

【０００３】 ところが、エンドステーションを高真空状態に復帰させながらイオン注入を行 なった場合には、エンドステーションが大きな容積を有し、高真空状態への復帰 に長時間を要するため、生産性の低下を招来することになる。そこで、エンドス テーションの搬入搬出部には、小さな容積のエアーロックチャンバが設けられて おり、エンドステーションは、このエアーロックチャンバを介してウエーハが搬 入および搬出されることによって、ウエーハの搬入時および搬出時でも高真空状 態が維持されるようになっている。

【０００４】 即ち、従来のエアーロックチャンバには、図３に示すように、側壁体５２と窓 板５１と弁体５３と環状枠体５７とによって小さな容積のウエーハ収容空間部５ ４が真空排気可能に形成されており、このウエーハ収容空間部５４は、エアーロ ックチャンバの大気圧側および高真空状態のエンドステーション側に設けられた 図示しないウエーハ用扉によって、気密状態に密閉されるようになっている。そ して、ウエーハ用扉を開閉する時期とウエーハ収容空間部５４を真空排気する時 期とを調整し、ウエーハ収容空間部５４を大気圧状態と高真空状態とに切り換え ることによって、エンドステーションの圧力状態をウエーハ５６の搬入時および 搬出時でも高真空状態に維持させるようになっている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、エンドステーションは、イオン注入時に高真空状態になっているこ とが必要であると共に、塵埃（パーティクル）が低減されていることが歩留りを 向上させるために必要である。特に、最近においては、ウエーハ５６の素子構造 が微細化され、塵埃の存在が歩留りに大きく影響するため、塵埃の低減が極めて 重要視されている。

【０００６】 ところが、上記従来のエアーロックチャンバでは、ウエーハ５６の搬入時等に 塵埃がウエーハ収容空間部５４に侵入した場合、真空排気後にウエーハ収容空間 部５４に存在する塵埃の大部分がウエーハ５６と共にエンドステーションに移動 するため、エンドステーションの塵埃を大きく増加させることになっている。

【０００７】 従って、本考案においては、ウエーハ収容空間部５４に存在する塵埃のエンド ステーションへの移動量を低減させることができるエアーロックチャンバを提供 することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案のエアーロックチャンバは、上記課題を解決するために、高真空状態に されたエンドステーションにおけるウエーハの搬入および搬出をウエーハ収容空 間部を介して行なわせるものであり、下記の特徴を有している。

【０００９】 即ち、エアーロックチャンバは、塵埃を付着させる粘着性部材がウエーハ収容 空間部に面した窓板の下面等の内面部に設けられていることを特徴としている。

【００１０】

【作用】

上記の構成によれば、ウエーハ収容空間部に面する内面部に粘着性部材を設け ているため、ウエーハ収容空間部を浮遊する塵埃が粘着性部材に衝突した際に付 着することになる。従って、ウエーハ収容空間部に存在する塵埃は、大部分が粘 着性部材によって固定されるため、ウエーハ収容空間部とエンドステーションと を連通状態にした際における塵埃のエンドステーションへの移動量を極めて低減 させることが可能になる。

【００１１】

【実施例】

本考案の一実施例を図１および図２に基づいて説明すれば、以下の通りである 。

【００１２】 本実施例に係るエアーロックチャンバは、図２に示すように、イオン注入装置 におけるエンドステーション１の搬入搬出部１ａに設けられている。このエンド ステーション１は、イオン照射対象物であるウエーハ３を保持し、このウエーハ ３にイオンビーム２を照射させるようになっており、エンドステーション１にお けるイオンビーム２の入射側には、図示しない静電レンズや加速管、質量分析器 ２２、イオン源２１が配設されている。

【００１３】 上記のエンドステーション１に設けられたエアーロックチャンバ４は、図１に 示すように、アルミニウムからなる側壁体５を有している。この側壁体５の上面 部および下面部には、環状溝５ａ・５ｂが形成されており、これらの環状溝５ａ ・５ｂには、Ｏリング１２・１３がそれぞれ設けられている。また、側壁体５の 上面には、アクリル樹脂からなる窓板６が固設されている一方、側壁体５の下面 には、環状枠体１１が固設されており、側壁体５の上面および下面と窓板６およ び環状枠体１１とは、Ｏリング１２・１３によって気密状態に接合されている。

【００１４】 上記の環状枠体１１の下面には、図示しない真空排気手段に接続された弁体７ が固設されている。この弁体７は、環状枠体１１に嵌合された内周突設部７ａと 、環状枠体１１の下面に当接する外周当接部７ｂとからなっており、内周突設部 ７ａの外周面部および上面部には、環状溝７ｃ・７ｄが形成されている。そして 、これらの環状溝７ｃ・７ｄには、Ｏリング１４・１５がそれぞれ設けられてお り、内周突設部７ａの外周面部に設けられたＯリング１４は、弁体７と環状枠体 １１とを気密状態に接合させるようになっている。

【００１５】 上記の側壁体５と窓板６と弁体７と環状枠体１１とは、ウエーハ３を収容可能 な容積のウエーハ収容空間部８を形成するようになっており、このウエーハ収容 空間部８は、上述の各Ｏリング１２・１３・１４によって気密状態にされるよう になっている。このウエーハ収容空間部８には、ウエーハ３を支持する載置部材 ９が弁体７の内周突設部７ａに固設されており、この載置部材９と弁体７とは、 内周突設部７ａの上面部に設けられたＯリング１５によって気密状態に接合され ている。

【００１６】 また、ウエーハ収容空間部８に面する側壁体５の内周面（内面部）および窓板 ６の下面（内面部）には、例えば低い蒸気圧の接着剤を使用した両面テープや真 空グリース等の粘着性部材２０が設けられており、この粘着性部材２０は、ウエ ーハ収容空間部８を浮遊する塵埃を付着させることによって、ウエーハ収容空間 部８に存在する塵埃がエンドステーション１へ移動することを防止するようにな っている。尚、上記の粘着性部材２０は、ウエーハ３に接触しないのであれば、 載置部材９に設けられていても良いし、或いは、後述のウエーハ用扉１６・１７ の内壁面に設けられていても良い。

【００１７】 上記のエアーロックチャンバ４には、図２に示すように、ウエーハ３の通過口 を開閉するウエーハ用扉１６・１７がエンドステーション１側および大気圧側に それぞれ設けられている。上記の大気圧側である外部には、旋回移動および上下 移動が可能なウエーハフォーク１８が配設されており、このウエーハフォーク１ ８の可動範囲内には、複数のウエーハ３を着脱自在に収容したウエーハカセット １９・１９が配置されるようになっている。そして、ウエーハフォーク１８は、 ウエーハカセット１９・１９からウエーハ３をエアーロックチャンバ４に搬送す るようになっていると共に、エアーロックチャンバ４からウエーハ３をウエーハ カセット１９・１９に搬送するようになっている。

【００１８】 上記の構成において、エアーロックチャンバ４の動作について説明する。

【００１９】 先ず、図２に示すように、エンドステーション１の搬入搬出部１ａに配設され たウエーハ用扉１６が閉状態にされ、エンドステーション１が図示しない真空排 気手段によって高真空状態にされることになる。この後、大気圧側のウエーハ用 扉１７が開状態にされ、ウエーハカセット１９・１９に収容されているウエーハ ３がウエーハフォーク１８によってエアーロックチャンバ４方向に搬送されるこ とになる。

【００２０】 上記のウエーハ３は、図１に示すように、エアーロックチャンバ４のウエーハ 収容空間部８に搬入されることになる。また、この搬入時に、大気中の塵埃がウ エーハ収容空間部８に侵入して浮遊することになる。そして、ウエーハ３が載置 部材９に載置されると、大気圧側のウエーハ用扉１７が閉状態にされ、ウエーハ 収容空間部８が気密状態に密閉されることになる。この後、ウエーハ収容空間部 ８が図示しない真空排気手段によって排気され、ウエーハ収容空間部８に侵入し た塵埃の一部が空気と共に外部に排出されることになる。一方、ウエーハ収容空 間部８に残留した塵埃は、ウエーハ収容空間部８に面して設けられた粘着性部材 ２０に衝突した際に、粘着性部材２０に付着することによって、付着した場所に 固定されることになる。

【００２１】 上記の真空排気によってウエーハ収容空間部８が高真空状態にされると、図２ のエンドステーション１側のウエーハ用扉１６が開状態にされ、ウエーハ３が図 示しないウエーハ搬送手段によってエアーロックチャンバ４からエンドステーシ ョン１に搬送されることになる。この際、エアーロックチャンバ４のウエーハ収 容空間部８に存在する塵埃は、大部分が粘着性部材２０によって固定されている ため、エンドステーション１への移動量が極めて減少したものになる。

【００２２】 この後、図２に示すように、イオン源２１から正電荷のイオンが引出電極によ って引き出され、質量分析器２２によって質量分析された特定のイオン種からな る不純物イオンのイオンビーム２が形成されることになる。そして、このイオン ビーム２は、図示しない加速管および静電レンズを介してエンドステーション１ において保持されたウエーハ３に照射されることになる。

【００２３】 このように、本実施例のエアーロックチャンバ４は、図１に示すように、ウエ ーハ収容空間部８に面する内面部に粘着性部材２０を設け、この粘着性部材２０ に塵埃を付着させるようになっている。従って、ウエーハ収容空間部８に存在す る塵埃は、大部分が粘着性部材２０によって固定されるため、ウエーハ収容空間 部８とエンドステーション１とを連通状態にした際に、塵埃のエンドステーショ ン１への移動量を極めて低減させることが可能になっている。

【００２４】

【考案の効果】

本考案のエアーロックチャンバは、以上のように、高真空状態にされたエンド ステーションにおけるウエーハの搬入および搬出をウエーハ収容空間部を介して 行なわせるものであり、上記ウエーハ収容空間部に面した内面部に、塵埃を付着 させる粘着性部材を設けた構成である。

【００２５】 これにより、ウエーハ収容空間部に存在する塵埃の大部分が、粘着性部材によ って固定されるため、ウエーハ収容空間部とエンドステーションとを連通状態に した際における塵埃のエンドステーションへの移動量を極めて低減させることが 可能になるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のエアーロックチャンバの縦断面図であ
る。

【図２】イオン注入装置の概略構成図である。

【図３】従来例を示すものであり、エアーロックチャン
バの縦断面図である。

【符号の説明】

１ エンドステーション １ａ 搬入搬出部 ２ イオンビーム ３ ウエーハ ４ エアーロックチャンバ ５ 側壁体 ６ 窓板 ７ 弁体 ７ａ 内周突設部 ８ 空間部 ９ 載置部材 １０ ウエーハ １１ 環状枠体 １６ ウエーハ用扉 １７ ウエーハ用扉 １８ ウエーハフォーク １９ ウエーハカセット ２０ 粘着性部材 ２１ イオン源 ２２ 質量分析器

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】高真空状態にされたエンドステーションに
   おけるウエーハの搬入および搬出をウエーハ収容空間部
   を介して行なわせるエアーロックチャンバであって、 上記ウエーハ収容空間部に面した内面部に、塵埃を付着
   させる粘着性部材を設けたことを特徴とするエアーロッ
   クチャンバ。