JPH0566296A - 軟ｘ線多層膜分光素子 - Google Patents
軟ｘ線多層膜分光素子Info
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- JPH0566296A JPH0566296A JP3227498A JP22749891A JPH0566296A JP H0566296 A JPH0566296 A JP H0566296A JP 3227498 A JP3227498 A JP 3227498A JP 22749891 A JP22749891 A JP 22749891A JP H0566296 A JPH0566296 A JP H0566296A
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- rays
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 分析精度を低下させる全反射軟Ｘ線が軟Ｘ線
検出器に入射せず、かつ、ブラッグ反射軟Ｘ線強度が低
下することのない軟Ｘ線多層膜分光素子を提供すること
を目的とする。 【構成】 重元素層１４と軽元素層１５とが交互に積層
されたブラッグ回析効果を有する多層膜１２を備えた軟
Ｘ線多層膜分光素子１０において、前記重元素層１４と
軽元素層１５とが接する積層面１８に対して平行でない
多層膜表面部１３を有し、かつこの表面１３によって最
外面が形成されていることを特徴とする軟Ｘ線多層膜分
光素子１０。
検出器に入射せず、かつ、ブラッグ反射軟Ｘ線強度が低
下することのない軟Ｘ線多層膜分光素子を提供すること
を目的とする。 【構成】 重元素層１４と軽元素層１５とが交互に積層
されたブラッグ回析効果を有する多層膜１２を備えた軟
Ｘ線多層膜分光素子１０において、前記重元素層１４と
軽元素層１５とが接する積層面１８に対して平行でない
多層膜表面部１３を有し、かつこの表面１３によって最
外面が形成されていることを特徴とする軟Ｘ線多層膜分
光素子１０。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体材料など各種
の無機・有機材料の化学状態、化学組成、不純物濃度、
中でも軽元素を高感度で分析できる装置に必要な軟Ｘ線
を選択する分光素子に関するものである。
の無機・有機材料の化学状態、化学組成、不純物濃度、
中でも軽元素を高感度で分析できる装置に必要な軟Ｘ線
を選択する分光素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】軽元素を高感度に分析する装置等で利用
される単色軟Ｘ線を発生させるために多層膜分光素子が
用いられている。この素子は、重元素層と軽元素層と交
互に積層されたブラッグ回析効果を有する多層膜からな
るもので、従来は多層膜の各層が基板と平行でかつ多層
膜の重元素層と軽元素層とが接する面（積層面）と多層
膜の表面とが平行である多層膜分光素子が使用されてい
た。
される単色軟Ｘ線を発生させるために多層膜分光素子が
用いられている。この素子は、重元素層と軽元素層と交
互に積層されたブラッグ回析効果を有する多層膜からな
るもので、従来は多層膜の各層が基板と平行でかつ多層
膜の重元素層と軽元素層とが接する面（積層面）と多層
膜の表面とが平行である多層膜分光素子が使用されてい
た。
【０００３】放射光をこのような多層膜分光素子を用い
て分光する場合の光学系の一例を図６に示す。この光学
系は放射光源１、入射放射光２、多層膜分光素子３、ブ
ラッグ反射軟Ｘ線４、全反射軟Ｘ線５、スリット６、出
射軟Ｘ線を利用する分析装置７、分析装置内の軟Ｘ線検
出器８、検出記入力信号記録部９から構成される。
て分光する場合の光学系の一例を図６に示す。この光学
系は放射光源１、入射放射光２、多層膜分光素子３、ブ
ラッグ反射軟Ｘ線４、全反射軟Ｘ線５、スリット６、出
射軟Ｘ線を利用する分析装置７、分析装置内の軟Ｘ線検
出器８、検出記入力信号記録部９から構成される。
【０００４】放射光を線源とし、多層膜分光素子３を用
いる光学系では、放射光の強度が従来のＸ線の強度と比
較して３桁以上高いこと、また多層膜分光素子３による
反射効率が軟Ｘ線領域では他の分光素子である結晶や回
析格子に比較して数倍から数百倍高いことから、通常の
軟Ｘ線を使用して分析を行う方法よりも高感度の分析が
可能となっていた。
いる光学系では、放射光の強度が従来のＸ線の強度と比
較して３桁以上高いこと、また多層膜分光素子３による
反射効率が軟Ｘ線領域では他の分光素子である結晶や回
析格子に比較して数倍から数百倍高いことから、通常の
軟Ｘ線を使用して分析を行う方法よりも高感度の分析が
可能となっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】放射光などの連続Ｘ線
を多層膜分光素子３に入射させた場合、多層膜構造のた
め生じるブラッグ反射軟Ｘ線４は入射放射光が多層膜の
積層面となす角度と同一の角度で出射する。また、全反
射軟Ｘ線５は多層膜の表面に対する入射角と同一の角度
で出射していく。
を多層膜分光素子３に入射させた場合、多層膜構造のた
め生じるブラッグ反射軟Ｘ線４は入射放射光が多層膜の
積層面となす角度と同一の角度で出射する。また、全反
射軟Ｘ線５は多層膜の表面に対する入射角と同一の角度
で出射していく。
【０００６】従来使用されていた多層膜の各層が基板と
平行でかつ多層膜の積層面と多層膜表面部とが平行な関
係にある多層膜分光素子３を放射光に代表される連続Ｘ
線の分光に使用すると、ブラッグ反射軟Ｘ線４と全反射
軟Ｘ線５とは同一の角度で反射するので、両者とも分析
装置内の試料に入射される。すると、分析に必要なブラ
ッグ反射軟Ｘ線４に全反射軟Ｘ線５が重なり、この全反
射軟Ｘ線５がノイズ源となって、測定したい信号のＳＮ
比を低下させるため、期待されるほどの高感度分析が困
難であるという問題があった。参考として、従来の多層
膜分光素子３で放射光を分光した場合のＸ線のエネルギ
ープロファイル例を図７に示す。図７中Ａで示すよう
に、取り出したいブラッグ反射軟Ｘ線４よりも低いエネ
ルギーの全反射軟Ｘ線５が出射している。
平行でかつ多層膜の積層面と多層膜表面部とが平行な関
係にある多層膜分光素子３を放射光に代表される連続Ｘ
線の分光に使用すると、ブラッグ反射軟Ｘ線４と全反射
軟Ｘ線５とは同一の角度で反射するので、両者とも分析
装置内の試料に入射される。すると、分析に必要なブラ
ッグ反射軟Ｘ線４に全反射軟Ｘ線５が重なり、この全反
射軟Ｘ線５がノイズ源となって、測定したい信号のＳＮ
比を低下させるため、期待されるほどの高感度分析が困
難であるという問題があった。参考として、従来の多層
膜分光素子３で放射光を分光した場合のＸ線のエネルギ
ープロファイル例を図７に示す。図７中Ａで示すよう
に、取り出したいブラッグ反射軟Ｘ線４よりも低いエネ
ルギーの全反射軟Ｘ線５が出射している。
【０００７】この問題に対処するために、多層膜の上に
保護層を積層して多層膜の積層面の法線と平行でない法
線を有する最外面を形成し、全反射軟Ｘ線５をブラッグ
反射軟Ｘ線４とは異なる方向へ出射させて、全反射軟Ｘ
線５を除去することなどが考えられる。しかしこの場
合、入射放射光（連続Ｘ線）２やブラッグ反射軟Ｘ線４
が保護層を通過するため、保護層による吸収の効果を受
けて、ブラッグ反射軟Ｘ線強度が減少するという問題が
生じた。
保護層を積層して多層膜の積層面の法線と平行でない法
線を有する最外面を形成し、全反射軟Ｘ線５をブラッグ
反射軟Ｘ線４とは異なる方向へ出射させて、全反射軟Ｘ
線５を除去することなどが考えられる。しかしこの場
合、入射放射光（連続Ｘ線）２やブラッグ反射軟Ｘ線４
が保護層を通過するため、保護層による吸収の効果を受
けて、ブラッグ反射軟Ｘ線強度が減少するという問題が
生じた。
【０００８】本発明は前述の問題点を解決するために提
案されたもので、その目的は分光分析に不必要で分析精
度を低下させる全反射軟Ｘ線５が軟Ｘ線検出器８に入射
するのを防ぐことができ、ブラッグ反射軟Ｘ線強度が減
少することのない多層膜分光素子３を提供することであ
る。
案されたもので、その目的は分光分析に不必要で分析精
度を低下させる全反射軟Ｘ線５が軟Ｘ線検出器８に入射
するのを防ぐことができ、ブラッグ反射軟Ｘ線強度が減
少することのない多層膜分光素子３を提供することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は重元素層と軽元素層とが交互に積層された
ブラッグ回析効果を有する多層膜を備えた軟Ｘ線多層膜
分光素子において、前記重元素層と軽元素層とが接する
積層面に対して平行でない多層膜の表面部を有し、この
表面によって最外面を形成することを特徴とする多層膜
分光素子を要旨とするものである。但し、前記重元素層
とはタングステンあるいは金などの質量の重い元素を含
有してなる層であり、軽元素層とは炭素あるいはケイ素
等の質量の軽い元素を含有してなる層である。
め、本発明は重元素層と軽元素層とが交互に積層された
ブラッグ回析効果を有する多層膜を備えた軟Ｘ線多層膜
分光素子において、前記重元素層と軽元素層とが接する
積層面に対して平行でない多層膜の表面部を有し、この
表面によって最外面を形成することを特徴とする多層膜
分光素子を要旨とするものである。但し、前記重元素層
とはタングステンあるいは金などの質量の重い元素を含
有してなる層であり、軽元素層とは炭素あるいはケイ素
等の質量の軽い元素を含有してなる層である。
【００１０】
【作用】放射光などの連続Ｘ線を多層膜分光素子に入射
させた場合、多層膜構造のため生じるブラッグ反射軟Ｘ
線は入射放射光が多層膜の積層面となす角度と同一の角
度で出射していくのに対して、全反射軟Ｘ線は入射放射
光が多層膜の表面となす角度と同一の角度で出射してい
く。
させた場合、多層膜構造のため生じるブラッグ反射軟Ｘ
線は入射放射光が多層膜の積層面となす角度と同一の角
度で出射していくのに対して、全反射軟Ｘ線は入射放射
光が多層膜の表面となす角度と同一の角度で出射してい
く。
【００１１】この素子では多層膜の表面が多層膜の積層
面に対して平行でないので、多層膜の積層面および多層
膜の表面部のそれぞれの面で反射する軟Ｘ線は異なった
方向へ出射する。すなわち、全反射軟Ｘ線とブラッグ反
射軟Ｘ線とが分離されることになり、その結果、ブラッ
グ反射軟Ｘ線のみを軟Ｘ線検出器に入射させることが可
能となる。しかも、前記多層膜上に保護層を形成した従
来の素子と異なり、本発明の軟Ｘ線多層膜分光素子で
は、入射Ｘ線やブラッグ反射軟Ｘ線が保護層を通過しな
いため、保護層による吸収を受けず、反射効率低下を回
避できる。
面に対して平行でないので、多層膜の積層面および多層
膜の表面部のそれぞれの面で反射する軟Ｘ線は異なった
方向へ出射する。すなわち、全反射軟Ｘ線とブラッグ反
射軟Ｘ線とが分離されることになり、その結果、ブラッ
グ反射軟Ｘ線のみを軟Ｘ線検出器に入射させることが可
能となる。しかも、前記多層膜上に保護層を形成した従
来の素子と異なり、本発明の軟Ｘ線多層膜分光素子で
は、入射Ｘ線やブラッグ反射軟Ｘ線が保護層を通過しな
いため、保護層による吸収を受けず、反射効率低下を回
避できる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の軟Ｘ線多層膜
分光素子を詳しく説明する。なお前記従来例と同一構成
部分には、同一符号を付して説明を簡略化する。
分光素子を詳しく説明する。なお前記従来例と同一構成
部分には、同一符号を付して説明を簡略化する。
【００１３】（実施例１）図１は本実施例の軟Ｘ線多層
膜分光素子１０の構造を示す断面図である。この多層膜
分光素子１０は基板部１１、多層膜１２から構成されて
いる。前記多層膜１２は重元素層１４と軽元素層１５と
が交互に積層されることにより構成され、最上面は多層
膜表面部１３となっている。この多層膜表面部１３は多
層膜１２の表面を研磨して、表面をｒｍｓ単位で５０オ
ングストローム程度に荒すことにより、細かい凹凸形状
に形成されている。この凹凸形状は各部分の表面に対す
る法線の大部分が多層膜１２の積層面１８の法線と平行
にならないように形成されている。
膜分光素子１０の構造を示す断面図である。この多層膜
分光素子１０は基板部１１、多層膜１２から構成されて
いる。前記多層膜１２は重元素層１４と軽元素層１５と
が交互に積層されることにより構成され、最上面は多層
膜表面部１３となっている。この多層膜表面部１３は多
層膜１２の表面を研磨して、表面をｒｍｓ単位で５０オ
ングストローム程度に荒すことにより、細かい凹凸形状
に形成されている。この凹凸形状は各部分の表面に対す
る法線の大部分が多層膜１２の積層面１８の法線と平行
にならないように形成されている。
【００１４】図２には本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子
１０を備えた多層膜反射鏡３と放射光とを用いて分光を
行う場合の光学系を示す。この光学系は放射光源１、入
射放射光２、多層膜分光素子１０、ブラッグ軟Ｘ線４、
全反射軟Ｘ線５、スリット６、ブラッグ軟Ｘ線４を利用
する分析装置７から構成される。そして前記分析装置７
はさらに軟Ｘ線検出器８、検出記入力信号記録部９から
構成されている。
１０を備えた多層膜反射鏡３と放射光とを用いて分光を
行う場合の光学系を示す。この光学系は放射光源１、入
射放射光２、多層膜分光素子１０、ブラッグ軟Ｘ線４、
全反射軟Ｘ線５、スリット６、ブラッグ軟Ｘ線４を利用
する分析装置７から構成される。そして前記分析装置７
はさらに軟Ｘ線検出器８、検出記入力信号記録部９から
構成されている。
【００１５】この光学系により得られたブラッグ反射軟
Ｘ線４のプロファイルを図３に示す。多層膜表面部１３
が多層膜１２の積層面１８と平行に形成されている多層
膜分光素子を用いて分光した場合のプロファイル（図
７）と比較すると、全反射軟Ｘ線５がほとんど除去され
ていることが明かである。しかも、多層膜表面部１３上
に炭素からなる厚さ３００オングストロームの保護層を
形成し、その表面にｒｍｓ単位で５０オングストローム
の凹凸を形成した場合と比較して、ブラッグ反射軟Ｘ線
強度は２％程度高い値が得られた。
Ｘ線４のプロファイルを図３に示す。多層膜表面部１３
が多層膜１２の積層面１８と平行に形成されている多層
膜分光素子を用いて分光した場合のプロファイル（図
７）と比較すると、全反射軟Ｘ線５がほとんど除去され
ていることが明かである。しかも、多層膜表面部１３上
に炭素からなる厚さ３００オングストロームの保護層を
形成し、その表面にｒｍｓ単位で５０オングストローム
の凹凸を形成した場合と比較して、ブラッグ反射軟Ｘ線
強度は２％程度高い値が得られた。
【００１６】本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０にお
いては、凹凸形状に形成された多層膜表面部１３によっ
て素子の最外面を形成したので、入射放射光２が前記多
層膜表面部１３で反射して生じる全反射軟Ｘ線５は乱反
射されて多層膜１２の積層面１８で反射して生じるブラ
ッグ反射軟Ｘ線４とは重なることがない。従って本実施
例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０においては、ノイズとな
る全反射軟Ｘ線５が軟Ｘ線検出器８に入射することを防
ぐことができ、分析精度の向上、高感度の分析が可能と
なった。
いては、凹凸形状に形成された多層膜表面部１３によっ
て素子の最外面を形成したので、入射放射光２が前記多
層膜表面部１３で反射して生じる全反射軟Ｘ線５は乱反
射されて多層膜１２の積層面１８で反射して生じるブラ
ッグ反射軟Ｘ線４とは重なることがない。従って本実施
例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０においては、ノイズとな
る全反射軟Ｘ線５が軟Ｘ線検出器８に入射することを防
ぐことができ、分析精度の向上、高感度の分析が可能と
なった。
【００１７】本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０にお
いては、前記多層膜１２の多層膜表面部１３が素子の最
外面となっているので、入射放射光２の強度低下および
出射光であるブラッグ反射軟Ｘ線４の強度低下を回避で
きた。従って本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０によ
ればこの点でも、分析精度向上、高感度分析が可能とな
った。
いては、前記多層膜１２の多層膜表面部１３が素子の最
外面となっているので、入射放射光２の強度低下および
出射光であるブラッグ反射軟Ｘ線４の強度低下を回避で
きた。従って本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０によ
ればこの点でも、分析精度向上、高感度分析が可能とな
った。
【００１８】本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０にお
いては、素子の最外面が規則的な凹凸形状の繰り返しで
形成されているので、巨視的にみた場合、多層膜１２の
厚さが変化することはない。従って本実施例の軟Ｘ線多
層膜分光素子１０は、大型化が容易である。
いては、素子の最外面が規則的な凹凸形状の繰り返しで
形成されているので、巨視的にみた場合、多層膜１２の
厚さが変化することはない。従って本実施例の軟Ｘ線多
層膜分光素子１０は、大型化が容易である。
【００１９】（実施例２）図４は本実施例の軟Ｘ線多層
膜分光素子１０の構造を示す断面図である。本実施例の
軟Ｘ線多層膜分光素子１０と実施例１の多層膜分光素子
１０との相違点は多層膜表面部１３の形状である。この
実施例では多層膜１２を斜めに研磨して、多層膜表面部
１３を多層膜１２の積層面１８に対して、約０．１度の
角度を有する傾斜面となるように形成した。この軟Ｘ線
多層膜分光素子１０を用いて放射光の分光を行う場合の
光学系は実施例１の図２に示した光学系と同じである。
膜分光素子１０の構造を示す断面図である。本実施例の
軟Ｘ線多層膜分光素子１０と実施例１の多層膜分光素子
１０との相違点は多層膜表面部１３の形状である。この
実施例では多層膜１２を斜めに研磨して、多層膜表面部
１３を多層膜１２の積層面１８に対して、約０．１度の
角度を有する傾斜面となるように形成した。この軟Ｘ線
多層膜分光素子１０を用いて放射光の分光を行う場合の
光学系は実施例１の図２に示した光学系と同じである。
【００２０】前記多層膜１２の周期長Ｄ（重元素層１４
一層と軽元素層１５一層の厚みとを加えた厚さ）と入射
放射光２が多層膜１２に入射するときの入射角θ1 、ブ
ラッグ反射軟Ｘ線４の波長λとの間には下記一般式
（Ｉ）
一層と軽元素層１５一層の厚みとを加えた厚さ）と入射
放射光２が多層膜１２に入射するときの入射角θ1 、ブ
ラッグ反射軟Ｘ線４の波長λとの間には下記一般式
（Ｉ）
【００２１】λ＝２Ｄｓｉｎθ1 ・・・（Ｉ）
【００２２】で表される関係が成り立つ。ブラッグ反射
軟Ｘ線４は多層膜１２から入射角と同じ角度であるθ1
の角度で出射していく。一方多層膜表面部１３にはほぼ
θ2（＝θ1 ＋０．１度）の角度で入射放射光２（連続
Ｘ線）が入射しているため、全反射軟Ｘ線５はほぼθ2
の角度で多層膜表面部１３から出射していく。この為、
ブラッグ反射軟Ｘ線４と全反射軟Ｘ線５との間には近似
的にθ1 −θ2 （＝０．１度）の角度差が生じる。する
と、ブラッグ反射軟Ｘ線４が検出される位置では全反射
軟Ｘ線５は検出されない。この時得られたブラッグ反射
軟Ｘ線４のプロファイルも実施例１の結果と同様の形状
であり、全反射軟Ｘ線５が除去されていた。しかも、前
記多層膜表面部１３上に炭素からなる保護層が形成され
ている従来の素子の場合と比較すると、２％程度高いブ
ラッグ反射軟Ｘ線強度が得られた。
軟Ｘ線４は多層膜１２から入射角と同じ角度であるθ1
の角度で出射していく。一方多層膜表面部１３にはほぼ
θ2（＝θ1 ＋０．１度）の角度で入射放射光２（連続
Ｘ線）が入射しているため、全反射軟Ｘ線５はほぼθ2
の角度で多層膜表面部１３から出射していく。この為、
ブラッグ反射軟Ｘ線４と全反射軟Ｘ線５との間には近似
的にθ1 −θ2 （＝０．１度）の角度差が生じる。する
と、ブラッグ反射軟Ｘ線４が検出される位置では全反射
軟Ｘ線５は検出されない。この時得られたブラッグ反射
軟Ｘ線４のプロファイルも実施例１の結果と同様の形状
であり、全反射軟Ｘ線５が除去されていた。しかも、前
記多層膜表面部１３上に炭素からなる保護層が形成され
ている従来の素子の場合と比較すると、２％程度高いブ
ラッグ反射軟Ｘ線強度が得られた。
【００２３】本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０にお
いては、多層膜表面部１３を多層膜１２の積層面１８に
対して約０．１度の角度を有するように形成したので、
ブラッグ反射軟Ｘ線４と全反射軟Ｘ線５との出射の方向
が異なる。従って本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０
では、実施例１と同様に分析精度が向上し、高感度分析
が可能になるという作用効果が得られた。
いては、多層膜表面部１３を多層膜１２の積層面１８に
対して約０．１度の角度を有するように形成したので、
ブラッグ反射軟Ｘ線４と全反射軟Ｘ線５との出射の方向
が異なる。従って本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０
では、実施例１と同様に分析精度が向上し、高感度分析
が可能になるという作用効果が得られた。
【００２４】（実施例３）図５は本実施例の軟Ｘ線多層
膜分光素子１０の構造を示す断面図である。この多層膜
分光素子１０の多層膜表面部１３は以下の方法で形成さ
れたものである。 作成した平面形状の多層膜表面部１３に０．５ｍｍ間
隔のライン＆スペースのマスクを載せる。 前記マスクを多層膜表面部１３に平行面内で平行移動
させながら、多層膜表面部１３をイオンエッチングさせ
て鋸刃状に形成する。この鋸刃状の多層膜表面部１３の
斜面は多層膜１２の積層面１８に対して約０．１度の角
度を有する傾斜面となった。
膜分光素子１０の構造を示す断面図である。この多層膜
分光素子１０の多層膜表面部１３は以下の方法で形成さ
れたものである。 作成した平面形状の多層膜表面部１３に０．５ｍｍ間
隔のライン＆スペースのマスクを載せる。 前記マスクを多層膜表面部１３に平行面内で平行移動
させながら、多層膜表面部１３をイオンエッチングさせ
て鋸刃状に形成する。この鋸刃状の多層膜表面部１３の
斜面は多層膜１２の積層面１８に対して約０．１度の角
度を有する傾斜面となった。
【００２５】本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０と放
射光を用いて分光を行う場合の光学系は実施例１の図２
に示した光学系と同じである。しかも、実施例２と同じ
原理でブラッグ反射軟Ｘ線４と全反射軟Ｘ線５との間に
は近似的にθ1 −θ2 （＝０．１度）の角度差が生じ
る。この為、ブラッグ反射軟Ｘ線４が検出される位置で
は全反射軟Ｘ線５は検出されない。この時得られたブラ
ッグ反射軟Ｘ線４のプロファイルも実施例１で示したプ
ロファイル（図３）と定性的に同様の形状となって、全
反射軟Ｘ線５が除去されていた。しかも、前記多層膜表
面部１３上に炭素からなる保護層が形成されている従来
の素子の場合と比較すると、単位当りのブラッグ反射軟
Ｘ線強度は４％程度高い値が得られた。
射光を用いて分光を行う場合の光学系は実施例１の図２
に示した光学系と同じである。しかも、実施例２と同じ
原理でブラッグ反射軟Ｘ線４と全反射軟Ｘ線５との間に
は近似的にθ1 −θ2 （＝０．１度）の角度差が生じ
る。この為、ブラッグ反射軟Ｘ線４が検出される位置で
は全反射軟Ｘ線５は検出されない。この時得られたブラ
ッグ反射軟Ｘ線４のプロファイルも実施例１で示したプ
ロファイル（図３）と定性的に同様の形状となって、全
反射軟Ｘ線５が除去されていた。しかも、前記多層膜表
面部１３上に炭素からなる保護層が形成されている従来
の素子の場合と比較すると、単位当りのブラッグ反射軟
Ｘ線強度は４％程度高い値が得られた。
【００２６】本実施例の軟Ｘ線多層膜分光素子１０にお
いては、多層膜表面部１３に鋸刃状の凹凸が形成されて
いるので、多層膜１２の積層面１８と多層膜表面部１３
との各々の法線が重なることがない。従って本実施例の
軟Ｘ線多層膜分光素子１０では、実施例１と同様の分析
精度向上、高感度分析が可能となる、および素子の大型
化が可能となる等の作用効果が得られた。
いては、多層膜表面部１３に鋸刃状の凹凸が形成されて
いるので、多層膜１２の積層面１８と多層膜表面部１３
との各々の法線が重なることがない。従って本実施例の
軟Ｘ線多層膜分光素子１０では、実施例１と同様の分析
精度向上、高感度分析が可能となる、および素子の大型
化が可能となる等の作用効果が得られた。
【００２７】なお、本発明における多層膜表面部１３の
形状は多層膜１２の積層面１８と平行関係にならない面
を有するならどの様な形状でもよい。この為、前記多層
膜表面部１３の形状は凹凸形状、山形形状、曲面形状等
種々の表面形状全てが効果を有することは言うまでもな
い。
形状は多層膜１２の積層面１８と平行関係にならない面
を有するならどの様な形状でもよい。この為、前記多層
膜表面部１３の形状は凹凸形状、山形形状、曲面形状等
種々の表面形状全てが効果を有することは言うまでもな
い。
【００２８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の軟Ｘ線多層
膜分光素子は、重元素層と軽元素層とが接する積層面に
対して平行にならないように多層膜表面部が形成されて
おり、この多層膜表面部が素子の最外面となっているの
で、軟Ｘ線多層膜分光素子に入射した入射放射光のう
ち、素子の最外面で反射されている全反射軟Ｘ線と多層
膜の積層面で反射されているブラッグ反射軟Ｘ線とは異
なった方向へ出射する。その結果、反射光である全反射
軟Ｘ線とブラッグ反射軟Ｘ線とは重なることがない。従
って本発明の軟Ｘ線多層膜分光素子においては、ノイズ
となる全反射軟Ｘ線が軟Ｘ線検出器に入射することを防
ぐことができるので、分析精度が向上し、高感度の分析
が可能となった。
膜分光素子は、重元素層と軽元素層とが接する積層面に
対して平行にならないように多層膜表面部が形成されて
おり、この多層膜表面部が素子の最外面となっているの
で、軟Ｘ線多層膜分光素子に入射した入射放射光のう
ち、素子の最外面で反射されている全反射軟Ｘ線と多層
膜の積層面で反射されているブラッグ反射軟Ｘ線とは異
なった方向へ出射する。その結果、反射光である全反射
軟Ｘ線とブラッグ反射軟Ｘ線とは重なることがない。従
って本発明の軟Ｘ線多層膜分光素子においては、ノイズ
となる全反射軟Ｘ線が軟Ｘ線検出器に入射することを防
ぐことができるので、分析精度が向上し、高感度の分析
が可能となった。
【００２９】本発明の軟Ｘ線多層膜分光素子において
は、多層膜の表面部が分光素子の最外面となっているの
で、多層膜上に保護膜が形成された従来の軟Ｘ線多層膜
分光素子と比較して、前記保護層による入射放射光の強
度低下および出射光であるブラッグ反射軟Ｘ線の強度低
下も回避できる。従って本発明の軟Ｘ線多層膜分光素子
によればこの点でも分析精度の向上、高感度分析が可能
となった。
は、多層膜の表面部が分光素子の最外面となっているの
で、多層膜上に保護膜が形成された従来の軟Ｘ線多層膜
分光素子と比較して、前記保護層による入射放射光の強
度低下および出射光であるブラッグ反射軟Ｘ線の強度低
下も回避できる。従って本発明の軟Ｘ線多層膜分光素子
によればこの点でも分析精度の向上、高感度分析が可能
となった。
【図１】実施例１の多層膜分光素子を示す断面図
【図２】実施例１で示した多層膜分光素子を用いた光学
系を示す概略図
系を示す概略図
【図３】実施例１の多層膜分光素子により得られたブラ
ッグ反射軟Ｘ線のプロファイルを示すグラフ
ッグ反射軟Ｘ線のプロファイルを示すグラフ
【図４】実施例２の多層膜分光素子を示す断面図
【図５】実施例３の多層膜分光素子を示す断面図
【図６】従来の多層膜分光素子を用いた光学系を示す概
略図
略図
【図７】従来の多層膜分光素子を用いて放射光を分光し
た場合のＸ線のエネルギープロファイルの一例を示すグ
ラフ
た場合のＸ線のエネルギープロファイルの一例を示すグ
ラフ
１ 放射光源 ２ 入射放射光 ３ 多層膜反射鏡 ４ ブラッグ軟Ｘ線 ５ 全反射軟Ｘ線 ６ スリット ７ 出射軟Ｘ線を利用する分析装置 ８ 軟Ｘ線検出器 ９ 検出記入力信号記録部 １０ 軟Ｘ線多層膜分光素子 １１ 基板部 １２ 多層膜 １３ 多層膜表面部 １４ 重元素層 １５ 軽元素層 １８ 多層膜の積層面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 芳一 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 川村 朋晃 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 重元素層と軽元素層とが交互に積層され
たブラッグ回析効果を有する多層膜を備えた軟Ｘ線多層
膜分光素子において、 前記重元素層と軽元素層とが接する積層面に対して平行
でない多層膜の表面部を有し、この表面部によって最外
面が形成されていることを特徴とする軟Ｘ線多層膜分光
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03227498A JP3095031B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 軟ｘ線多層膜分光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03227498A JP3095031B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 軟ｘ線多層膜分光素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0566296A true JPH0566296A (ja) | 1993-03-19 |
| JP3095031B2 JP3095031B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=16861835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03227498A Expired - Lifetime JP3095031B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 軟ｘ線多層膜分光素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3095031B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008197593A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-08-28 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Ｘ線用透過型回折格子、ｘ線タルボ干渉計およびｘ線撮像装置 |
| CN113594269A (zh) * | 2021-08-05 | 2021-11-02 | 成都信息工程大学 | 一种表面承载有组合多层膜的基板、x射线探测器及其制备方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102237843B1 (ko) * | 2018-12-24 | 2021-04-08 | 최고은 | 반려견 휴대용 컵 |
-
1991
- 1991-09-06 JP JP03227498A patent/JP3095031B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008197593A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-08-28 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | Ｘ線用透過型回折格子、ｘ線タルボ干渉計およびｘ線撮像装置 |
| CN113594269A (zh) * | 2021-08-05 | 2021-11-02 | 成都信息工程大学 | 一种表面承载有组合多层膜的基板、x射线探测器及其制备方法 |
| CN113594269B (zh) * | 2021-08-05 | 2023-06-09 | 成都信息工程大学 | 一种表面承载有组合多层膜的基板、x射线探测器及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3095031B2 (ja) | 2000-10-03 |
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