JPH0566090A - 真空炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 冷媒ガスを導入することにより処理品を冷却
する真空炉において、その冷媒ガスを循環させるファン
のモータの軸受に対する給油を容易にしてその寿命を増
大させる。 【構成】 耐圧性のチャンバ１内に処理品を装入して真
空状態で加熱し、該チャンバ１内に冷媒ガスを導入して
該冷媒ガスをファン７の回転により循環させることによ
り該処理品を冷却する真空炉において、該チャンバ１と
連通する耐圧性のモータ室１４内にグリス補給式の軸受
を備えたファンモータ８を設置し、該軸受１５，１５に
はグリスをモータ室１４外から給排油できるように該軸
受１５，１５に継がる給油管１６，１６および排油管１
７，１７をモータ室１４壁をシール部材２２を介して貫
通させてモータ室１４外に配管してなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、冷媒ガスを導入するこ
とにより処理品を冷却する真空炉に関し、さらに詳しく
はその冷媒ガスを循環させるファンのモータの軸受寿命
を増大させる構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】真空炉は一般に耐圧性のチャンバ内に処
理品を装入してチャンバ内の空気を外部に排出し真空状
態にて外処理品を目的の高温度に加熱した後、該チャン
バ内に冷媒ガスとしてＮ₂ ガス等を入れて該冷媒ガスを
チャンバ内のファンの回転により循環させ処理品を急速
冷却できるようにしている。

【０００３】ところで上部ファンを回転させるためのフ
ァンモータは耐圧性のモータ室内に配置されていてその
軸受に外部から潤滑油を給油するのが困難であったの
で、従来からグリス封入型の無給油式ベヤリングを使用
していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし無給油式ベヤリ
ングは給油式に比べ耐久性がよくなく寿命が短かい欠点
があるので給油式の使用が望ましいが、ファンモータは
耐圧性のモータ室内に設けられているので、従来構造で
はそのモータ室壁を取り外して給油を行うほかなく非常
に手数を要すると共に気密シール性の維持に注意を要す
るのでユーザー側のメンテナンスに負担が掛かるという
問題があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の真空炉は上記課
題を解決しようとするもので、耐圧性のチャンバ内に処
理品を装入して真空状態で加熱し、該チャンバ内に冷媒
ガスを導入して該冷媒ガスをファンの回転により循環さ
せることにより該処理品を冷却する真空炉において、該
チャンバと連通する耐圧性のモータ室内にグリス補給式
の軸受を備えたファンモータを設置し、該軸受にはグリ
スをモータ室外から給排油できる手段を設けてなること
を特徴とするものである。

【０００６】また本発明は上記真空炉において、モータ
室の一部に気密に開閉し得るポートを設け、軸受に継が
る給油管および排油管を該ポートに臨ましめてなること
を特徴とするものである。

【０００７】さらに本発明は上記真空炉において、軸受
に継がる給油管および排油管をモータ室壁をシール部材
を介して貫通させてモータ室外に配管してなることを特
徴としたものである。

【０００８】さらに本発明は上記真空炉において、モー
タ室外に配管された給油管の先端に定期的に作動する自
動給油装置を設けてなることを特徴とするものである。

【０００９】

【作用】ファンモータの軸受に対するグリスの給排油が
外部から簡単に行なえるようになりメンテナンスを容易
にすると共に、その寿命を増大させる。

【００１０】

【実施例】次に図と共に本発明の実施例を説明する。図
１にこの真空炉の縦断面図を示し、同図中１は耐圧性の
円筒状殻壁よりなるチャンバ、２は該チャンバ１の前端
開口に気密に閉止し得るように設けられた開閉扉、３は
該チャンバ１内に設けられた断熱壁により区画された処
理室、４は該処理室３内壁面に設けられたヒータ、５は
該処理室３内に設置された処理品、６は該処理室３に隣
接してチャンバ１内奥部に設けられた冷媒ガス冷却用の
熱交換器である。

【００１１】ファン７はこの熱交換器６の背後にファン
モータ８の回転軸９に固着して設けられる。ファンモー
タ８はチャンバ１の後端壁の開口内縁にボルト・ナット
１０によりそのフランジ部１１が固着されている。そし
てチャンバ１の背面にボルト・ナット１２により耐圧性
の有底筒壁１３を固着し、該有底筒壁１３によって形成
されるモータ室１４にファンモータ８を収容している。
なお、該モータ室１４とチャンバ１内とは連通してお
り、チャンバ１内が真空状態となるとモータ室１４内も
同様に減圧する。

【００１２】ファンモータ８は回転軸９がグリス補給式
の軸受１５，１５により軸支されてなるもので、その軸
受１５，１５に上方へ延びる給油管１６，１６および下
方へ延びる排油管１７，１７を継ぐ。

【００１３】そしてモータ室１４の上壁部にポート１８
を開設し、該ポート１８は蓋板１９を被せることにより
気密に開閉し得るようにし、該ポート１８に前記給油管
１６，１６を臨ましめる。また、モータ室１４の下壁部
にポート２０を開設し、該ポート２０にはバルブ２１を
設けて気密に開閉し得るようにし、該ポート２０に前記
排油管１７，１７を臨ましめる。

【００１４】このため蓋板１９を外せばすぐその内側に
給油管１６，１６が開口しているので、注油装置（図示
せず）のノズル端を該給油管１６，１６に合着させるこ
とにより簡単に軸受１５，１５にグリスを補給し得る。

【００１５】また、軸受１５，１５からの排油は排油管
１７，１７を通り排油受容器２８に滴下し溜るのでバル
ブ２１を適宜開くことにより外に排出できる。

【００１６】一方、図２に示した実施例は、ファンモー
タ８の軸受１５，１５に継がる給油管１６，１６および
排油管１７，１７をモータ室１４壁を貫通させて外部に
配管してなるもので、その室壁貫通部分にはシール部材
２２を設けることによりモータ室１４内の気密性を保持
している。そしてこの実施例では給油管１６，１６に給
油ポンプ２３とグリスタンク２４とタイマー２５とより
なる自動給油装置を接続し、該給油ポンプ２３がタイマ
ー２５により例えば１月に１回の割合で作動するように
して、グリスタンク２４のグリスが給油ポンプ２３，給
油管１６，１６を介して軸受１５，１５に定期的に補給
させるようにしている。２６は排油管１７，１７の排油
受容器である。

【００１７】また、図３に示した真空炉は、チャンバ１
の天壁および底壁によりダクト２７を延設し、該ダクト
２７の途中にファン７を設け、該ファン７を回転させる
ファンモータ８をモータ室１４内に設けてなるもので、
このようにファン７をチャンバ１外に設けた真空炉にお
いても、該ファン７の軸受１５，１５の給排油用として
給油管１６，１６，排油管１７，１７を継ぐことにより
メンテナンスが容易になる。

【００１８】

【発明の効果】このように本発明の真空炉は、ファンモ
ータの軸受に対するグリスの給排油が外部から簡単に行
なえるようになりメンテナンスを容易ならしめユーザー
の負担を軽減させると共に軸受の耐久性を向上させる有
益な効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空炉の一実施例を示した縦断面図。

【図２】本発明の真空炉の他の実施例を示した縦断面
図。

【図３】本発明の真空炉のさらに他の実施例を示した縦
断面図。

【符号の説明】

１ チャンバ ７ ファン ８ ファンモータ １４ モータ室 １５，１５ 軸受 １６，１６ 給油管 １７，１７ 排油管 １８ ポート １９ 蓋板 ２０ ポート ２１ バルブ ２２ シール部材 ２３ 給油ポンプ ２４ グリスタンク ２５ タイマー

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 耐圧性のチャンバ内に処理品を装入して
   真空状態で加熱し、該チャンバ内に冷媒ガスを導入して
   該冷媒ガスをファンの回転により循環させることにより
   該処理品を冷却する真空炉において、該チャンバと連通
   する耐圧性のモータ室内にグリス補給式の軸受を備えた
   ファンモータを設置し、該軸受にはグリスをモータ室外
   から給排油できる手段を設けてなることを特徴とした真
   空炉。
2. 【請求項２】 モータ室の一部に気密に開閉し得るポー
   トを設け、軸受に継がる給油管および排油管を該ポート
   に臨ましめてなることを特徴とした請求項１に記載の真
   空炉。
3. 【請求項３】 軸受に継がる給油管および排油管をモー
   タ室壁をシール部材を介して貫通させてモータ室外に配
   管してなることを特徴とする請求項１に記載の真空炉。
4. 【請求項４】 モータ室外に配管された給油管の先端に
   定期的に作動する自動給油装置を設けてなることを特徴
   とした請求項３に記載の真空炉。