JPH0563226A - 粉体シートの製造方法 - Google Patents
粉体シートの製造方法Info
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- JPH0563226A JPH0563226A JP3220380A JP22038091A JPH0563226A JP H0563226 A JPH0563226 A JP H0563226A JP 3220380 A JP3220380 A JP 3220380A JP 22038091 A JP22038091 A JP 22038091A JP H0563226 A JPH0563226 A JP H0563226A
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- particles
- powders
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Laminated Bodies (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シート状の素子の機能面積を大きくする。
【構成】 シート１の片面側に粒子３を固定させるため
の凹部２を互いに所定の間隔を隔てて形成しておき、シ
ート１と同質又は他の材料の粒子３より成る粉体を上記
片面側に散布して各粒子固定部２に分配した後、これら
を加圧・加熱等により接合させる。
の凹部２を互いに所定の間隔を隔てて形成しておき、シ
ート１と同質又は他の材料の粒子３より成る粉体を上記
片面側に散布して各粒子固定部２に分配した後、これら
を加圧・加熱等により接合させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、太陽電池等を構成する
ための機能素子となる粉体シートに関するものである。
ための機能素子となる粉体シートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近来にあっては、種々の技術分野におい
てシート状の機能素子の開発が求められている。例えば
太陽電池においては、従来はｐ型及びｎ型半導体素子と
してシリコンなどのバルク（かたまり）を使用し、これ
を接合させて構成するようになっている。これに対して
シート状の機能素子を積層して太陽電池を構成すれば、
大面積或いは曲面で成る建物外壁等にも設置が容易とな
って、実用的な用途が飛躍的に拡大すると予想される。
この場合の半導体素材としては、エネルギギャップの大
きい金属間化合物半導体であるＩｎＰ，ＩｎＳｂ，Ｇａ
Ａｓ或いはＣｄＳ，ＣｄＴｅなどが考えられる。
てシート状の機能素子の開発が求められている。例えば
太陽電池においては、従来はｐ型及びｎ型半導体素子と
してシリコンなどのバルク（かたまり）を使用し、これ
を接合させて構成するようになっている。これに対して
シート状の機能素子を積層して太陽電池を構成すれば、
大面積或いは曲面で成る建物外壁等にも設置が容易とな
って、実用的な用途が飛躍的に拡大すると予想される。
この場合の半導体素材としては、エネルギギャップの大
きい金属間化合物半導体であるＩｎＰ，ＩｎＳｂ，Ｇａ
Ａｓ或いはＣｄＳ，ＣｄＴｅなどが考えられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなシート状の機能素子においては、限られた平面を使
用するのであるから、これを有効に利用し得る高い機能
を有したものでなければならない。すなわち素子の単位
面積（単位体積）当りの機能面積を大きくとれるものと
することが、実用化への課題であった。
うなシート状の機能素子においては、限られた平面を使
用するのであるから、これを有効に利用し得る高い機能
を有したものでなければならない。すなわち素子の単位
面積（単位体積）当りの機能面積を大きくとれるものと
することが、実用化への課題であった。
【０００４】そこで本発明は、上記課題を解決すべく、
新規なシート状の機能素子としての粉体シートを製造す
る方法を提供すべく創案されたものである。
新規なシート状の機能素子としての粉体シートを製造す
る方法を提供すべく創案されたものである。
【０００５】なお本発明に対比すべき従来技術として
は、「粉体入り積層シートの製造方法及び製造装置」
（特開昭５９−７０５５７号公報）及び「帯電防止効果
を増大させた粉体及び粉体塗布物」（特開平２−３９９
２５号公報）があるが、これらはいずれもシートに粉体
を付着させるとしただけであり、所望する性能及び機能
を得るには不充分であると考えられる。
は、「粉体入り積層シートの製造方法及び製造装置」
（特開昭５９−７０５５７号公報）及び「帯電防止効果
を増大させた粉体及び粉体塗布物」（特開平２−３９９
２５号公報）があるが、これらはいずれもシートに粉体
を付着させるとしただけであり、所望する性能及び機能
を得るには不充分であると考えられる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、シートの片面
側に粒子を固定させるための粒子固定部を互いに所定の
間隔を隔てて形成しておき、シートと同質又は他の材料
の粒子より成る粉体を片面側に散布して各粒子固定部に
分配した後、これらを加圧・加熱等により接合させるも
のである。
側に粒子を固定させるための粒子固定部を互いに所定の
間隔を隔てて形成しておき、シートと同質又は他の材料
の粒子より成る粉体を片面側に散布して各粒子固定部に
分配した後、これらを加圧・加熱等により接合させるも
のである。
【０００７】上記粒子固定部は、シートに凹部を成形す
ることで形成することができる。
ることで形成することができる。
【０００８】上記粒子固定部は、加熱等で消失されるろ
う材等の薄板の表面に凹部を成形し、この薄板等をシー
トの片面に重ねることで形成することができる。
う材等の薄板の表面に凹部を成形し、この薄板等をシー
トの片面に重ねることで形成することができる。
【０００９】上記粒子固定部は、加熱等で消失されるろ
う材等で網を成形し、この網をシートの片面に重ねるこ
とで形成することができる。
う材等で網を成形し、この網をシートの片面に重ねるこ
とで形成することができる。
【００１０】上記粒子固定部は、加熱等で消失される接
着剤をシートの片面に塗布することで形成することがで
きる。
着剤をシートの片面に塗布することで形成することがで
きる。
【００１１】
【作用】上記方法によって、機能シートの片面表面積が
実質的に拡大される。
実質的に拡大される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に従って説
明する。
明する。
【００１３】まず図１乃至図３によって、本発明に係わ
る粉体シートの製造方法の第一の実施例を説明する。最
初に、所定の厚さ及び幅（面積）を有したシート１を用
意し（図１）、これをプレス加工などによって粒子固定
部となる凹部２を所定の等間隔ａで配置されるように形
成する（図２）。この凹部２は、内径が粒子３の径と同
等の規模となる半球状のものとし、またシート１が樹脂
の場合は予め成形済みのものを用いる。このシート１上
に、シート１と同質の粒子３で成る粉体４を適宜な投入
手段５で流し込み、各々の凹部２に一個づつ粒子３を詰
める（図３）。この際に余った粉体は、流れ落として再
利用する。
る粉体シートの製造方法の第一の実施例を説明する。最
初に、所定の厚さ及び幅（面積）を有したシート１を用
意し（図１）、これをプレス加工などによって粒子固定
部となる凹部２を所定の等間隔ａで配置されるように形
成する（図２）。この凹部２は、内径が粒子３の径と同
等の規模となる半球状のものとし、またシート１が樹脂
の場合は予め成形済みのものを用いる。このシート１上
に、シート１と同質の粒子３で成る粉体４を適宜な投入
手段５で流し込み、各々の凹部２に一個づつ粒子３を詰
める（図３）。この際に余った粉体は、流れ落として再
利用する。
【００１４】そしてこの状態で、粉体４とシート１とを
接合し、粉体シートを形成する。接合方法としては、プ
ラズマ焼結法、スポット溶接法、加圧（かしめ）、ロー
付け、超音波接合、拡散接合などが考えられる。プラズ
マ焼結法は、短時間の通電加圧でよいため、表面酸化が
少なく、材料劣化がないという利点がある。またスポッ
ト溶接はガス雰囲気中或いは大気中で行うものとし、大
気中で行うときは、後から酸洗いが必要である。さらに
ロー付けとする場合は、予めシート上にろう材をコーテ
ィングしておけばよい。
接合し、粉体シートを形成する。接合方法としては、プ
ラズマ焼結法、スポット溶接法、加圧（かしめ）、ロー
付け、超音波接合、拡散接合などが考えられる。プラズ
マ焼結法は、短時間の通電加圧でよいため、表面酸化が
少なく、材料劣化がないという利点がある。またスポッ
ト溶接はガス雰囲気中或いは大気中で行うものとし、大
気中で行うときは、後から酸洗いが必要である。さらに
ロー付けとする場合は、予めシート上にろう材をコーテ
ィングしておけばよい。
【００１５】このようにして製造された粉体シートは、
素子単位面積或いは単位体積当りの機能面積が大きくな
り、性能及び効率が大幅に向上する。またその性能向上
の度合いは、粉体４の粒子径及び粒度分布や凹部２の配
置などを変えることにより簡単に調節できるものであ
る。
素子単位面積或いは単位体積当りの機能面積が大きくな
り、性能及び効率が大幅に向上する。またその性能向上
の度合いは、粉体４の粒子径及び粒度分布や凹部２の配
置などを変えることにより簡単に調節できるものであ
る。
【００１６】次に上記第一の実施例を、太陽電池に適用
した場合としてより具体的に説明する。
した場合としてより具体的に説明する。
【００１７】図４に示すように、凹部２を加工したＩｎ
Ｐ製シート１１のロール１２を回転自在に保持し、シー
ト１１の一端側を水平に一定の速度で送り出すようにし
ておく。ロール１２の下流側には、シート１１上にＩｎ
Ｐ粒子１３の粉体１４を散布するためのホッパ１５及び
振動フィーダー１６を設け、シート１１全幅に均一に粉
体１４を層状にフィードする。この位置での粉体層厚
は、粒子径の数倍でよく、この値となるように供給量及
びシート送り速度を調節する。そして振動フィーダー１
６よりも下流側に、送り方向に所定の間隔を隔てて位置
させた一対のユーラスモータ（振動発生機）１７と、そ
の間にスクレーパー１８とを設けて、シート１１上の粒
子１３を均すようにして各凹部２に一個の粒子１３を詰
め込むと共に、シート１１に上下振動を与えることで、
凹部２に入っていない粒子１３を落下させる。スクレー
パー１８とシート１１表面とのクリアランスは、粒子１
３の直径未満とする。この過程で落下した粒子１３は回
収して、ホッパ１５に戻すものとする。そしてさらにユ
ーラスモータ１７の下流側に押えローラ１９を設けて、
シート１１を上下に挟み、凹部２に入った粒子１３を完
全に固定する。
Ｐ製シート１１のロール１２を回転自在に保持し、シー
ト１１の一端側を水平に一定の速度で送り出すようにし
ておく。ロール１２の下流側には、シート１１上にＩｎ
Ｐ粒子１３の粉体１４を散布するためのホッパ１５及び
振動フィーダー１６を設け、シート１１全幅に均一に粉
体１４を層状にフィードする。この位置での粉体層厚
は、粒子径の数倍でよく、この値となるように供給量及
びシート送り速度を調節する。そして振動フィーダー１
６よりも下流側に、送り方向に所定の間隔を隔てて位置
させた一対のユーラスモータ（振動発生機）１７と、そ
の間にスクレーパー１８とを設けて、シート１１上の粒
子１３を均すようにして各凹部２に一個の粒子１３を詰
め込むと共に、シート１１に上下振動を与えることで、
凹部２に入っていない粒子１３を落下させる。スクレー
パー１８とシート１１表面とのクリアランスは、粒子１
３の直径未満とする。この過程で落下した粒子１３は回
収して、ホッパ１５に戻すものとする。そしてさらにユ
ーラスモータ１７の下流側に押えローラ１９を設けて、
シート１１を上下に挟み、凹部２に入った粒子１３を完
全に固定する。
【００１８】このようにして製造した粉体シート２０を
適当な長さに切断し、図５に示すように、Ａｕ−Ｚｎ
（電極）２１を粉体シート２０の下面に接合させる。そ
して図６に示すように、粒子側である上面に順次ＣｄＳ
及びＩｎの薄膜２２，２３を公知の成膜法（ＣＶＰ，Ｐ
ＶＤなど）によって積層し、上下面を電極として負荷２
４を結線することにより、所望の起電力を有する太陽電
池２５が得られる。この太陽電池２５は、太陽光の広い
範囲の入射角に反応し、従来の平板形式の太陽電池に比
べて、大幅に性能・効率が向上されるものである。また
シート状であることで、大面積或いは曲面で成る建物外
壁にも容易に設置でき、きわめて汎用性に富む。
適当な長さに切断し、図５に示すように、Ａｕ−Ｚｎ
（電極）２１を粉体シート２０の下面に接合させる。そ
して図６に示すように、粒子側である上面に順次ＣｄＳ
及びＩｎの薄膜２２，２３を公知の成膜法（ＣＶＰ，Ｐ
ＶＤなど）によって積層し、上下面を電極として負荷２
４を結線することにより、所望の起電力を有する太陽電
池２５が得られる。この太陽電池２５は、太陽光の広い
範囲の入射角に反応し、従来の平板形式の太陽電池に比
べて、大幅に性能・効率が向上されるものである。また
シート状であることで、大面積或いは曲面で成る建物外
壁にも容易に設置でき、きわめて汎用性に富む。
【００１９】またこの他の粉体シート２０の具体的な用
途としては、傾斜機能素子、熱電素子、エネルギー吸収
素子等に有用である。
途としては、傾斜機能素子、熱電素子、エネルギー吸収
素子等に有用である。
【００２０】次に図７乃至図１１により、本発明の第二
の実施例を説明する。
の実施例を説明する。
【００２１】まずろう材或いはナフタリンなどの薄板３
１を用意し、これに所定の間隔で前記第一の実施例と同
様な凹部３２を成形する（図７）。この凹部３２に、例
えばＩｎＰの粒子３３を供給し（図８）、各凹部３２に
嵌め込む（図９）。この薄板３１を粒子３３と同質のシ
ート３４に重ね合わせる（図１０）。この状態で、これ
ら薄板３１及びシート３４をホットプレス機３５にて上
下から加圧し加熱する。これで薄板３１が消失される
（とばされる）と共に、粒子３３はシート３４上にしっ
かりと固定し、所定の間隔ｂで配置された粒子３３を載
置して成る粉体シート３６が得られる（図１１）。
１を用意し、これに所定の間隔で前記第一の実施例と同
様な凹部３２を成形する（図７）。この凹部３２に、例
えばＩｎＰの粒子３３を供給し（図８）、各凹部３２に
嵌め込む（図９）。この薄板３１を粒子３３と同質のシ
ート３４に重ね合わせる（図１０）。この状態で、これ
ら薄板３１及びシート３４をホットプレス機３５にて上
下から加圧し加熱する。これで薄板３１が消失される
（とばされる）と共に、粒子３３はシート３４上にしっ
かりと固定し、所定の間隔ｂで配置された粒子３３を載
置して成る粉体シート３６が得られる（図１１）。
【００２２】この他の作用効果及び用途等は前記第一の
実施例と同様である。なお凹部３２の成形方法として
は、図１２に示すように等間隔の突起３７を有した一対
の型３８，３９を作っておいて、その中に溶けたろう材
或いはナフタリンを注入し、固まった薄板３１を取り出
すようにするか、図１３に示すようにろう材の平滑な薄
板に突起４０をもったヒーター４１を押し付けることで
成形すればよい。また粒子３３付きの薄板３１とシート
３４とを加圧加熱する方法としては、ホットプレスのほ
か、プラズマ焼結法、拡散接合などがある。
実施例と同様である。なお凹部３２の成形方法として
は、図１２に示すように等間隔の突起３７を有した一対
の型３８，３９を作っておいて、その中に溶けたろう材
或いはナフタリンを注入し、固まった薄板３１を取り出
すようにするか、図１３に示すようにろう材の平滑な薄
板に突起４０をもったヒーター４１を押し付けることで
成形すればよい。また粒子３３付きの薄板３１とシート
３４とを加圧加熱する方法としては、ホットプレスのほ
か、プラズマ焼結法、拡散接合などがある。
【００２３】次に図１４乃至図１６により、本発明の第
三の実施例を説明する。
三の実施例を説明する。
【００２４】この実施例では、ろう材或いはナフタリン
製の網５１をシート５２上に載置することで、その網目
５３の位置を粒子固定部とするものである（図１４）。
この網５１を製造するに際しては、例えば前記第二の実
施例で示したヒータ（図１３参照）の突起を針状の長い
ものにして、薄板に貫通させることで所定間隔の網目を
有した網とすればよい。そしてその網目５３に対して、
前記第一の実施例と同様にして一個づつ粒子５４を分配
し、ホットプレス機５５により加圧加熱する。これで網
５１はとばされ、シート５２上には粒子５４だけが残る
（図１６）。このとき粒子５４とシート５２との接合が
不充分であると認められたときには、さらにプラズマ焼
結法などにより接合工程を追加する。これで所望の粉体
シート５６が製造されることになる。この他の作用効果
は、前記第一及び第二の実施例と同様である。
製の網５１をシート５２上に載置することで、その網目
５３の位置を粒子固定部とするものである（図１４）。
この網５１を製造するに際しては、例えば前記第二の実
施例で示したヒータ（図１３参照）の突起を針状の長い
ものにして、薄板に貫通させることで所定間隔の網目を
有した網とすればよい。そしてその網目５３に対して、
前記第一の実施例と同様にして一個づつ粒子５４を分配
し、ホットプレス機５５により加圧加熱する。これで網
５１はとばされ、シート５２上には粒子５４だけが残る
（図１６）。このとき粒子５４とシート５２との接合が
不充分であると認められたときには、さらにプラズマ焼
結法などにより接合工程を追加する。これで所望の粉体
シート５６が製造されることになる。この他の作用効果
は、前記第一及び第二の実施例と同様である。
【００２５】次に図１７及び図１８により、本発明の第
四の実施例を説明する。
四の実施例を説明する。
【００２６】この実施例では、シート６１に粒子固定部
を形成するに際して、シート６１上の粒子接合点となる
位置に接着剤６２を点付けしておくものである（図１
７）。そしてこのシート６１上に粒子６３を単粒子層と
なるより多めに散布し、接着剤６２が乾いたところで、
シート６１を傾けるなどして接着されていない余分な粒
子６３（粉体）を除去する。そしてホットプレス法など
により加圧加熱することで、接着剤６２をとばすと共
に、粒子６３を固定する（図１８）。この接合が不充分
であれば、さらにプラズマ焼結法などで接合工程を加え
る。この他の作用効果は、前記第一及び第二の実施例と
同様である。
を形成するに際して、シート６１上の粒子接合点となる
位置に接着剤６２を点付けしておくものである（図１
７）。そしてこのシート６１上に粒子６３を単粒子層と
なるより多めに散布し、接着剤６２が乾いたところで、
シート６１を傾けるなどして接着されていない余分な粒
子６３（粉体）を除去する。そしてホットプレス法など
により加圧加熱することで、接着剤６２をとばすと共
に、粒子６３を固定する（図１８）。この接合が不充分
であれば、さらにプラズマ焼結法などで接合工程を加え
る。この他の作用効果は、前記第一及び第二の実施例と
同様である。
【００２７】なお以上の実施例では粒子及びシートの素
材としてＩｎＰを示したが、他の金属間化合物半導体で
あるＩｎＳｂ，ＧａＡｓ或いはＣｄＳ，ＣｄＴｅを使用
してもよく、さらに太陽電池以外の分野では、それぞれ
の用途に応じた金属，金属化合物及び樹脂材料などの物
質が選択されるべきものである。
材としてＩｎＰを示したが、他の金属間化合物半導体で
あるＩｎＳｂ，ＧａＡｓ或いはＣｄＳ，ＣｄＴｅを使用
してもよく、さらに太陽電池以外の分野では、それぞれ
の用途に応じた金属，金属化合物及び樹脂材料などの物
質が選択されるべきものである。
【００２８】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００２９】シートの片面側に粒子固定部を所定の間隔
で形成し、同質又は他の材料の粒子の粉体を片面側に散
布して各粒子固定部に分配した後、これらを接合させる
ので、素子単位面積或いは単位体積当りの機能面積が大
きくなり、性能及び効率が大幅に向上する。
で形成し、同質又は他の材料の粒子の粉体を片面側に散
布して各粒子固定部に分配した後、これらを接合させる
ので、素子単位面積或いは単位体積当りの機能面積が大
きくなり、性能及び効率が大幅に向上する。
【図１】本発明に係わる粉体シートの製造方法の第一の
実施例を説明するためのシートを示した側面図である。
実施例を説明するためのシートを示した側面図である。
【図２】図１の次の工程を示した側断面図である。
【図３】図２の次の工程を示した側断面図である。
【図４】図２及び図３の工程を具体的に説明するための
側面図である。
側面図である。
【図５】図４の次の具体的工程を説明するための側断面
図である。
図である。
【図６】図５の次の工程を説明するための側断面図であ
る。
る。
【図７】本発明の第二の実施例の最初の工程を説明する
ための側断面図である。
ための側断面図である。
【図８】図７の次の工程を説明するための側断面図であ
る。
る。
【図９】図８の次の工程を説明するための側断面図であ
る。
る。
【図１０】図９の次の工程を説明するための側断面図で
ある。
ある。
【図１１】図１０の次の工程を説明するための側断面図
である。
である。
【図１２】図７の薄板を製造する方法を説明するための
側断面図である。
側断面図である。
【図１３】図１２の他の製造方法を説明するための側断
面図である。
面図である。
【図１４】本発明の第三の実施例の最初の工程を説明す
るための側断面図である。
るための側断面図である。
【図１５】図１４の次の工程を説明するための側断面図
である。
である。
【図１６】図１５の次の工程を説明するための側断面図
である。
である。
【図１７】本発明の第四の実施例の最初の工程を説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
【図１８】図１７の次の工程を説明するための斜視図で
ある。
ある。
１ シート ２ 凹部（粒子固定部） ３ 粒子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ３２Ｂ 5/16 9/00 Ｚ 7365−4Ｆ
Claims (5)
- 【請求項１】 シートの片面側に粒子を固定させるため
の粒子固定部を互いに所定の間隔を隔てて形成してお
き、上記シートと同質又は他の材料の粒子より成る粉体
を上記片面側に散布して各粒子固定部に分配した後、こ
れらを加圧・加熱等により接合させることを特徴とする
粉体シートの製造方法。 - 【請求項２】 上記粒子固定部が、上記シートに凹部を
成形することで形成される請求項１記載の粉体シートの
製造方法。 - 【請求項３】 上記粒子固定部が、加熱等で消失される
ろう材等の薄板の表面に凹部を成形し、該薄板を上記シ
ートの片面に重ねることで形成される請求項１記載の粉
体シートの製造方法。 - 【請求項４】 上記粒子固定部が、加熱等で消失される
ろう材等で網を成形し、該網を上記シートの片面に重ね
ることで形成される請求項１記載の粉体シートの製造方
法。 - 【請求項５】 上記粒子固定部が、加熱等で消失される
接着剤を上記シートの片面に塗布することで形成される
請求項１記載の粉体シートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3220380A JPH0563226A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 粉体シートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3220380A JPH0563226A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 粉体シートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0563226A true JPH0563226A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=16750217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3220380A Pending JPH0563226A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | 粉体シートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0563226A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008530775A (ja) * | 2005-02-08 | 2008-08-07 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 誘電体を介した金属／半導体接触部を形成する方法 |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP3220380A patent/JPH0563226A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008530775A (ja) * | 2005-02-08 | 2008-08-07 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 誘電体を介した金属／半導体接触部を形成する方法 |
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