JPH0561952U - 集束イオンビーム装置の光学系本体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学顕微鏡を試料室に取付けることにより、
２箇所目以降の修正箇所を大気圧にしないで探す。 【構成】 集束イオンビーム装置の光学系本体におい
て、試料室１０１内に光学顕微鏡１０５の対物レンズ１
０６を設け、真空（４×１０^-6Ｔｏｒｒ以下）に引いた
状態で２箇所目以降の修正箇所をカラーテレビモニター
１０８を見ながら探す。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、集束イオンビーム装置で試料表面の金属配線を接続／切断して修正 する際に光学顕微鏡（ＣＣＤカメラ付）を使用して位置決めする構造に関するも のである。

【０００２】

【従来の技術】

図２は、従来の集束イオンビーム装置における光学系本体部を示す図である。 図２において、２０１は大気圧の状態でＬＳＩペレットの修正箇所を探すための 光学顕微鏡で、１０１は試料室で、試料室１０１内部を真空（４×１０^-6Ｔｏｒ ｒ以下）にして集束したイオンビーム１１０を当て試料１０４の表面を加工する 。

【０００３】 １０２は試料室１０１から試料１０４を出し入れするための扉（以後、試料室 前面扉と呼ぶ）で、１０３は試料１０４を乗せるＸ−Ｙステージで、１０８は光 学顕微鏡（ＣＣＤカメラ付き）２０１で映し出された画像を見るためのカラーテ レビモニターで、１０９はイオン源（液体金属Ｇａイオン）を取り付けてあるイ オン銃部で、１１０はイオン銃１０９から電圧を掛けて出したイオンビームで、 １１２は試料１０４の情報を検出する検出器で、１１３は検出器１１２で検出し た情報を画像にするモニターである。

【０００４】 １１４はヘキサカルボニルタングステン［Ｗ（ＣＯ）₆ ］を詰めて置くタンク で、１１５は一定温度になったヘキサカルボニルタングステン［Ｗ（ＣＯ）₆ ］ をガス状にして試料室１０２内に出すための調整用バルブで、１１６はヘキサカ ルボニルタングステン［Ｗ（ＣＯ）₆ ］をバルブ１１５の開けた時に試料１０４ に近いところで出すためのガス銃で、１１７は光学系本体制御部である。

【０００５】 従来、試料１０４の修正箇所を探す際は、試料室１０１の試料室前面扉１０２ の側面に付いている光学顕微鏡２０１により修正箇所を探しているが、最初の修 正箇所は、試料室前面扉１０２を開けた状態で位置決めをし、試料室前面扉１０ ２を閉めて真空（４×１０^-6Ｔｏｒｒ以下）にして修正作業を行う。

【０００６】 試料１０４の２箇所目以降の修正箇所で離れているところを探す際は、真空（ ４×１０^-6Ｔｏｒｒ以下）に引いていた試料室１０１を大気圧にして試料室前面 扉１０２を一度開けて光学顕微鏡２０１で修正箇所を探してから真空（４×１０^-6 Ｔｏｒｒ以下）を引き直し修正を行っていた。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

集束イオンビーム装置において、２箇所以上の修正箇所が有り、修正箇所が離 れているときには、真空（４×１０^-6Ｔｏｒｒ以下）になっている試料室を大気 圧に戻して２箇所目以降の修正箇所を合わせ、真空を引き直すのに時間（真空か ら大気圧になる時間は約５分、大気圧から真空［４×１０^-6Ｔｏｒｒ以下］にな る時間は約１０分掛かる）が掛かることが問題となっている。

【０００８】 本考案の目的は、作業能率を向上した集束イオンビーム装置の光学系本体を提 供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

前記目的を達成するため、本考案に係る集束イオンビーム装置の光学系本体に おいては、試料室と、光学顕微鏡と、前記試料室内のイオン銃と、荷電粒子検出 器と、ガス銃とを備える集束イオンビーム装置であって、 前記光学顕微鏡の対物レンズに保護カバーを備え、前記光学顕微鏡の対物レン ズを前記試料室内に設けたものである。

【００１０】

【作用】

光学顕微鏡の対物レンズを試料室内に設置し、これにより、試料室内を大気中 に開放することなく、２箇所目以降の修正を行う。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図により説明する。図１は、本考案の一実施例に係 る集束イオンビーム装置光学系本体を示す図である。

【００１２】 図１において、１０１は試料室で、試料室１０１内部を真空（４×１０^-6Ｔｏ ｒｒ以下）にして集束したイオンビーム１１０を当て試料１０４の表面を加工す る。

【００１３】 １０２は試料室１０１から試料１０４を出し入れするための扉（以後、試料室 前面扉と呼ぶ）で、１０３は試料１０４を乗せるＸ−Ｙステージで、１０５は光 学顕微鏡（ＣＣＤカメラ付き）で、試料１０４を真空（４×１０^-6Ｔｏｒｒ以下 ）に引いた試料室１０１の中で加工をする場所を探す。

【００１４】 １０６は光学顕微鏡１０５と一体となっていて伸縮させることができる対物レ ンズで、１０７は光学顕微鏡（ＣＣＤカメラ付き）１０５と一体となって対物レ ンズ１０６を保護するキャップである。

【００１５】 １０８は光学顕微鏡（ＣＣＤカメラ付き）１０５で映し出された画像を見るた めのカラーテレビモニターで、１０９はイオン源（液体金属Ｇａイオン）を取り 付けてあるイオン銃部で、１１１はイオンビーム１１０が試料１０４で反射した 荷電粒子で、１１２は荷電粒子１１１により試料１０４の情報を検出する検出器 である。

【００１６】 １１３は荷電粒子１１１を検出した情報を画像にするモニターで、１１４はヘ キサカルボニルタングステン［Ｗ（ＣＯ）₆ ］を詰めて置くタンクで、１１５は 一定温度になったヘキサカルボニルタングステン［Ｗ（ＣＯ）₆ ］をガス状にし て試料室内に出すための調整用バルブで、１１６はヘキサカルボニルタングステ ン［Ｗ（ＣＯ）₆ ］をバルブ１１５の開けた時に試料１０４に近いところで出す ためのガス銃で、１１７は光学系本体の制御部である。

【００１７】 図１に示すように試料１０４中の離れた箇所を加工する際、最初の修正箇所に ヘキサカルボニルタングステン［Ｗ（ＣＯ）₆ ］をガス状にしてガス銃１１６か ら修正箇所に吹き付けて加工した後、２箇所目以降を加工するには、試料室１０ １内を真空（４×１０^-6Ｔｏｒｒ以下）のままで光学顕微鏡（ＣＣＤカメラ付き ）１０５により次の修正箇所を探し、イオンビーム１１０を試料１０４面に当て 、跳ね返ってきた荷電粒子１１１を検出器１１２でキャッチした情報を信号にし てモニター１１３に加工場所を出して修正箇所にヘキサカルボニルタングステン ［Ｗ（ＣＯ）₆ ］をガス銃１１６から修正箇所に吹き付けて加工する。

【００１８】 なお、試料加工時にはレンズ保護キャップ１０７により光学顕微鏡（ＣＣＤカ メラ付き）１０５の対物レンズ１０６は保護されている。

【００１９】

【考案の効果】

以上説明したように本考案は、試料室に一体にして光学顕微鏡（ＣＣＤカメラ 付き）を取付けたことにより、２箇所以上の修正箇所があるときに真空から大気 圧にする時間（約５分）及び、大気圧から真空（４×１０^-6Ｔｏｒｒ以下）に引 く時間（約１０分）が省けることにより、従来よりも修正に要する時間（１サン プルに対して約１５分）を短くできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す図である。

【図２】従来例を示す図である。

【符号の説明】

１０１ 試料室 １０２ 試料室前面扉 １０３ Ｘ−Ｙステージ １０４ 試料 １０５ 試料室内部と一体の光学顕微鏡（ＣＣＤカメラ
付き） １０６ 伸縮式対物レンズ １０７ レンズ保護キャップ １０８ カラーテレビモニター １０９ イオン銃 １１０ イオンビーム １１１ 荷電粒子 １１２ 検出器 １１３ ディスプレィモニター １１４ Ｗ（ＣＯ）₆ を入れるタンク １１５ バルブ １１６ ガス銃 １１７ 制御部 ２０１ 試料室外部と一体の光学顕微鏡（ＣＣＤカメラ
付き）

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料室と、光学顕微鏡と、前記試料室内
   のイオン銃と、荷電粒子検出器と、ガス銃とを備える集
   束イオンビーム装置であって、 前記光学顕微鏡の対物レンズに保護カバーを備え、前記
   光学顕微鏡の対物レンズを前記試料室内に設けたことを
   特徴とする集束イオンビーム装置の光学系本体。