JPH0560813A - 静電容量測定法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 不特定の漏洩抵抗を有する静電容量の測定に
関する。 【構成】 漏洩抵抗Ｒに対して、並列に同期信号２によ
り駆動されるチョッパー３と並列抵抗Ｒ′を接続し、漏
洩抵抗Ｒが断続的に小さくなるように動作させる。コイ
ルＬの電圧は、特異点を中心として位相が逆転する断続
変化の信号となり、同期検波回路４により直流電圧とし
て取り出し、電圧制御式周波数可変の高周波電源１′に
負帰還させて回路を特異点に固定する。この時の制御電
圧を演算器６に入力し、被測定容量の値を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】不特定の漏洩抵抗を有する静電容
量の測定に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から静電容量の測定においては、漏
洩抵抗が存在する場合には、純粋のコンデンサーとして
の特性が損なわれ、共振の精度即ち測定精度が低下する
欠点があった。従って漏洩抵抗の値が、コンデンサーの
インピーダンスより無視出来る様な高い場合にのみ、実
用性を有していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】漏洩抵抗が静電容量に
与える影響を、極力除く必要がある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、漏洩抵抗の値
が測定値に影響を及ぼし難い様な回路と測定方式を用い
ることによって、問題を解決しようとするものである。

【０００５】

【作用】これを図面によって説明すれば、図１は回路網
の構成の一例であって、被測定容量Ｃ１には漏洩抵抗Ｒ
が存在する。これに対して直列容量Ｃ２とコイルＬと、
連続的に周波数を変化させ得る一定電圧の高周波電源１
が直列に接続される。

【０００６】図３は被測定容量Ｃ１が一定値で、漏洩抵
抗Ｒが変化した場合の、図１の回路に於けるコイルＬの
端子電圧と周波数との関係を示す図であって、特異点Ｐ
においては漏洩抵抗Ｒの値に無関係に周波数とコイル電
圧が一定である。この場合にコイル電圧と電源電圧との
和の電圧も、これと同等の特性を有する。

【０００７】図４は特異点Ｐに関する被測定容量Ｃ１と
周波数の関係を示す図であって、被測定容量Ｃ１の変化
に応じて特異点Ｐの周波数が変化して居ることを示す。
この原理を用いて、特異点Ｐを求めることが出来れば、
漏洩抵抗Ｒがかなり小さい範囲まで、その影響を受けず
に被測定容量Ｃ１の値を求めることができる。

【０００８】

【実施例】図２は特異点Ｐを求めることによる静電容量
測定回路の一例であって、図１に示される漏洩抵抗Ｒに
対して並列に、同期信号２により駆動されるチョッパー
３と並列抵抗Ｒ’が接続され、結局漏洩抵抗が断続的に
小さくなる様に動作する。

【０００９】一方でコイルＬの電圧は、特異点を中心と
して位相が逆転する断続的変化の信号となり、同期検波
回路４によって、直流電圧として取り出され、電圧制御
式周波数可変の高周波電源１’の周波数が特異点Ｐより
も高いか低いかを判別される。この信号を増幅器５によ
り高周波電源１’に負帰還させれば、回路は特異点Ｐに
固定される。この時に制御電圧から演算器６を通じて被
測定容量Ｃ１の値として取り出すことができる。

【００１０】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による回路構成の一例である。

【図２】特異点Ｐを求めることによる静電容量測定回路
の一例である。

【図３】被測定容量が一定値で、漏洩抵抗が変化した場
合の、図１の回路に於けるコイル４の端子電圧と周波数
との関係および特異点Ｐの存在を示す図である。

【図４】特異点Ｐに関する被測定容量１と周波数の関係
を示す図である。

【符号の説明】

１、１’高周波電源 ２ 同期信号 ３ チョッパー ４ 同期検波回路 ５ 増幅器 ６ 演算器 Ｃ１ 被測定容量 Ｃ２ 直列容量 Ｌ コイル Ｒ 漏洩抵抗 Ｒ’ 並列抵抗 Ｐ 特異点

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定静電容量を含むコンデンサー・コ
   イルからなる回路に対し、連続的に変化させ得る電圧一
   定の高周波電圧を加え、コイルの端子電圧が被測定静電
   容量によって変化し、漏洩抵抗の影響を受けない周波数
   を検知することを特徴とする静電容量測定法