JPH0560267A - 漏れのないブツシング - Google Patents
漏れのないブツシングInfo
- Publication number
- JPH0560267A JPH0560267A JP4036141A JP3614192A JPH0560267A JP H0560267 A JPH0560267 A JP H0560267A JP 4036141 A JP4036141 A JP 4036141A JP 3614192 A JP3614192 A JP 3614192A JP H0560267 A JPH0560267 A JP H0560267A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- bushing
- armature body
- transmission member
- armature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流れにより負荷される管路の開閉もしくは閉
鎖状態及び開放状態を保証でき、更に、簡単に使用で
き、安価に製作できしかも負圧システム並びに過圧シス
テムにも適し、更に、流れ媒体の圧力勾配を最小限に減
少できるようにブッシングを改良することにある。 【構成】 フレキシブルなベローと可動なシールエレメ
ントと定置のシール座とを備えた、特に真空弁のアーマ
チュア体を貫通する漏れのないブッシングにおいて、ベ
ローの一端が漏れなしにアーマチュア体に結合されかつ
ベローの他端がベロー軸線に対して角度的な旋回運動を
実施するようになっており、更に、このように形成され
た可動な端部が漏れなしに閉鎖されしかも外側範囲にベ
ローを機械的に変位せしめる手段をかつ内側範囲にベロ
ー軸線に沿って伝達部材を有し、この伝達部材が外側の
機械的な変位を内室内に伝達するようになっている。
鎖状態及び開放状態を保証でき、更に、簡単に使用で
き、安価に製作できしかも負圧システム並びに過圧シス
テムにも適し、更に、流れ媒体の圧力勾配を最小限に減
少できるようにブッシングを改良することにある。 【構成】 フレキシブルなベローと可動なシールエレメ
ントと定置のシール座とを備えた、特に真空弁のアーマ
チュア体を貫通する漏れのないブッシングにおいて、ベ
ローの一端が漏れなしにアーマチュア体に結合されかつ
ベローの他端がベロー軸線に対して角度的な旋回運動を
実施するようになっており、更に、このように形成され
た可動な端部が漏れなしに閉鎖されしかも外側範囲にベ
ローを機械的に変位せしめる手段をかつ内側範囲にベロ
ー軸線に沿って伝達部材を有し、この伝達部材が外側の
機械的な変位を内室内に伝達するようになっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フレキシブルなベロー
と可動なシールエレメントと定置のシール座とを備え
た、特に真空密な弁のアーマチュアの漏れのないブッシ
ングに関する。
と可動なシールエレメントと定置のシール座とを備え
た、特に真空密な弁のアーマチュアの漏れのないブッシ
ングに関する。
【０００２】
【従来の技術】真空技術においては長い間、漏れのない
弁及び回転ブッシングが使用されている。このような弁
は例えば可動な金属ベローを有し、この金属ベローはね
じ装置又は旋回装置をによって軸方向で、可動なシール
エレメントが定置のシール座から持ち上げられるか又は
定置のシール座に圧着されるように、伸長させられる。
弁及び回転ブッシングが使用されている。このような弁
は例えば可動な金属ベローを有し、この金属ベローはね
じ装置又は旋回装置をによって軸方向で、可動なシール
エレメントが定置のシール座から持ち上げられるか又は
定置のシール座に圧着されるように、伸長させられる。
【０００３】この原理による弁は真空技術における以外
に過圧範囲におけるアーマチュアのばあいにも用いられ
る。
に過圧範囲におけるアーマチュアのばあいにも用いられ
る。
【０００４】このアーマチュアのばあい不都合には、製
作費用が比較的嵩みひいてはこれに関連して、真空密で
ないアーマチュアに比して、高価なものとなる。更に別
の欠点は、弁を介して流れる媒体が弁体内部で著しく偏
向されねばならないということにある。これによって流
れ抵抗を一層増大させる渦流が生ずるようになる。
作費用が比較的嵩みひいてはこれに関連して、真空密で
ないアーマチュアに比して、高価なものとなる。更に別
の欠点は、弁を介して流れる媒体が弁体内部で著しく偏
向されねばならないということにある。これによって流
れ抵抗を一層増大させる渦流が生ずるようになる。
【０００５】更に、ベローの角度的な運動を利用した真
空密なブッシングが公知である。このようなブッシング
は一層高額な製作費用を必要とする。それというのも角
度的な運動は少なくとも１つの回転軸線を介して支持さ
れねばならないからである。
空密なブッシングが公知である。このようなブッシング
は一層高額な製作費用を必要とする。それというのも角
度的な運動は少なくとも１つの回転軸線を介して支持さ
れねばならないからである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は冒頭に
述べた形式のブッシングを改良して、流れにより負荷さ
れる管路の開閉もしくは閉鎖状態及び開放状態を保証で
き、更に、簡単に使用でき、安価に製作できしかも負圧
システム並びに過圧システムにも適し、更に、流れ媒体
の圧力勾配を最小限に減少できるようにすることにあ
る。
述べた形式のブッシングを改良して、流れにより負荷さ
れる管路の開閉もしくは閉鎖状態及び開放状態を保証で
き、更に、簡単に使用でき、安価に製作できしかも負圧
システム並びに過圧システムにも適し、更に、流れ媒体
の圧力勾配を最小限に減少できるようにすることにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題は冒頭に述べた
形式のブッシングにおいて、特許請求の範囲請求項１の
特徴部分に記載の本発明の構成によって解決された。
形式のブッシングにおいて、特許請求の範囲請求項１の
特徴部分に記載の本発明の構成によって解決された。
【０００８】
【発明の効果】ベロー材料を適当に選択したばあい、特
に０，５乃至２の範囲でベロー長さ対ベロー直径の比の
弾性率を選択したばあい、弁の迅速な開閉が得られる。
に０，５乃至２の範囲でベロー長さ対ベロー直径の比の
弾性率を選択したばあい、弁の迅速な開閉が得られる。
【０００９】本発明によるブッシングによって、別の支
持又は偏向装置を用いずに、任意の平面内で長さ変化も
しくは角度変化を実施することもできる。通常角度的な
ベロー運動は一平面内で行われる。
持又は偏向装置を用いずに、任意の平面内で長さ変化も
しくは角度変化を実施することもできる。通常角度的な
ベロー運動は一平面内で行われる。
【００１０】更に、例えば任意の位置でロックできるよ
うにするために、可動なベロー端部が垂直平面から変位
させられると特に有利である。
うにするために、可動なベロー端部が垂直平面から変位
させられると特に有利である。
【００１１】ベロー弾性率を適当に選択することによっ
て広い範囲で戻し力もしくは引張り力を自由に選ぶこと
もできる。
て広い範囲で戻し力もしくは引張り力を自由に選ぶこと
もできる。
【００１２】本発明によるブッシングの製作には、２つ
のろう接過程もしくは溶接過程を必要とするに過ぎな
い。一方ではベローの一端はアーマチュア体に気密に取
り付けられかつ他方では自由なベロー端部は例えばプレ
ートにろう接され、このプレートは有利にはベロー軸方
向で伝達ピンを有している。
のろう接過程もしくは溶接過程を必要とするに過ぎな
い。一方ではベローの一端はアーマチュア体に気密に取
り付けられかつ他方では自由なベロー端部は例えばプレ
ートにろう接され、このプレートは有利にはベロー軸方
向で伝達ピンを有している。
【００１３】原則的には自由なベロー端部はアーマチュ
ア体の内側範囲並びに外側範囲に配置することができ
る。アーマチュア体、例えば直線的な管片の外側に配置
したばあい、管内流は伝達部材によって妨げられないか
又はほとんど妨げられない。
ア体の内側範囲並びに外側範囲に配置することができ
る。アーマチュア体、例えば直線的な管片の外側に配置
したばあい、管内流は伝達部材によって妨げられないか
又はほとんど妨げられない。
【００１４】漏れのないブッシングは負圧システム、特
に冷たいもしくは過熱された水蒸気を遮断せねばならな
い吸着システムにおいて特に有利に使用される。この使
用ケースでは流れ抵抗のできるだけわずかな大きな流れ
横断面が必要である。このばあい気密に閉鎖された装置
が使用されるので、高い漏れ防止性が所望される。
に冷たいもしくは過熱された水蒸気を遮断せねばならな
い吸着システムにおいて特に有利に使用される。この使
用ケースでは流れ抵抗のできるだけわずかな大きな流れ
横断面が必要である。このばあい気密に閉鎖された装置
が使用されるので、高い漏れ防止性が所望される。
【００１５】伝達部材は比較的長い行程間隔を介してシ
ールエレメントを確実に操作することができる。これに
よって熱に敏感なシールを熱から防護された装置範囲に
組み込むことができ、他面、ベロー及び操作部材を、こ
れら部材に容易に接近できる過熱される範囲に、設ける
ことができる。
ールエレメントを確実に操作することができる。これに
よって熱に敏感なシールを熱から防護された装置範囲に
組み込むことができ、他面、ベロー及び操作部材を、こ
れら部材に容易に接近できる過熱される範囲に、設ける
ことができる。
【００１６】公知のロック装置の原理を補って伝達部材
の位置を任意の位置で固定することができる。
の位置を任意の位置で固定することができる。
【００１７】このために特に簡単かつ有利にはベローの
弾性作用が利用される。従って例えば、ロック部材を所
定の位置で固定するために、ベローの弾性作用を程度の
差こそあれ軸方向で利用することができる。つまりこの
ばあいベローは角度的に変位させられるばかりでなく、
程度の差こそあれ軸方向でも伸長させられる。
弾性作用が利用される。従って例えば、ロック部材を所
定の位置で固定するために、ベローの弾性作用を程度の
差こそあれ軸方向で利用することができる。つまりこの
ばあいベローは角度的に変位させられるばかりでなく、
程度の差こそあれ軸方向でも伸長させられる。
【００１８】伝達部材は例えば線材片から安価に成形す
ることがきでる。線材がばね弾性的な材料から形成され
るばあいには、これによって閉じられる弁は同時に逆止
弁として作業することもできる。
ることがきでる。線材がばね弾性的な材料から形成され
るばあいには、これによって閉じられる弁は同時に逆止
弁として作業することもできる。
【００１９】特に、吸着反作用及び離脱反作用の原理に
従って作業する吸着装置においては本発明による漏れの
ないブッシングが特に有利に使用される。それというの
もこのばあい作業媒体流は流れ方向で完全に遮断されね
ばならないが、反対方向では弁閉鎖状態でも安全性上の
理由から対抗圧で開放できねばならないからである。
従って作業する吸着装置においては本発明による漏れの
ないブッシングが特に有利に使用される。それというの
もこのばあい作業媒体流は流れ方向で完全に遮断されね
ばならないが、反対方向では弁閉鎖状態でも安全性上の
理由から対抗圧で開放できねばならないからである。
【００２０】つまりこのばあい、流れ方向では完全に密
に閉鎖されねばならないが、反対方向では閉鎖状態でも
いわばばね弾性的な逆止弁として作用する弁を構成する
ことができる。
に閉鎖されねばならないが、反対方向では閉鎖状態でも
いわばばね弾性的な逆止弁として作用する弁を構成する
ことができる。
【００２１】金属ベローは例えば、ポルツハイム在、ウ
ィッツマン ＧｍｂＨ社発行、ポケットブック第４４１
頁で記載されている。これによれば多数の使用分野、材
料基準、弾性特性及び荷重作用が記載されている。
ィッツマン ＧｍｂＨ社発行、ポケットブック第４４１
頁で記載されている。これによれば多数の使用分野、材
料基準、弾性特性及び荷重作用が記載されている。
【００２２】特に高級鋼、黄銅及び青銅から成るベロー
が有利である。更に、高真空技術以外の使用分野のため
にプラスチック又はゴムベローを有利に使用することも
できる。
が有利である。更に、高真空技術以外の使用分野のため
にプラスチック又はゴムベローを有利に使用することも
できる。
【００２３】
【実施例】図１で図示の管形状のアーマチュア体１は容
器の側方部分２内にろう接されている。アーマチュア体
１の右側端部はシール座３として加工されていて、この
シール座内部では可動なシールエレメント４が案内され
ている。
器の側方部分２内にろう接されている。アーマチュア体
１の右側端部はシール座３として加工されていて、この
シール座内部では可動なシールエレメント４が案内され
ている。
【００２４】シールエレメント４はシール５と加圧板６
と案内シリンダ７とから構成されていて、この案内シリ
ンダ７は流れ範囲で孔８を備えている。開放状態ではこ
の孔８を介して媒体が容器からアーマチュア体１内に流
入する。
と案内シリンダ７とから構成されていて、この案内シリ
ンダ７は流れ範囲で孔８を備えている。開放状態ではこ
の孔８を介して媒体が容器からアーマチュア体１内に流
入する。
【００２５】案内シリンダ７とシール５と加圧板６とは
ナット９及びねじピン１０を介して締結されている。カ
ルダン式結合部１１を介してねじピン１０は伝達部材１
２にフレキシブルに結合されている。伝達部材１２はア
イ１３を介して結合される線材片から形成されていて、
伝達部材１２の一端は閉鎖板１４に伝力接続的にかつ真
空密に結合されている。
ナット９及びねじピン１０を介して締結されている。カ
ルダン式結合部１１を介してねじピン１０は伝達部材１
２にフレキシブルに結合されている。伝達部材１２はア
イ１３を介して結合される線材片から形成されていて、
伝達部材１２の一端は閉鎖板１４に伝力接続的にかつ真
空密に結合されている。
【００２６】閉鎖板１４自体はベロー１５の可動な端部
にろう接されている。ベロー１５の第２の端部はろう接
支持リング１６を使用してアーマチュア体１にろう接さ
れている。ベローとは反対の閉鎖板側には操作ノブ１７
が被せ嵌められている。漏れのないブッシングを操作す
るために操作ノブ１７は角度的なベロー運動で手動操作
される。
にろう接されている。ベロー１５の第２の端部はろう接
支持リング１６を使用してアーマチュア体１にろう接さ
れている。ベローとは反対の閉鎖板側には操作ノブ１７
が被せ嵌められている。漏れのないブッシングを操作す
るために操作ノブ１７は角度的なベロー運動で手動操作
される。
【００２７】図２は図１によるブッシングを別の位置で
図示している。右方向への操作ノブ１７の変位に基づき
ベロー特性に応じて伝達部材１２はアーマチュア体内部
で左向きに運動する。このような変位は図１で図示のシ
ールエレメント４に伝達され、これによってシール５は
シール座３に圧着される。図示の弁はこの位置で閉鎖さ
れる。
図示している。右方向への操作ノブ１７の変位に基づき
ベロー特性に応じて伝達部材１２はアーマチュア体内部
で左向きに運動する。このような変位は図１で図示のシ
ールエレメント４に伝達され、これによってシール５は
シール座３に圧着される。図示の弁はこの位置で閉鎖さ
れる。
【００２８】開放するためには操作ノブ１７は左向きに
図１による出発位置に移動させられねばならない。この
出発位置を越えて操作ノブ１７を操作することによって
シールエレメント４は引き続き開放される。
図１による出発位置に移動させられねばならない。この
出発位置を越えて操作ノブ１７を操作することによって
シールエレメント４は引き続き開放される。
【００２９】図３は本発明の別の実施例を図示してい
る。同様に断面図で図示された円筒状の管２０内には管
軸線に対して垂直方向でベロー２１がろう接されてい
る。この実施例ではベロー２１の可動な端部は管２０の
内室内に突入している。
る。同様に断面図で図示された円筒状の管２０内には管
軸線に対して垂直方向でベロー２１がろう接されてい
る。この実施例ではベロー２１の可動な端部は管２０の
内室内に突入している。
【００３０】閉鎖板２２は可動なベロー端部を閉鎖しか
つ角度的な旋回運動をロック薄板２３に伝達する。この
ロック薄板２３はローラ２４を介して管内面に接触して
いる。ベロー２１の角度的な旋回運動においてはローラ
２４は管内面に沿って左向きに移動する。
つ角度的な旋回運動をロック薄板２３に伝達する。この
ロック薄板２３はローラ２４を介して管内面に接触して
いる。ベロー２１の角度的な旋回運動においてはローラ
２４は管内面に沿って左向きに移動する。
【００３１】図３では別の２つのローラ位置Ａ，Ｂを図
示している。管内面には凹所２５又は突起２６が設けら
れている。ローラ２４はベローの弾性力によって凹所２
５内に押し込まれて、固定される。突起２６を越えて転
動する際のローラ２４の持ち上げは程度の差こそあれ軸
方向でのベロー圧縮によって行われる。
示している。管内面には凹所２５又は突起２６が設けら
れている。ローラ２４はベローの弾性力によって凹所２
５内に押し込まれて、固定される。突起２６を越えて転
動する際のローラ２４の持ち上げは程度の差こそあれ軸
方向でのベロー圧縮によって行われる。
【図１】弁体用の漏れのないブッシングの断面図。
【図２】図１のブッシングを変位状態で示した図。
【図３】ロック部材を有する漏れのないブッシングを示
す図。
す図。
１ アーマチュア体 ２ 側方部分 ３ シール座 ４ シールエレメント ５ シール ６ 加圧板 ７ 案内シリンダ ８ 孔 ９ ナット １０ ピン １１ カルダン式結合部 １２ 伝達部材 １３ アイ １４，２２ 閉鎖板 １５，２１ ベロー １６ ろう接支持リング １７ 操作ノブ ２０ 管 ２３ ロック薄板 ２４ ローラ ２５ 凹所 ２６ 突起
Claims (8)
- 【請求項１】 フレキシブルなベロー（１５）を備え
た、特に真空弁のアーマチュア体を貫通する漏れのない
ブッシングにおいて、ベロー（１５）の一端が漏れなし
にアーマチュア体（１）に結合されていてかつベロー
（１５）の他端がベロー軸線に対して角度的な旋回運動
を実施するようになっており、更に、このように形成さ
れた可動な端部が漏れなしに閉鎖されていて、かつ、外
側範囲にベローを機械的に変位せしめる手段をかつ内側
範囲にベロー軸線に沿って伝達部材（１２）を有してい
て、この伝達部材が外側の機械的な変位を内室内に伝達
するようになっていることを特徴とする、漏れのないブ
ッシング。 - 【請求項２】 シールエレメント（４）をシール座
（３）に圧着するために、伝達部材（１２）がシールエ
レメント（４）に作用していることを特徴とする、請求
項１記載のブッシング。 - 【請求項３】 可動なベロー端部がアーマチュア体
（１）の内室内に突入していることを特徴とする、請求
項１又は２記載のブッシング。 - 【請求項４】 可動なベロー端部に、所定の位置で旋回
運動をロックするロック部材（２３，２４）が設けられ
ていることを特徴とする、請求項１から３までのいずれ
か１記載のブッシング。 - 【請求項５】 ロック部材（２３，２４）が圧縮又は引
張り時に軸方向でのベローの弾性作用を利用しているこ
とを特徴とする、請求項４記載のブッシング。 - 【請求項６】 アーマチュア体（１）に取り付けられる
ベロー端部がアーマチュア体（１）に溶接又はろう接さ
れていることを特徴とする、請求項１から５までのいず
れか１記載のブッシング。 - 【請求項７】 伝達部材（１２）がフレキシブルに構成
されていることを特徴とする、請求項１から６までのい
ずれか１記載のブッシング。 - 【請求項８】 ブッシングが吸着装置において使用され
ることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１
記載のブッシング。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4105944.1 | 1991-02-26 | ||
| DE4105944A DE4105944A1 (de) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | Leckagefreie durchfuehrung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560267A true JPH0560267A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=6425878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4036141A Pending JPH0560267A (ja) | 1991-02-26 | 1992-02-24 | 漏れのないブツシング |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5197712A (ja) |
| EP (1) | EP0501145B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0560267A (ja) |
| AT (1) | ATE141393T1 (ja) |
| DE (2) | DE4105944A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4202125A1 (de) * | 1992-01-27 | 1993-07-29 | Bruker Franzen Analytik Gmbh | Einlassventil fuer ein hochvakuum-analysengeraet mit bypass-bepumpung |
| FI117063B (fi) * | 2003-06-06 | 2006-05-31 | Outokumpu Oy | Venttiilin tiiviste |
| US8066256B2 (en) * | 2008-02-01 | 2011-11-29 | Danfoss A/S | Valve actuator assembly |
| US8123196B1 (en) * | 2009-10-07 | 2012-02-28 | Chernoff Larry J | Integrated valve system |
| DK2431638T3 (en) * | 2010-09-15 | 2017-05-08 | General Electric Technology Gmbh | Sealing device and method |
| AU2020283049A1 (en) | 2019-05-31 | 2022-01-27 | Gobi Technologies Inc. | Thermal regulation system |
| US20210310711A1 (en) | 2019-05-31 | 2021-10-07 | Gobi Technologies Inc. | Temperature-controlled sorption system |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1624736A (en) * | 1925-02-03 | 1927-04-12 | Gen Electric | Valve |
| US1972815A (en) * | 1928-10-30 | 1934-09-04 | Us Gauge Co | Automatic control device |
| US2417546A (en) * | 1943-08-31 | 1947-03-18 | Liquidometer Corp | Air gun valve mechanism |
| DE924143C (de) * | 1952-08-17 | 1955-02-28 | Kuehnle Ag | Absperrschieber, insbesondere fuer Wetterkanaele |
| GB907876A (en) * | 1958-12-19 | 1962-10-10 | Phillips & Rabone Ltd | Improvements relating to control means for valves for hand basins |
| US4081222A (en) * | 1976-03-04 | 1978-03-28 | Finnigan Corporation | Combined vacuum baffle and valve for diffusion pump |
| DE4012425A1 (de) * | 1990-04-19 | 1991-10-24 | Schuth Horst | Schwenkantrieb mit integrierter hermetischer abdichtung fuer spindeldurchfuehrungen |
-
1991
- 1991-02-26 DE DE4105944A patent/DE4105944A1/de not_active Withdrawn
-
1992
- 1992-01-25 EP EP92101219A patent/EP0501145B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-25 AT AT92101219T patent/ATE141393T1/de not_active IP Right Cessation
- 1992-01-25 DE DE59206880T patent/DE59206880D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1992-02-13 US US07/834,937 patent/US5197712A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-02-24 JP JP4036141A patent/JPH0560267A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0501145A1 (de) | 1992-09-02 |
| DE59206880D1 (de) | 1996-09-19 |
| DE4105944A1 (de) | 1992-08-27 |
| ATE141393T1 (de) | 1996-08-15 |
| US5197712A (en) | 1993-03-30 |
| EP0501145B1 (de) | 1996-08-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100511547B1 (ko) | 길이조정가능한가스스프링 | |
| US3065950A (en) | Hermetically sealed butterfly poppet valve | |
| US20060192170A1 (en) | Pendulum valve assemblies and seal rings | |
| US20070057214A1 (en) | Valve for essentially gastight closing a flow path | |
| US5618027A (en) | Gate valve | |
| US3771759A (en) | Butterfly valve | |
| US3391901A (en) | High vacuum leak valve | |
| US4911412A (en) | Valves with improved actuators | |
| JPH0560267A (ja) | 漏れのないブツシング | |
| US3857545A (en) | Valve for deep vacuum chambers | |
| US4333631A (en) | Pipe valve assembly with metal valve slide for high vacuum installations | |
| US7458560B2 (en) | Diaphragm valve | |
| JPH03117785A (ja) | ウエアレス形ダイヤフラム弁 | |
| US3195418A (en) | Valve actuating mechanism | |
| US5346172A (en) | Servo valve | |
| JP6154178B2 (ja) | バルブ | |
| JPS6229668B2 (ja) | ||
| US4586538A (en) | Spindle valve for a tube system for liquids | |
| US4085952A (en) | Flexible stem valve | |
| JPH1113927A (ja) | ピボットレバーを使用する運動伝達装置及び該装置を組み込んだバルブ | |
| EP1680614A1 (en) | Valve | |
| US5029809A (en) | Valve-control device and valve having such a control device | |
| TWI712754B (zh) | 具連桿傳動之真空角閥 | |
| US6676108B1 (en) | Control valve | |
| KR200495460Y1 (ko) | 정렬 개폐 이중 피스톤 밸브 |