JPH0559273U - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 耐食性が向上された差圧測定装置を提供する
にある。 【構成】 ハウジングの側面とフランジとが嵌合い組み
立てられる差圧測定装置において、前記ハウジングの側
面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分の重
力方向の最上部と最下部に設けられ該隙間に溜まる水を
滴下させる穴または溝状の水切り部を具備したことを特
徴とする差圧測定装置である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、耐食性の向上された差圧測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図５は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、特開昭 ５９―５６１３７号の第１図に示されている。 図において、ハウジング１の両側にフランジ２、フランジ３が嵌合い組み立て られ溶接等によって固定されており、両フランジ２，３には測定せんとする圧力 Ｐ_Hの高圧流体の導入口５、圧力Ｐ_Lの低圧流体の導入口４が設けられている。ハ ウジング１内に圧力測定室６が形成されており、この圧力測定室６内にセンタダ イアフラム７とシリコンダイアフラム８が設けられている。

【０００３】 センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８はそれぞれ別個に圧力測定室 ６の壁に固定されており、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８の両 者でもって圧力測定室６を２分している。センタダイアフラム７と対向する圧力 測定室６の壁には、バックプレ―ト６Ａ，６Ｂが形成されている。 センタダイアフラム７は周縁部をハウジング１に溶接されている。 シリコンダイアフラム８は全体が単結晶のシリコン基板から形成されている。

【０００４】 シリコン基板の一方の面にボロン等の不純物を選択拡散して４っのストレンゲ ―ジ８０を形成し、他方の面を機械加工、エッチングし、全体が凹形のダイアフ ラムを形成する。４っのストレインゲ―ジ８０は、シリコンダイアフラム８が差 圧ΔＰを受けてたわむ時、２つが引張り、２つが圧縮を受けるようになっており 、これらがホイ―トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧ΔＰの変 化として検出される。 ８１は、ストレインゲ―ジ８０に一端が取付けられたリ―ドである。 ８２は、リ―ド８１の他端が接続されたハ―メチック端子である。

【０００５】 支持体９は、ハ―メチック端子を備えており、支持体９の圧力測定室６側端面 に低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラム８が接着固定されている。 ハウジング１とフランジ２、およびフランジ３との間に、圧力導入室１０，１ １が形成されている。この圧力導入室１０，１１内に隔液ダイアフラム１２，１ ３を設け、この隔液ダイアフラム１２，１３と対向するハウジング１の壁１０Ａ ，１１Ａに隔液ダイアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―トが形成さ れている。

【０００６】 隔液ダイアフラム１２，１３とバックプレ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される 空間と、圧力測定室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。そして、隔 液ダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル等の封入液１０１，１０２が満た され、この封入液が連通孔１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下面 にまで至っている、封入液１０１，１０２はセンタダイアフラム７とシリコンダ イアフラム８とによって２分されているが、その量が、ほぼ均等になるように配 慮されている。

【０００７】 以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１３ に作用する圧力が封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１２に作用する圧力 が封入液１０１によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が歪み 、この歪み量がストレインゲ―ジ８０に因って電気的に取出され、差圧の測定が 行なわれる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、この様な装置においては、図６に示す如く、ハウジング１の側 面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分２１に雨水が入ると表面張力 のために水が流れ落ちず、狭い隙間２１に長時間溜まってしまうため、近傍に孔 食或いは隙間腐食当の腐食を起こしプロセス液或いはハウジング１内の封入液１ ０１，１０２の漏れを起こすという問題がある。 ２２は０リングを示す。 本考案は、この問題点を、解決するものである。 本考案の目的は、耐食性の向上された差圧測定装置を提供するにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するために、本考案は、ハウジングの側面とフランジとが嵌合 い組み立てられる差圧測定装置において、 前記ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分の重力 方向の最上部と最下部に設けられ該隙間に溜まる水を滴下させる穴または溝状の 水切り部を具備したことを特徴とする差圧測定装置を構成したものである。

【００１０】

【作用】

以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作 用する圧力が封入液によってシリコンダイアフラムに伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作用する圧力が封 入液によってシリコンダイアフラムに伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラムが歪み、 この歪み量がストレインゲ―ジに因って電気的に取出され、差圧の測定が行なわ れる。

【００１１】 而して、ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分に 入り込んだ雨水は、嵌合い部分のリング状の隙間部分の重力方向の最上部に設け られた水切り部のために、リング状の溜りとならず，左右にわかれる。 一方、嵌合い部分のリング状の隙間部分の重力方向の最下部に設けられた水切 り部から隙間の水が流れ出る。 以下、実施例に基づき詳細に説明する。

【００１２】

【実施例】

図１は本考案の一実施例の要部構成説明図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である 。 図において、図５と同一記号の構成は同一機能を表わす。 以下、図５と相違部分のみ説明する。 ３１，３２は、嵌合い部分のリング状の隙間部分２１の重力方向の最上部と最 下部に設けられ、隙間に溜まる水を滴下させる穴状の水切り部である。 ２３は、０リング溝である。

【００１３】 以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１３ に作用する圧力が封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１２３に作用する圧 力が封入液１０１２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が歪み 、この歪み量がストレインゲ―ジ８０に因って電気的に取出され、差圧の測定が 行なわれる。

【００１４】 而して、ハウジング１の側面とフランジ２，３との嵌合い部分のリング状の隙 間部分２１に入り込んだ雨水は、嵌合い部分のリング状の隙間部分２１の重力方 向の最上部に設けられた水切り部３１のために、リング状の溜りとならず，左右 にわかれる。 一方、嵌合い部分のリング状の隙間部分２１の重力方向の最下部に設けられた 水切り部３２から、隙間の水が流れ出る。

【００１５】 水が流れ出るか、上下に水切り部３１，３２があっても、表面張力のために左 右に水が溜まるかは、隙間の大きさによる。例えば、ハウジング１の側面の外径 が４０〜８０ｍｍの場合、嵌合いの為に設ける隙間は、０．２〜０．５ｍｍ程度 であれば直径６ｍｍの水切り部３１，３２を設けることにより、隙間部分２１の 雨水は流れでる。

【００１６】 この結果、ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分 に、雨水が長期にわたつて溜まる事がなく、孔食、隙間腐食に対して、耐腐食性 のある差圧測定装置が得られる。 図３は本考案の他の実施例の要部構成説明図、図４は図３のＡ−Ａ断面図であ る。 本実施例においては、 溝状の水切り部４１，４２が設けられたものである。

【００１７】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案は、ハウジングの側面とフランジとが嵌合い組み 立てられる差圧測定装置において、 前記ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分の重力 方向の最上部と最下部に設けられ該隙間に溜まる水を滴下させる穴または溝状の 水切り部を具備したことを特徴とする差圧測定装置を構成した。

【００１８】 この結果、ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分 に、雨水が長期にわたつて溜まる事がなく、孔食、隙間腐食に対して、耐腐食性 のある差圧測定装置が得られる。 従って、本考案によれば、耐食性が向上された差圧測定装置を実現することが 出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】本考案の他の実施例の要部構成説明図である。

【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。

【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

【図６】図５の要部詳細図である。

【符号の説明】

１…ハウジング ２…フランジ ３…フランジ ４…導入口 ５…導入口 ６…圧力測定室 ６Ａ…バックプレ―ト ６Ｂ…バックプレ―ト ７…センタダイアフラム ８…シリコンダイアフラム ９…支持体 １０…圧力導入室 １１…圧力導入室 １０Ａ…バックプレ―ト １１Ａ…バックプレ―ト １２…隔液ダイアフラム １３…隔液ダイアフラム １４…連通孔 １５…連通孔 １６…連通孔 １７…連通孔 ２１…隙間 ２２…０リング ２３…０リング溝 ３１…水切り部 ３２…水切り部 ４１…水切り部 ４２…水切り部 ８０…ストレインゲ―ジ ８１…リ―ド ８２…ハ―メチック端子 １０１…封入液 １０２…封入液

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ハウジングの側面とフランジとが嵌合い組
   み立てられる差圧測定装置において、 前記ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリン
   グ状の隙間部分の重力方向の最上部と最下部に設けられ
   該隙間に溜まる水を滴下させる穴または溝状の水切り部
   を具備したことを特徴とする差圧測定装置。