JPH0559273U - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
- Publication number
- JPH0559273U JPH0559273U JP214292U JP214292U JPH0559273U JP H0559273 U JPH0559273 U JP H0559273U JP 214292 U JP214292 U JP 214292U JP 214292 U JP214292 U JP 214292U JP H0559273 U JPH0559273 U JP H0559273U
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- measuring device
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐食性が向上された差圧測定装置を提供する
にある。 【構成】 ハウジングの側面とフランジとが嵌合い組み
立てられる差圧測定装置において、前記ハウジングの側
面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分の重
力方向の最上部と最下部に設けられ該隙間に溜まる水を
滴下させる穴または溝状の水切り部を具備したことを特
徴とする差圧測定装置である。
にある。 【構成】 ハウジングの側面とフランジとが嵌合い組み
立てられる差圧測定装置において、前記ハウジングの側
面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分の重
力方向の最上部と最下部に設けられ該隙間に溜まる水を
滴下させる穴または溝状の水切り部を具備したことを特
徴とする差圧測定装置である。
Description
【0001】
本考案は、耐食性の向上された差圧測定装置に関するものである。
【0002】
図5は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、特開昭 59―56137号の第1図に示されている。 図において、ハウジング1の両側にフランジ2、フランジ3が嵌合い組み立て られ溶接等によって固定されており、両フランジ2,3には測定せんとする圧力 PHの高圧流体の導入口5、圧力PLの低圧流体の導入口4が設けられている。ハ ウジング1内に圧力測定室6が形成されており、この圧力測定室6内にセンタダ イアフラム7とシリコンダイアフラム8が設けられている。
【0003】 センタダイアフラム7とシリコンダイアフラム8はそれぞれ別個に圧力測定室 6の壁に固定されており、センタダイアフラム7とシリコンダイアフラム8の両 者でもって圧力測定室6を2分している。センタダイアフラム7と対向する圧力 測定室6の壁には、バックプレ―ト6A,6Bが形成されている。 センタダイアフラム7は周縁部をハウジング1に溶接されている。 シリコンダイアフラム8は全体が単結晶のシリコン基板から形成されている。
【0004】 シリコン基板の一方の面にボロン等の不純物を選択拡散して4っのストレンゲ ―ジ80を形成し、他方の面を機械加工、エッチングし、全体が凹形のダイアフ ラムを形成する。4っのストレインゲ―ジ80は、シリコンダイアフラム8が差 圧ΔPを受けてたわむ時、2つが引張り、2つが圧縮を受けるようになっており 、これらがホイ―トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧ΔPの変 化として検出される。 81は、ストレインゲ―ジ80に一端が取付けられたリ―ドである。 82は、リ―ド81の他端が接続されたハ―メチック端子である。
【0005】 支持体9は、ハ―メチック端子を備えており、支持体9の圧力測定室6側端面 に低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラム8が接着固定されている。 ハウジング1とフランジ2、およびフランジ3との間に、圧力導入室10,1 1が形成されている。この圧力導入室10,11内に隔液ダイアフラム12,1 3を設け、この隔液ダイアフラム12,13と対向するハウジング1の壁10A ,11Aに隔液ダイアフラム12,13と類似の形状のバックプレ―トが形成さ れている。
【0006】 隔液ダイアフラム12,13とバックプレ―ト10A,11Aとで形成される 空間と、圧力測定室6は、連通孔14,15を介して導通している。そして、隔 液ダイアフラム12,13間にシリコンオイル等の封入液101,102が満た され、この封入液が連通孔16,17を介してシリコンダイアフラム8の上下面 にまで至っている、封入液101,102はセンタダイアフラム7とシリコンダ イアフラム8とによって2分されているが、その量が、ほぼ均等になるように配 慮されている。
【0007】 以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム13 に作用する圧力が封入液102によってシリコンダイアフラム8に伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム12に作用する圧力 が封入液101によってシリコンダイアフラム8に伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム8が歪み 、この歪み量がストレインゲ―ジ80に因って電気的に取出され、差圧の測定が 行なわれる。
【0008】
しかしながら、この様な装置においては、図6に示す如く、ハウジング1の側 面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分21に雨水が入ると表面張力 のために水が流れ落ちず、狭い隙間21に長時間溜まってしまうため、近傍に孔 食或いは隙間腐食当の腐食を起こしプロセス液或いはハウジング1内の封入液1 01,102の漏れを起こすという問題がある。 22は0リングを示す。 本考案は、この問題点を、解決するものである。 本考案の目的は、耐食性の向上された差圧測定装置を提供するにある。
【0009】
この目的を達成するために、本考案は、ハウジングの側面とフランジとが嵌合 い組み立てられる差圧測定装置において、 前記ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分の重力 方向の最上部と最下部に設けられ該隙間に溜まる水を滴下させる穴または溝状の 水切り部を具備したことを特徴とする差圧測定装置を構成したものである。
【0010】
以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作 用する圧力が封入液によってシリコンダイアフラムに伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作用する圧力が封 入液によってシリコンダイアフラムに伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラムが歪み、 この歪み量がストレインゲ―ジに因って電気的に取出され、差圧の測定が行なわ れる。
【0011】 而して、ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分に 入り込んだ雨水は、嵌合い部分のリング状の隙間部分の重力方向の最上部に設け られた水切り部のために、リング状の溜りとならず,左右にわかれる。 一方、嵌合い部分のリング状の隙間部分の重力方向の最下部に設けられた水切 り部から隙間の水が流れ出る。 以下、実施例に基づき詳細に説明する。
【0012】
図1は本考案の一実施例の要部構成説明図、図2は図1のA−A断面図である 。 図において、図5と同一記号の構成は同一機能を表わす。 以下、図5と相違部分のみ説明する。 31,32は、嵌合い部分のリング状の隙間部分21の重力方向の最上部と最 下部に設けられ、隙間に溜まる水を滴下させる穴状の水切り部である。 23は、0リング溝である。
【0013】 以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム13 に作用する圧力が封入液102によってシリコンダイアフラム8に伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム123に作用する圧 力が封入液1012によってシリコンダイアフラム8に伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム8が歪み 、この歪み量がストレインゲ―ジ80に因って電気的に取出され、差圧の測定が 行なわれる。
【0014】 而して、ハウジング1の側面とフランジ2,3との嵌合い部分のリング状の隙 間部分21に入り込んだ雨水は、嵌合い部分のリング状の隙間部分21の重力方 向の最上部に設けられた水切り部31のために、リング状の溜りとならず,左右 にわかれる。 一方、嵌合い部分のリング状の隙間部分21の重力方向の最下部に設けられた 水切り部32から、隙間の水が流れ出る。
【0015】 水が流れ出るか、上下に水切り部31,32があっても、表面張力のために左 右に水が溜まるかは、隙間の大きさによる。例えば、ハウジング1の側面の外径 が40〜80mmの場合、嵌合いの為に設ける隙間は、0.2〜0.5mm程度 であれば直径6mmの水切り部31,32を設けることにより、隙間部分21の 雨水は流れでる。
【0016】 この結果、ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分 に、雨水が長期にわたつて溜まる事がなく、孔食、隙間腐食に対して、耐腐食性 のある差圧測定装置が得られる。 図3は本考案の他の実施例の要部構成説明図、図4は図3のA−A断面図であ る。 本実施例においては、 溝状の水切り部41,42が設けられたものである。
【0017】
以上説明したように、本考案は、ハウジングの側面とフランジとが嵌合い組み 立てられる差圧測定装置において、 前記ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分の重力 方向の最上部と最下部に設けられ該隙間に溜まる水を滴下させる穴または溝状の 水切り部を具備したことを特徴とする差圧測定装置を構成した。
【0018】 この結果、ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリング状の隙間部分 に、雨水が長期にわたつて溜まる事がなく、孔食、隙間腐食に対して、耐腐食性 のある差圧測定装置が得られる。 従って、本考案によれば、耐食性が向上された差圧測定装置を実現することが 出来る。
【図1】本考案の一実施例の要部構成説明図である。
【図2】図1のA−A断面図である。
【図3】本考案の他の実施例の要部構成説明図である。
【図4】図3のA−A断面図である。
【図5】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【図6】図5の要部詳細図である。
1…ハウジング 2…フランジ 3…フランジ 4…導入口 5…導入口 6…圧力測定室 6A…バックプレ―ト 6B…バックプレ―ト 7…センタダイアフラム 8…シリコンダイアフラム 9…支持体 10…圧力導入室 11…圧力導入室 10A…バックプレ―ト 11A…バックプレ―ト 12…隔液ダイアフラム 13…隔液ダイアフラム 14…連通孔 15…連通孔 16…連通孔 17…連通孔 21…隙間 22…0リング 23…0リング溝 31…水切り部 32…水切り部 41…水切り部 42…水切り部 80…ストレインゲ―ジ 81…リ―ド 82…ハ―メチック端子 101…封入液 102…封入液
Claims (1)
- 【請求項1】ハウジングの側面とフランジとが嵌合い組
み立てられる差圧測定装置において、 前記ハウジングの側面とフランジとの嵌合い部分のリン
グ状の隙間部分の重力方向の最上部と最下部に設けられ
該隙間に溜まる水を滴下させる穴または溝状の水切り部
を具備したことを特徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP214292U JPH0559273U (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP214292U JPH0559273U (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 差圧測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0559273U true JPH0559273U (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=11521098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP214292U Withdrawn JPH0559273U (ja) | 1992-01-24 | 1992-01-24 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0559273U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010085307A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Denso Corp | 圧力センサ |
-
1992
- 1992-01-24 JP JP214292U patent/JPH0559273U/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010085307A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Denso Corp | 圧力センサ |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19960404 |