JPH0559215U - レーザ測長装置 - Google Patents

レーザ測長装置

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JPH0559215U
JPH0559215U JP187692U JP187692U JPH0559215U JP H0559215 U JPH0559215 U JP H0559215U JP 187692 U JP187692 U JP 187692U JP 187692 U JP187692 U JP 187692U JP H0559215 U JPH0559215 U JP H0559215U
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JP
Japan
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laser
interferometer
axis
axis stage
stage
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Withdrawn
Application number
JP187692U
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Inventor
嘉一 加藤
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ステージ全体の重量を軽減し、高速でステージ
を移動させた場合に、位置決めに時間を少なくするとと
もに駆動力の省力化を図る。 【構成】平面ミラー１３をベース１に対し垂直に、平面
ミラー１８をベース１に対し水平に設置する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案はレーザ測長装置、特に、移動ステージの位置の測定に用いることので きるレーザ測長装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のレーザ測長装置について図面を参照して詳細に説明する。図２は、従来 の一例を示す斜視図である。
【０００３】 図２に示すレーザ測長装置は、 ベース１と、 Ｘ軸ステージ２と、 Ｘ軸ステージ２上にＸ軸ステージ２と直角に配置されたＹ軸ステージ３と、 ベース１上に設置されたレーザ発振機10と、 レーザ発振機10が発するレーザ11と、 レーザ11をＸ方向測定用とＹ方向測定用の２方向に分割するビームスプリッタ 12と、 ミラー面をＸ軸方向及びＹ軸方向と平行にしてＹ軸ステージ３上に設置された Ｌ型直角ミラー30と、 Ｌ型直角ミラー30のＹ軸方向と平行なミラー面31（以下Ｙ面31）と向き合い、 ビームスプリッタ12で分割されたＸ方向測定用のレーザ11を受ける第一の干渉計 14と、 第一の干渉計14に取り付けた第一のコーナキューブ16と 第一の干渉計14から戻るレーザ11を受ける第一のレシーバ17と、 Ｌ型直角ミラー30のＸ軸方向と平行なミラー面32（以下Ｘ面32）と向き合い、 ビームスプリッタ12で分割されたＹ方向測定用のレーザ11を受ける第二の干渉計 19と、 第二の干渉計19に取り付けた第二のコーナキューブ20と 第二の干渉計19から戻るレーザ11を受ける第二のレシーバ21と、 を含んで構成される。
【０００４】 Ｘ軸ステージ２とＹ軸ステージ３が移動した場合の、Ｙ軸ステージ３のＸ軸方 向の位置は、第一の干渉計14を通ってＬ型直角ミラー30のＹ面31に正反射したレ ーザ11が、再び第一の干渉計14に戻り、第一のコーナキューブ16で反射したレー ザ11と干渉して第一のレシーバ19に達することによって測定される。また、Ｙ軸 方向の位置は、第二の干渉計19を通ってＬ型直角ミラー30のＸ面32に正反射した レーザ11が、再び第二の干渉計19に戻り、第二のコーナキューブ20で反射したレ ーザ11と干渉して第二のレシーバ21に達することによって測定される。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】
上述した従来のレーザ測長装置は、ステージ上にＬ型直角ミラーを設置するた め、ステージ全体の重量が重くなり、高速でステージを移動させた場合に位置決 めに時間がかかり、また、大きな駆動力が必要となるという欠点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本考案のレーザ測長装置は、 (A) ベースと、 (B) 前記ベース上に設置されたＸ軸ステージと、 (C) 前記Ｘ軸ステージ上に前記Ｘ軸ステージと直角に配置されたＹ軸ステージと 、 (D) 前記ベース上に設置されたレーザ発振機と、 (E) 前記レーザ発振機の発するレーザと、 (F) 前記レーザをＸ方向測定用とＹ方向測定用の２方向に分割するビームスプリ ッタと、 (G) 前記ベース上に垂直に設置されたＹ軸方向と平行な第一の平面ミラーと、 (H) 前記第一の平面ミラーと前記Ｙ軸ステージのＹ軸方向と平行な面との間の位 置で前記Ｙ軸ステージに設置され、ビームスプリッタで分割されたＸ方向測定用 の前記レーザを受ける第一の干渉計と、 (I) 前記第一の干渉計へＸ方向測定用の前記レーザを向けるためのミラーと、 (J) 前記第一の干渉計と向き合い、前記Ｙ軸ステージのＹ軸方向と平行な面に設 置された第一のコーナキューブと、 (K) 前記第一の干渉計から戻る前記レーザを受ける第一のレシーバと、 (L) 前記ベース上に設置されたＸ軸方向と平行な第二の平面ミラーと、 (M) 前記第二の平面ミラーと前記Ｙ軸ステージのＸ軸方向と平行な面との間の位 置で前記Ｘ軸ステージに設置され、ビームスプリッタで分割されたＹ方向測定用 の前記レーザを受ける第二の干渉計と、 (N) 前記第二の干渉計と向き合い、前記Ｙ軸ステージのＸ軸方向と平行な面に設 置された第二のコーナーキューブと、 (O) 前記第二の干渉計から戻る前記レーザを受ける第二のレシーバと、 を含んで構成される。
【０００７】
【実施例】
次に、本考案について図面を参照して詳細に説明する。図１は本考案の一実施 例を示す斜視図である。
【０００８】 図１に示すレーザ測長装置は、 ベース１と、 ベース１上に設置されたＸ軸ステージ２と、 Ｘ軸ステージ２上にＸ軸ステージ２と直角に配置されたＹ軸ステージ３と、 ベース１上に設置されたレーザ発振機10と、 レーザ発振機10の発するレーザ11と、 レーザ11をＸ方向測定用とＹ方向測定用の２方向に分割するビームスプリッタ 12と、 ベース１上に垂直に設置されたＹ軸方向と平行な第一の平面ミラー13と、 第一の平面ミラー13とＹ軸ステージ３のＹ軸方向と平行な面との間の位置でＹ 軸ステージ３に設置され、ビームスプリッタ12で分割されたＸ方向測定用のレー ザ11を受ける第一の干渉計14と、 第一の干渉計14へＸ方向測定用のレーザ11を向けるためのミラー15と、 第一の干渉計14と向き合い、Ｙ軸ステージ３のＹ軸方向と平行な面に設置され た第一のコーナーキューブ16と、 第一の干渉計14から戻るレーザ11を受ける第一のレシーバ17と、 ベース１上に設置されたＸ軸方向と平行な第二の平面ミラー18と、 第二の平面ミラー18とＹ軸ステージ３のＸ軸方向と平行な面との間の位置でＸ 軸ステージ２に設置され、ビームスプリッタ12で分割されたＹ方向測定用のレー ザ11を受ける第二の干渉計19と、 第二の干渉計19と向き合い、Ｙ軸ステージ３のＸ軸方向と平行な面に設置され た第二のコーナーキューブ20と、 第二の干渉計19から戻るレーザ11を受ける第二のレシーバ21と、 とを含んで構成される。
【０００９】 Ｘ軸ステージ２とＹ軸ステージ３が移動した場合、Ｙ軸ステージ３のＸ軸方向 の位置は、第一の干渉計14を通ってＹ軸ステージ３上に設置された第一のコーナ キューブ16で反射したレーザ11と平面ミラー13に正反射したレーザ11が、再び第 一の干渉計14に戻り干渉して、第一のレシーバ17に達することによって測定され る。そして、Ｙ軸方向の位置は、第二の干渉計19を通って第二のコーナキューブ 20で反射したレーザ11と第二の干渉計19を通って第二の平面ミラー18に正反射し たレーザ11が、再び第二の干渉計19に戻り干渉して、第二のレシーバ21に達する ことによって測定される。
【００１０】
【考案の効果】
本考案のレーザ測長装置は、ステージ上にコーナキューブ２個を設置するだけ なので、Ｌ型直角ミラーを設置するときよりもステージ全体の重量が軽減され、 高速でステージを移動させた場合に位置決めの時間が短縮され、また、駆動の省 力化が図れるという効果があ
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の一実施例を示す斜視図である。
【図２】従来の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ ベース ２ Ｘ軸ステージ ３ Ｙ軸ステージ １０ レーザ発振機 １１ レーザ １２ ビームスプリッタ １３ 第一の平面ミラー １４ 第一の干渉計 １５ ミラー １６ 第一のコーナキューブ １７ 第一のレシーバ １８ 第二の平面ミラー １９ 第二の干渉計 ２０ 第二のコーナキューブ ２１ 第二のレシーバ ３０ Ｌ型直角ミラー ３１ Ｙ面 ３２ Ｘ面

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】(A) ベースと、 (B) 前記ベース上に設置されたＸ軸ステージと、 (C) 前記Ｘ軸ステージ上に前記Ｘ軸ステージと直角に配
    置されたＹ軸ステージと、 (D) 前記ベース上に設置されたレーザ発振機と、 (E) 前記レーザ発振機の発するレーザと、 (F) 前記レーザをＸ方向測定用とＹ方向測定用の２方向
    に分割するビームスプリッタと、 (G) 前記ベース上に垂直に設置されたＹ軸方向と平行な
    第一の平面ミラーと、 (H) 前記第一の平面ミラーと前記Ｙ軸ステージのＹ軸方
    向と平行な面との間の位置で前記Ｙ軸ステージに設置さ
    れ、ビームスプリッタで分割されたＸ方向測定用の前記
    レーザを受ける第一の干渉計と、 (I) 前記第一の干渉計へＸ方向測定用の前記レーザを向
    けるためのミラーと、 (J) 前記第一の干渉計と向き合い、前記Ｙ軸ステージの
    Ｙ軸方向と平行な面に設置された第一のコーナキューブ
    と、 (K) 前記第一の干渉計から戻る前記レーザを受ける第一
    のレシーバと、 (L) 前記ベース上に設置されたＸ軸方向と平行な第二の
    平面ミラーと、 (M) 前記第二の平面ミラーと前記Ｙ軸ステージのＸ軸方
    向と平行な面との間の位置で前記Ｘ軸ステージに設置さ
    れ、ビームスプリッタで分割されたＹ方向測定用の前記
    レーザを受ける第二の干渉計と、 (N) 前記第二の干渉計と向き合い、前記Ｙ軸ステージの
    Ｘ軸方向と平行な面に設置された第二のコーナーキュー
    ブと、 (O) 前記第二の干渉計から戻る前記レーザを受ける第二
    のレシーバと、を含むことを特徴とするレーザ測長装
    置。
JP187692U 1992-01-23 1992-01-23 レーザ測長装置 Withdrawn JPH0559215U (ja)

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JP187692U JPH0559215U (ja) 1992-01-23 1992-01-23 レーザ測長装置

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JP187692U JPH0559215U (ja) 1992-01-23 1992-01-23 レーザ測長装置

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JPH0559215U true JPH0559215U (ja) 1993-08-06

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ID=11513765

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JP187692U Withdrawn JPH0559215U (ja) 1992-01-23 1992-01-23 レーザ測長装置

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Date Code Title Description
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19960404