JPH0556858B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、清浄雰囲気内への処理対象物を取
扱う装置に関し、人が清浄雰囲気内に入る必要を
なくして処理対象物を同雰囲気内に搬入して、同
雰囲気の汚染を防止すると同時に、同雰囲気の領
域の小型化を達成する。

〔従来の技術〕

集積回路を製造する領域のように、雰囲気の空
気清浄度が高く保持される領域は、一般にクリー
ンルームと称され、これに出入りする人は、防塵
服を着用する一方、入り口において清浄空気の噴
射を受けて除塵されてから内部に入るようになつ
ている。

そして従来は、かかるクリーンルーム内に、そ
こでの処理対象物、例えばウエハを人が前記のよ
うにして持ち込むことが行われ、又は、同一のク
リーンルーム内や複数のクリーンルーム間で人が
処理対象物を運ぶことが行われた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来例によれば、ク
リーンルーム内に人が入るため、人やその衣類に
付着している塵によつてクリーンルーム内が汚染
され、その結果内部の清浄度が高く維持できない
ため、処理対象物、例えばウエハが汚染されると
いう問題点があり、また人が入る必要があるため
に清浄度を高く維持すべき空間が広く必要であつ
て、そのためクリーンルームの大きさが必要以上
に大きくなるという問題点があつた。このため、
クリーンルームの大型化ばかりか、空気清浄機や
送風機等も大型化することが余儀なくされるとい
う問題点があつた。

この発明は、このような従来例の問題点に着目
してなされたものであり、空気清浄度が高く維持
される空間を可及的に小型化し、且つ当該空間の
空気汚染を防止することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、処理対象物を載置する基台に、基
台との間に閉鎖空間を形成する上蓋を被冠してな
り、内部が清浄な雰囲気に保持される搬送ケース
と、内部が清浄な雰囲気に保持されて、ここに処
理対象物が搬入されるクリーンチヤンバと、クリ
ーンチヤンバに開設され、処理対象物が収納され
た搬送ケースの上蓋の持続的載置により閉鎖され
る開口部と、クリーンチヤンバの開口部に至つて
これを閉鎖し且つこの開口部とクリーンチヤンバ
内部との間で移動して両者間で搬送ケースの基台
を搬送する移動テーブルと、を備えた、清浄雰囲
気内における処理対象物取扱処装置に関する。

〔作用〕

前工程で、搬送ケースの基台に処理対象物を載
置し、この基台に上蓋を被冠して、内部の閉鎖空
間を清浄な雰囲気に保持する。この状態で搬送ケ
ースをクリーンチヤンバの開口部まで搬送する。
この搬送手段は、搬送ケースをロボツトの腕の先
端に掴んで行う等の機械的手段でもよいし、また
人手による搬送であつてもよい。

クリーンチヤンバの開口部は、開口部に位置す
る移動テーブルによつて閉塞されている。この開
口部に搬送ケースを置くと、その上蓋で開口部が
閉鎖され、且つ基台は移動テーブル上に支持され
る。移動テーブルがクリーンチヤンバ内部に移動
すると、処理対象物を載置したままの基台が移動
テーブルに載置された状態でクリーンチヤンバ内
部の所定位置まで移動された後に所定の処理が施
される。この間、クリーンチヤンバの開口部は搬
送ケースの上蓋により閉鎖されているから、内部
の空気清浄度は高く保たれている。

処理済みの処理対象物は基台上に載置された状
態で移動テーブルによりクリーンチヤンバの開口
部に至り、基台が上蓋と組み合わされて、搬送ケ
ース内に収められる。そして移動テーブルが開口
部に至つた段階で、移動テーブルがクリーンチヤ
ンバの開口部を閉鎖するから、クリーンチヤンバ
内部の空気洗浄度も高く維持される。これ以後の
搬送ケースは、適当な搬送手段によつて次の工程
に搬送される。

〔実施例〕

第１図以下はこの発明の一実施例を示す図であ
る。第１，２図においては、装置全体が示されて
おり、１がクリーンチヤンバであつて空気洗浄度
が極端に高く維持されている。即ち、ダクト２か
らの清浄空気がクリーンチヤンバ１に導入され、
クリーンチヤンバ１内の空気はフアン３によつて
排出されていて、クリーンチヤンバ１内は常時高
清浄度に維持される。かかるクリーンチヤンバ１
には、その上面を形成する部分に開口部４が形成
される。第１，２図の状態では、搬送ケース５の
上蓋６が開口部４を閉鎖しており、搬送ケース５
の基台７は、移動テーブル８によつてクリーンチ
ヤンバ１内部に搬入された状態にある。基台７上
には、カセツト９に収納された多数の処理対象物
１０が載置されている。この処理対象物１０は、
この実施例では集積回路を製造するためのウエハ
である。処理対象物１０は、図示の位置において
カセツト９に収納された状態でロボツトアーム１
１により基台７上から取り出されてクリーンチヤ
ンバ１内の載置位置１２まで移動される。このカ
セツト９入り処理対象物１０は、図示しない搬送
手段により個別に取り出されて、処理装置１３に
おいて所定の処理を受けた後に、再度カセツト９
に戻され、その後ロボツトアーム１１により再度
移動テーブル８上の基台７に移動される。

第３図には搬送ケース５が示される。この搬送
ケース５は、前記処理対象物１０のカセツト９が
上面に載置される基台７とこれに被冠する上蓋６
とからなり、基台７の外周に上蓋６の下縁部が外
嵌する構造を有する。この嵌合部にはパツキン１
４が介在されて、内部に閉鎖空間１５が形成され
る。また基台７と上蓋６との嵌合部分では、基台
７に枢着された回動爪１６が、図示しないスプリ
ングにより上蓋６に係合する方向に付勢される。
このため、回動爪１６は解放状態にあつては上蓋
６に係合して、基台７と上蓋６とを結合している
（第５図参照）。なお上蓋６下端部はクリーンチヤ
ンバ１の開口部４と形状及び寸法が同一になつて
いて、搬送ケース５が開口部４に置かれたときに
は上蓋６が開口部４を閉鎖するようになつてい
る。

第４図はクリーンチヤンバ１の開口部４と、搬
送ケース５と、移動テーブル８との関係を示すも
のである。移動テーブル８は、上死点においてク
リーンチヤンバ１の開口部４を閉鎖する形状と寸
法とを持つていて、移動ボツクス１７の上端面を
形成している。移動ボツクス１７の下端には、昇
降装置１８が結合されていて、昇降装置１８によ
つて移動テーブル８が昇降できるようになつてい
る。２１は立設された棒であつて、これに移動テ
ーブル８の上死点を検出するリミツトスイツチ２
２と下死点を検出するリミツトスイツチ２３とが
配設され、各スイツチ２２，２３は昇降装置１８
の駆動源に接続されている。昇降装置１８として
はラツクとピニオンとの組合せによるものやシリ
ンダ装置等を適宜採用することができる。

さらに移動ボツクス１７内にはモータ１９が配
置され、このモータ１９によつて、移動テーブル
８の上側にある板カム２０が回転するようにして
ある。モータ１９及び板カム２０までの伝動機構
を移動ボツクス１７内に収容したから、これらか
ら発生する塵は封じ込められてクリーンチヤンバ
１内に散逸することがない。板カム２０は第５図
に示されるように平面が角を落とした正方形をな
し、これの回転によつて前記回動爪１６をスプリ
ングの付勢に抗して回動させて上蓋６から外すよ
うに、１動作が45度の角度で回転するようにして
ある。

而して、この装置によれば、機械的又は人力に
より搬送ケース５をクリーンチヤンバ１の開口部
４にまで運び（第６図ａ）、この搬送ケース５を
置く（第６図ｂ）。このときには移動テーブル８
は第４図に示す上死点に至つていて、すでにクリ
ーンチヤンバ１の開口部４は閉鎖されている。搬
送ケース５のクリーンチヤンバ１への載置は、同
時に基台７を移動テーブル８上に載置することに
なり、且つ上蓋６でクリーンチヤンバ１の開口部
４を閉鎖することにもなる。

次いで、モータ１９により板カム２０を回転さ
せて、回動爪１６を上蓋６から外して上蓋６と基
台７との係合を解放し、昇降装置１８により移動
テーブル８を下降させる（第６図ｃ）。移動テー
ブル８は下降しても、開口部４は上蓋６により閉
鎖されているためクリーンチヤンバ１内の空気清
浄度は高く保持される。移動テーブル８が下死点
に至ると、リミツトスイツチ２３がこれを検出し
て昇降装置１８を停止させ、以て移動テーブル８
はここで停止する（第６図ｄ）。するとロボツト
アーム１１が伸びて移動テーブル８上のカセツト
９を移動させる（第６図ｅ）。カセツト９には第
７図に略示するように係合突起９ａが形成されて
いて、ロボツトアーム１１の先端１１ａが係合突
起９ａに係合することにより、ロボツトアーム１
１がカセツト９を担持するようにしてある。ロボ
ツトアーム１１により移動されるカセツト９は、
ロボツトアーム１１の屈折により下方に90度回転
されて載置位置１２に載置される（第６図ｆ，
ｇ）。このカセツト９の下方への回転によりカセ
ツト９が前方に倒れて、処理対象物１０をカセツ
ト９から取り出す作業が容易になる。処理装置１
３からはロボツトアームその他の搬送装置が伸び
て、カセツト９から処理対象物１０を個別に取り
出して処理装置１３に搬送し、ここで所定の処理
をした後にカセツト９に戻す。

所定数の処理対象物１０がカセツト９に戻る
と、ロボツトアーム１１によりカセツト９は移動
テーブル８の基台７上に載置され、前記とは逆に
移動されてクリーンチヤンバ１開口部４上の上蓋
６内に収納される。このとき移動テーブル８が上
死点まで上昇してクリーンチヤンバ１の開口部４
を閉鎖すると、リミツトスイツチ２２がこの位置
を検出して昇降装置１８を停止させ、次いでモー
タ１９が板カム２０を回転させて、板カム２０を
回動爪１６から離す。これにより、回動爪１６は
板カム２０から解放されてスプリングの付勢力に
より上蓋６に係合して、基台７と上蓋６とが一体
になるから、処理済みの処理対象物１０は搬送ケ
ース５の閉鎖空間１５内で洗浄に保たれたまま次
工程に搬送される。

かくして、この実施例においては、クリーンチ
ヤンバ１内には、代表的な発塵源である人が入る
ことがないから、クリーンチヤンバ１内の空気精
浄度を高く維持することができるし、人が入るた
めの空間を確保する必要がないからクリーンチヤ
ンバ１を小型化することもできる効果がある。

なお、この実施例においては、移動テーブル８
の移動が上下方向への移動であるが、他の方向へ
の移動であつてもよいし、また搬送ケース５を構
成する上蓋６と基台７の形状は移動テーブル８の
移動方向や処理対象物１０の形状等の条件に対応
して他の形状であつてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明においては、ク
リーンチヤンバ内には、代表的な発塵源である人
が入ることがないから、クリーンチヤンバ内の空
気清浄度を高く維持することができるし、人が入
るための空間を確保する必要がないからクリーン
チヤンバを小型化することもできる効果がある。
従つて、空気清浄度を高く維持する空間がクリー
ンチヤンバと搬送ケースの閉鎖空間のみとなるか
ら、設備費、運転費が低減する効果もある。さら
に、他の工程とクリーンチヤンバとの間は、処理
対象物を搬送ケースの閉鎖空間内に収容した状態
で搬送するから、この搬送は機械によることも可
能になり、従つて搬送の無人化に貢献することも
可能になる。さらにまた、狭くできるクリーンチ
ヤンバのみの空気清浄度を高くすれば足り、この
クリーンチヤンバ以外の、空気精浄度が低い領域
においては清浄空気の層流の必要性がなくなる。
このため、従来のクリーンルームの床面のような
グレーチング又は多孔パネルの二重床構造を必要
としないため、微振動対策が容易である。また取
扱装置の一部にトラブルが生じても他の装置に清
浄度の影響を与えることなく、これの修理、交換
等の対応をすることができる効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第
２図は同側面図、第３図は搬送ケースの縦断面
図、第４図は搬送ケースと移動テーブルとの関係
を示す縦断面図、第５図は搬送ケースと板カムと
の関係を示す底面図、第６図ａ〜ｇは夫々作動工
程を示す説明図、第７図ａ，ｂは夫々ロボツトア
ームとカセツトとの係合工程を示す説明図であ
る。 １……クリーンチヤンバ、４……開口部、５…
…搬送ケース、６……上蓋、７……基台、８……
移動テーブル、９……カセツト、１０……処理対
象物、１２……載置位置、１５……閉鎖空間、１
６……回動爪、１８……昇降装置、２０……板カ
ム。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 処理対象物を載置する基台に、基台との間に
   閉鎖空間を形成する上蓋を被冠してなり、内部が
   清浄な雰囲気に保持される搬送ケースと、内部が
   清浄な雰囲気に保持されて、ここに処理対象物が
   搬入されるクリーンチヤンバと、クリーンチヤン
   バに開設され、処理対象物が収納された搬送ケー
   スの上蓋の持続的載置により閉鎖される開口部
   と、クリーンチヤンバの開口部に至つてこれを閉
   鎖し且つこの開口部とクリーンチヤンバ内部との
   間で移動して両者間で搬送ケースの基台を搬送す
   る移動テーブルと、を備えたことを特徴とする、
   清浄雰囲気内における処理対象物取扱装置。