JPS62104134A - 清浄雰囲気内への処理対象物取扱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、清浄雰囲気内への処理対象物を取扱う装置
に関し、人が清浄雰囲気内に入る必要をなくして処理対
象物を同雰囲気内に搬入して、同雰囲気の汚染を防止す
ると同時に、同雰囲気の領域の小型化を達成する。

（従来の技術〕 集積回路を製造する領域のように、雰囲気の空気清浄度
が高く保持される領域は、一般にクリーンルームと称さ
れ、これに出入りする人は、防塵服を着用する一方、入
り口において清浄空気の噴射を受けて除塵されてから内
部に入るようになっている。

そして従来は、かかるクリーンルーム内に、そこでの処
理対象物、例えばウェハを人が前記のようにして持ち込
むことが行われ、又は、同一のクリーンルーム内や複数
のクリーンルーム間で人が処理対象物を運ぶことが行わ
れた。

〔発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来例によれば、クリーンル
ーム内に人が入るため、人やその衣類に付着している塵
によってクリーンルーム内が汚染され、その結果内部の
清浄度が高（維持できないため、処理対象物、例えばウ
ェハが汚染されるという問題点があり、また人が入る必
要があるために清浄度を高く維持すべき空間が広く必要
であって、そのためクリーンルームの大きさが必要以上
に大きくなるという問題点があった。このため、クリー
ンルームの大型化ばかりか、空気清浄機や送風機等も大
型化することが余儀なくされるという問題点があった。

この発明は、このような従来例の問題点に着目してなさ
れたものであり、空気清浄度が高く維持される空間を可
及的に小型化し、且つ当該空間の空気汚染を防止するこ
とを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、処理対象物を載置する基台に、基台との間
に閉鎖空間を形成する上蓋を被冠してなり、内部が清浄
な雰囲気に保持される搬送ケースと、内部が清浄な雰囲
気に保持されて、ここに処理対象物が搬入されるクリー
ンチャンバと、クリーンチャンバに開設され、搬送ケー
スの上蓋により閉鎖される開口部と、クリーンチャンバ
の開口部に至ってこれを閉鎖し且つこの開口部とクリー
ンチャンバ内部との間で移動して両者間で搬送ケースの
基台を搬送する移動テーブルと、を備えた、清浄雰囲気
内における処理対象物取扱装置に関する。

〔作用〕

前工程で、搬送ケースの基台に処理対象物を載置し、こ
の基台に上蓋を被冠して、内部の閉鎖空間を清浄な雰囲
気に保持する。この状態で搬送ケースをクリーンチャン
バの開口部まで搬送する。

この搬送手段は、搬送ケースをロボットの腕の先端に掴
んで行う等の機械的手段でもよいし、また人手による搬
送であってもよい。

クリーンチャンバの開口部は、開口部に位置する移動テ
ーブルによって閉塞されている。この開口部に搬送ケー
スを置くと、その上蓋で開口部が閉鎖され、且つ基台は
移動テーブル上に支持される。移動テーブルがクリーン
チャンバ内部に移動すると、処理対象物を載置したまま
の基台が移動テーブルに載置された状態でクリーンチャ
ンバ内部の所定位置まで移動された後に所定の処理が施
される。この間、クリーンチャンバの開口部は搬送ケー
スの上蓋により閉鎖されているから、内部の空気清浄度
は高く保たれている。

処理済みの処理対象物は基台上に載置された状態で移動
テーブルによりクリーンチャンバの開口部に至り、基台
が上蓋と組み合わされて、搬送ケース内に収められる。

そして移動テーブルが開口部に至った段階で、移動テー
ブルがクリーンチャンバの開口部を閉鎖するから、クリ
ーンチャンバ内部の空気清浄度も高く維持される。これ
以後の搬送ケースは、適当な搬送手段によって次の工程
に搬送される。

〔実施例〕

第１図以下はこの発明の一実施例を示す図である。第１
，２図においては、装置全体が示されており、ｌがクリ
ーンチャンバであって空気清浄度が極度に高く維持され
ている。即ち、ダクト２がらの清浄空気がクリーンチャ
ンバ１に埋入され、クリーンチャンバｌ内の空気はファ
ン３によって排出されていて、クリーンチャンバ１内は
常時高清浄度に維持される。かかるクリーンチャンバ１
には、その上面を形成する部分に開口部４が形成される
。第１．２図の状態では、搬送ケース５の上Ｍ６が開口
部４を閉鎖しており、搬送ケース５の基台７は、移動テ
ーブル８によってクリーンチャンバｌ内部に搬入された
状態にある。基台７上には、カセット９に収納された多
数の処理対象物１０が載置されている。この処理対象物
１ｏは、この実施例では集積回路を製造するためのウェ
ハである。処理対象物１０は、図示の位置においてカセ
ット９に収納された状態でロボットアーム１１により基
台７上から取り出されてクリーンチャンバ１内の載置位
置１２まで移動される。このカセット９入り処理対象物
１ｏは、図示しない搬送手段により個別に取り出されて
、処理装置１３において所定の処理を受けた後に、再度
カセット９に戻され、その後ロボットアーム１１により
再度移動テーブル８上の基台７に移動される。

第３図には搬送ケース５が示される。この搬送ケース５
は、前記処理対象物１ｏのカセット９が上面に載置され
る基台７とこれに被冠する上蓋６とからなり、基台７の
外周に上蓋６の下縁部が外嵌する構造を有する。この嵌
合部にはパツキン１４が介在されて、内部に閉鎖空間１
５が形成される。また基台７と上Ｍ６との嵌合部分では
、基台７に枢着された回動爪１６が、図示しないスプリ
ングにより上蓋６に係合する方向に付勢される。

このため、回動爪１６は解放状態にあっては上蓋６に係
合して、基台７と上蓋６とを結合している（第５図参照
）。なお上蓋６下端部はクリーンチャンバｌの開口部４
と形状及び寸法が同一になっていて、搬送ケース５が開
口部４に置かれたときには上蓋６が開口部４を閉鎖する
ようになっている。

第４図はクリーンチャンバｌの開口部４と、搬送ケース
５と、移動テーブル８との関係を示すものである。移動
テーブル８は、上死点においてクリーンチャンバｌの開
口部４を閉鎖する形状と寸法とを持っていて、移動ボッ
クス１７の上端面を形成している。移動ボックス１７の
下端には、昇降装置１８が結合されていて、昇降装置１
８によって移動テーブル８が昇降できるようになってい
る。２１は立設された棒であって、これに移動テーブル
８の上死点を検出するリミットスイッチ２２と下死点を
検出するリミットスイッチ２３とが配設され、各スイッ
チ２２．２３は昇降装置１８の駆動源に接続されている
。昇降装置１８としてはラックとビニオンとの組合せに
よるものやシリンダ装置等を適宜採用することができる
。

さらに移動ボックス１７内にはモータ１９が配置され、
このモータ１９によって、移動テーブル８の上側にある
仮カム２０が回転するようにしである。モータ１９及び
仮カム２０までの伝動機構を移動ボックス１７内に収容
したから、これらから発生する塵は封じ込められてクリ
ーンチャンバ１内に散逸することがない。板カム２０は
第５図に示されるように平面が角を落とした正方形をな
し、これの回転によって前記回動爪１６をスプリングの
付勢に抗して回動させて上蓋６から外すように、１動作
が４５度の角度で回転するようにしである。

而して、この装置によれば、機械的又は人力により搬送
ケース５をクリーンチャンバ１の開口部４にまで運び（
第６図（ａ））、この搬送ケース５を置く　（第６図（
ｂ））。このときには移動テーブル８は第４図に示す上
死点に至っていて、すでにクリーンチャンバｌの開口部
４は閉鎖されている。搬送ケース５のクリーンチャンバ
１への載置は、同時に基台７を移動テーブル８上に載置
することになり、且つ上Ｍ６でクリーンチャンバ１の開
口部４を閉鎖することにもなる。

次いで、モータ１９により板カム２０を回転させて、回
動爪１６を上Ｍ６から外して上Ｍ６と基台７との係合を
解放し、昇降装置１８により移動テーブル８を下降させ
る（第６図（Ｃ））。移動テーブル８は下降しても、開
口部４は上蓋６により閉鎖されているためクリーンチャ
ンバ１内の空気清浄度は高く保持される。移動テーブル
８が下死点に至ると、リミットスイッチ２３がこれを検
出して昇降装置１８を停止させ、以て移動テーブル８は
ここで停止する（第６図（ｄ））。するとロボットアー
ム１１が伸びて移動テーブル８上のカセット９を移動さ
せる（第６図（ｅ））。カセット９には第７図に略示す
るように係合突起９ａが形成されていて、ロボットアー
ム１１の先端１１ａが係合突起９ａに係合することによ
り、ロボットアーム１１がカセット９を担持するように
しである。ロボットアーム１１により移動されるカセッ
ト９は、ロボットアーム１１の屈折により下方に９０度
回転されて載置位置１２に載置される（第６図（ｆ）。

（ｇ））。このカセット９の下方への回転によりカセッ
ト９が前方に倒れて、処理対象物１ｏをカセット９から
取り出す作業が容易になる。処理装置１３からはロボッ
トアームその他の搬送装置が伸びて、カセット９から処
理対象物ｌＯを個別に取り出して処理装置１３に搬送し
、ここで所定の処理をした後にカセット９に戻す。

所定数の処理対象物１０がカセット９に戻ると、ロボッ
トアーム１１によりカセット９は移動テーブル８の基台
７上に載置され、前記とは逆に移動されてクリーンチャ
ンバ１開口部４上の上Ｍ６内に収納される。このとき移
動テーブル８が上死点まで上昇してクリーンチャンバ１
の開口部４を閉鎖すると、リミットスイッチ２２がこの
位置を検出して昇降装置１８を停止させ、次いでモータ
１９が仮カム２０を回転させて、板カム２Ｏ−ｔ−回動
爪１６から離す。これにより、回動爪１６は板カム２０
から解放されてスプリングの付勢力により上蓋６に係合
して、基台７と上蓋６とが一体になるから、処理済みの
処理対象物１０は搬送ケース５の閉鎖空間１５内で清浄
に保たれたまま次工程に搬送される。

かくして、この実施例においては、クリーンチャンバ１
内には、代表的な発塵源である人が入ることがないから
、クリーンチャンバ１内の空気清浄度を高く維持するこ
とができるし、人が入るための空間を確保する必要がな
いからクリーンチャンバｌを小型化することもできる効
果がある。

なお、この実施例においては、移動テーブル８の移動が
上下方向への移動であるが、他の方向への移動であって
もよいし、また搬送ケース５を構成する上蓋６と基台７
の形状は移動テーブル８の移動方向や処理対象物１０の
形状等の条件に対応して他の形状であってもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明においては、クリーンチ
ャンバ内には、代表的な発塵源である人が入ることがな
いから、クリーンチャンバ内の空気清浄度を高く維持す
ることができるし、人が入るための空間を確保する必要
がないからクリーンチャンバを小型化することもできる
効果がある。

従って、空気清浄度を高く維持する空間がクリーンチャ
ンバと搬送ケースの閉鎖空間のみとなるから、設備費、
運転費が低減する効果もある。さらに、他の工程とクリ
ーンチャンバとの間は、処理対象物を搬送ケースの閉鎖
空間内に収容した状態で搬送するから、この搬送は機械
によることも可能になり、従って搬送の無人化に貢献す
ることも可能になる。さらにまた、狭くできるクリーン
チャンバのみの空気清浄度を高くすれば足り、このクリ
ーンチャンバ以外の、空気清浄度が低い領域においては
清浄空気の層流の必要性がなくなる。

このため、従来のクリーンルームの床面のようなグレー
チング又は多孔パネルの二重床構造を必要としないため
、微振動対策が容易である。また取扱装置の一部にトラ
ブルが生じても他の装置に清浄度の影響を与えることな
く、これの修理、交換等の対応をすることができる効果
もある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図は同
側面図、第３図は搬送ケースの縦断面図、第４図は搬送
ケースと移動テーブルとの関係を示す縦断面図、第５図
は搬送ケースと仮カムとの関係を示す底面図、第６図（
ａ）〜（ｇｌは夫々作動工程を示す説明図、第７図ｉ８
）、　（ｂ）は夫々ロボットアームとカセットとの保合
工程を示す説明図である。 １・・・クリーンチャンバ、４・・・開口部、５・・・
搬送ケース、６・・・上蓋、７・・・基台、８・・・移
動テーブル、９・・・カセット、１０・・・処理対象物
、１２・・・載置位置、１５・・・閉鎖空間、１６・・
・回動爪、１８・・・昇降装置、２０・・・仮カム

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 処理対象物を載置する基台に、基台との間に閉鎖空間を
   形成する上蓋を被冠してなり、内部が清浄な雰囲気に保
   持される搬送ケースと、内部が清浄な雰囲気に保持され
   て、ここに処理対象物が搬入されるクリーンチャンバと
   、クリーンチャンバに開設され、搬送ケースの上蓋によ
   り閉鎖される開口部と、クリーンチャンバの開口部に至
   ってこれを閉鎖し且つこの開口部とクリーンチャンバ内
   部との間で移動して両者間で搬送ケースの基台を搬送す
   る移動テーブルと、を備えたことを特徴とする、清浄雰
   囲気内における処理対象物取扱装置。