JPH0552719A - ガス試料採取方法及びその装置 - Google Patents
ガス試料採取方法及びその装置Info
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- JPH0552719A JPH0552719A JP24250791A JP24250791A JPH0552719A JP H0552719 A JPH0552719 A JP H0552719A JP 24250791 A JP24250791 A JP 24250791A JP 24250791 A JP24250791 A JP 24250791A JP H0552719 A JPH0552719 A JP H0552719A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 減圧下にあるガスを採取し分析機器へ導入す
ることの出来るガス試料採取方法及びその装置を提供す
ること。 【構成】 ガス試料採取方法は減圧室から複数の管路
とストップ弁を介して真空ポンプを接続し、真空ポンプ
により一つの管路を減圧室よりも更に減圧して該減圧室
内のガスを導入して閉じ込めると共に該一つの管路に不
活性ガスを導入し、過圧状態にしてから該管路を切離
し、ガスサンプリングバルブへガス試料を導入すること
を特徴とする。その方法を実施する装置は、減圧室か
ら真空ポンプの間に配置した複数の管路と、これら複数
の各管路の間に配置された複数のストップ弁と、前記一
つの管路に繋がると共にストップ弁と圧力計と調圧器と
を配置し且つ不活性ガスボンベに繋がる管路に接続した
管路とより成る。
ることの出来るガス試料採取方法及びその装置を提供す
ること。 【構成】 ガス試料採取方法は減圧室から複数の管路
とストップ弁を介して真空ポンプを接続し、真空ポンプ
により一つの管路を減圧室よりも更に減圧して該減圧室
内のガスを導入して閉じ込めると共に該一つの管路に不
活性ガスを導入し、過圧状態にしてから該管路を切離
し、ガスサンプリングバルブへガス試料を導入すること
を特徴とする。その方法を実施する装置は、減圧室か
ら真空ポンプの間に配置した複数の管路と、これら複数
の各管路の間に配置された複数のストップ弁と、前記一
つの管路に繋がると共にストップ弁と圧力計と調圧器と
を配置し且つ不活性ガスボンベに繋がる管路に接続した
管路とより成る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ガスクロマトグラフ
及びガスクロマトグラフ質量分析計等のガス分析装置に
おいて用いられるガス試料採取方法及びその装置に関す
る。
及びガスクロマトグラフ質量分析計等のガス分析装置に
おいて用いられるガス試料採取方法及びその装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ガスクロマトグラフやガスクロマトグラ
フ質量分析計等においてガス試料を導入する手段として
は、一般的にガスタイトシリンジ或いはガスサンプルル
−プを用いるガスサンプリングバルブが用いられる。ガ
スタイトシリンジは微量の試料を直接インジェクション
ポ−トに導入する際に用いられ、ガスサンプリングバル
ブは試料を一定容量で一定圧としてから導入するもので
ある。従って、いずれも常圧又は加圧されたガス試料に
は有効であるが、減圧下のガス試料には適用出来ないも
のであった。
フ質量分析計等においてガス試料を導入する手段として
は、一般的にガスタイトシリンジ或いはガスサンプルル
−プを用いるガスサンプリングバルブが用いられる。ガ
スタイトシリンジは微量の試料を直接インジェクション
ポ−トに導入する際に用いられ、ガスサンプリングバル
ブは試料を一定容量で一定圧としてから導入するもので
ある。従って、いずれも常圧又は加圧されたガス試料に
は有効であるが、減圧下のガス試料には適用出来ないも
のであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】半導体工業分野ではエ
ッチングや蒸着の過程でＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖ
ａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）チャンバ−が用い
られるが、このチャンバ−内は、通常４０〜１００（Ｔ
ｏｒｒ）前後の減圧下で反応ガスを送り操業することが
多い。従って操業下の反応ガス組成或いは反応によって
生成したガス組成をそのまま採取し、ガスクロマトグラ
フに導入して測定することは困難である。一般にガス採
取容器としてはプラスチック製のバッグ或いはガラス製
の容器が用いられるが、これらは真空或いは過圧状態の
ガスには耐え得ない構造になっている。またこれらのバ
ッグや容器は外部から空気等が混入し易い。バッグ式の
容器は袋の外部を押すことにより過圧できるが真空下で
のガス採取は極めて困難である。ガラス製の容器では真
空にはできるが過圧は困難であり一般的にはセプタムを
通してガスタイトシリンジで採取した後ガスクロマトグ
ラフ或いはガスクロマトグラフ質量分析計へ導入しなけ
ればならない。この発明はかかる課題に鑑みてなされた
ものでありその目的とする所は減圧下にあるガスを採取
し分析機器へ導入することの出来るガス試料採取方法及
びその装置を提供することにある。
ッチングや蒸着の過程でＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖ
ａｐｏｕｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）チャンバ−が用い
られるが、このチャンバ−内は、通常４０〜１００（Ｔ
ｏｒｒ）前後の減圧下で反応ガスを送り操業することが
多い。従って操業下の反応ガス組成或いは反応によって
生成したガス組成をそのまま採取し、ガスクロマトグラ
フに導入して測定することは困難である。一般にガス採
取容器としてはプラスチック製のバッグ或いはガラス製
の容器が用いられるが、これらは真空或いは過圧状態の
ガスには耐え得ない構造になっている。またこれらのバ
ッグや容器は外部から空気等が混入し易い。バッグ式の
容器は袋の外部を押すことにより過圧できるが真空下で
のガス採取は極めて困難である。ガラス製の容器では真
空にはできるが過圧は困難であり一般的にはセプタムを
通してガスタイトシリンジで採取した後ガスクロマトグ
ラフ或いはガスクロマトグラフ質量分析計へ導入しなけ
ればならない。この発明はかかる課題に鑑みてなされた
ものでありその目的とする所は減圧下にあるガスを採取
し分析機器へ導入することの出来るガス試料採取方法及
びその装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は上記す
る課題を解決するためにガス試料採取方法が、（１）減
圧室から複数の管路と複数のストップ弁を介して真空ポ
ンプを接続し、該真空ポンプにより一つの管路を減圧室
よりも更に減圧して該減圧室内のガスを導入して閉じ込
めると共に該一つの管路に不活性ガスを導入し、過圧状
態にしてから該管路を切離し、ガスサンプリングバルブ
へガス試料を導入することを特徴とする。また（２）そ
の方法を実施する装置が、減圧室から真空ポンプの間に
配置した複数の管路と、これら複数の各管路の間に配置
された複数のストップ弁と、前記一つの管路に繋がると
共にストップ弁と圧力計と調圧器とを配置し且つ不活性
ガスボンベに繋がる管路を配置した管路とより成り、前
記各管路はストップ弁が接続された状態で切り離すよう
にしたことを特徴とする。
る課題を解決するためにガス試料採取方法が、（１）減
圧室から複数の管路と複数のストップ弁を介して真空ポ
ンプを接続し、該真空ポンプにより一つの管路を減圧室
よりも更に減圧して該減圧室内のガスを導入して閉じ込
めると共に該一つの管路に不活性ガスを導入し、過圧状
態にしてから該管路を切離し、ガスサンプリングバルブ
へガス試料を導入することを特徴とする。また（２）そ
の方法を実施する装置が、減圧室から真空ポンプの間に
配置した複数の管路と、これら複数の各管路の間に配置
された複数のストップ弁と、前記一つの管路に繋がると
共にストップ弁と圧力計と調圧器とを配置し且つ不活性
ガスボンベに繋がる管路を配置した管路とより成り、前
記各管路はストップ弁が接続された状態で切り離すよう
にしたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】ガス試料導入方法及びその装置を上記手段とし
た時の作用について添付図とその符号を使用して説明す
る。 ストップ弁６と４を「開」とした状態で真空ポンプ２
０を作動させ管路５を高真空とする。ストップ弁６を
「閉」としてからストップ弁２を「開」とし、減圧室１
のガス試料の一部を管路５に導入する。ストップ弁２
と４を「閉」とする。ストップ弁８を「開」とし、管
路５の内部を圧力計１０の圧力と同じになるまで不活性
ガスを導入する。そして同じ圧力となった所でストップ
弁８を「閉」とする。管路３とストップ弁４、ストッ
プ弁６と管路７、ストップ弁８と管路９とは同時に切り
離す。そして管路５にストップ弁４と６及び８を取付け
た状態でガスクロマトグラフ或いはガスクロマトグラフ
質量分析計の所まで運ぶ。そして次の操作により試料ガ
スを注入する。ストップ弁４と６及び８を取付けた管
路５をストップ弁６を介して管路１３に接続する。該管
路１３はガスサンプリングバルブ１５へ接続されてい
る。ストップ弁６を「開」とすると、管路５に過圧状
態で収容されている試料ガスはサンプルル−プ１６を介
してサンプル出口へ導かれる。ガスサンプリングバル
ブ１５を回転すれば、サンプルル−プ１６内の試料ガス
はカラムからガスクロマトグラフ等へ入り分析される。
た時の作用について添付図とその符号を使用して説明す
る。 ストップ弁６と４を「開」とした状態で真空ポンプ２
０を作動させ管路５を高真空とする。ストップ弁６を
「閉」としてからストップ弁２を「開」とし、減圧室１
のガス試料の一部を管路５に導入する。ストップ弁２
と４を「閉」とする。ストップ弁８を「開」とし、管
路５の内部を圧力計１０の圧力と同じになるまで不活性
ガスを導入する。そして同じ圧力となった所でストップ
弁８を「閉」とする。管路３とストップ弁４、ストッ
プ弁６と管路７、ストップ弁８と管路９とは同時に切り
離す。そして管路５にストップ弁４と６及び８を取付け
た状態でガスクロマトグラフ或いはガスクロマトグラフ
質量分析計の所まで運ぶ。そして次の操作により試料ガ
スを注入する。ストップ弁４と６及び８を取付けた管
路５をストップ弁６を介して管路１３に接続する。該管
路１３はガスサンプリングバルブ１５へ接続されてい
る。ストップ弁６を「開」とすると、管路５に過圧状
態で収容されている試料ガスはサンプルル−プ１６を介
してサンプル出口へ導かれる。ガスサンプリングバル
ブ１５を回転すれば、サンプルル−プ１６内の試料ガス
はカラムからガスクロマトグラフ等へ入り分析される。
【０００６】
【実施例】以下、この発明の具体的実施例について図面
を参照して説明する。図１はこの発明にかかるガス試料
採取方法及びその装置を、例えば半導体製造装置の減圧
室１に取り付けて実施する場合の配管図である。即ち、
減圧室１からは管路３と５及び７を経て真空ポンプ２０
へ配管されこれら管路の間にはストップ弁２と４及び６
が配置されている。また管路５はＴ字形管路であり、ス
トップ弁８を介して不活性ガスボンベ（図示せず）に繋
がる管路９が接続されている。更に前記管路９には管路
１１が接続されるが、この管路９には圧力計１０が配置
されると共に管路９と管路１１とは調圧器１２を介して
接続される。こうして圧力を調整しつつ前記管路５へ不
活性ガスを導くようにしてある。尚、上記配管において
管路３とストップ弁４、ストップ弁６と管路７、ストッ
プ弁８と管路９とは同時に切り離すように配置してあ
る。
を参照して説明する。図１はこの発明にかかるガス試料
採取方法及びその装置を、例えば半導体製造装置の減圧
室１に取り付けて実施する場合の配管図である。即ち、
減圧室１からは管路３と５及び７を経て真空ポンプ２０
へ配管されこれら管路の間にはストップ弁２と４及び６
が配置されている。また管路５はＴ字形管路であり、ス
トップ弁８を介して不活性ガスボンベ（図示せず）に繋
がる管路９が接続されている。更に前記管路９には管路
１１が接続されるが、この管路９には圧力計１０が配置
されると共に管路９と管路１１とは調圧器１２を介して
接続される。こうして圧力を調整しつつ前記管路５へ不
活性ガスを導くようにしてある。尚、上記配管において
管路３とストップ弁４、ストップ弁６と管路７、ストッ
プ弁８と管路９とは同時に切り離すように配置してあ
る。
【０００７】通常、ガスクロマトグラフやガスクロマト
グラフ質量分析計への試料導入量は１〜５ｍｌ程度であ
る。従ってガス採取容器はあまり大きいと取扱いに不便
となるので、内容積としては数十ｍｌ程度のもので充分
である。上記配管において、管路７はガス採取用のチャ
ンバ−となるので、この内容積は実際に導入するサンプ
ルル−プ容積の２０〜１００倍程度が好ましい。
グラフ質量分析計への試料導入量は１〜５ｍｌ程度であ
る。従ってガス採取容器はあまり大きいと取扱いに不便
となるので、内容積としては数十ｍｌ程度のもので充分
である。上記配管において、管路７はガス採取用のチャ
ンバ−となるので、この内容積は実際に導入するサンプ
ルル−プ容積の２０〜１００倍程度が好ましい。
【０００８】この発明にかかるガス試料採取方法及びそ
の装置を実施するための具体的構成は以上のようである
が、次に図１に示す配管において試料ガスを採取しガス
クロマトグラフ等へ導入する場合の順序は次のとおりで
ある。 ストップ弁６と４を「開」とした状態で真空ポンプ２
０を作動させ、管路５を例えば１０-2Ｔｏｒｒ程度まで
の高真空とする。 ストップ弁６を「閉」としてからストップ弁２を
「開」とし、減圧室１のガス試料の一部を管路５に導入
する。 ストップ弁２と４を「閉」とする。 ストップ弁８を「開」とし、管路５の内部を圧力計１
０の圧力と同じになるまで不活性ガスを導入する。そし
て同じ圧力となった所でストップ弁８を「閉」とする。 管路３とストップ弁４、ストップ弁６と管路７、スト
ップ弁８と管路９とは同時に切り離す。
の装置を実施するための具体的構成は以上のようである
が、次に図１に示す配管において試料ガスを採取しガス
クロマトグラフ等へ導入する場合の順序は次のとおりで
ある。 ストップ弁６と４を「開」とした状態で真空ポンプ２
０を作動させ、管路５を例えば１０-2Ｔｏｒｒ程度まで
の高真空とする。 ストップ弁６を「閉」としてからストップ弁２を
「開」とし、減圧室１のガス試料の一部を管路５に導入
する。 ストップ弁２と４を「閉」とする。 ストップ弁８を「開」とし、管路５の内部を圧力計１
０の圧力と同じになるまで不活性ガスを導入する。そし
て同じ圧力となった所でストップ弁８を「閉」とする。 管路３とストップ弁４、ストップ弁６と管路７、スト
ップ弁８と管路９とは同時に切り離す。
【０００９】上記操作において、管路５にストップ弁４
と６及び８を取付けた状態でガスクロマトグラフ或いは
ガスクロマトグラフ質量分析計の所まで運ぶ。図２は試
料ガスを収容した管路５をガスクロマトグラフ等まで運
びガスサンプリングバルブへ接続した状態の配管図であ
るが、次の操作により試料ガスを注入する。 ストップ弁４と６及び８を取付けた管路５をストップ
弁６を介して管路１３に接続する。該管路１３はガスサ
ンプリングバルブ１５へ接続されている。 ストップ弁６を「開」とすると、管路５に過圧状態で
収容されている試料ガスはサンプルル−プ１６を介して
サンプル出口へ導かれる。 ガスサンプリングバルブ１５を回転すれば、サンプル
ル−プ１６内の試料ガスはカラムからガスクロマトグラ
フ等へ入り分析される。
と６及び８を取付けた状態でガスクロマトグラフ或いは
ガスクロマトグラフ質量分析計の所まで運ぶ。図２は試
料ガスを収容した管路５をガスクロマトグラフ等まで運
びガスサンプリングバルブへ接続した状態の配管図であ
るが、次の操作により試料ガスを注入する。 ストップ弁４と６及び８を取付けた管路５をストップ
弁６を介して管路１３に接続する。該管路１３はガスサ
ンプリングバルブ１５へ接続されている。 ストップ弁６を「開」とすると、管路５に過圧状態で
収容されている試料ガスはサンプルル−プ１６を介して
サンプル出口へ導かれる。 ガスサンプリングバルブ１５を回転すれば、サンプル
ル−プ１６内の試料ガスはカラムからガスクロマトグラ
フ等へ入り分析される。
【００１０】
【発明の効果】この発明にかかるガス試料採取方法及び
その装置は以上詳述したような構成としたので、減圧状
態の試料ガスを精度良く採取することが出来ると共に試
料ガスの一部でも追い出すことなく過圧状態にしてサン
プリングし、ガスクロマトグラフ等へ導入することが出
来る。また試料ガスを採取した容器にも空気等外部のガ
スが混入することは殆どないので正確な試料分析が可能
となる。
その装置は以上詳述したような構成としたので、減圧状
態の試料ガスを精度良く採取することが出来ると共に試
料ガスの一部でも追い出すことなく過圧状態にしてサン
プリングし、ガスクロマトグラフ等へ導入することが出
来る。また試料ガスを採取した容器にも空気等外部のガ
スが混入することは殆どないので正確な試料分析が可能
となる。
【００１１】
【図１】 この発明にかかるガス試料採取方法及びその
装置を、例えば半導体製造装置の減圧室に取り付けた状
態の配管図である。
装置を、例えば半導体製造装置の減圧室に取り付けた状
態の配管図である。
【図２】 試料を収容した管路をガスクロマトグラフ等
まで運びガスサンプリングバルブへ接続した状態の配管
図である。
まで運びガスサンプリングバルブへ接続した状態の配管
図である。
１ 減圧室 ２、４、６、８ ストップ弁 ３、５、７、９、１１、１３ 管路 １０ 圧力計 １２ 調圧器 １５ ガスサンプリングバルブ １６ サンプルル−プ
Claims (2)
- 【請求項１】減圧室から複数の管路と複数のストップ弁
を介して真空ポンプに接続し、該真空ポンプにより一つ
の管路を減圧室よりも更に減圧して前記減圧室内のガス
を導入して閉じ込めると共に該一つの管路に不活性ガス
を導入し、過圧状態にしてから該管路を切離し、ガスサ
ンプリングバルブへガス試料を導入することを特徴とす
るガス試料採取方法。 - 【請求項２】減圧室から真空ポンプの間に配置した複数
の管路と、これら複数の各管路の間に配置された複数の
ストップ弁と、前記一つの管路に繋がると共にストップ
弁と圧力計と調圧器とを配置し且つ不活性ガスボンベに
繋がる管路を配置した管路とより成り、前記各管路はス
トップ弁が接続された状態で切り離すようにしたことを
特徴とするガス試料採取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24250791A JPH0552719A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | ガス試料採取方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24250791A JPH0552719A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | ガス試料採取方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552719A true JPH0552719A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=17090134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24250791A Pending JPH0552719A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | ガス試料採取方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0552719A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277361A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Horiba Ltd | 半導体プロセス排ガスの分析方法および半導体プロセス排ガスの分析システム |
| JP2003057155A (ja) * | 2001-08-14 | 2003-02-26 | Dowa Mining Co Ltd | ガス試料採取装置及び方法 |
| CN108351329A (zh) * | 2015-10-06 | 2018-07-31 | 株式会社Lg化学 | 用于气相色谱分析的气体进样装置及其方法 |
-
1991
- 1991-08-27 JP JP24250791A patent/JPH0552719A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002277361A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-25 | Horiba Ltd | 半導体プロセス排ガスの分析方法および半導体プロセス排ガスの分析システム |
| JP2003057155A (ja) * | 2001-08-14 | 2003-02-26 | Dowa Mining Co Ltd | ガス試料採取装置及び方法 |
| JP4635227B2 (ja) * | 2001-08-14 | 2011-02-23 | Ｄｏｗａサーモテック株式会社 | ガス試料採取装置及び方法 |
| CN108351329A (zh) * | 2015-10-06 | 2018-07-31 | 株式会社Lg化学 | 用于气相色谱分析的气体进样装置及其方法 |
| US10705059B2 (en) | 2015-10-06 | 2020-07-07 | Lg Chem, Ltd. | Gas sample injection device for gas chromatographic analysis, and method thereof |
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