JPH0552638A - 微粉体の竪型精密秤量供給装置 - Google Patents

微粉体の竪型精密秤量供給装置

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JPH0552638A
JPH0552638A JP21355591A JP21355591A JPH0552638A JP H0552638 A JPH0552638 A JP H0552638A JP 21355591 A JP21355591 A JP 21355591A JP 21355591 A JP21355591 A JP 21355591A JP H0552638 A JPH0552638 A JP H0552638A
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JP
Japan
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fine powder
weighing
cup
hopper feeder
motor
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Application number
JP21355591A
Other languages
English (en)
Inventor
Kuniyasu Tomita
国康 富田
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MESUTETSUKU KK
Original Assignee
MESUTETSUKU KK
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Publication date
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  • Weight Measurement For Supplying Or Discharging Of Specified Amounts Of Material (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】秤量精度の経時劣化が生起せず、微粉体の物理
的性質にその秤量の精度等が影響されない、微粉体の竪
型精密秤量供給装置を提供する。 【構成】微粉体Pを貯留しカップ2へ落下供給する昇降
自在なホッパフィーダ1と、計量外の余分な微粉体Pを
進出し受ける進退自在なるシャッタ3と、ホッパフィー
ダ1内部のブリッジや付着した微粉体Pを衝撃により崩
壊や剥離させるノッカ装置20と、微粉体Pの重量を計
測して計測信号S1を出力する計量器4と、計測信号S
1を契機にホッパフィーダ1を昇降動作する昇降モータ
5,ホッパフィーダ1内に設けられた供給モータ17及
びシャッタ3を進退動作するモータ6を制御する制御ユ
ニットγと、微粉体Pとカップ2の合計重量が計量器4
の絶対秤量範囲を超過する場合にカップ2の重量を補正
するカウンタバランス機構25と、計量器4及びカウン
タバランス機構25を搭載する防振台26とを具備す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素材やその他、
化学品,薬品,食品等の微粉体に対して製作・分析・実
験・品質管理等の各種処理を行うのに際して、当該微粉
体を精密秤量して定量供給する竪型の微粉体供給装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の微粉体を扱う竪型供給装
置としては、図6に示すブラシ式精密秤量フィーダ装置
が知られている。図中、Aはブラシ式精密秤量フィーダ
装置、aはモータ、bはホッパ部、cはフィーダ軸、d
は円筒部、eはスクリューブラシ、fは供給落口、gは
定量送りブラシである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】図6に示す、ブラシ式
精密秤量フィーダ装置Aは、ブラシ式精密秤量フィーダ
装置Aの円筒部d下部の供給落口fから、定量送りブラ
シg等に付着した計量外の余分な微粉体が微量とはいえ
落下するので、量目過多を招き精密秤量の不良の原因と
なる。
【0004】また、ブラシ式精密秤量フィーダ装置Aの
実際の使用に際しては、円筒部d下端の供給落口f内に
納まっている定量送りブラシgの精度によりその秤量の
精度が左右されてしまうので、定量送りブラシgが微粉
体や円筒部d内面との摩擦等の原因により摩耗すると、
途端に精度が落ちてしまう。
【0005】そして、供給される微粉体自身の物理的性
質において、貯留重量を受けて結塊し易かったり、吸湿
性が大きかったり、帯電性が大きかったりすると、内部
でブリッジ(架橋)現象を起生したり、空気中の水分や
微粉体自身に生起する静電気に影響されて、ホッパ部b
内部に付着する量が多くなったりして、投入した量に対
し秤量されて出てくる量が少なくなって、量目不足と言
う計量上の問題を生じる場合があった。
【0006】こゝにおいて、本発明は、前記の諸課題を
解決するためになされたもので、秤量精度の経時劣化が
生起せず、微粉体の物理的性質にその秤量の精度等が影
響されない、微粉体の竪型精密秤量供給装置を提供せん
とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記課題の解決は、本発
明が次の新規な特徴的構成手段を採用することにより達
成される。即ち、本発明の第1の特徴は、微粉体を精密
に定量秤量する竪型の微粉体供給装置において、当該微
粉体を貯留し漸次カップへ落下供給する昇降自在なホッ
パフィーダと、当該カップの直上に臨んで計量外の余分
な微粉体を閉鎖し受ける開閉自在なシャッタと、前記ホ
ッパフィーダの内部のブリッジや付着した前記微粉体を
衝撃により崩壊や剥離させるノッカ装置と、前記カップ
内に落下収容し計量された前記微粉体の重量を計測して
計測信号を出力する計量器と、当該計量器を搭載する防
振台と、前記計量器からの計測信号により前記ホッパフ
ィーダを昇降動作する昇降モータ,ホッパフィーダ内に
設けられた供給モータ及び前記シャッタを進退動作する
進退モータを制御する制御ユニットとを具備してなる微
粉体の竪型精密秤量供給装置である。
【0008】本発明の第2の特徴は、前記第1の特徴に
おけるカップが、防振台に搭載されかつ計量する微粉体
と当該カップの合計重量が計量器の絶対秤量範囲を超過
する場合に当該カップの重量を補正するカウンタバラン
ス機構先端に支持されてなる微粉体の竪形精密秤量供給
装置である。
【0009】
【作用】本発明は、前記のような手段を講じるので、微
粉体がホッパフィーダ内部にブリッジを起生したり付着
しても、ノッカ装置の衝撃によりホッパフィーダ内面か
ら微粉体を崩壊したり剥離させて投入量に対する秤量の
正確さを保つことができ、シャッタによる微粉体の不慮
の落下防止で秤量不良を防止することができる。カウン
タバランス機構によりカップ自体の重量を秤量上調整出
来るので計量精度が高い。
【0010】
【実施例】本発明の実施例を図面につき説明する。図1
は本実施例を側面からみた全体システム構成図、図2は
本実施例において微粉体をその下方に配置したカップへ
定量供給するホッパフィーダの拡大断面図、図3は本実
施例においてホッパフィーダ内部に起生したブリッジや
付着した微粉体を衝撃により剥離させるノッカ装置の拡
大側面図、図4は当該ノッカ装置の拡大平面図、図5は
本実施例において計量器の絶対秤量範囲の制限のために
カップの重量を補正するカウンタバランス機構の説明図
である。
【0011】図中、αは本実施例の竪型精密秤量装置、
βは装置本体、γは制御ユニット、δはマイクロコンピ
ュータ、Pは微粉体、1は微粉体Pを供給する昇降自在
なホッパフィーダ、2はホッパフィーダ1から秤量され
て供給される微粉体Pを納めるカップ、3はカップ2直
上に臨みホッパフィーダ1から秤量外の微粉体Pが落下
して秤量不良の原因となるのを防ぐシャッタ、4は電子
計量器、5,6は電子計量器4からの計測信号S1を受
けた制御ユニットγによりホルダー7で保持されたホッ
パフィーダ1を昇降機構8に沿って昇降動する5相ステ
ッピング昇降モータ及びホルダー9内外にシャッタ3を
出没進退動する進退モータである。
【0012】10はキーボード、11はフロッピーディ
スクドライバ(以下、FD装置とする)、12はCRT
ディスプレイ、13は中央演算装置(以下、CPUとす
る)、14,15はそれぞれFDコントロールボードお
よびCRTドライバーボード、16は供給モータ17お
よび昇降モータ5制御用のモータコントロールボード、
18は計測信号S1のフィードバックと外部ホストへの
データ転送用のSIOボード、19はシャッタ3とノッ
カ装置20制御用のPI/Oボード、21はデータバ
ス、22はインタフェースボード、23はステッピング
昇降モータ5用の5相ドライバー、24はDC供給モー
タ17用のDCドライバーである。
【0013】25はカップ2と微粉体Pの合計重量が電
子計量器4の絶対秤量範囲を超過する場合にカップ2の
重量を補正するカウンタバランス機構、26は電子計量
器4の計測時にノッカ装置20等からの振動の影響を与
えないための衝撃吸収性素材で構成された防振台、2
7,28はホッパフィーダ1内部の微粉体Pを一次通過
と2次通過するスリット、29,30はスリット27,
28の上面で回転するナイフ、31は供給モータ17と
カップリング32を介して連結しかつナイフ29,30
を回転させるシャフト、33は装置本体βのL形フレー
ムである。
【0014】本実施例の竪型精密秤量装置αの全体の仕
様は、図1のような具体的実施態様であって、ここで、
その秤量動作について説明する。最初に制御ユニットγ
内のキーボード10やFD装置11等から初期動作等の
データを与えられ、まず、CPU13から始動時機を演
算された制御信号S2をデータバス21,モータコント
ロールボード16,インタフェースボード22,5相ド
ライバー23を経由して昇降モータ5に至り昇降機構8
を駆動してホルダー7を介しホッパーフィーダ1を適正
下限位置まで降下して置く。ホッパーフィーダ1が適正
下限位置に停止待機した段階でCPUから退没時機を演
算された制御信号S3をデータバス21,PI/Oボー
ド19、インタフェースボード22を経由して進退モー
タ6に至りシャッタ3をホルダー9内へ没入動せしめ
る。
【0015】CPU13で演算された制御信号S4は、
データバス21,モータコントロールボード16、イン
タフェースボード22,DCドライバ24を経由して、
ホッパフィーダ1の供給モータ17に到達する。当該供
給モータ17はシャフト31を通じてスリット27,2
8に対しナイフ29,30を供給予定量に見合った分だ
け回転動して、微粉体Pを予定分摺り切り供給し、微粉
体Pは下方に配置せられたカップ2内に落納する。当該
落納最終段階でCPU13から起動時機を演算された制
御信号S5をデータバス21、PI/Oボード19、イ
ンタフェースボード22を経て図示しない駆動部に伝え
ノッカ装置20のノッカ34群を作動しホッパフィーダ
1の外周を叩打し残存微粉体Pを供給落口1aから完全
に振り落す。
【0016】カップ2に納められた微粉体Pは、随時、
電子計量器4により計量されて計測信号S1が出力され
る。計測信号S1はマイクロコンピュータδのSIOボ
ード18に伝達されて、CPU13で演算処理され逐一
CRTドライバーボード15を駆動しCRT12にその
測定値と適正,不適正を表示するとともに、当該計測信
号S1により予め設定された秤量に接近すると供給モー
タ17の動作を停止する制御信号S4を出力する。供給
モータ17は当該制御信号S4により停止し、微粉体P
の秤量が完了する。
【0017】引続き、マイクロコンピュータδは秤量完
了と同時にCPU13から進出時機を演算された制御信
号S3をデータバス21、PI/Oボード19、インタ
フェースボード22を経て進退モータ6に至りシャッタ
3をホルダー9から進出動する。ホッパフィーダ1は、
その周囲に取り付けられたノッカ装置20と共に上限位
置に昇動し、その際、付着した微粉体Pが落下して秤量
不良の原因とならないように、微粉体Pのカップ2内へ
の落下を防止する。
【0018】次に、本実施例の竪型精密秤量装置αのホ
ッパフィーダ1に衝撃を与えて内部に起生したブリッジ
や付着した微粉体Pを剥離させるノッカ装置20につい
て、図3及び図4を参照して詳説する。図中、35はノ
ッカ34を等間隔に取付る取付フレーム、34aは小型
エアーシリンダ、34bはピストンロッド34cの外端
に固着したノックヘッド、36はホッパフィーダ1下部
に固着されたプロテクタである。
【0019】本実施例αのノッカ装置20は、ノッカ3
4群をホッパフィーダ1下部の周方向等間隔に3カ所設
置してなる。ヘッド34b及びプロテクタ36はプラス
チック又はゴム等の、多少衝撃を吸収する素材により構
成される。ノッカ装置20のノッカ34群は、エアシリ
ンダ34a群により動作され、プロテクタ36を通じて
ホッパフィーダ1に衝撃を与える。ノッキングのタイミ
ングは、一定の固定動作ではなく、各位置をランダムに
ノッキングする方が効果は大きい。このノッキングによ
り、ホッパフィーダ1内部に生成する微粉体Pのブリッ
ジを破壊し、ホッパフィーダ1の内面に付着する微粉体
Pを剥離させて、微粉体Pの安定した供給を可能とす
る。なお、本実施例αでは、ノッカ装置20のノッカ3
4は120゜等間隔の3カ所に設置した例を示したが、
ノッカ34の設置数は所望数であることはいうまでもな
い。
【0020】次に、本実施例の竪型精密秤量装置αのカ
ップ2の重量を補正するカウンタバランス機構25につ
いて、図5を参照して詳説する。図中、37は支持杆、
38は天秤杆、39は分銅等のカウンタバランス、40
はカウンタバランス39の受台である。
【0021】本実施例αのカウンタバランス機構25
は、図5に示すよう、梃動自在な天秤構造となってい
る。本実施例αの精密秤量においては、カップ2の材質
・容積等の関係上、やむを得ずカップ2の重量が電子計
量器4の絶対秤量範囲を超過する場合がある。仮に、電
子計量器4の秤量限度が0.1mgで絶対秤量範囲が2
20gの場合、カップ2の重量が電子計量器4の絶対秤
量範囲である220gを超過しても、図5に示すよう
に、分銅等のカウンタバランス39を受台40に設置す
れば、カウンタバランス39の重量が200gであれ
ば、カップ2自体の重量を計量上20gとして扱うこと
ができる。
【0022】
【発明の効果】かくして、本発明によれば、秤量精度の
経時劣化が生起せず、微粉体の物理的性質にその秤量の
精度等が影響されず、しかも、一度行った秤量動作はF
D装置等に記録することにより定型的な動作として行え
る等優れた有用性を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を側面からみた全体システム構
成図である。
【図2】同上・微粉体を定量供給するホッパフィーダの
拡大中央縦断面図である。
【図3】同上・ホッパフィーダ内部に起生するブリッジ
や付着した微粉体を崩壊や剥離させるノッカ装置の拡大
側面図である。
【図4】同上・ノッカ装置の拡大平面図である。
【図5】同上・カップの重量を補正するカウンタバラン
ス機構の説明図である。
【図6】従来のブラシ式精密秤量フィーダ装置を示す図
である。
【符号の説明】
α…竪型精密秤量装置 β…装置本体 γ…制御ユニット δ…マイクロコンピュータ P…微粉体 A…ブラシ式精密秤量フィーダ装置 a…モータ b…ホッパ部 c…フィーダ軸 d…円筒部 e…スクリューブラシ f…供給落口 g…定量送りブラシ 1…ホッパフィーダ 2…カップ 3…シャッタ 4…計量器 5…昇降モータ 6…進退モータ 7,9…ホルダー 8…昇降機構 10…キーボード 11…フロッピーディスクドライバ 12…CRTディスプレイ 13…中央演算装置 14…FDコントロールボード 15…CRTドライバーボード 16…モータコントロールボード 17…供給モータ 18…SIOボード 19…PI/Oボード 20…ノッカ装置 21…データバス 22…インタフェースボード 23…5相ドライバー 24…DCドライバー 25…カウンタバランス機構 26…防振台 27,28…スリット 29,30…ナイフ 31…シャフト 32…カップリング 33…L形フレーム 34…ノッカ 34a…エアシリンダ 34b…ノックヘッド 34c…ピストンロッド 35…取付フレーム 36…プロテクタ 37…支持杆 38…天秤杆 39…カウンタバランス 40…受台 S1…測定信号 S2〜S5…制御信号

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】微粉体を精密に定量秤量する竪型の微粉体
    供給装置において、当該微粉体を貯留し漸次カップへ落
    下供給する昇降自在なホッパフィーダと、当該カップの
    直上に臨んで計量外の余分な微粉体を進出し受ける進退
    自在なシャッタと、前記ホッパフィーダ内部のブリッジ
    や付着した前記微粉体を衝撃により崩壊や剥離させるノ
    ッカ装置と、前記カップ内に落下収容し計量された前記
    微粉体の重量を計測して計測信号を出力する計量器と、
    当該計量器を搭載する防振台と、前記計量器からの計測
    信号を契機に逐次前記ホッパフィーダを昇降動作する昇
    降モータ,ホッパフィーダ内に設けられた供給モータ及
    び前記シャッタを進退動作する進退モータを制御する制
    御ユニットとを具備することを特徴とする微粉体の竪型
    精密秤量供給装置
  2. 【請求項2】カップは、防振台に搭載されかつ計量する
    微粉体と当該カップの合計重量が計量器の絶対秤量範囲
    を超過する場合に当該カップの重量を補正するカウンタ
    バランス機構先端に支持されたことを特徴とする請求項
    1記載の微粉体の竪形精密秤量供給装置
JP21355591A 1991-08-26 1991-08-26 微粉体の竪型精密秤量供給装置 Pending JPH0552638A (ja)

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19941206