JPH0550116B2 - - Google Patents
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- JPH0550116B2 JPH0550116B2 JP59034619A JP3461984A JPH0550116B2 JP H0550116 B2 JPH0550116 B2 JP H0550116B2 JP 59034619 A JP59034619 A JP 59034619A JP 3461984 A JP3461984 A JP 3461984A JP H0550116 B2 JPH0550116 B2 JP H0550116B2
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 69
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 28
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 25
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 18
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 11
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 7
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 5
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 3
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 2
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000003490 calendering Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- -1 phthalate ester Chemical class 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P80/00—Climate change mitigation technologies for sector-wide applications
- Y02P80/10—Efficient use of energy, e.g. using compressed air or pressurized fluid as energy carrier
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は発熱体をセラミツク焼結体中に鋳込ん
だセラミツク鋳込形ヒータの製造方法に関するも
のである。 従来例の構成とその問題点 従来のセラミツク鋳込形ヒータは、発熱体とし
て金属発熱線、金属発熱線を金属管中に双方が接
触しない状態に挿入し、金属発熱線と金属管とを
電気的に絶縁するように酸化マグネシウム粉末を
充てんしたいわゆるシーズヒータ、導電性セラミ
ツク焼結発熱体等が使用されており、これらの発
熱体をセラミツク焼結体中に直接鋳込んだ構成に
なつていた。このようなセラミツク鋳込形ヒータ
は通電による発熱体の初期昇温時に衝撃によりし
ばしばセラミツクの破損が発生するものであつ
た。したがつて通電の初期は徐々に発熱させるか
あるいは発熱体のワツト密度（Ｗ／cm2）を小さく
設計せざるを得ず用途が限られていた。この対策
として、セラミツク焼結体と発熱体表面との接触
部分に間隙をとり、発熱体から発生する熱の移動
が緩和されるようにしたものがある。しかし、こ
の構成のものは、セラミツク焼結体と発熱体の間
に空気が存在し、セラミツク焼結体の熱伝導特性
を有効に活かすことができず、また、発熱体表面
は常時空気と接触するので長期の使用に際して発
熱体の酸化の進行のため断線に至る欠点があり、
この改善が強く望まれていた。 発明の目的 本発明は上記の欠点を無くし通電初期の急激な
発熱による熱衝撃を緩和してセラミツク焼結体の
破損や、長期間の使用に対して発熱体の空気酸化
による断線のないセラミツク鋳込形ヒータを得る
ためのその製造方法を提供するものである。 発明の構成 本発明のセラミツク鋳込形ヒータの製造方法
は、空孔を形成したセラミツクグリーンシートの
前記空孔内に発熱体を挿入し、空孔の孔壁と発熱
体との空隙に焼結処理で溶融しない無機質粉末を
充填し、その後焼結するという方法であり、この
焼結時に発生するセラミツク焼結体の収縮現象を
利用して上記の孔壁と発熱体との空隙に充填した
無機質粉末を未溶融のまま押し固め、それによつ
て発熱体を固定化すると共に発熱体表面への空気
の接触を断ち、長期使用時の発熱体の酸化劣化に
よる断線と、通電初期の熱衝撃の緩和をはかりセ
ラミツク焼結体の破損を除去するものである。 実施例の説明 本発明のセラミツク鋳込形ヒータの製造方法に
使用するセラミツク組成材としては、ヒータにし
た場合の耐熱性が確保できるように無機質材料を
使用する。特に無機質材料として本発明のセラミ
ツク鋳込形ヒータの加工、使用上から好ましいも
のは焼結処理を施した後の組成形体として、アル
ミナ（Al2O3）、ジルコニア（ZrO2）、シリカ硝子
（SiO2）、ムライト（3Al2O3・2SiO2）スピネル
（MgO・Al2O3）、コージライト（2MgO・2Al2
O3・5SiO2）である。このようなセラミツク組成
を形成するためのそれぞれ原料粉末に少量（５〜
20％程度で良い）の有機物、例えばポリビニルブ
チラール樹脂、ポリウレタンエマルジヨン、アク
リル樹脂などと、フタル酸エステル系可塑剤及び
溶剤とを混合してスラリー状の混練物となし、押
出し圧延法、カレンダー法、ドクターブレード法
などにより目的に応じて一定の厚みのシート状に
すると同時に、発熱体を鋳込むための空孔、或は
溝を設けて乾燥し、グリーンシートを作製する。
第１図、第２図はこのようにして出来たグリーン
シートの概要図であり、第１図のものにおいては
発熱体を挿入する空孔１、第２図のものにおいて
はその平坦部に溝３を設けたものである。グリー
ンシートの形成厚みは特に限定するものではない
が、セラミツク鋳込形ヒータとした場合の発熱分
布をより均一化させるために、溝の深さの２倍以
上とするのが好ましい。 以下、第２図に示すセラミツクグリーンシート
に溝を設けた構成の実施例について詳述する。 図において、３はセラミツクグリーンシートの
片側の平坦面２に形成した発熱体を挿入する溝
で、このように形成したセラミツクグリーンシー
ト２枚を、その溝３を対向させて重ね合わせ、第
３図に示すような空孔４を形成させる。この空孔
４内に第４図に示す如く発熱体５を挿入し、空孔
４と発熱体５との空隙に焼結処理で溶融しない無
機質粉末６を充填する。このようにして発熱体５
と無機質粉末６を挿入、充填した後、焼結処理を
施して本発明のセラミツク鋳込形ヒータを製造す
る。本発明に使用する発熱体５は金属発熱線、シ
ーズヒータ、さらには炭化硅素焼結体で代表され
る導電性セラミツク焼結発熱体などが好ましい。
無機質粉末６は酸化マグネシウム、二酸化硅素、
アルミナなど、ほぼ中性酸化物に属する微粉末が
好ましく、空孔４内への充填時に空隙が残留する
可能性のある荒い粒子状のものや、酸性、アルカ
リ性に片よつたものは発熱体の腐蝕の原因になる
ので避けるべきである。さらに使用する無機質粉
末６は、ヒータ形成のためになされる焼結処理時
に溶融しないものを選定することが必要である。
この焼結処理過程で無機質粉末６が溶融して独立
の粉体粒子径を保持しなくなると、セラミツク鋳
込形ヒータとした場合の熱衝撃を効果的に吸収し
なくなるばかりか、破損や、空隙の発生を伴ない
本発明の目的を満足しなくなる。 焼結処理方法、処理条件は、一般に実施されて
いる２ステージ焼成方式、即ち、200℃〜400℃で
含有有機物や溶剤、水分の燃焼、蒸発処理を行な
い、その後、それぞれのセラミツクの焼結に適し
た温度で焼結処理をする。焼結処理の雰囲気は酸
化もしくは還元雰囲気が使用できるが、発熱体５
の変質を防ぐ意味合いから還元雰囲気での実施が
好ましい。 本発明のセラミツク鋳込形ヒータの構成は第４
図に示した断面図の如き状態をとるが、２枚のセ
ラミツクグリーンシートの溝３を対向させて重ね
合せてできる空孔４の断面積は、形成した溝３の
形状にかかわらず焼結処理を施すことで有機成分
の燃焼、蒸発飛散やセラミツク材料粒子間の融合
等により生じる体積収縮により減少する。セラミ
ツクグリーンシートの焼結処理に伴う体積収縮に
よる上記空孔４の断面積の減少は、グリーンシー
トの密度にある範囲内で正比例的に変化すること
が知られており、使用するセラミツク材料の粒子
径、添加する有機物の種類、量により15〜30％焼
結処理前の形状に対して変化させることが可能で
ある。本発明はこのグリーンシートに焼結処理を
施すことでセラミツク焼結体が体積収縮を来たす
点に着目してなされたものである。 ２枚のセラミツクグリーンシートの溝３を対向
させて重ね合せてできる空孔４中に発熱体５を挿
入し、空孔４の孔壁と発熱体５との空隙に焼結処
理で溶融しない無機質粉末６を充填した後焼結処
理を施すことにより無機質粉末６は粉末の状態の
ままセラミツク焼結体の体積収縮によつて極めて
堅固な状態にまで圧縮固化される。これによりセ
ラミツク焼結体と発熱体５の空隙が除去され、発
熱体の固定化がはかれることとなる。さらにこの
焼結処理時に溶融しない無機質粉末６の充填層は
セラミツク鋳込形ヒータに通電開始初期の急激な
発熱体の昇温によるセラミツク焼結体への熱の衝
撃的な伝達と、これによる極部的急襲的な熱膨脹
を瞬時に緩和する効果を現わす。この結果従来の
セラミツク鋳込形ヒータの欠点であつた通電初期
のセラミツク焼結体の破損や、発熱体とセラミツ
ク焼結体との空隙に介在する空気による発熱体の
酸化断線が排除できるのである。 尚、第４図において、２枚のセラミツクグリー
ンシートの重ね合せ面を実線で示しているが、焼
結処理により２枚のものは一体となるものであ
る。 以下第１表により本発明のセラミツク鋳込形ヒ
ータと従来の鋳込形ヒータの性能を比較説明す
る。第１表に示した本発明によるセラミツク鋳込
形ヒータ及び従来の比較品はセラミツク焼結体の
組成、作製方法は同一とし無機質粉末６の有無の
差を明確にするようにして得た結果である。
だセラミツク鋳込形ヒータの製造方法に関するも
のである。 従来例の構成とその問題点 従来のセラミツク鋳込形ヒータは、発熱体とし
て金属発熱線、金属発熱線を金属管中に双方が接
触しない状態に挿入し、金属発熱線と金属管とを
電気的に絶縁するように酸化マグネシウム粉末を
充てんしたいわゆるシーズヒータ、導電性セラミ
ツク焼結発熱体等が使用されており、これらの発
熱体をセラミツク焼結体中に直接鋳込んだ構成に
なつていた。このようなセラミツク鋳込形ヒータ
は通電による発熱体の初期昇温時に衝撃によりし
ばしばセラミツクの破損が発生するものであつ
た。したがつて通電の初期は徐々に発熱させるか
あるいは発熱体のワツト密度（Ｗ／cm2）を小さく
設計せざるを得ず用途が限られていた。この対策
として、セラミツク焼結体と発熱体表面との接触
部分に間隙をとり、発熱体から発生する熱の移動
が緩和されるようにしたものがある。しかし、こ
の構成のものは、セラミツク焼結体と発熱体の間
に空気が存在し、セラミツク焼結体の熱伝導特性
を有効に活かすことができず、また、発熱体表面
は常時空気と接触するので長期の使用に際して発
熱体の酸化の進行のため断線に至る欠点があり、
この改善が強く望まれていた。 発明の目的 本発明は上記の欠点を無くし通電初期の急激な
発熱による熱衝撃を緩和してセラミツク焼結体の
破損や、長期間の使用に対して発熱体の空気酸化
による断線のないセラミツク鋳込形ヒータを得る
ためのその製造方法を提供するものである。 発明の構成 本発明のセラミツク鋳込形ヒータの製造方法
は、空孔を形成したセラミツクグリーンシートの
前記空孔内に発熱体を挿入し、空孔の孔壁と発熱
体との空隙に焼結処理で溶融しない無機質粉末を
充填し、その後焼結するという方法であり、この
焼結時に発生するセラミツク焼結体の収縮現象を
利用して上記の孔壁と発熱体との空隙に充填した
無機質粉末を未溶融のまま押し固め、それによつ
て発熱体を固定化すると共に発熱体表面への空気
の接触を断ち、長期使用時の発熱体の酸化劣化に
よる断線と、通電初期の熱衝撃の緩和をはかりセ
ラミツク焼結体の破損を除去するものである。 実施例の説明 本発明のセラミツク鋳込形ヒータの製造方法に
使用するセラミツク組成材としては、ヒータにし
た場合の耐熱性が確保できるように無機質材料を
使用する。特に無機質材料として本発明のセラミ
ツク鋳込形ヒータの加工、使用上から好ましいも
のは焼結処理を施した後の組成形体として、アル
ミナ（Al2O3）、ジルコニア（ZrO2）、シリカ硝子
（SiO2）、ムライト（3Al2O3・2SiO2）スピネル
（MgO・Al2O3）、コージライト（2MgO・2Al2
O3・5SiO2）である。このようなセラミツク組成
を形成するためのそれぞれ原料粉末に少量（５〜
20％程度で良い）の有機物、例えばポリビニルブ
チラール樹脂、ポリウレタンエマルジヨン、アク
リル樹脂などと、フタル酸エステル系可塑剤及び
溶剤とを混合してスラリー状の混練物となし、押
出し圧延法、カレンダー法、ドクターブレード法
などにより目的に応じて一定の厚みのシート状に
すると同時に、発熱体を鋳込むための空孔、或は
溝を設けて乾燥し、グリーンシートを作製する。
第１図、第２図はこのようにして出来たグリーン
シートの概要図であり、第１図のものにおいては
発熱体を挿入する空孔１、第２図のものにおいて
はその平坦部に溝３を設けたものである。グリー
ンシートの形成厚みは特に限定するものではない
が、セラミツク鋳込形ヒータとした場合の発熱分
布をより均一化させるために、溝の深さの２倍以
上とするのが好ましい。 以下、第２図に示すセラミツクグリーンシート
に溝を設けた構成の実施例について詳述する。 図において、３はセラミツクグリーンシートの
片側の平坦面２に形成した発熱体を挿入する溝
で、このように形成したセラミツクグリーンシー
ト２枚を、その溝３を対向させて重ね合わせ、第
３図に示すような空孔４を形成させる。この空孔
４内に第４図に示す如く発熱体５を挿入し、空孔
４と発熱体５との空隙に焼結処理で溶融しない無
機質粉末６を充填する。このようにして発熱体５
と無機質粉末６を挿入、充填した後、焼結処理を
施して本発明のセラミツク鋳込形ヒータを製造す
る。本発明に使用する発熱体５は金属発熱線、シ
ーズヒータ、さらには炭化硅素焼結体で代表され
る導電性セラミツク焼結発熱体などが好ましい。
無機質粉末６は酸化マグネシウム、二酸化硅素、
アルミナなど、ほぼ中性酸化物に属する微粉末が
好ましく、空孔４内への充填時に空隙が残留する
可能性のある荒い粒子状のものや、酸性、アルカ
リ性に片よつたものは発熱体の腐蝕の原因になる
ので避けるべきである。さらに使用する無機質粉
末６は、ヒータ形成のためになされる焼結処理時
に溶融しないものを選定することが必要である。
この焼結処理過程で無機質粉末６が溶融して独立
の粉体粒子径を保持しなくなると、セラミツク鋳
込形ヒータとした場合の熱衝撃を効果的に吸収し
なくなるばかりか、破損や、空隙の発生を伴ない
本発明の目的を満足しなくなる。 焼結処理方法、処理条件は、一般に実施されて
いる２ステージ焼成方式、即ち、200℃〜400℃で
含有有機物や溶剤、水分の燃焼、蒸発処理を行な
い、その後、それぞれのセラミツクの焼結に適し
た温度で焼結処理をする。焼結処理の雰囲気は酸
化もしくは還元雰囲気が使用できるが、発熱体５
の変質を防ぐ意味合いから還元雰囲気での実施が
好ましい。 本発明のセラミツク鋳込形ヒータの構成は第４
図に示した断面図の如き状態をとるが、２枚のセ
ラミツクグリーンシートの溝３を対向させて重ね
合せてできる空孔４の断面積は、形成した溝３の
形状にかかわらず焼結処理を施すことで有機成分
の燃焼、蒸発飛散やセラミツク材料粒子間の融合
等により生じる体積収縮により減少する。セラミ
ツクグリーンシートの焼結処理に伴う体積収縮に
よる上記空孔４の断面積の減少は、グリーンシー
トの密度にある範囲内で正比例的に変化すること
が知られており、使用するセラミツク材料の粒子
径、添加する有機物の種類、量により15〜30％焼
結処理前の形状に対して変化させることが可能で
ある。本発明はこのグリーンシートに焼結処理を
施すことでセラミツク焼結体が体積収縮を来たす
点に着目してなされたものである。 ２枚のセラミツクグリーンシートの溝３を対向
させて重ね合せてできる空孔４中に発熱体５を挿
入し、空孔４の孔壁と発熱体５との空隙に焼結処
理で溶融しない無機質粉末６を充填した後焼結処
理を施すことにより無機質粉末６は粉末の状態の
ままセラミツク焼結体の体積収縮によつて極めて
堅固な状態にまで圧縮固化される。これによりセ
ラミツク焼結体と発熱体５の空隙が除去され、発
熱体の固定化がはかれることとなる。さらにこの
焼結処理時に溶融しない無機質粉末６の充填層は
セラミツク鋳込形ヒータに通電開始初期の急激な
発熱体の昇温によるセラミツク焼結体への熱の衝
撃的な伝達と、これによる極部的急襲的な熱膨脹
を瞬時に緩和する効果を現わす。この結果従来の
セラミツク鋳込形ヒータの欠点であつた通電初期
のセラミツク焼結体の破損や、発熱体とセラミツ
ク焼結体との空隙に介在する空気による発熱体の
酸化断線が排除できるのである。 尚、第４図において、２枚のセラミツクグリー
ンシートの重ね合せ面を実線で示しているが、焼
結処理により２枚のものは一体となるものであ
る。 以下第１表により本発明のセラミツク鋳込形ヒ
ータと従来の鋳込形ヒータの性能を比較説明す
る。第１表に示した本発明によるセラミツク鋳込
形ヒータ及び従来の比較品はセラミツク焼結体の
組成、作製方法は同一とし無機質粉末６の有無の
差を明確にするようにして得た結果である。
【表】
【表】
本発明による焼結処理時に溶融しない無機質粉
末６を使用した場合に比較して、比較品１の焼結
体中に直接金属線（発熱体）を鋳込んだ形式のヒ
ーターは通電初期にセラミツク焼結部に亀裂が発
生し、あらかじめφ2mmの穴を形成したコージラ
イト焼結体に発熱線を挿入した比較品２は通電初
期の影響は除去できるが、３時間通電、２時間放
冷の繰返しによる寿命試験において、700時間経
過時点で空気中の酸素による金属線の酸化による
部分的な発熱体の瘠せ細りによる異常発熱を招き
溶断した。この結果からも明らかであるように本
発明によるセラミツク鋳込形ヒータは、本発明の
目的を満足することが明確である。さらに本発明
によればヒーターのワツト密度もより大きく設計
できるものとなる。 なお、本実施例の説明を第２図、第３図に示し
た２枚のセラミツクグリーンシートのそれぞれの
片側の面２に溝３を設け、この溝３を対向して重
ね合わせたものについて行つたが、第１図の左側
に示すようにセラミツクグリーンシートに空孔１
を設けて、第１図の右側に示すようにこの空孔１
に発熱体５及び無機質粉末６を挿入、充填して焼
結処理しても先の実施例と同様の作用、効果が得
られることは明らかである。また、第５図に示す
ように、２枚のセラミツクグリーンシートの一方
の表面７に溝３を設け、発熱体５、無機質粉末６
を挿入、充填し溝の無い他の一方を重ね合わせて
焼結処理をしたものも先の実施例と同様のものと
なる。なお、第５図において、２枚のセラミツク
グリーンシートの重ね合せ面を実線で示している
が、焼成処理により２枚のものは一体となるもの
である。 さらに、２枚のセラミツクグリーンシートを彎
曲させて重ね合わせることも、複雑な曲面、喰い
違い面などを有するものでも重ね合わせて実施し
得るものである。 発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明のセラミ
ツク鋳込形ヒータの製造方法は、セラミツクグリ
ーンシートの状態で作つた空孔内に発熱体を挿入
し、孔壁と発熱体との空隙に焼結処理時に溶融し
ない無機質粉末を充填した後焼結処理を施すよう
にしているので、セラミツク焼結体の体積収縮が
充填された無機質粉末を未溶融のまま堅固に押し
固め、発熱体を固定化すると共に発熱体表面と空
気の接触が断たれ、長期使用時の発熱線の酸化劣
化による断線と、通電初期の熱衝撃によるセラミ
ツク焼結体の破損が除去できセラミツク鋳込形ヒ
ータの信頼性が飛躍的に向上すると共に従来より
もワツト密度も大きく設計でき、用途の拡大化に
も貢献できるものでありその効果は極めて大きい
ものである。
末６を使用した場合に比較して、比較品１の焼結
体中に直接金属線（発熱体）を鋳込んだ形式のヒ
ーターは通電初期にセラミツク焼結部に亀裂が発
生し、あらかじめφ2mmの穴を形成したコージラ
イト焼結体に発熱線を挿入した比較品２は通電初
期の影響は除去できるが、３時間通電、２時間放
冷の繰返しによる寿命試験において、700時間経
過時点で空気中の酸素による金属線の酸化による
部分的な発熱体の瘠せ細りによる異常発熱を招き
溶断した。この結果からも明らかであるように本
発明によるセラミツク鋳込形ヒータは、本発明の
目的を満足することが明確である。さらに本発明
によればヒーターのワツト密度もより大きく設計
できるものとなる。 なお、本実施例の説明を第２図、第３図に示し
た２枚のセラミツクグリーンシートのそれぞれの
片側の面２に溝３を設け、この溝３を対向して重
ね合わせたものについて行つたが、第１図の左側
に示すようにセラミツクグリーンシートに空孔１
を設けて、第１図の右側に示すようにこの空孔１
に発熱体５及び無機質粉末６を挿入、充填して焼
結処理しても先の実施例と同様の作用、効果が得
られることは明らかである。また、第５図に示す
ように、２枚のセラミツクグリーンシートの一方
の表面７に溝３を設け、発熱体５、無機質粉末６
を挿入、充填し溝の無い他の一方を重ね合わせて
焼結処理をしたものも先の実施例と同様のものと
なる。なお、第５図において、２枚のセラミツク
グリーンシートの重ね合せ面を実線で示している
が、焼成処理により２枚のものは一体となるもの
である。 さらに、２枚のセラミツクグリーンシートを彎
曲させて重ね合わせることも、複雑な曲面、喰い
違い面などを有するものでも重ね合わせて実施し
得るものである。 発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明のセラミ
ツク鋳込形ヒータの製造方法は、セラミツクグリ
ーンシートの状態で作つた空孔内に発熱体を挿入
し、孔壁と発熱体との空隙に焼結処理時に溶融し
ない無機質粉末を充填した後焼結処理を施すよう
にしているので、セラミツク焼結体の体積収縮が
充填された無機質粉末を未溶融のまま堅固に押し
固め、発熱体を固定化すると共に発熱体表面と空
気の接触が断たれ、長期使用時の発熱線の酸化劣
化による断線と、通電初期の熱衝撃によるセラミ
ツク焼結体の破損が除去できセラミツク鋳込形ヒ
ータの信頼性が飛躍的に向上すると共に従来より
もワツト密度も大きく設計でき、用途の拡大化に
も貢献できるものでありその効果は極めて大きい
ものである。
第１図は本発明のセラミツク鋳込形ヒータの製
造方法に使用するセラミツクグリーンシートの一
実施例を示す斜視図、第２図は同セラミツクグリ
ーンシートの他の実施例を示す斜視図、第３図は
第２図に示したセラミツクグリーンシートを重ね
合わせた状態を示す斜視図、第４図は本発明のセ
ラミツク鋳込形ヒータの一実施例の断面を示す
図、第５図は同他の実施例を示す断面図である。 １，４……空孔、３……溝、５……発熱体、６
……無機質粉末。
造方法に使用するセラミツクグリーンシートの一
実施例を示す斜視図、第２図は同セラミツクグリ
ーンシートの他の実施例を示す斜視図、第３図は
第２図に示したセラミツクグリーンシートを重ね
合わせた状態を示す斜視図、第４図は本発明のセ
ラミツク鋳込形ヒータの一実施例の断面を示す
図、第５図は同他の実施例を示す断面図である。 １，４……空孔、３……溝、５……発熱体、６
……無機質粉末。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 空孔を形成したセラミツクグリーンシートの
前記空孔内に発熱体を挿入し、前記空孔の孔壁と
前記発熱体との空隙に焼結処理で溶融しない無機
質粉末を充填し、その後焼結するセラミツク鋳込
形ヒータの製造方法。 ２ 空孔は、２枚のセラミツクグリーンシートの
夫々の一方の表面に溝を設け、この溝を対向する
ように重ね合わせて形成した空孔である特許請求
の範囲第１項記載のセラミツク鋳込形ヒータの製
造方法。 ３ 空孔は、１枚のセラミツクグリーンシートの
一方の表面に溝を設け、他の１枚のセラミツクグ
リーンシートを重ね合わせてその平坦面で前記溝
を覆つて形成した空孔である特許請求の範囲第１
項記載のセラミツク鋳込形ヒータの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59034619A JPS60180085A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | セラミック鋳込形ヒータの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59034619A JPS60180085A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | セラミック鋳込形ヒータの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60180085A JPS60180085A (ja) | 1985-09-13 |
| JPH0550116B2 true JPH0550116B2 (ja) | 1993-07-28 |
Family
ID=12419390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59034619A Granted JPS60180085A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | セラミック鋳込形ヒータの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60180085A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0680594B2 (ja) * | 1986-02-17 | 1994-10-12 | 株式会社ゴト− | ヒータ線を内蔵したセラミックヒータの製造方法 |
| JPH0376390U (ja) * | 1989-11-28 | 1991-07-31 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56116285A (en) * | 1980-02-15 | 1981-09-11 | Nippon Denshi Zairiyou Kk | Ceramic buried heater |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP59034619A patent/JPS60180085A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56116285A (en) * | 1980-02-15 | 1981-09-11 | Nippon Denshi Zairiyou Kk | Ceramic buried heater |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60180085A (ja) | 1985-09-13 |
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