JPH0549027U - 溶剤回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 溶剤を吸着する２個の吸着塔に対する給気と
排気のタイミングのずれ発生に起因する溶剤含有ガスの
吸着塔からの排気停止を確実に回避する。 【構成】 活性炭素材製のガス吸着用エレメントを設け
た第１および第２の吸着塔に、溶剤含有ガスを供給する
ガス供給管を給気用三方弁１０と第１の分岐管とを介し
て接続し、ガス吸着用エレメントを間にして、ガス供給
管とは反対側に、溶剤を吸着除去した後のガスを排出す
る排気部を設けるとともに、その排気部と第１および第
２の吸着塔とを排気用三方弁１３と第２の分岐管とを介
して接続し、給気用三方弁１０と排気用三方弁１３と
を、ロッド２３を介して機械的に連動連結し、第１およ
び第２の吸着塔に対して、溶剤含有ガスの供給と溶剤を
吸着除去した後のガスの排気とを同じ側の吸着塔で行う
ように構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体工場等で使用される超音波洗浄機やドライクリーニング工場 等から発生するフロンガス（例えば、Ｒ−１１３）や１，１，１−トリクロルエ タンガスなどの塩素系有機溶剤ガスとか、塗装工場や印刷工場等から排出される 石油系有機溶剤ガスなどを回収するために、活性炭素材製のガス吸着用エレメン トを設けた第１および第２の吸着塔を並設し、その第１および第２の吸着塔に、 溶剤含有ガスを供給するガス供給管を給気用三方弁と第１の分岐管とを介して接 続し、ガス吸着用エレメントを間にして、ガス供給管とは反対側に、溶剤を吸着 除去した後のガスを排出する排気部を設けるとともに、その排気部と第１および 第２の吸着塔とを排気用三方弁と第２の分岐管とを介して接続し、かつ、ガス吸 着用エレメントを間にして、溶剤を脱着するための過熱用水蒸気を供給する水蒸 気供給管と、脱着した溶剤を回収する溶剤回収管とを第１および第２の吸着塔に 接続した溶剤回収装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来一般の溶剤回収装置においては、第１および第２の吸着塔それぞれに、溶 剤含有ガスを供給するガス供給管、ガス吸着用エレメントに吸着された溶剤を加 熱により脱着するために過熱用水蒸気を供給する水蒸気供給管、および、脱着し た溶剤を回収する溶剤回収管をそれぞれ接続し、それらのガス供給管、水蒸気供 給管および溶剤回収管それぞれに、第１および第２の吸着塔それぞれに対応する ように２個づつの電磁弁を設けている。また、吸着塔本体それぞれの上部に、吸 着処理後のガスを大気放出する排ガス出口を設けるとともに、その排ガス出口そ れぞれに弁体を設け、先の６個の電磁弁と２個の弁体をそれぞれ背反的に開閉す るように構成している。

【０００３】 更に、本出願人等が、実開平２−１４２６１９号に開示したように、第１およ び第２の吸着塔のいずれかに対して、一方では溶剤含有ガスを供給して溶剤をガ ス吸着用エレメントに吸着する溶剤含有ガス給気用に、他方では溶剤を吸着した 吸着塔から溶剤を脱着するための、水蒸気供給用、および、溶剤を吸着除去した 後のガス排出用に、それぞれ三方弁を使用し、個別に開閉弁を設ける場合に比べ て弁の個数を半減できるようにしたものがある。そして、この従来例によれば、 排ガス出口を開閉する弁体にエアーシリンダを連動連結し、このエアーシリンダ に作動用空気を給排する電磁弁を設け、この給排用電磁弁と給気用三方弁とを同 調させることができるようにしている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上述した従来例の溶剤回収装置では、給気用三方弁と給排用電磁弁とを所定の タイミングで同調操作するように電気的に連動させて個別に切換操作しているた め、そのタイミングにずれを発生するとか、あるいは、電気系の故障などに起因 して、溶剤含有ガスを供給している側の吸着塔から排気されず、溶剤含有ガスの 発生源において、そのガス中に含有される臭気成分が室内に充満したり、また、 塵埃が室内に滞留したりする欠点があった。このことは、排気側において、両吸 着塔に分岐配管を接続し、その分岐配管に電磁操作型の三方弁を介して排気管を 接続する場合にあっても同様である。

【０００５】 本考案は、このような事情に鑑みてなされたものであって、請求項１に係る考 案の溶剤回収装置は、両吸着塔に対する給気と排気のタイミングのずれ発生に起 因する溶剤含有ガスの吸着塔からの排気停止を確実に回避できるようにすること を目的とし、また、請求項２に係る考案の溶剤回収装置は、給気と排気とを簡単 な構成で同調できるようにすることを目的とし、そして、請求項３に係る考案の 溶剤回収装置は、溶剤脱着時における過熱水蒸気の供給と脱着した溶剤の回収の タイミングのずれ発生を確実に回避できるようにすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

請求項１に係る考案の溶剤回収装置は、上述のような目的を達成するために、 活性炭素材製のガス吸着用エレメントを設けた第１および第２の吸着塔を並設し 、その第１および第２の吸着塔に、溶剤含有ガスを供給するガス供給管を給気用 三方弁と第１の分岐管とを介して接続し、ガス吸着用エレメントを間にして、ガ ス供給管とは反対側に、溶剤を吸着除去した後のガスを排出する排気部を設ける とともに、その排気部と第１および第２の吸着塔とを排気用三方弁と第２の分岐 管とを介して接続し、かつ、ガス吸着用エレメントを間にして、溶剤を脱着する ための過熱用水蒸気を供給する水蒸気供給管と、脱着した溶剤を回収する溶剤回 収管とを第１および第２の吸着塔に接続した溶剤回収装置において、給気用三方 弁と排気用三方弁とを機械式連動機構を介して連動連結して構成する。

【０００７】 ガス吸着用エレメントを構成する活性炭素材としては、活性炭素繊維や粒状活 性炭が使用できる。

【０００８】 請求項２に係る考案の溶剤回収装置は、上述のような目的を達成するために、 請求項１に記載の機械式連動機構を、給気用三方弁と排気用三方弁それぞれの弁 棒を同一軸芯回りで回転可能に設け、両弁棒どうしをロッドを介して連結して構 成する。

【０００９】 請求項３に係る考案の溶剤回収装置は、上述のような目的を達成するために、 請求項１または請求項２に記載の第１および第２の吸着塔に、第１の三方弁と第 ３の分岐管とを介して水蒸気供給管を接続するとともに、第２の三方弁と第４の 分岐管とを介して溶剤回収管を接続し、かつ、第１の三方弁と第２の三方弁とを 機械式連動機構を介して連動連結して構成する。

【００１０】

【作用】

請求項１に係る考案の溶剤回収装置の構成によれば、給気用三方弁と排気用三 方弁とを機械的に一体的に切換操作し、溶剤含有ガスを供給している吸着塔から 溶剤を吸着除去した後のガスを排出することができ、かつ、両三方弁のいずれか 一方が故障などで動作不良を生じた場合には、他方の三方弁も切換操作できず、 両三方弁の間で切換タイミングにずれが発生することを回避できる。

【００１１】 また、請求項２に係る考案の溶剤回収装置の構成によれば、給気用三方弁と排 気用三方弁それぞれを合理的に配置することにより、ロッドを用いるだけで両三 方弁を連動連結することができる。

【００１２】 また、請求項３に係る考案の溶剤回収装置の構成によれば、第１の三方弁と第 ２の三方弁とを機械的に一体的に切換操作し、脱着のために過熱水蒸気を供給し ている吸着塔から脱着溶剤を含有するガスを溶剤回収管に流して回収することが でき、かつ、両三方弁のいずれか一方が故障などで動作不良を生じた場合には、 他方の三方弁も切換操作できず、両三方弁の間で切換タイミングにずれが発生す ることを回避できる。

【００１３】

【実施例】

次に、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

【００１４】 ＜第１実施例＞ 図１は、本考案の実施例の溶剤回収装置の正面図、図２はその平面図、そして 、図３はフローシートであり、架台１上に、活性炭素繊維製のガス吸着用エレメ ントＡを設けた第１および第２の吸着塔２，３をブラケット４…を介して並設す るとともに、有機溶剤を含有した溶剤含有ガスを供給するガス供給ブロワー５、 そのガス供給ブロワー５を駆動する電動モータ６、凝縮器７および比重分離器８ を設置し、ガス供給ブロワー５と電動モータ６とを伝動ベルト（図示せず）を介 して連動連結する。

【００１５】 第１および第２の吸着塔２，３に、ガス供給ブロワー５を介装したガス供給管 ９を給気用三方弁１０と第１の分岐管１１とを介して接続し、ガス吸着用エレメ ントＡを間にしてガス供給管９とは反対側に、第２の分岐管１２と排気用三方弁 １３とを介して排気部としての排気管１４を接続し、また、第１の開閉弁１５を 介装した溶剤回収管１６を介して凝縮器７を接続するとともに、凝縮器７と比重 分離器８とを配管１９を介して接続し、更に、ガス吸着用エレメントＡを間にし て溶剤回収管１６とは反対側に、第２の開閉弁２０を介装した水蒸気供給管２１ を接続する。

【００１６】 前記給気用三方弁１０と排気用三方弁１３それぞれの弁棒１０ａ，１３ａを、 図４の斜視図に示すように、同一軸芯回りで回転可能に設け、両弁棒１０ａ，１ ３ａどうしをユニバーサルジョイント２２とロッド２３とを介して連結し、かつ 、給気用三方弁１０の他方側の弁棒１０ａに電動モータ２４を連動連結する。

【００１７】 前記給気用三方弁１０と排気用三方弁１３それぞれは、図５の動作説明に供す る図に示すように、弁箱２５にガス流入ポートＰ１を形成するとともに、そのガ ス流入ポートＰ１の両側それぞれに90°づつ偏位させて第１および第２のガス流 出ポートＰ２，Ｐ３を形成し、更に、弁箱２５に弁体１０ｂ，１３ｂを回転可能 に設けて構成し、かつ、その弁体１０ｂ，１３ｂそれぞれを仮想円の 180°分の 円弧形状を有する板体で構成し、弁体１０ｂ，１３ｂそれぞれにおいて、ガス流 入ポートＰ１から第１のガス流出ポートＰ２にガスを流す状態と第２のガス流出 ポートＰ３に流す状態とに回転によって切換えるとともに、その切換え途中の状 態で、第１および第２のガス流出ポートＰ２，Ｐ３のいずれもがガス流入ポート Ｐ１に同時に連通して第１および第２のガス流出ポートＰ２，Ｐ３の両方にガス を流し、ガスの流出停止に起因してガス発生源で室内に臭気成分が充満したり塵 埃が滞留したりすることを回避できるようになっている。

【００１８】 以上の構成により、給気用三方弁１０と排気用三方弁１３の所定の切換えと、 第１および第２の開閉弁１５，１５，２０，２０の所定の開閉とにより、ガス供 給ブロワー５によって第１または第２の吸着塔２，３のいずれか一方にガス発生 源からの溶剤含有ガスを供給してガス吸着用エレメントＡを通過させ、溶剤をガ ス吸着用エレメントＡの活性炭素繊維製吸着材に吸着する。そして、そのときに 、他方の吸着塔２または３において、過熱水蒸気を供給することにより、ガス吸 着用エレメントＡの活性炭素繊維製吸着材に吸着された有機溶剤を加熱脱着して 再生し、脱着した溶剤を凝縮器７に供給して液化した後に比重分離器８に供給し 、液状溶剤を分離して回収するようになっている。

【００１９】 ガス吸着用エレメントＡの活性炭素繊維製吸着材としては、例えば、公称比表 面積1000ｍ² ／ｇのピッチ系活性炭素繊維（Ａ−１０：株式会社アドール製）を フェルト状に加工した活性炭素繊維フェルト（ＦＮ３００ＧＦ１０：大阪ガスケ ミカル株式会社製）を用いる。この活性炭素繊維製吸着材に代えて、粒状活性炭 を充填したものを用いるなど、各種の活性炭素材製吸着材を使用できる。

【００２０】 ＜第２実施例＞ 図６は、第２実施例の要部の斜視図であり、第１実施例と異なるところは次の 通りである。 給気用三方弁１０および排気用三方弁１３それぞれを、その弁棒１０ａ，１３ ａの回転軸芯が互いに平行になるように配置するとともに、電動モータ６を、そ のモータ軸６ａの回転軸芯が弁棒１０ａ，１３ａそれぞれの回転軸芯と互いに平 行になるように配置し、弁棒１０ａ，１３ａおよびモータ軸６ａに一体回転可能 にアーム２６を取り付けるとともにアーム２６…をリンク２７を介して連動連結 する。

【００２１】 ＜第３実施例＞ 図７は、第３実施例の要部の斜視図であり、第２実施例と異なるところは次の 通りである。 給気用三方弁１０および排気用三方弁１３それぞれの弁棒１０ａ，１３ａおよ び電動モータ６のモータ軸６ａに一体回転可能にスプロケット２８を取り付ける とともにスプロケット２８…をチェーン２９を介して連動連結する。

【００２２】 図４における第１実施例の給気用三方弁１０および排気用三方弁１３それぞれ の弁棒１０ａ，１３ａどうしをロッド２３を介して連動連結する構成、図６にお ける第２実施例のアーム２６…およびリンク２７を介して連動連結する構成、図 ７における第３実施例のスプロケット２８…およびチェーン２９を介して連動連 結する構成それぞれをして機械式連動機構と称する。

【００２３】 ＜第４実施例＞ 図８は、第４実施例の要部のフローシートであり、水蒸気供給管２１と第１お よび第２の吸着塔２，３それぞれとを第１の三方弁３０および第３の分岐管３１ ，３１を介して接続するとともに、溶剤回収管１６と第１および第２の吸着塔２ ，３それぞれとを第２の三方弁３２および第４の分岐管３３，３３を介して接続 する。

【００２４】 前記第２の三方弁３２と給気用三方弁１０と排気用三方弁１３と第１の三方弁 ３０それぞれの弁棒３２ａ，１０ａ，１３ａ，３０ａを、図９の斜視図に示すよ うに、同一軸芯回りで回転可能に設け、隣合う弁棒３２ａ，１０ａ，１３ａ，３ ０ａどうしをユニバーサルジョイント３４…とロッド３５…とを介して連結し、 かつ、第２の三方弁３２の他方側の弁棒３２ａに正逆転可能な電動モータ３６を 連動連結する。

【００２５】 前記第１および第２の三方弁３０，３２それぞれは、図１０の動作説明に供す る図に示すように、前述した給気用三方弁１０と排気用三方弁１３それぞれと同 様に、弁箱２５にガス流入ポートＰ１を形成するとともに、そのガス流入ポート Ｐ１の両側それぞれに90°づつ偏位させて第１および第２のガス流出ポートＰ２ ，Ｐ３を形成し、更に、弁箱２５に弁体３０ｂ，３２ｂを回転可能に設けて構成 し、かつ、その弁体３０ｂ，３２ｂそれぞれを仮想円の 180°分の円弧形状を有 する板体で構成し、弁体３０ｂ，３２ｂそれぞれにおいて、ガス流入ポートＰ１ から第１のガス流出ポートＰ２にガスを流す状態と第２のガス流出ポートＰ３に 流す状態とに回転によって切換えるようになっている。

【００２６】 以上の構成により、この第４実施例によれば、電動モータ３６の正逆転により 、第１の三方弁３０、給気用三方弁１０、排気用三方弁１３および第２の三方弁 ３２それぞれを一体的に切換え操作し、ガス供給ブロワー５によって第１または 第２の吸着塔２，３のいずれか一方にガス発生源からの溶剤含有ガスを供給して ガス吸着用エレメントＡを通過させ、溶剤をガス吸着用エレメントＡの活性炭素 繊維製吸着材に吸着する。そして、そのときに、他方の吸着塔２または３におい て、過熱水蒸気を供給することにより、ガス吸着用エレメントＡの活性炭素繊維 製吸着材に吸着された有機溶剤を加熱脱着して再生し、脱着した溶剤を凝縮器７ に供給して液化した後に比重分離器８に供給し、液状溶剤を分離して回収するよ うになっている。

【００２７】 前述した第４実施例における、第１の三方弁３０、給気用三方弁１０、排気用 三方弁１３および第２の三方弁３２それぞれの弁棒３０ａ，１０ａ，１３ａ，３ ２ａどうしをロッド３５を介して連動連結する構成をして機械式連動機構と称す る。

【００２８】 請求項３に係る考案の溶剤回収装置としては、上述第４実施例のように、第１ の三方弁３０、給気用三方弁１０、排気用三方弁１３および第２の三方弁３２そ れぞれの弁棒３０ａ，１０ａ，１３ａ，３２ａどうしをロッド３５を介して機械 的に連動連結する構成に限らず、給気用三方弁１０および排気用三方弁１３とは 別に、第１および第２の三方弁３０，３２のみを機械的に連動連結するように構 成するものでも良い。

【００２９】

【考案の効果】

請求項１に係る考案の溶剤回収装置によれば、給気用三方弁と排気用三方弁と を常に一体的に切換操作して、両三方弁の間での切換タイミングのずれ発生を回 避できるから、吸着塔への溶剤含有ガスの供給が停止することを確実に回避して 、ガス発生源で室内に臭気成分が充満したり塵埃が滞留したりすることを回避で き、溶剤回収などの作業環境の改善を図れるなど、極めて有用な溶剤回収装置を 提供できた。

【００３０】 また、請求項２に係る考案の溶剤回収装置によれば、給気用三方弁と排気用三 方弁それぞれの弁棒をロッドによって連結するだけで両三方弁を連動連結でき、 機械式連動機構を極めて簡単かつ安価に構成できる。

【００３１】 また、請求項３に係る考案の溶剤回収装置によれば、第１の三方弁と第２の三 方弁とを常に一体的に切換操作して、両三方弁の間での切換タイミングのずれ発 生を回避できるから、一方の吸着塔に過熱水蒸気を供給したときには、その同じ 側の吸着塔に接続された分岐管を通じて脱着溶剤を含有したガスが溶剤回収管に 排出され、例えば、不測に、脱着溶剤を含有したガスの溶剤回収管への排出が阻 止されて吸着塔内の圧力が増大して外部に洩れるといったことを確実に防止でき 、溶剤回収を良好に行うことができるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１実施例の溶剤回収装置の正面図で
ある。

【図２】図１の平面図である。

【図３】溶剤回収装置を示すフローシートである。

【図４】要部の斜視図である。

【図５】動作説明に供する図である。

【図６】第２実施例の要部の斜視図である。

【図７】第３実施例の要部の斜視図である。

【図８】第４実施例の溶剤回収装置の要部を示すフロー
シートである。

【図９】第４実施例の要部の斜視図である。

【図１０】第４実施例の動作説明に供する図である。

【符号の説明】

２…第１の吸着塔 ３…第２の吸着塔 ７…凝縮器 ８…比重分離器 ９…ガス供給管 １０…給気用三方弁 １０ａ…給気用三方弁の弁棒 １１…第１の分岐管 １２…第２の分岐管 １３…排気用三方弁 １３ａ…排気用三方弁の弁棒 １４…排気部としての排気管 １６…溶剤回収管 ２１…水蒸気供給管 ２３…ロッド ３０…第１の三方弁 ３１…第３の分岐管 ３２…第２の三方弁 ３３…第４の分岐管 Ａ…ガス吸着用エレメント

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 竹本 哲也 大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪 瓦斯株式会社内

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 活性炭素材製のガス吸着用エレメントを
   設けた第１および第２の吸着塔を並設し、その第１およ
   び第２の吸着塔に、溶剤含有ガスを供給するガス供給管
   を給気用三方弁と第１の分岐管とを介して接続し、前記
   ガス吸着用エレメントを間にして、前記ガス供給管とは
   反対側に、溶剤を吸着除去した後のガスを排出する排気
   部を設けるとともに、その排気部と前記第１および第２
   の吸着塔とを排気用三方弁と第２の分岐管とを介して接
   続し、かつ、前記ガス吸着用エレメントを間にして、溶
   剤を脱着するための過熱用水蒸気を供給する水蒸気供給
   管と、脱着した溶剤を回収する溶剤回収管とを前記第１
   および第２の吸着塔に接続した溶剤回収装置において、 前記給気用三方弁と前記排気用三方弁とを機械式連動機
   構を介して連動連結したことを特徴とする溶剤回収装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の機械式連動機構が、給
   気用三方弁と排気用三方弁それぞれの弁棒を同一軸芯回
   りで回転可能に設け、両弁棒をロッドを介して連結した
   ものである溶剤回収装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の溶剤回
   収装置において、第１および第２の吸着塔に、第１の三
   方弁と第３の分岐管とを介して水蒸気供給管を接続する
   とともに、第２の三方弁と第４の分岐管とを介して溶剤
   回収管を接続し、かつ、前記第１の三方弁と前記第２の
   三方弁とを機械式連動機構を介して連動連結した溶剤回
   収装置。