JPH0546040U - ウエハ焼成台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ウエハ表面の加工工程で、ウエハを炉内で焼成
する際、ウエハ表面に焼成痕が発生するのを防止すると
共に、焼成能率を向上させるウエハの焼成台である。 【構成】上面を解放した断面コ字状の耐熱合金製板の相
対する側面に、スリット状の切込み３を設け、このスリ
ット状の切込み３にウエハ１を垂直に立掛ける。このた
めに、従来、耐熱合金製網上にウエハ１を平面に置いて
いた場合に比べ、ウエハ１と耐熱合金製板との接触部が
減少すると共に、一回当たりのウエハ１の焼成効率を向
上させることができる。２は焼成台である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は炉内でウエハ表面に、金属やガラス等を焼付ける際のウエハを載置す るウエハ焼成台に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハの表面の加工工程において、炉内でウエハの表面を数百度から千数百度 に加熱して金属やガラス等を焼付けるが、従来は、耐熱合金製網の上に直接ウエ ハを水平にして載置し、これを炉内に装入していた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

炉内でウエハ表面に、金属やガラス等を焼付ける際、従来技術では上述のよう に、ウエハは耐熱合金製網の上に直接、ウエハを水平に載置していた。そのため に、 （１）ウエハ表面に、金属やガラス等を焼付けた後、ウエハ表面に焼成痕が発 生し、成品の歩止を低下させていた。

【０００４】 （２）耐熱合金製網の上にウエハを水平に載置するため、場所をとり一度に焼 成するウエハの数に限度があり、焼成能力が低いという問題があった。 本考案は、上述の従来技術の問題点を解決して、成品の表面に焼成痕がつかず しかも、一度に焼成可能なウエハの数量を大幅に増大することを可能にしたウエ ハ焼成台を提供することを課題とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は上述の問題点を解決するものであり、次の技術手段を採った。すなわ ち、 上面を解放し断面コ字形状の耐熱合金製板の相対する側面にウエハを上面から 差込んで並立させる多数のスリット状の切込みを設けたことを特徴とするウエハ 焼成台である。

【０００６】

【作用】

本考案は、上述のように構成したので、焼成台のスリット状の切込みにウエハ を差込むだけでよい。 従って、ウエハの下部のスリット状の切込みに挿着する部分の一部が耐熱合金 製板と接触のみであり、また焼成台にはウエハを垂直に差込むことができるので 、一度に焼成するウエハの数が増大し、焼成能力を向上させることができる。

【０００７】

【実施例】

本考案の一実施例の説明図を図１に示す。図１（ａ）は斜視図、図１（ｂ）は 正面図である。焼成台２は上面が解放され、断面コ字形状の耐熱合金製板であり 、相対する側面にウエハ１を差込んで並立させる多数のスリット状の切込み３が 垂直に設けられている。このスリット状の切込み３にウエハ１を差込むものであ る。

【０００８】 図１（ｂ）から明らかなように、ウエハ１はスリット状の切込み３に対して周 縁部が一部接触するのみで、ウエハ１表面と、耐熱合金製板との接触面積は大幅 に減少する。 本実施例で使用しているウエハ１の大きさは５０×３５ｍｍであり、焼成炉の 内部の大きさは３００×３００ｍｍである。従って、従来のように、ウエハ１を 平面に配置して焼成したときに比較して一時に大量のウエハ１を処理することが できる。

【０００９】 本実施例では、耐熱合金製板はステンレス鋼の合金を用いたが、チタンの合金 を用いてもよい。

【００１０】

【考案の効果】

本考案は、成品の歩止並びに生産性の向上に優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本考案の一実施例の説明図であり、図
１（ａ）は斜視図、図１（ｂ）は正面図である。

【符号の説明】

１ ウエハ ２ 焼成台 ３ 切込み

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面を解放し断面コ字形状の耐熱合金製
   板の相対する側面にウエハを上面から差込んで並立させ
   る多数のスリット状の切込みを設けたことを特徴とする
   ウエハ焼成台。