JPH0541871B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0541871B2 JPH0541871B2 JP3536384A JP3536384A JPH0541871B2 JP H0541871 B2 JPH0541871 B2 JP H0541871B2 JP 3536384 A JP3536384 A JP 3536384A JP 3536384 A JP3536384 A JP 3536384A JP H0541871 B2 JPH0541871 B2 JP H0541871B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- screw rod
- stopper
- valve body
- swinging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/04—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor
- F16K31/046—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a motor with electric means, e.g. electric switches, to control the motor or to control a clutch between the valve and the motor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超高真空用制御弁の駆動装置に関す
る。
る。
従来、真空室内に少量のガスを制御し乍ら導入
し、該真空室内を設定圧にまで高めることは行な
われているが、これの流量制御には小さなニード
ル式の流量制御弁を使用し閉弁のためには個別に
設けたストツプ弁により行なうを一般とする。而
して10-11Torrを超えるような超高真空の室内に
ガスを流入させる場合ニードル式の流量制御弁で
は小径のニードルとこれに適合する弁座の製作が
困難であるので極くわずかの開弁で大量のガスが
流れて制御性が悪く、流量の自動制御は行なえ
ず、また閉弁機能を兼備させることが出来ない不
都合がある。
し、該真空室内を設定圧にまで高めることは行な
われているが、これの流量制御には小さなニード
ル式の流量制御弁を使用し閉弁のためには個別に
設けたストツプ弁により行なうを一般とする。而
して10-11Torrを超えるような超高真空の室内に
ガスを流入させる場合ニードル式の流量制御弁で
は小径のニードルとこれに適合する弁座の製作が
困難であるので極くわずかの開弁で大量のガスが
流れて制御性が悪く、流量の自動制御は行なえ
ず、また閉弁機能を兼備させることが出来ない不
都合がある。
こうした超高真空に於ける流量制御と閉弁制御
の困難性は、超高真空圧が作用する流出ポートと
これよりも高い圧力が作用する流入ポートを備え
た弁室内に、該流出ポートを囲繞する環状のシー
トと該シートに圧接する平坦面を備えた弁体を設
け、該弁体を一端側が揺動自在に軸着され他端側
が押されて揺動する揺動腕の軸着部付近に連結し
た構成を有する制御弁を使用することにより解決
出来るが、該揺動腕に過剰な揺動作動を与えると
弁体やこれが圧接するシートが損傷して好ましく
なく、一定以上の揺動を与えないように作動させ
ることが望まれまた自動的に正確な流量制御を行
なうために再現性の良い揺動作動を与えることが
望まれる。
の困難性は、超高真空圧が作用する流出ポートと
これよりも高い圧力が作用する流入ポートを備え
た弁室内に、該流出ポートを囲繞する環状のシー
トと該シートに圧接する平坦面を備えた弁体を設
け、該弁体を一端側が揺動自在に軸着され他端側
が押されて揺動する揺動腕の軸着部付近に連結し
た構成を有する制御弁を使用することにより解決
出来るが、該揺動腕に過剰な揺動作動を与えると
弁体やこれが圧接するシートが損傷して好ましく
なく、一定以上の揺動を与えないように作動させ
ることが望まれまた自動的に正確な流量制御を行
なうために再現性の良い揺動作動を与えることが
望まれる。
本発明は一定範囲の正確な往復動を得るに適し
た駆動装置を提供することをその目的とするもの
で、超高真空用制御弁の弁体を作動させる往復動
自在の作動杆に、モータにより回転され且つ軸方
向の移動を可能ならしめるばねを備えた螺杆を螺
合させ、該作動杆と平行にその往復動を該作動杆
から延びる係合片と係合して制御するストツパ片
を備えたストツパ杆を設け、該ストツパ杆から該
モータの回転の停止スイツチを作動する揺動杆を
延長して設けてその中間部に該螺杆を当接させて
成る。
た駆動装置を提供することをその目的とするもの
で、超高真空用制御弁の弁体を作動させる往復動
自在の作動杆に、モータにより回転され且つ軸方
向の移動を可能ならしめるばねを備えた螺杆を螺
合させ、該作動杆と平行にその往復動を該作動杆
から延びる係合片と係合して制御するストツパ片
を備えたストツパ杆を設け、該ストツパ杆から該
モータの回転の停止スイツチを作動する揺動杆を
延長して設けてその中間部に該螺杆を当接させて
成る。
本発明の実施例を図面につき説明するに、１は
超高真空用制御弁、２は超高真圧が作用する流出
ポート３とこれよりも高い圧力が作用する流入ポ
ート４を備えた弁室、５は該流出ポート３を囲繞
して設けた環状のシートを示し、該シート５に平
坦な圧接面を備えた弁体７が圧接する。該弁体７
は常時ばね８によりシート５から離反する力が与
えられると共に弁体７の背後からベローズリング
９及び連杆１０を介して揺動腕１１による力が与
えられる。該揺動腕１１は１本若しくは複雑本組
合せて構成され、図示の例では軸１２ａを中心に
揺動する第１揺動腕１１ａと軸１２ｂを中心に揺
動する第２揺動腕１１ｂとで構成し、第１揺動腕
１１ａの軸着部付近１３ａに連杆１０を結着する
と共にその他端側１４ａを連杆１５を介して第２
揺動腕１１ｂの軸着部付近１３ｂに結着した。第
２揺動腕１１ｂの他端側１４が作動杆１６により
押されて揺動するとその動きは連杆１５、第１揺
動腕１１ａ及び連杆１０を介して弁体７に伝えら
れ、弁体７とシート５とが圧接もしくは接近して
流出ポート３を流れるガス量を制御する。これと
は逆に作動杆１６が戻るとその分第１、第２揺動
腕１１ａ，１１ｂの逆揺動が可能になり、弁体７
ははべ８によりシート５から離され、流出ポート
３を流れるガス量が多くなる。
超高真空用制御弁、２は超高真圧が作用する流出
ポート３とこれよりも高い圧力が作用する流入ポ
ート４を備えた弁室、５は該流出ポート３を囲繞
して設けた環状のシートを示し、該シート５に平
坦な圧接面を備えた弁体７が圧接する。該弁体７
は常時ばね８によりシート５から離反する力が与
えられると共に弁体７の背後からベローズリング
９及び連杆１０を介して揺動腕１１による力が与
えられる。該揺動腕１１は１本若しくは複雑本組
合せて構成され、図示の例では軸１２ａを中心に
揺動する第１揺動腕１１ａと軸１２ｂを中心に揺
動する第２揺動腕１１ｂとで構成し、第１揺動腕
１１ａの軸着部付近１３ａに連杆１０を結着する
と共にその他端側１４ａを連杆１５を介して第２
揺動腕１１ｂの軸着部付近１３ｂに結着した。第
２揺動腕１１ｂの他端側１４が作動杆１６により
押されて揺動するとその動きは連杆１５、第１揺
動腕１１ａ及び連杆１０を介して弁体７に伝えら
れ、弁体７とシート５とが圧接もしくは接近して
流出ポート３を流れるガス量を制御する。これと
は逆に作動杆１６が戻るとその分第１、第２揺動
腕１１ａ，１１ｂの逆揺動が可能になり、弁体７
ははべ８によりシート５から離され、流出ポート
３を流れるガス量が多くなる。
該作動杆１６を往復動させる構成の詳細は第２
図乃至第５図示の如くであり、該作動杆６の根部
に、歯車１７，６，１８を介してステツピングモ
ータ１９により回転されると共に皿ばね等のばね
２０で軸方向に移動可能な螺杆２１を螺合させ、
該モータ１９により螺杆２１が正逆転されるとこ
れに沿つて作動杆１６が往復の作動を行なう。こ
の場合ばね８の力が連杆１０及び揺動腕１１を介
して作動杆１６に作用するので螺杆２１のバツク
ラツシユを除去出来る。２２は作動杆１６と平行
に設けたストツパ杆で、これに間隔を存して取付
けたストツパ片２３，２３に作動杆１６と一体の
係合片２４がその往復動端に於て係合する。
図乃至第５図示の如くであり、該作動杆６の根部
に、歯車１７，６，１８を介してステツピングモ
ータ１９により回転されると共に皿ばね等のばね
２０で軸方向に移動可能な螺杆２１を螺合させ、
該モータ１９により螺杆２１が正逆転されるとこ
れに沿つて作動杆１６が往復の作動を行なう。こ
の場合ばね８の力が連杆１０及び揺動腕１１を介
して作動杆１６に作用するので螺杆２１のバツク
ラツシユを除去出来る。２２は作動杆１６と平行
に設けたストツパ杆で、これに間隔を存して取付
けたストツパ片２３，２３に作動杆１６と一体の
係合片２４がその往復動端に於て係合する。
ストツパ杆２２は機枠２５に皿ばね２６，２６
を介してその軸方向に移動可能に取付けされる。
揺動杆２７は第５図の説明線図に見られるように
該ストツパ杆２２に固定した取付片２８に支軸２
９で取付けられ、該揺動杆２７の中間をローラ３
０及び歯車１８を介して螺杆２１に当接させると
共にその先端に凹欠３１を形成して光電管で構成
した停止スイツチ３２の間に介入させるようにし
た。３３はローラ３０と歯車１８とが密接するよ
うに揺動杆２７引張るばねである。
を介してその軸方向に移動可能に取付けされる。
揺動杆２７は第５図の説明線図に見られるように
該ストツパ杆２２に固定した取付片２８に支軸２
９で取付けられ、該揺動杆２７の中間をローラ３
０及び歯車１８を介して螺杆２１に当接させると
共にその先端に凹欠３１を形成して光電管で構成
した停止スイツチ３２の間に介入させるようにし
た。３３はローラ３０と歯車１８とが密接するよ
うに揺動杆２７引張るばねである。
該ステツピングモータ１９は第１図示のように
流出ポート３に連らなる真空室３４の真空計３５
にインターフエイス３６を介して接続され、該真
空室３４が真空ポンプ３７の作動、不作動に係わ
らず設定圧力を維持するように制御する。３８は
アルゴンガス等のガス圧源である。
流出ポート３に連らなる真空室３４の真空計３５
にインターフエイス３６を介して接続され、該真
空室３４が真空ポンプ３７の作動、不作動に係わ
らず設定圧力を維持するように制御する。３８は
アルゴンガス等のガス圧源である。
その作動を説明するに、超高真空制御弁１の弁
体７は真空計３５の圧力が設定圧力に近づくと
徐々に閉じるように作動杆１６により作動され、
設定圧力になると完全に流出ポート３を閉じ、第
１図示のように真空室３４の圧力を制御する。該
作動杆１６の作動は真空室３４の圧力が設定圧に
なると同時に閉弁するように作動し弁体７がシー
ト５に圧接した時点でシート５を圧潰せぬよう急
停止するを要するもので、弁体７がシート５に圧
接すると同時に作動杆１６はストツパ杆２２のス
トツパ片２３に係合しそれ以上のストロークが阻
止される。この時モータ１９、歯車１７，１８及
び螺杆２１は回転を続け、螺杆２１及び歯車１８
は作動杆１６から延び出すが、わずかの延び出し
で揺動杆２７の停止スイツチ３２に臨む先端が大
きく動きステツピングモータ１９を止め、螺杆２
１の回転が停止する。
体７は真空計３５の圧力が設定圧力に近づくと
徐々に閉じるように作動杆１６により作動され、
設定圧力になると完全に流出ポート３を閉じ、第
１図示のように真空室３４の圧力を制御する。該
作動杆１６の作動は真空室３４の圧力が設定圧に
なると同時に閉弁するように作動し弁体７がシー
ト５に圧接した時点でシート５を圧潰せぬよう急
停止するを要するもので、弁体７がシート５に圧
接すると同時に作動杆１６はストツパ杆２２のス
トツパ片２３に係合しそれ以上のストロークが阻
止される。この時モータ１９、歯車１７，１８及
び螺杆２１は回転を続け、螺杆２１及び歯車１８
は作動杆１６から延び出すが、わずかの延び出し
で揺動杆２７の停止スイツチ３２に臨む先端が大
きく動きステツピングモータ１９を止め、螺杆２
１の回転が停止する。
図示のものではストツパ杆２２にも皿ばね２６
を設けたので、作動杆１６がストツパ片２３に係
合すると同時に螺杆２１の移動と逆方向の移動を
該ストツパ杆２２に与えることが出来、これによ
れば揺動杆２７を支える支軸２９にローラ３０の
揺動方向と逆方向の移動を与え得るので螺杆２１
の例えば0.05mm程度のわずかの移動で揺動杆２７
は大きく揺動され、停止スイツチ３２を迅速に切
ることが出来る。
を設けたので、作動杆１６がストツパ片２３に係
合すると同時に螺杆２１の移動と逆方向の移動を
該ストツパ杆２２に与えることが出来、これによ
れば揺動杆２７を支える支軸２９にローラ３０の
揺動方向と逆方向の移動を与え得るので螺杆２１
の例えば0.05mm程度のわずかの移動で揺動杆２７
は大きく揺動され、停止スイツチ３２を迅速に切
ることが出来る。
作動杆１６が制御弁１の弁体７を最大に開くよ
うに作動した場合、前記と逆方向に螺杆２１が移
動し、揺動杆２７が停止スイツチ３２を作動させ
る。このように本発明によるときは、弁体を作動
させる往復動自在の作動杆に螺合させた回転自在
の螺杆をばねによりその軸方向に移動自在とし、
該螺杆にその軸方向に移動を拡大すべく揺動して
該螺杆の停止スイツイを作動させる揺動杆を連結
させたので、作動杆はそのストロークエンドに於
て螺杆のばねによる推力が与えられて停止し、弁
体を適度の力でシートに圧接し続けることが出
来、螺杆が軸方向に適度に移動すると揺動杆によ
り停止スイツチが作動するので螺杆のばねの作用
が確実になつてから螺杆の回転を停止させ得る等
の効果がある。
うに作動した場合、前記と逆方向に螺杆２１が移
動し、揺動杆２７が停止スイツチ３２を作動させ
る。このように本発明によるときは、弁体を作動
させる往復動自在の作動杆に螺合させた回転自在
の螺杆をばねによりその軸方向に移動自在とし、
該螺杆にその軸方向に移動を拡大すべく揺動して
該螺杆の停止スイツイを作動させる揺動杆を連結
させたので、作動杆はそのストロークエンドに於
て螺杆のばねによる推力が与えられて停止し、弁
体を適度の力でシートに圧接し続けることが出
来、螺杆が軸方向に適度に移動すると揺動杆によ
り停止スイツチが作動するので螺杆のばねの作用
が確実になつてから螺杆の回転を停止させ得る等
の効果がある。
第１図は本発明の実施例の截断側面図、第２図
はその要部の拡大截断側面図、第３図は第２図の
−線截断平面図、第４図は第２図の−線
断面図、第５図は作動状態を示す線図である。 １……超高真空用制御弁、７……弁体、１６…
…作動杆、２０……ばね、２１……螺杆、２２…
…ストツパ杆、２３……ストツパ片、２７……揺
動杆、３２……停止スイツチ、１９……モータ、
２４……係合片。
はその要部の拡大截断側面図、第３図は第２図の
−線截断平面図、第４図は第２図の−線
断面図、第５図は作動状態を示す線図である。 １……超高真空用制御弁、７……弁体、１６…
…作動杆、２０……ばね、２１……螺杆、２２…
…ストツパ杆、２３……ストツパ片、２７……揺
動杆、３２……停止スイツチ、１９……モータ、
２４……係合片。
Claims (1)
- １ 超高真空用制御弁の弁体を作動させる往復動
自在の作動杆に、モータにより回転され且つ軸方
向の移動を可能ならしめるばねを備えた螺杆を螺
合させ、該作動杆と平行にその往復動を該作動杆
から延びる係合片と係合して制御するストツパ片
を備えたストツパ杆を設け、該ストツパ杆から該
モータの回転の停止スイツチを作動する揺動杆を
延長して設けてその中間部に該螺杆を当接させて
成る超高真空用制御弁の駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3536384A JPS60179584A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 超高真空用制御弁の駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3536384A JPS60179584A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 超高真空用制御弁の駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60179584A JPS60179584A (ja) | 1985-09-13 |
| JPH0541871B2 true JPH0541871B2 (ja) | 1993-06-24 |
Family
ID=12439807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3536384A Granted JPS60179584A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 超高真空用制御弁の駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60179584A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2610692B1 (fr) * | 1987-02-09 | 1989-06-09 | Air Liquide | Vanne de regulation pour gaz |
| KR102259116B1 (ko) | 2014-04-02 | 2021-06-01 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
-
1984
- 1984-02-28 JP JP3536384A patent/JPS60179584A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60179584A (ja) | 1985-09-13 |
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