JPH054138A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
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- JPH054138A JPH054138A JP15881391A JP15881391A JPH054138A JP H054138 A JPH054138 A JP H054138A JP 15881391 A JP15881391 A JP 15881391A JP 15881391 A JP15881391 A JP 15881391A JP H054138 A JPH054138 A JP H054138A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 剛性，固有振動数が高く、高精度かつ高速な
位置決めを行うことができる位置決め装置を実現するこ
と。 【構成】 伸縮可能な複数の駆動機構を被駆動体の同一
面に取り付け、該被駆動体の傾き量と伸縮方向への移動
量とを制御する位置決め装置において、前記駆動機構が
４個以上設けられている。
位置決めを行うことができる位置決め装置を実現するこ
と。 【構成】 伸縮可能な複数の駆動機構を被駆動体の同一
面に取り付け、該被駆動体の傾き量と伸縮方向への移動
量とを制御する位置決め装置において、前記駆動機構が
４個以上設けられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は物体の位置決めを行う位
置決め装置に関し、特に、半導体製造装置、精密加工装
置、精密測定装置等に使用され、高速かつ高精度に物体
の位置決めを行うことが要求される位置決め装置に関す
る。
置決め装置に関し、特に、半導体製造装置、精密加工装
置、精密測定装置等に使用され、高速かつ高精度に物体
の位置決めを行うことが要求される位置決め装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図３は、この種の位置決め装置の従来例
の構成を示す図である。被駆動体３１０は被駆動体３１
０と定盤３１４のそれぞれに締結された３個の駆動素子
３１１（駆動機構）を介して定盤３１４上に取り付けら
れている。被駆動体３１０には、駆動素子３１１の他
に、支持部材３１２をそれぞれ介して定盤３１４に固定
された３個の板ばね３１３の自由端側が取り付けられて
いる。３個の板ばね３１３のそれぞれは、被駆動体３１
０の中心から放射状に設けられており、定盤３１４の平
面と平行な面の並進方向および回転方向に対して剛性を
有しているが、図示Ｚ方向には可撓性がある。
の構成を示す図である。被駆動体３１０は被駆動体３１
０と定盤３１４のそれぞれに締結された３個の駆動素子
３１１（駆動機構）を介して定盤３１４上に取り付けら
れている。被駆動体３１０には、駆動素子３１１の他
に、支持部材３１２をそれぞれ介して定盤３１４に固定
された３個の板ばね３１３の自由端側が取り付けられて
いる。３個の板ばね３１３のそれぞれは、被駆動体３１
０の中心から放射状に設けられており、定盤３１４の平
面と平行な面の並進方向および回転方向に対して剛性を
有しているが、図示Ｚ方向には可撓性がある。
【０００３】ＰＺＴ素子である駆動素子３１１は伸縮可
能に構成されたもので、上記のように被駆動体３１０の
平面を決定するのに必要最少な３個設けられ、外部から
の制御によってその伸縮量を調整することにより、被駆
動体３１０のＺ方向および傾斜の位置決めが行われる。
このときの駆動素子３１１の駆動方向に対する剛性は駆
動素子３１１が主に持つように構成され、また、被駆動
体の位置検出は被駆動体の複数位置を検出するものとさ
れ、この検出結果に基づいて位置決めがなされていた。
能に構成されたもので、上記のように被駆動体３１０の
平面を決定するのに必要最少な３個設けられ、外部から
の制御によってその伸縮量を調整することにより、被駆
動体３１０のＺ方向および傾斜の位置決めが行われる。
このときの駆動素子３１１の駆動方向に対する剛性は駆
動素子３１１が主に持つように構成され、また、被駆動
体の位置検出は被駆動体の複数位置を検出するものとさ
れ、この検出結果に基づいて位置決めがなされていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】現在求められている高
精度かつ高速な位置決めを達成するためには、位置決め
装置の固有振動数を高いものとして応答性を良くするこ
とが要求される。位置決め装置の固有振動数を高いもの
とするためには、駆動機構の剛性を高くする必要がある
が、駆動機構としてＰＺＴ素子等の駆動量が大きくとれ
ないものを用いる場合には移動量を拡大するための拡大
機構を組み込まなければならず、駆動機構の剛性を高く
するのには限界がある。このため、図３に示した構成の
ものでは位置決め装置の総合剛性を高くすることは困難
となり、ＸＹステージ等に搭載されて使用される場合に
は、ＸＹステージの起動時および停止時に、その加速度
によって生じる振動の振幅が大きくなり、要求される高
精度かつ高速な位置決めを実現することができないとい
う問題点がある。また、位置決めを行うための被駆動体
の位置検出は被駆動体の複数位置を計測するものであ
り、駆動機構の剛性によっては外乱により振動が生じて
しまい、この点においても高精度かつ高速な位置決めが
阻害されてしまうという問題点がある。
精度かつ高速な位置決めを達成するためには、位置決め
装置の固有振動数を高いものとして応答性を良くするこ
とが要求される。位置決め装置の固有振動数を高いもの
とするためには、駆動機構の剛性を高くする必要がある
が、駆動機構としてＰＺＴ素子等の駆動量が大きくとれ
ないものを用いる場合には移動量を拡大するための拡大
機構を組み込まなければならず、駆動機構の剛性を高く
するのには限界がある。このため、図３に示した構成の
ものでは位置決め装置の総合剛性を高くすることは困難
となり、ＸＹステージ等に搭載されて使用される場合に
は、ＸＹステージの起動時および停止時に、その加速度
によって生じる振動の振幅が大きくなり、要求される高
精度かつ高速な位置決めを実現することができないとい
う問題点がある。また、位置決めを行うための被駆動体
の位置検出は被駆動体の複数位置を計測するものであ
り、駆動機構の剛性によっては外乱により振動が生じて
しまい、この点においても高精度かつ高速な位置決めが
阻害されてしまうという問題点がある。
【０００５】本発明は上記のような従来の技術が有する
問題点に鑑みてなされたものであって、剛性，固有振動
数が高く、高精度かつ高速な位置決めを行うことができ
る位置決め装置を実現することを目的とする。
問題点に鑑みてなされたものであって、剛性，固有振動
数が高く、高精度かつ高速な位置決めを行うことができ
る位置決め装置を実現することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の位置決め装置
は、伸縮可能な複数の駆動機構を被駆動体の同一面に取
り付け、該被駆動体の傾き量と伸縮方向への移動量とを
制御する位置決め装置において、前記駆動機構が４個以
上設けられている。
は、伸縮可能な複数の駆動機構を被駆動体の同一面に取
り付け、該被駆動体の傾き量と伸縮方向への移動量とを
制御する位置決め装置において、前記駆動機構が４個以
上設けられている。
【０００７】
【作用】駆動機構の個数が従来の３個から４個以上とさ
れるので、駆動機構自体の剛性が同じであっても位置決
め装置としての剛性は高いものとなる。
れるので、駆動機構自体の剛性が同じであっても位置決
め装置としての剛性は高いものとなる。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１（ａ）は本発明の一実施例の構成を示
す平面図であり、図１（ｂ），（ｃ）のそれぞれは図１
（ａ）のＡ−Ａ線断面図およびＢ−Ｂ線断面図である。
本実施例において、正八角形状の被駆動体１０１は４個
の駆動機構を介して定盤１０９に取り付けられている。
この駆動機構は図１（ｃ）に示されるように圧電素子１
０２と、該圧電素子１０２の一端を定盤１０９に固定す
る固定部材１０３と、該圧電素子１０２の他端を被駆動
体１０１に固定する弾性ヒンジ部材１０４から構成され
るもので、図１（ａ）に示されるように被駆動体１０１
の中心から放射状であり、かつ４方向に均しく分散する
位置に設けられている。固定部材１０３，弾性ヒンジ部
材１０４は圧電素子１０２とは接着等の手段によって固
定され、被駆動体１０１，定盤１０９のそれぞれとはボ
ルト締結等の手段によって固定されている。
て説明する。図１（ａ）は本発明の一実施例の構成を示
す平面図であり、図１（ｂ），（ｃ）のそれぞれは図１
（ａ）のＡ−Ａ線断面図およびＢ−Ｂ線断面図である。
本実施例において、正八角形状の被駆動体１０１は４個
の駆動機構を介して定盤１０９に取り付けられている。
この駆動機構は図１（ｃ）に示されるように圧電素子１
０２と、該圧電素子１０２の一端を定盤１０９に固定す
る固定部材１０３と、該圧電素子１０２の他端を被駆動
体１０１に固定する弾性ヒンジ部材１０４から構成され
るもので、図１（ａ）に示されるように被駆動体１０１
の中心から放射状であり、かつ４方向に均しく分散する
位置に設けられている。固定部材１０３，弾性ヒンジ部
材１０４は圧電素子１０２とは接着等の手段によって固
定され、被駆動体１０１，定盤１０９のそれぞれとはボ
ルト締結等の手段によって固定されている。
【０００９】これらの各駆動機構取り付け部には、この
他に一端側が支持部材１０７をそれぞれ介して定盤１０
９に固定され、定盤１０９の平面と平行な面の並進方向
および回転方向に対して剛性を有するが、定盤１０９の
平面に対し垂直方向には可撓性を有する板ばね１０８の
自由端側が取り付けられている。本実施例における被駆
動体１０１の位置検出は被駆動体１０１の中心から放射
状であり、かつ３方向に均しく分散する位置に設けられ
た変位計１０６を用いて行われる。非接触変位計である
変位計１０６は、図１（ｂ）に示されるように定盤１０
９の基準面１０９ａに対向するようにセンサホルダ１０
５を介して被駆動体１０１に固定され、基準面１０９ａ
との距離を示す信号を出力する。
他に一端側が支持部材１０７をそれぞれ介して定盤１０
９に固定され、定盤１０９の平面と平行な面の並進方向
および回転方向に対して剛性を有するが、定盤１０９の
平面に対し垂直方向には可撓性を有する板ばね１０８の
自由端側が取り付けられている。本実施例における被駆
動体１０１の位置検出は被駆動体１０１の中心から放射
状であり、かつ３方向に均しく分散する位置に設けられ
た変位計１０６を用いて行われる。非接触変位計である
変位計１０６は、図１（ｂ）に示されるように定盤１０
９の基準面１０９ａに対向するようにセンサホルダ１０
５を介して被駆動体１０１に固定され、基準面１０９ａ
との距離を示す信号を出力する。
【００１０】変位計１０６を構成するものとしては渦電
流式のものや静電容量式のものを用いることができる
が、本実施例においては渦電流式のものを用いた。次
に、本実施例における位置決め制御について説明する。
本実施例においては、駆動機構が平面を決定するのに必
要最少な３個以上の４個設けられているので、被駆動体
１０１に変形が生じないような制御を行う必要がある。
流式のものや静電容量式のものを用いることができる
が、本実施例においては渦電流式のものを用いた。次
に、本実施例における位置決め制御について説明する。
本実施例においては、駆動機構が平面を決定するのに必
要最少な３個以上の４個設けられているので、被駆動体
１０１に変形が生じないような制御を行う必要がある。
【００１１】図２は本実施例における位置決め方式を示
す制御ブロック図である。検出系２０１1〜２０１3のそ
れぞれは、図１（ｂ）に示した変位計１０６と該変位計
１０６の出力をディジタルの検出信号２０２1〜２０２3
に変換する変換回路（不図示）から構成され、各駆動系
２０６1〜２０６4のそれぞれは図１（ｃ）に示される駆
動機構と該駆動機構の伸縮量を制御する駆動機構ドライ
バ（不図示）から構成されている。
す制御ブロック図である。検出系２０１1〜２０１3のそ
れぞれは、図１（ｂ）に示した変位計１０６と該変位計
１０６の出力をディジタルの検出信号２０２1〜２０２3
に変換する変換回路（不図示）から構成され、各駆動系
２０６1〜２０６4のそれぞれは図１（ｃ）に示される駆
動機構と該駆動機構の伸縮量を制御する駆動機構ドライ
バ（不図示）から構成されている。
【００１２】各検出系２０１1〜２０１3のそれぞれが出
力する各検出信号２０２1〜２０２3はコントローラ２０
４に入力される。コントローラ２０４にはこの他に外部
入力手段（不図示）からの位置決め値を示す指令値２０
３が入力されており、検出信号２０２1〜２０２3から被
駆動体１０１の傾き量と距離とを演算し、続いて、該演
算値と指令値２０３とを比較演算する。次に、各駆動系
２０６1〜２０６4のそれぞれを伸縮させることにより、
被駆動体１０１の傾き量と距離とを指令値２０３と一致
させる駆動信号２０５1〜２０５4を算出して各駆動系２
０６1〜２０６4へ出力する。このように本実施例におい
ては、検出系２０１1〜２０１3とコントローラ２０４に
よるフィードバック系が構成され、被駆動体１０１の位
置決めがなされる。
力する各検出信号２０２1〜２０２3はコントローラ２０
４に入力される。コントローラ２０４にはこの他に外部
入力手段（不図示）からの位置決め値を示す指令値２０
３が入力されており、検出信号２０２1〜２０２3から被
駆動体１０１の傾き量と距離とを演算し、続いて、該演
算値と指令値２０３とを比較演算する。次に、各駆動系
２０６1〜２０６4のそれぞれを伸縮させることにより、
被駆動体１０１の傾き量と距離とを指令値２０３と一致
させる駆動信号２０５1〜２０５4を算出して各駆動系２
０６1〜２０６4へ出力する。このように本実施例におい
ては、検出系２０１1〜２０１3とコントローラ２０４に
よるフィードバック系が構成され、被駆動体１０１の位
置決めがなされる。
【００１３】本実施例においては、駆動機構が４個設け
られているので、位置決め装置の剛性と固有振動数を高
いものとし、駆動素子の制御周波数を高くすることがで
き、高速かつ高精度な位置決め装置とすることができ
た。また、４個の駆動機構が被駆動体１０１の中心から
放射状であり、かつ４方向に均しく分散する位置に設け
られているので、Ｘ方向に対する剛性とＹ方向に対する
剛性とを等しくすることができる。
られているので、位置決め装置の剛性と固有振動数を高
いものとし、駆動素子の制御周波数を高くすることがで
き、高速かつ高精度な位置決め装置とすることができ
た。また、４個の駆動機構が被駆動体１０１の中心から
放射状であり、かつ４方向に均しく分散する位置に設け
られているので、Ｘ方向に対する剛性とＹ方向に対する
剛性とを等しくすることができる。
【００１４】なお、駆動機構を構成する駆動素子とし
て、圧電素子１０２を用いるものとして説明したが、駆
動素子としてはこの他にもモータと送りねじとを組み合
せたものを用いてもよく、これらをテコやクサビを介し
て駆動するように構成してもよい。また、駆動素子を５
個、６個と増設した場合にも同様の方式によって位置決
め制御を行うことが可能であり、駆動機構の設置数およ
び配置は、被駆動体の特性や要求される剛性および位置
決め装置が設置される物体の特性に応じて任意に変更可
能である。このように駆動機構が増えることは被駆動体
の支持点が増えることになるので、適性な位置に支持点
を位置決めすることにより、矯正がなされることとな
り、被駆動体の変形を防止できる。
て、圧電素子１０２を用いるものとして説明したが、駆
動素子としてはこの他にもモータと送りねじとを組み合
せたものを用いてもよく、これらをテコやクサビを介し
て駆動するように構成してもよい。また、駆動素子を５
個、６個と増設した場合にも同様の方式によって位置決
め制御を行うことが可能であり、駆動機構の設置数およ
び配置は、被駆動体の特性や要求される剛性および位置
決め装置が設置される物体の特性に応じて任意に変更可
能である。このように駆動機構が増えることは被駆動体
の支持点が増えることになるので、適性な位置に支持点
を位置決めすることにより、矯正がなされることとな
り、被駆動体の変形を防止できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。駆動機
構を４個以上設けることにより、位置決め装置の剛性お
よび固有振動数を高くすることができ、高精度かつ高速
な位置決め装置を実現することができる効果がある。
いるので、以下に記載するような効果を奏する。駆動機
構を４個以上設けることにより、位置決め装置の剛性お
よび固有振動数を高くすることができ、高精度かつ高速
な位置決め装置を実現することができる効果がある。
【００１６】また、駆動体の支持点が増えるため、位置
決めにより被駆動体を変形を防止することができる効果
がある。
決めにより被駆動体を変形を防止することができる効果
がある。
【図１】（ａ）は本発明の一実施例の構成を示す平面図
であり、（ｂ），（ｃ）のそれぞれは図１（ａ）のＡ−
Ａ線断面図およびＢ−Ｂ線断面図である。
であり、（ｂ），（ｃ）のそれぞれは図１（ａ）のＡ−
Ａ線断面図およびＢ−Ｂ線断面図である。
【図２】本実施例における位置決め方式を示す制御ブロ
ック図である。
ック図である。
【図３】従来例の構成を示す図である。
１０１ 被駆動体 １０２ 圧電素子 １０３ 固定部材 １０４ 弾性ヒンジ部材 １０５ センサホルダ １０６ 変位計 １０７ 支持部材 １０８ 板ばね １０９ 定盤 １０９ａ 基準面 ２０１1〜２０１3 検出系 ２０２1〜２０２3 検出信号 ２０３ 指令値 ２０４ コントローラ ２０５1〜２０５4 駆動信号 ２０６1〜２０６4 駆動系
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 伸縮可能な複数の駆動機構を被駆動体の
同一面に取り付け、該被駆動体の傾き量と伸縮方向への
移動量とを制御する位置決め装置において、前記駆動機
構が４個以上設けられていることを特徴とする位置決め
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15881391A JP3178860B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15881391A JP3178860B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH054138A true JPH054138A (ja) | 1993-01-14 |
| JP3178860B2 JP3178860B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=15679925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15881391A Expired - Fee Related JP3178860B2 (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3178860B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005088125A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-04-07 | Konica Minolta Opto Inc | 加工機 |
| JP2006339263A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Ｚ軸調整機構及び微動ステージ装置 |
| WO2011093553A1 (ko) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 아주대학교산학협력단 | 평면 3자유도 스테이지 |
| KR101340033B1 (ko) * | 2012-06-28 | 2013-12-10 | 한국과학기술원 | 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63195589A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | 工業技術院長 | 微小位置決め機構 |
| JPH01238759A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-22 | Nec Corp | ６自由度精密微動台 |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP15881391A patent/JP3178860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63195589A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | 工業技術院長 | 微小位置決め機構 |
| JPH01238759A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-22 | Nec Corp | ６自由度精密微動台 |
Cited By (8)
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|---|---|---|---|---|
| JP2005088125A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-04-07 | Konica Minolta Opto Inc | 加工機 |
| JP4715081B2 (ja) * | 2003-08-12 | 2011-07-06 | コニカミノルタオプト株式会社 | 加工機 |
| JP2006339263A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Ｚ軸調整機構及び微動ステージ装置 |
| JP4489639B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2010-06-23 | 住友重機械工業株式会社 | Ｚ軸調整機構及び微動ステージ装置 |
| WO2011093553A1 (ko) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 아주대학교산학협력단 | 평면 3자유도 스테이지 |
| JP2012527033A (ja) * | 2010-01-29 | 2012-11-01 | アジュ ユニバーシティ インダストリー−アカデミック コーポレーション ファウンデーション | 平面３自由度ステージ |
| US9069109B2 (en) | 2010-01-29 | 2015-06-30 | Ajou University Industry-Academic Cooperation Foundation | Planar 3-DOF stage |
| KR101340033B1 (ko) * | 2012-06-28 | 2013-12-10 | 한국과학기술원 | 유연기구 메커니즘을 이용한 3축 면외방향 운동 스테이지 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3178860B2 (ja) | 2001-06-25 |
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