JP5073363B2 - 閉鎖ループ櫛型駆動センサ - Google Patents
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Description
本発明は力フィードバック櫛型駆動装置を提供する。図2は、本発明の実施形態により形成された櫛型駆動センサシステム15の例を示している。システム15は、櫛型駆動装置20(加速度計が示されている)を含み、電子機器22に接続されている。電子機器22は、装置20の様々な部品から信号を受け取ることによって、装置20に印加される電圧を決定する。閉鎖ループ構成において、装置20のダイアフラム又は慣性質量30をゼロ位置に保持するために、電子機器22は装置20に電圧信号を供給する。慣性質量30は基板24に屈曲部で接続される。屈曲部により、慣性質量30は、慣性力に応答してX軸に沿って変位することができる。
Claims (4)
- 櫛歯型駆動装置であって、
位置検出装置(20)と、
基板と、
第1の縁部、第2の縁部、第1の端部及び第2の端部を有する力検出装置(30)とを有し、前記力検出装置は、前記基板に接続されており且つ前記位置検出装置と電気的に連絡されており、
前記櫛歯型駆動装置は更に、少なくとも1対の歯からなる4つのグループを有しており、
第1グループ(32)における前記少なくとも1対の歯は、
前記基板から延びる第1の歯(40a)と、
前記第1の歯(40a)とともに容量ギャップを形成する、前記第1の端部付近の前記力検出装置の第1の縁部から延びる第2の歯(40b)とを有しており、前記第1の歯(40a)は、前記力検出装置の長手方向軸(X)に沿う方向において、前記第2の歯(40b)よりも前記第1の端部に近接しており、
第2グループ(36)における前記少なくとも1対の歯は、
前記基板から延びる第1の歯(50a)と、
前記第1の歯(50a)とともに容量ギャップを形成する、前記第2の端部付近の前記第2の縁部から延びる第2の歯(50b)とを有しており、前記第2の歯(50b)は、前記力検出装置の前記長手方向軸(X)に沿う方向において、前記第1の歯(50a)よりも前記第2の端部に近接しており、
第3グループ(34)における前記少なくとも1対の歯は、
前記基板から延びる第1の歯(52a)と、
前記第1の歯(52a)とともに容量ギャップを形成する、前記第2の端部付近の前記第1の縁部から延びる第2の歯(52b)とを有しており、前記第1の歯(52a)は、前記力検出装置の前記長手方向軸(X)に沿う方向において、前記第2の歯(52b)よりも前記第2の端部に近接しており、
第4グループ(38)における前記少なくとも1対の歯は、
前記基板から延びる第1の歯(48a)と、
前記第1の歯(48a)とともに容量ギャップを形成する、前記第1の端部付近の前記第2の縁部から延びる第2の歯(48b)とを有しており、前記第2の歯(48b)は、前記力検出装置の前記長手方向軸(X)に沿う方向において、前記第1の歯(48a)よりも前記第1の端部に近接しており、
前記第1及び前記第2グループの前記第1の歯は、実質的に同一の信号を受け取るための前記位置検出装置に電気的に接続されており、
前記第3及び第4グループの前記第1の歯は、実質的に同一の信号を受け取るための前記位置検出装置に電気的に接続されていることを特徴とする櫛歯型駆動装置。 - 請求項1に記載の櫛歯型駆動装置であって、前記力検出装置は、慣性質量又は圧力検出器であり、前記位置検出装置は、いずれのグループの対が、歯の対の間のギャップが広がっているのかを決定し、前記位置検出装置は、前記力検出装置を所定の位置に動かすのに必要な力を決定し、前記位置検出装置は、決定された前記力に基づいて信号を発生させ、前記位置検出装置は、歯の対の間のギャップが広がったと決定されたグループの対における第1の歯に、発生させた前記信号を伝達することを特徴とする櫛歯型駆動装置。
- 櫛歯駆動方法であって、
少なくとも1対の歯を備える櫛歯駆動部グループの2つの対のうちのいずれが、前記歯の対の間のギャップが広がっているのかを決定する工程を有し、前記櫛歯駆動部グループにおける前記少なくとも1対の歯の各対は、基板に接続される第1の歯と、力検出装置に接続される第2の歯とを有し、
前記方法は更に、前記力検出装置を所定位置に動かすために必要な力を決定する工程と、
決定された前記力に基づいて信号を発生させる工程と、
前記歯の対の間のギャップが広がっていると決定されたグループの対の前記第1の歯に、発生させた前記信号を伝達する工程と、を有し、
対になった前記櫛歯駆動部グループの各々は、互いに、前記力検出装置に対して、対角関係に配置されることを特徴とする、櫛歯駆動方法。 - 請求項3に記載の櫛歯駆動方法であって、
前記第1の対の櫛歯駆動部グループ(32、36)のうちの、第1の櫛歯駆動部グループにおける前記少なくとも1対の歯は、
前記基板から延びる第1の歯と、
前記第1の歯とともに容量ギャップを形成する、第1の端部付近の前記力検出装置の第1の縁部から延びる第2の歯とを有しており、前記第1の歯は、前記力検出装置の長手方向軸(X)に沿う方向において、前記第2の歯よりも前記第1の端部に近接しており、
前記第1の対の櫛歯駆動部グループのうちの、第2の櫛歯駆動部グループにおける前記少なくとも1対の歯は、
前記基板から延びる第1の歯と、
前記第1の歯とともに容量ギャップを形成する、第2の端部付近の前記力検出装置の第2の縁部から延びる第2の歯とを有しており、前記第2の歯は、前記力検出装置の前記長手方向軸(X)に沿う方向において、前記第1の歯よりも前記第2の端部に近接しており、
前記第2の対の櫛歯駆動部グループ(34、38)のうちの、第1の櫛歯駆動部グループにおける前記少なくとも1対の歯は、
前記基板から延びる第1の歯と、
前記第1の歯とともに容量ギャップを形成する、前記第2の端部付近の前記第1の縁部から延びる第2の歯とを有しており、前記第1の歯は、前記力検出装置の前記長手方向軸(X)に沿う方向において、前記第2の歯よりも前記第2の端部に近接しており、
前記第2の対の櫛歯駆動部グループのうちの、第2の櫛歯駆動部グループにおける前記少なくとも1対の歯は、
前記基板から延びる第1の歯と、
前記第1の歯とともに容量ギャップを形成する、前記第1の端部付近の前記第2の縁部から延びる第2の歯とを有しており、前記第2の歯は、前記力検出装置の前記長手方向軸(X)に沿う方向において、前記第1の歯よりも前記第1の端部に近接しており、
前記第1及び前記第2グループの前記第1の歯は、同一の信号を受け取るための制御装置に電気的に接続されており、
前記第3及び第4グループの前記第1の歯は、同一の信号を受け取るための制御装置に電気的に接続されていることを特徴とする櫛歯駆動方法。
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JP2007139250A JP5073363B2 (ja) | 2007-05-25 | 2007-05-25 | 閉鎖ループ櫛型駆動センサ |
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