JPH0539550A - 軟磁性合金膜 - Google Patents
軟磁性合金膜Info
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- JPH0539550A JPH0539550A JP19687891A JP19687891A JPH0539550A JP H0539550 A JPH0539550 A JP H0539550A JP 19687891 A JP19687891 A JP 19687891A JP 19687891 A JP19687891 A JP 19687891A JP H0539550 A JPH0539550 A JP H0539550A
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- magnetic flux
- magnetostriction
- soft magnetic
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F10/00—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure
- H01F10/08—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers
- H01F10/10—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition
- H01F10/12—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys
- H01F10/126—Thin magnetic films, e.g. of one-domain structure characterised by magnetic layers characterised by the composition being metals or alloys containing rare earth metals
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- Magnetic Heads (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高飽和磁束密度を有しながらも、磁歪が低減
された軟磁性合金膜。 【構成】 Ｆｅ x Ｃｏ y Ｓｍ z なる組成を有し、そ
の全体が体心立方構造の結晶からなる軟磁性合金膜。但
し、３０ａｔ％≦x≦９５ａｔ％、５ａｔ％≦y≦７０ａ
ｔ％、０.２ａｔ％≦z≦５ａｔ％ 【効果】 Ｓｍの少量添加により体心立方構造を有する
もので、高飽和磁束密度を有したまま磁歪を低減させる
ことができる。この高い飽和磁束密度を有する合金膜か
らなる薄膜を磁気ヘッドに応用することで、より一層の
高密度磁気記録に適した磁気ヘッドを提供することがで
きる。
された軟磁性合金膜。 【構成】 Ｆｅ x Ｃｏ y Ｓｍ z なる組成を有し、そ
の全体が体心立方構造の結晶からなる軟磁性合金膜。但
し、３０ａｔ％≦x≦９５ａｔ％、５ａｔ％≦y≦７０ａ
ｔ％、０.２ａｔ％≦z≦５ａｔ％ 【効果】 Ｓｍの少量添加により体心立方構造を有する
もので、高飽和磁束密度を有したまま磁歪を低減させる
ことができる。この高い飽和磁束密度を有する合金膜か
らなる薄膜を磁気ヘッドに応用することで、より一層の
高密度磁気記録に適した磁気ヘッドを提供することがで
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高密度記録用磁気ヘッ
ド等に適した飽和磁束密度の高い軟磁性合金膜に関する
ものである。
ド等に適した飽和磁束密度の高い軟磁性合金膜に関する
ものである。
【従来の技術】近年、磁気記録の分野では、その高密度
化が強く要求されている。これに伴い記録媒体上の記録
波長が短くなり、それによる反磁界に抗して記録パター
ンを安定に保持するために、より高い保磁力（Ｈc）の
媒体が用いられるようになっている。このような媒体に
記録するためには、ギャップから強力な磁界を発生する
磁気ヘッドが必要であり、そのコア材料として高い飽和
磁束密度のものが必要とされる。一方、記録再生兼用磁
気ヘッドの場合、媒体からの微小磁界を効率よく検出す
るために、コアの初透磁率（μ）も高いことが要求され
る。ところで、磁気ヘッドの記録効率を上げるにはギャ
ップ部の磁界分布を急峻にすることが有効であり、これ
に適した磁気ヘッドとして、薄膜ヘッド、及び高飽和磁
束密度薄膜をギャップ近傍にのみ配したメタル イン ギ
ャップ（ＭＩＧ）型ヘッドが挙げられる。尚、上記のよ
うな線記録密度の向上とは別に、トラック密度の向上
も、面記録密度の向上に重要であり、ヘッドの狭トラッ
ク化が推進されている。ヘッドを狭トラックに加工する
にはフォトリソグラフィーによる加工が行われる薄膜ヘ
ッドが有利である。また、薄膜ヘッドは高周波化にも有
利な形状である。このように、磁気ヘッドのコア材料と
しては、高飽和磁束密度かつ良好な軟磁気特性のものを
薄膜という形で得ることが強く要求されている。
化が強く要求されている。これに伴い記録媒体上の記録
波長が短くなり、それによる反磁界に抗して記録パター
ンを安定に保持するために、より高い保磁力（Ｈc）の
媒体が用いられるようになっている。このような媒体に
記録するためには、ギャップから強力な磁界を発生する
磁気ヘッドが必要であり、そのコア材料として高い飽和
磁束密度のものが必要とされる。一方、記録再生兼用磁
気ヘッドの場合、媒体からの微小磁界を効率よく検出す
るために、コアの初透磁率（μ）も高いことが要求され
る。ところで、磁気ヘッドの記録効率を上げるにはギャ
ップ部の磁界分布を急峻にすることが有効であり、これ
に適した磁気ヘッドとして、薄膜ヘッド、及び高飽和磁
束密度薄膜をギャップ近傍にのみ配したメタル イン ギ
ャップ（ＭＩＧ）型ヘッドが挙げられる。尚、上記のよ
うな線記録密度の向上とは別に、トラック密度の向上
も、面記録密度の向上に重要であり、ヘッドの狭トラッ
ク化が推進されている。ヘッドを狭トラックに加工する
にはフォトリソグラフィーによる加工が行われる薄膜ヘ
ッドが有利である。また、薄膜ヘッドは高周波化にも有
利な形状である。このように、磁気ヘッドのコア材料と
しては、高飽和磁束密度かつ良好な軟磁気特性のものを
薄膜という形で得ることが強く要求されている。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】高飽和磁束密度の薄膜
としてはＦｅを主成分とするものが種々提案されてい
る。例えば、Ｆｅを主成分とする結晶粒を著しく微細に
することにより（実効的な結晶磁気異方性の低減）、良
好な軟磁気特性を得た例として本発明者等は特願平１−
２７８２２０号，特願平１−２９８８２９号などを出願
している。これらの飽和磁束密度の上限は約１８kＧで
あった。また、純鉄を何らかの方法で軟磁性化したとし
ても、その飽和磁束密度は２１.５kＧである。将来的
に、より一層の高記録密度化を考えた場合、さらに高い
飽和磁束密度が要求されてくると予想される。Ｃｏ（１
０〜７０ａｔ％）を含むＦｅ−Ｃｏ合金はＦｅよりも高
い飽和磁束密度を有し、中でもＦｅ−Ｃｏ（Ｃｏ；４０
ａｔ％）合金は２４.５kＧ（室温）もの飽和磁束密度を
有することが知られている。２４.０kＧの飽和磁束密度
を有するＦｅ−Ｃｏ（Ｃｏ；５０ａｔ％）合金はパーメ
ンジュール（Permendur）と呼ばれ、バルクの材料とし
て既に実用化されている。しかし、薄膜としてこの合金
を作製した場合、良好な軟磁気性特性を得ることは極め
て困難である。これは、Ｆｅ−Ｃｏ合金が＋８×１０-5
もの大きな磁歪を有することに起因している。即ち、ス
パッタ、蒸着等の薄膜形成プロセスにより作製された薄
膜には、１０8〜１０10dyn/cm2の内部応力が存在し、こ
れをゼロにすることは現実的には不可能に近いため、こ
の応力による逆磁歪効果で、薄膜を構成する各結晶には
大きな磁気異方性を生じることになる。多結晶体である
薄膜ではこのような異方性の分散（不均質性）が顕著と
なり、スムーズな磁化の反転が行われなくなり、軟磁気
特性が得られなくなってしまう。このような異方性は極
めて大きなものなので、結晶の微細化により、これを軽
減したとしても、実用に供し得るほどの軟磁気特性を得
ることは難しい。これを解決するにはＦｅ−Ｃｏ合金結
晶の持つ磁歪を低減することが必要である。その方法と
してはＳｉやＡｌを多量に添加することが既に提案され
ている。 （論文 N.Tsuya、K.Arai、K.Ohmori、and T.Honma :IEE
E Trans.Magn、MAG-18（1982）1424.，M.Hayakawa、K.H
ayasi、W.Ishiwata,Y.Ochiai、M.Matsuda、Y.Iwasaki a
nd K.Aso:IEEE Trans. Magn. MAG-23（1987）3092.な
ど）しかし、これら非磁性元素の多量の添加により、飽
和磁束密度は２０kＧを切るため、Ｆｅ系薄膜に対する
優位性はあまりなかった。
としてはＦｅを主成分とするものが種々提案されてい
る。例えば、Ｆｅを主成分とする結晶粒を著しく微細に
することにより（実効的な結晶磁気異方性の低減）、良
好な軟磁気特性を得た例として本発明者等は特願平１−
２７８２２０号，特願平１−２９８８２９号などを出願
している。これらの飽和磁束密度の上限は約１８kＧで
あった。また、純鉄を何らかの方法で軟磁性化したとし
ても、その飽和磁束密度は２１.５kＧである。将来的
に、より一層の高記録密度化を考えた場合、さらに高い
飽和磁束密度が要求されてくると予想される。Ｃｏ（１
０〜７０ａｔ％）を含むＦｅ−Ｃｏ合金はＦｅよりも高
い飽和磁束密度を有し、中でもＦｅ−Ｃｏ（Ｃｏ；４０
ａｔ％）合金は２４.５kＧ（室温）もの飽和磁束密度を
有することが知られている。２４.０kＧの飽和磁束密度
を有するＦｅ−Ｃｏ（Ｃｏ；５０ａｔ％）合金はパーメ
ンジュール（Permendur）と呼ばれ、バルクの材料とし
て既に実用化されている。しかし、薄膜としてこの合金
を作製した場合、良好な軟磁気性特性を得ることは極め
て困難である。これは、Ｆｅ−Ｃｏ合金が＋８×１０-5
もの大きな磁歪を有することに起因している。即ち、ス
パッタ、蒸着等の薄膜形成プロセスにより作製された薄
膜には、１０8〜１０10dyn/cm2の内部応力が存在し、こ
れをゼロにすることは現実的には不可能に近いため、こ
の応力による逆磁歪効果で、薄膜を構成する各結晶には
大きな磁気異方性を生じることになる。多結晶体である
薄膜ではこのような異方性の分散（不均質性）が顕著と
なり、スムーズな磁化の反転が行われなくなり、軟磁気
特性が得られなくなってしまう。このような異方性は極
めて大きなものなので、結晶の微細化により、これを軽
減したとしても、実用に供し得るほどの軟磁気特性を得
ることは難しい。これを解決するにはＦｅ−Ｃｏ合金結
晶の持つ磁歪を低減することが必要である。その方法と
してはＳｉやＡｌを多量に添加することが既に提案され
ている。 （論文 N.Tsuya、K.Arai、K.Ohmori、and T.Honma :IEE
E Trans.Magn、MAG-18（1982）1424.，M.Hayakawa、K.H
ayasi、W.Ishiwata,Y.Ochiai、M.Matsuda、Y.Iwasaki a
nd K.Aso:IEEE Trans. Magn. MAG-23（1987）3092.な
ど）しかし、これら非磁性元素の多量の添加により、飽
和磁束密度は２０kＧを切るため、Ｆｅ系薄膜に対する
優位性はあまりなかった。
【０００３】本発明は、上記の問題点を解決し、Ｆｅ−
Ｃｏ合金の高い飽和磁束密度を保ちつつＦｅ−Ｃｏ合金
結晶のもつ本質的な磁歪を低減し、軟磁性を有する薄膜
を得ることを可能とするものである。
Ｃｏ合金の高い飽和磁束密度を保ちつつＦｅ−Ｃｏ合金
結晶のもつ本質的な磁歪を低減し、軟磁性を有する薄膜
を得ることを可能とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の軟磁性合
金膜は、Ｆｅ x Ｃｏ y Ｓｍ z （Ｆｅ：鉄，Ｃｏ：コ
バルト，Ｓｍ：サマリウム）なる組成を有し、その全体
が体心立方構造の結晶からなることを特徴とするもので
ある。 但し、３０ａｔ％≦x≦９５ａｔ％ （ａｔ％＝原子パ
ーセント） ５ａｔ％≦y≦７０ａｔ％ ０.２ａｔ％≦z≦５ａｔ％
金膜は、Ｆｅ x Ｃｏ y Ｓｍ z （Ｆｅ：鉄，Ｃｏ：コ
バルト，Ｓｍ：サマリウム）なる組成を有し、その全体
が体心立方構造の結晶からなることを特徴とするもので
ある。 但し、３０ａｔ％≦x≦９５ａｔ％ （ａｔ％＝原子パ
ーセント） ５ａｔ％≦y≦７０ａｔ％ ０.２ａｔ％≦z≦５ａｔ％
【０００５】請求項２に記載の発明は、結晶粒の平均粒
径が４０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１に記
載の高飽和磁化軟磁性合金膜である。
径が４０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１に記
載の高飽和磁化軟磁性合金膜である。
【０００６】平衡状態においてはＳｍはＦｅやＣｏにほ
とんど固溶しないが、スパッタや蒸着等の、いわゆる気
相急冷プロセスにより、強制的に固溶させる（非平衡相
を形成する）ことが可能である。異なる結晶構造の化合
物が析出した場合、飽和磁化等の性質が大きく変化して
しまうが、この場合、高い飽和磁化を有するＦｅ−Ｃｏ
の体心立方格子（ｂｃｃ）構造を有したままＳｍを少量
固溶させることができる。合金膜の作製には真空蒸着あ
るいは、ＲＦ２極スパッタ、マグネトロンスパッタ、３
極スパッタ、イオンビームスパッタ、対向ターゲット型
スパッタ等の既存の薄膜作製装置を用いることができ
る。
とんど固溶しないが、スパッタや蒸着等の、いわゆる気
相急冷プロセスにより、強制的に固溶させる（非平衡相
を形成する）ことが可能である。異なる結晶構造の化合
物が析出した場合、飽和磁化等の性質が大きく変化して
しまうが、この場合、高い飽和磁化を有するＦｅ−Ｃｏ
の体心立方格子（ｂｃｃ）構造を有したままＳｍを少量
固溶させることができる。合金膜の作製には真空蒸着あ
るいは、ＲＦ２極スパッタ、マグネトロンスパッタ、３
極スパッタ、イオンビームスパッタ、対向ターゲット型
スパッタ等の既存の薄膜作製装置を用いることができ
る。
【０００７】
【作用】磁歪の本質的な原因は、電子のスピン間の相互
作用が関与している。即ち、結晶構造が変らない場合、
異なる電子状態を持つ元素が固溶すると、スピン間の相
互作用が変化して磁歪が変化する。このような効果が大
きいことが期待できる元素として希土類金属が考えられ
る。希土類金属は３ｄ遷移金属と異なり、軌道磁気モー
メントが生きている（３ｄ遷移金属はスピン磁気モーメ
ントのみ）ので、軌道に伴う異方的な電子雲と格子を構
成する原子の電子との静電的な相互作用がある。このよ
うな結晶場の中での磁性イオンの軌道の振舞いから磁気
異方性を説明するモデルとして一イオンモデルがある
が、同様なメカニズムで磁歪の変化も期待できる。この
ような観点に立ち、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結
果、希土類元素の中で、ＳｍがＦｅ−Ｃｏの磁歪を低減
させる効果を有することを見出した。ここで、Ｓｍ濃度
（ｚ）は０.２ａｔ％以上でないと、その効果が明確に
あらわれない。またＳｍを５ａｔ％以上添加すると、体
心立方構造単相状態を維持することができなくなり、非
晶質相が混在するようになって、飽和磁束密度が低下し
てくる。尚、ＦｅχＣｏyＳｍzにおいて、３０≦χ≦９
５ａｔ％、５≦ｙ≦７０ａｔ％としたのは、Ｆｅより高
い飽和磁束密度を得るためである。ところで、既に述べ
たようにＳｍはＦｅやＣｏには平衡状態では非固溶であ
る。このような非固溶物質を強制固溶させた場合、結晶
粒が微細化することが知られている。このような微細化
によって、上記の磁歪の低減効果と相まって、実効的な
異方性をより低下させることにより、より良好な軟磁気
特性を得ることができる。尚、結晶粒径が４０ｎｍより
大きいときは、このような実効的な異方性低減効果は現
われない。また、このような結晶の微細化を更に促進す
るには、成膜時に基板をイオン照射すること等が有効で
ある。
作用が関与している。即ち、結晶構造が変らない場合、
異なる電子状態を持つ元素が固溶すると、スピン間の相
互作用が変化して磁歪が変化する。このような効果が大
きいことが期待できる元素として希土類金属が考えられ
る。希土類金属は３ｄ遷移金属と異なり、軌道磁気モー
メントが生きている（３ｄ遷移金属はスピン磁気モーメ
ントのみ）ので、軌道に伴う異方的な電子雲と格子を構
成する原子の電子との静電的な相互作用がある。このよ
うな結晶場の中での磁性イオンの軌道の振舞いから磁気
異方性を説明するモデルとして一イオンモデルがある
が、同様なメカニズムで磁歪の変化も期待できる。この
ような観点に立ち、本発明者らは、鋭意研究を重ねた結
果、希土類元素の中で、ＳｍがＦｅ−Ｃｏの磁歪を低減
させる効果を有することを見出した。ここで、Ｓｍ濃度
（ｚ）は０.２ａｔ％以上でないと、その効果が明確に
あらわれない。またＳｍを５ａｔ％以上添加すると、体
心立方構造単相状態を維持することができなくなり、非
晶質相が混在するようになって、飽和磁束密度が低下し
てくる。尚、ＦｅχＣｏyＳｍzにおいて、３０≦χ≦９
５ａｔ％、５≦ｙ≦７０ａｔ％としたのは、Ｆｅより高
い飽和磁束密度を得るためである。ところで、既に述べ
たようにＳｍはＦｅやＣｏには平衡状態では非固溶であ
る。このような非固溶物質を強制固溶させた場合、結晶
粒が微細化することが知られている。このような微細化
によって、上記の磁歪の低減効果と相まって、実効的な
異方性をより低下させることにより、より良好な軟磁気
特性を得ることができる。尚、結晶粒径が４０ｎｍより
大きいときは、このような実効的な異方性低減効果は現
われない。また、このような結晶の微細化を更に促進す
るには、成膜時に基板をイオン照射すること等が有効で
ある。
【０００８】
【実施例】ＤＣ三極高速スパッタ装置を用い、水冷した
銅基板上にＦｅ−Ｃｏ−Ｓｍ合金膜を成膜した。合金タ
ーゲットはアーク溶解により作製した。スパッタ時のＡ
ｒガス圧は４×１０-2Ｔｏｒｒ．ターゲット電圧１kＶ
とした。磁歪の測定は、歪ゲージにより、基板から剥離
した状態で行った。飽和磁束密度は試料振動型磁力計に
より測定した。結晶構造はＸ線回析により同定した。一
例として、Ｓｍ濃度を０.５ａｔ％に一定にしてＦｅ：
Ｃｏの比率を変化させた場合の磁歪の変化を図１に示し
た。比較例として、Ｓｍを含まないバルクのＦｅ−Ｃｏ
合金を破線で示した。図１から明らかにように、わずか
０.５ａｔ％のＳｍの添加で、磁歪が負の方向に変化し
ており、本実施例の軟磁性合金膜では、Ｆｅ：Ｃｏ≒８
５：１５付近において、磁歪を１０-6台と小さくするこ
とができることがわかる。図２にＳｍが０.５ａｔ％の
合金膜の飽和磁束密度のＦｅ：Ｃｏ比による変化を示し
た。これらは体心立方構造の結晶組織を有しており、Ｆ
ｅ−Ｃｏのバルク合金（比較例；破線）と比較しても飽
和磁束密度の低下は大きくない。さらに、Ｆｅ：Ｃｏ＝
９３：７程度のＣｏ濃度の本実施例の合金膜は、純鉄よ
り高い飽和磁束密度を有していることがわかる。図１お
よび図２からわかるように、本実施例の合金膜の中で
も、Ｓｍを０.５ａｔ％含み、Ｆｅ：Ｃｏ＝８５：１５
付近の合金膜は、磁歪が１０-6台と小さく、かつ２２.
１kＧ程度の高い飽和磁束密度をもつものである。
銅基板上にＦｅ−Ｃｏ−Ｓｍ合金膜を成膜した。合金タ
ーゲットはアーク溶解により作製した。スパッタ時のＡ
ｒガス圧は４×１０-2Ｔｏｒｒ．ターゲット電圧１kＶ
とした。磁歪の測定は、歪ゲージにより、基板から剥離
した状態で行った。飽和磁束密度は試料振動型磁力計に
より測定した。結晶構造はＸ線回析により同定した。一
例として、Ｓｍ濃度を０.５ａｔ％に一定にしてＦｅ：
Ｃｏの比率を変化させた場合の磁歪の変化を図１に示し
た。比較例として、Ｓｍを含まないバルクのＦｅ−Ｃｏ
合金を破線で示した。図１から明らかにように、わずか
０.５ａｔ％のＳｍの添加で、磁歪が負の方向に変化し
ており、本実施例の軟磁性合金膜では、Ｆｅ：Ｃｏ≒８
５：１５付近において、磁歪を１０-6台と小さくするこ
とができることがわかる。図２にＳｍが０.５ａｔ％の
合金膜の飽和磁束密度のＦｅ：Ｃｏ比による変化を示し
た。これらは体心立方構造の結晶組織を有しており、Ｆ
ｅ−Ｃｏのバルク合金（比較例；破線）と比較しても飽
和磁束密度の低下は大きくない。さらに、Ｆｅ：Ｃｏ＝
９３：７程度のＣｏ濃度の本実施例の合金膜は、純鉄よ
り高い飽和磁束密度を有していることがわかる。図１お
よび図２からわかるように、本実施例の合金膜の中で
も、Ｓｍを０.５ａｔ％含み、Ｆｅ：Ｃｏ＝８５：１５
付近の合金膜は、磁歪が１０-6台と小さく、かつ２２.
１kＧ程度の高い飽和磁束密度をもつものである。
【０００９】また、軟磁性合金膜中のＳｍの濃度別の磁
歪と飽和磁束密度の測定値を表１に示す。
歪と飽和磁束密度の測定値を表１に示す。
【００１０】
【表１】
【００１１】表１から、Ｓｍの濃度をある程度高くする
ことで、磁歪を低減させることができることがわかる。
しかしながら、Ｓｍの濃度が５at％を超えると、飽和磁
束密度が著しく低下してしまう。これは、Ｓｍの濃度が
高くなるとキュリー温度の低い非晶質相が混在してくる
ためと考えられる。
ことで、磁歪を低減させることができることがわかる。
しかしながら、Ｓｍの濃度が５at％を超えると、飽和磁
束密度が著しく低下してしまう。これは、Ｓｍの濃度が
高くなるとキュリー温度の低い非晶質相が混在してくる
ためと考えられる。
【００１２】
【発明の効果】本発明の軟磁性合金膜は、Ｓｍの少量添
加により体心立方構造を有し、高飽和磁束密度を有した
まま磁歪が低減されたものである。これより純鉄（Ｂs
＝２１.５kＧ）よりも高い飽和磁束密度の薄膜の軟磁性
化が可能となる。このような非常に高い飽和磁束密度を
有する薄膜を磁気ヘッドに応用した場合、微小トラック
及び微小ギャップから強力な磁界を発生することが可能
になり今後のより一層の高密度磁気記録に適した磁気ヘ
ッドを提供することができる。
加により体心立方構造を有し、高飽和磁束密度を有した
まま磁歪が低減されたものである。これより純鉄（Ｂs
＝２１.５kＧ）よりも高い飽和磁束密度の薄膜の軟磁性
化が可能となる。このような非常に高い飽和磁束密度を
有する薄膜を磁気ヘッドに応用した場合、微小トラック
及び微小ギャップから強力な磁界を発生することが可能
になり今後のより一層の高密度磁気記録に適した磁気ヘ
ッドを提供することができる。
【図１】合金中のＣｏ比に対する磁歪の関係を示すグラ
フである。
フである。
【図２】合金中のＣｏ比に対する飽和磁束密度の関係を
示すグラフである。
示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小杉山 真一 宮城県仙台市太白区八木南２−２−16 テ イアラハウス103号 (72)発明者 長谷川 直也 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｆｅ x Ｃｏ y Ｓｍ z （Ｆｅ：鉄，Ｃ
ｏ：コバルト，Ｓｍ：サマリウム）なる組成を有し、そ
の全体が体心立方構造の結晶からなることを特徴とする
高飽和磁化軟磁性合金膜。 但し、 ３０ａｔ％≦x≦９５ａｔ％ （ａｔ％＝原子
パーセント） ５ａｔ％≦y≦７０ａｔ％ ０.２ａｔ％≦z≦５ａｔ％ - 【請求項２】 結晶粒の平均粒径が４０ｎｍ以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の高飽和磁化軟磁性合
金膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3196878A JP2853923B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 軟磁性合金膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3196878A JP2853923B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 軟磁性合金膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0539550A true JPH0539550A (ja) | 1993-02-19 |
| JP2853923B2 JP2853923B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=16365156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3196878A Expired - Fee Related JP2853923B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 軟磁性合金膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2853923B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6132892A (en) * | 1997-09-17 | 2000-10-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Soft magnetic alloy film and manufacturing method thereof, and magnetic head incorporating the same |
| CN109321784A (zh) * | 2017-07-31 | 2019-02-12 | 台耀科技股份有限公司 | 含钐的软磁合金 |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP3196878A patent/JP2853923B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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