JPH05346437A - 半導体加速度検出装置 - Google Patents
半導体加速度検出装置Info
- Publication number
- JPH05346437A JPH05346437A JP17935792A JP17935792A JPH05346437A JP H05346437 A JPH05346437 A JP H05346437A JP 17935792 A JP17935792 A JP 17935792A JP 17935792 A JP17935792 A JP 17935792A JP H05346437 A JPH05346437 A JP H05346437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration
- semiconductor
- weight
- acceleration detection
- acceleration detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体加速度検出装置の加速度検出梁上の増
幅回路に悪影響を与えないようにすることで、装置の信
頼性を向上させる。 【構成】 半導体のピエゾ抵抗効果を利用したゲージ抵
抗を有し、印加加速度による応力を電気信号に変換し、
また応力を集中させるためのダイヤフラムをもつ加速度
検出梁１の一端が台座３を支柱として片持ち梁構造とな
っており、他端に感度を向上させるための重り４を接着
したものにおいて、この重り接着部の加速度検出梁反対
面上に増幅回路１１を設置したものである。 【効果】 増幅回路設置部分の検出梁が加速度印加によ
ってもしなることはないので、増幅回路に悪影響を及ぼ
すことはない。
幅回路に悪影響を与えないようにすることで、装置の信
頼性を向上させる。 【構成】 半導体のピエゾ抵抗効果を利用したゲージ抵
抗を有し、印加加速度による応力を電気信号に変換し、
また応力を集中させるためのダイヤフラムをもつ加速度
検出梁１の一端が台座３を支柱として片持ち梁構造とな
っており、他端に感度を向上させるための重り４を接着
したものにおいて、この重り接着部の加速度検出梁反対
面上に増幅回路１１を設置したものである。 【効果】 増幅回路設置部分の検出梁が加速度印加によ
ってもしなることはないので、増幅回路に悪影響を及ぼ
すことはない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、増幅回路を有する自
動車用半導体加速度検出装置に関するものである。
動車用半導体加速度検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のこの種の半導体加速度検出
装置を示す断面図であり、図において、１は応力を電気
信号に変える半導体のピエゾ抵抗効果を利用したゲージ
抵抗をもつ加速度検出梁、２は応力を集中させ感度を向
上させるために加速度検出梁１に設けられた溝（以下ダ
イヤフラムという）、３は加速度検出梁１の一端に取り
付けられ片持ち梁構造の支柱となる台座、４は感度を向
上させるために台座とは反対の加速度検出梁１の一端に
取り付けられた重り、５は半導体加速度検出装置のパッ
ケージのベース、６はパッケージのキャップ、７は電気
信号を外部に伝えるリードピン、８は応力が変換された
電気信号を加速度検出梁１からリードピン７に伝えるワ
イヤ、９は耐衝撃性向上のためにパッケージ内に封入さ
れた粘性を有するオイル、１０は電気信号を増幅するた
めに加速度検出梁１上に設けられた増幅回路である。
装置を示す断面図であり、図において、１は応力を電気
信号に変える半導体のピエゾ抵抗効果を利用したゲージ
抵抗をもつ加速度検出梁、２は応力を集中させ感度を向
上させるために加速度検出梁１に設けられた溝（以下ダ
イヤフラムという）、３は加速度検出梁１の一端に取り
付けられ片持ち梁構造の支柱となる台座、４は感度を向
上させるために台座とは反対の加速度検出梁１の一端に
取り付けられた重り、５は半導体加速度検出装置のパッ
ケージのベース、６はパッケージのキャップ、７は電気
信号を外部に伝えるリードピン、８は応力が変換された
電気信号を加速度検出梁１からリードピン７に伝えるワ
イヤ、９は耐衝撃性向上のためにパッケージ内に封入さ
れた粘性を有するオイル、１０は電気信号を増幅するた
めに加速度検出梁１上に設けられた増幅回路である。
【０００３】次に動作について説明する。半導体加速度
検出装置に加速度が印加されると、加速度検出梁１がし
なり応力が発生してこれがダイヤフラム２に集中し、ダ
イヤフラム上に設けられたゲージ抵抗により応力が電気
信号に変換される。また、加速度検出梁１上に設けられ
た増幅回路１０によって電気信号は増幅され、リードピ
ン７を伝わり、外部へ引き出されて加速度が検出され
る。
検出装置に加速度が印加されると、加速度検出梁１がし
なり応力が発生してこれがダイヤフラム２に集中し、ダ
イヤフラム上に設けられたゲージ抵抗により応力が電気
信号に変換される。また、加速度検出梁１上に設けられ
た増幅回路１０によって電気信号は増幅され、リードピ
ン７を伝わり、外部へ引き出されて加速度が検出され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体加速度検
出装置は以上のように構成されているが、この場合、加
速度検出梁上に設置されている増幅回路部分が、加速度
の印加によってたわみを生じ、その応力により増幅回路
が破損するという問題点があった。
出装置は以上のように構成されているが、この場合、加
速度検出梁上に設置されている増幅回路部分が、加速度
の印加によってたわみを生じ、その応力により増幅回路
が破損するという問題点があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、加速度が印加されても増幅回路
に影響を与えることのない、信頼性の高い半導体加速度
検出装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、加速度が印加されても増幅回路
に影響を与えることのない、信頼性の高い半導体加速度
検出装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体加
速度検出装置は、加速度が変換された電気信号の増幅回
路を、応力の加わらない加速度検出梁上の重り接着部ま
たは台座接着部の表面に設けたものである。
速度検出装置は、加速度が変換された電気信号の増幅回
路を、応力の加わらない加速度検出梁上の重り接着部ま
たは台座接着部の表面に設けたものである。
【０００７】
【作用】この発明における半導体加速度検出装置は、加
速度が印加されても応力の加わらない加速度検出梁の重
り接着部または台座接着部に増幅回路を設けたので、増
幅回路への影響を防ぐことができ、信頼性が向上する。
速度が印加されても応力の加わらない加速度検出梁の重
り接着部または台座接着部に増幅回路を設けたので、増
幅回路への影響を防ぐことができ、信頼性が向上する。
【０００８】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１において、１１は加速度検出梁１の重り４が
取り付けられている部分の表面に形成された増幅回路で
あり、この部分は加速度が印加されてもたわまない部分
であり、従って増幅回路に悪影響を及ぼすことはない。
する。図１において、１１は加速度検出梁１の重り４が
取り付けられている部分の表面に形成された増幅回路で
あり、この部分は加速度が印加されてもたわまない部分
であり、従って増幅回路に悪影響を及ぼすことはない。
【０００９】この発明による半導体加速度検出装置は、
重りを加速度検出梁の裏面に接着することで、接着剤の
加速度検出梁表面への影響を排除しており、又その重り
接着部の加速度検出梁表面に増幅回路を設けているた
め、加速度が印加されても増幅回路設置部はたわまな
い。
重りを加速度検出梁の裏面に接着することで、接着剤の
加速度検出梁表面への影響を排除しており、又その重り
接着部の加速度検出梁表面に増幅回路を設けているた
め、加速度が印加されても増幅回路設置部はたわまな
い。
【００１０】実施例２．上記実施例では、重り接着部の
反対側の加速度検出梁表面に増幅回路を設けたが、図２
のように、台座接着部の反対側の加速度検出梁表面に増
幅回路１２を設けても上記実施例と同様の効果を奏す
る。
反対側の加速度検出梁表面に増幅回路を設けたが、図２
のように、台座接着部の反対側の加速度検出梁表面に増
幅回路１２を設けても上記実施例と同様の効果を奏す
る。
【００１１】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、加速度
検出梁の応力の加わらない部分に増幅回路を設けたの
で、信頼性の高いものが得られる効果がある。
検出梁の応力の加わらない部分に増幅回路を設けたの
で、信頼性の高いものが得られる効果がある。
【図１】この発明の実施例１による半導体加速度検出装
置の斜視図である。
置の斜視図である。
【図２】この発明の実施例２による半導体加速度検出装
置の斜視図である。
置の斜視図である。
【図３】従来の半導体加速度検出装置を示す断面側面図
である。
である。
１ 加速度検出梁 ２ ダイヤフラム ３ 台座 ４ 重り ５ ベース ６ キャップ ７ リードピン ８ ワイヤ ９ オイル １１，１２ 増幅回路設置部
Claims (2)
- 【請求項１】 ベース上に台座を介して片持ち梁構造に
て支持され、ゲージ抵抗とダイヤフラムとを有する加速
度検出梁、この加速度検出梁の台座接着部と反対側に接
着された重りを備えた半導体加速度検出装置において、
上記加速度検出梁の端部の裏面に上記重りを接着すると
ともに、この重り接着部の表面側に電気信号を増幅する
ための増幅回路を設置したことを特徴とする半導体加速
度検出装置。 - 【請求項２】 ベース上に台座を介して片持ち梁構造に
て支持され、ゲージ抵抗とダイヤフラムとを有する加速
度検出梁、この加速度検出梁の台座接着部と反対側に接
着された重りを備えた半導体加速度検出装置において、
上記台座上に接着された加速度検出梁のその接着部分の
表面側に電気信号を増幅するための増幅回路を設置した
ことを特徴とする半導体加速度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17935792A JPH05346437A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 半導体加速度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17935792A JPH05346437A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 半導体加速度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05346437A true JPH05346437A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=16064437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17935792A Pending JPH05346437A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 半導体加速度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05346437A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110615402A (zh) * | 2018-06-19 | 2019-12-27 | 中国科学院声学研究所 | 一种简支悬臂梁结构mems压电矢量水听器及制备方法 |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP17935792A patent/JPH05346437A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110615402A (zh) * | 2018-06-19 | 2019-12-27 | 中国科学院声学研究所 | 一种简支悬臂梁结构mems压电矢量水听器及制备方法 |
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