JPH05346364A - 真空計 - Google Patents
真空計Info
- Publication number
- JPH05346364A JPH05346364A JP15488392A JP15488392A JPH05346364A JP H05346364 A JPH05346364 A JP H05346364A JP 15488392 A JP15488392 A JP 15488392A JP 15488392 A JP15488392 A JP 15488392A JP H05346364 A JPH05346364 A JP H05346364A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum
- electrode plate
- vacuum gauge
- reference pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】取付けられる装置が運用上でも随時校正が出
来、信頼度の高い真空度測定が出来る。 【構成】真空度を電気容量として検出する電極板３を含
む基準圧力室である高真空度５の両側に気体導入室であ
る測定室４と補正室７とをダイアフラム２及び６を介し
て設け、必要に応じてバイパスバルブ８を開け、測定ポ
ート１と接続される真空室の真空度を測定し、バイパス
バルブ８を閉じたときのダイアフラム２と電極板３での
測定値を前記測定値に補正する。
来、信頼度の高い真空度測定が出来る。 【構成】真空度を電気容量として検出する電極板３を含
む基準圧力室である高真空度５の両側に気体導入室であ
る測定室４と補正室７とをダイアフラム２及び６を介し
て設け、必要に応じてバイパスバルブ８を開け、測定ポ
ート１と接続される真空室の真空度を測定し、バイパス
バルブ８を閉じたときのダイアフラム２と電極板３での
測定値を前記測定値に補正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空計に関し、特に静
電容量式の真空計に関する。
電容量式の真空計に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の真空計の一例を示す模式断
面図である。従来の静電容量式の真空計は、図２に示す
ように、測定対象物と接続される測定ポート１と、測定
室４の真空度及び高真空室５の圧力の差により歪みを発
生するダイアフラム２と、その測定用ダイアフラム２と
の間の静電容量を測定する電極板３とを備えていた。
面図である。従来の静電容量式の真空計は、図２に示す
ように、測定対象物と接続される測定ポート１と、測定
室４の真空度及び高真空室５の圧力の差により歪みを発
生するダイアフラム２と、その測定用ダイアフラム２と
の間の静電容量を測定する電極板３とを備えていた。
【０００３】この真空計は高真空室５と測定室４との圧
力差による歪みによる静電容量の変化により真空度を測
定する構造となっていた。
力差による歪みによる静電容量の変化により真空度を測
定する構造となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の静電容
量式真空計では、測定室の大気圧から真空の繰返し圧力
の変化によるダイアフラムの劣化や侵入してくる反応生
成物の汚れによる劣化により、実際の真空度に対して測
定値に誤差が生ずる問題がある。この対策として、真空
計を取外し、新に校正する方法も考えられるが、そのた
め、真空計を取付けた装置を停止しなければならず、装
置の稼働率を低下させるという問題がある。
量式真空計では、測定室の大気圧から真空の繰返し圧力
の変化によるダイアフラムの劣化や侵入してくる反応生
成物の汚れによる劣化により、実際の真空度に対して測
定値に誤差が生ずる問題がある。この対策として、真空
計を取外し、新に校正する方法も考えられるが、そのた
め、真空計を取付けた装置を停止しなければならず、装
置の稼働率を低下させるという問題がある。
【０００５】本発明の目的は、装置を停止することなく
校正することが出来、信頼度の高い測定が出来る真空計
を提供することである。
校正することが出来、信頼度の高い測定が出来る真空計
を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の真空計は、電気
容量を検出する電極板と、この電極板を内部に含む基準
圧力値をもつ基準圧力室と、この基準圧力室の両側にダ
イヤフラムを介して取付けられる気体導入室とを備えて
いる。また、他の真空計は、前記気体導入室をバルブを
介して接続することを特徴としている。
容量を検出する電極板と、この電極板を内部に含む基準
圧力値をもつ基準圧力室と、この基準圧力室の両側にダ
イヤフラムを介して取付けられる気体導入室とを備えて
いる。また、他の真空計は、前記気体導入室をバルブを
介して接続することを特徴としている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００８】図１は、本発明の真空計の一実施例を示す
模式断面図である。この真空計は、図１に示すように、
電極板３の裏面側に基準圧力の高真空室５と、この高真
空室５にダイアフラム６を介して補正室７を設け、この
補正室７と測定室４とをバイパスバルブ８を介して配管
で接続したことである。すなわち、電極板３を測定用の
電極と校正用の電極を共用し、この電極板３の両側にダ
イアフラムを介して基準圧力室である高真空室と測定圧
力室を設けたことである。
模式断面図である。この真空計は、図１に示すように、
電極板３の裏面側に基準圧力の高真空室５と、この高真
空室５にダイアフラム６を介して補正室７を設け、この
補正室７と測定室４とをバイパスバルブ８を介して配管
で接続したことである。すなわち、電極板３を測定用の
電極と校正用の電極を共用し、この電極板３の両側にダ
イアフラムを介して基準圧力室である高真空室と測定圧
力室を設けたことである。
【０００９】次に、この真空計の校正手順について説明
する。まず、通常の運用状態で、測定用のダイアフラム
２の劣化が生じた場合、あるいは校正を必要とする場合
は、まず、バイパスバルブ８を開き、測定対象物からガ
スを補正室に導入し、ダイアフラム６と電極板３との電
気容量を測定する。次に、バイパスバルブ８を閉じたと
きのダイアフラム２と電極板３との電気容量を測定す
る。そしてこれら電気容量の差を無くすように、この真
空計に接続される回路で補正する。補正が完了したら、
バイパスバルブ８を閉じ、運用状態を続ける。また、こ
のダイアフラム２及び６は、圧力に対しては直線的に歪
が生ずるものの露点で校正として大気圧での校正を必要
とする。次に、被対称物用の測定ポート１に大気を導入
し、ダイアフラム２の変形による電気容量を測定し、比
較して回路部でその差がないように調整して露点調整を
行う。
する。まず、通常の運用状態で、測定用のダイアフラム
２の劣化が生じた場合、あるいは校正を必要とする場合
は、まず、バイパスバルブ８を開き、測定対象物からガ
スを補正室に導入し、ダイアフラム６と電極板３との電
気容量を測定する。次に、バイパスバルブ８を閉じたと
きのダイアフラム２と電極板３との電気容量を測定す
る。そしてこれら電気容量の差を無くすように、この真
空計に接続される回路で補正する。補正が完了したら、
バイパスバルブ８を閉じ、運用状態を続ける。また、こ
のダイアフラム２及び６は、圧力に対しては直線的に歪
が生ずるものの露点で校正として大気圧での校正を必要
とする。次に、被対称物用の測定ポート１に大気を導入
し、ダイアフラム２の変形による電気容量を測定し、比
較して回路部でその差がないように調整して露点調整を
行う。
【００１０】このように校正された後は、バイパスバル
ブ８を開閉のみで、真空計の測定値が正しいか否かをチ
ェック出来る。また必要とあれば、バイパスバルブ８を
リモートコントロール用のバルブにすれば、測定場所で
チェックしなくとも、装置を操作しながらでも点検出来
るのでより利点がある。
ブ８を開閉のみで、真空計の測定値が正しいか否かをチ
ェック出来る。また必要とあれば、バイパスバルブ８を
リモートコントロール用のバルブにすれば、測定場所で
チェックしなくとも、装置を操作しながらでも点検出来
るのでより利点がある。
【００１１】また、この実施例では、電極板の両側に独
立して基準の圧力室を設けたが、電極板に穴を明け、両
側の高真空室を同一の圧力値をもつ基準圧力室としても
良い。さらに電極板を互いに絶縁板を挟み真空測定回路
を独立させても良く、この場合、常時、測定値を比較し
て真空計の異常の有無の確認が出来るという利点があ
る。
立して基準の圧力室を設けたが、電極板に穴を明け、両
側の高真空室を同一の圧力値をもつ基準圧力室としても
良い。さらに電極板を互いに絶縁板を挟み真空測定回路
を独立させても良く、この場合、常時、測定値を比較し
て真空計の異常の有無の確認が出来るという利点があ
る。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、一枚の真
空度検出用の電極板を含む基準圧力室の両側に同一特性
をもつダイアフラムを介して２つのガス導入室を設け、
このガス導入室の一つを常時圧力測定用とし、他を校正
用とすることによって、装置を停止させることなく随時
校正できるという効果がある。
空度検出用の電極板を含む基準圧力室の両側に同一特性
をもつダイアフラムを介して２つのガス導入室を設け、
このガス導入室の一つを常時圧力測定用とし、他を校正
用とすることによって、装置を停止させることなく随時
校正できるという効果がある。
【図１】本発明の真空計の一実施例を示す模式断面図で
ある。
ある。
【図２】従来の一例を示す真空計の模式断面図である。
１ 測定ポート ２，６ ダイアフラム ３ 電極板 ４ 測定室 ５ 高真空室 ７ 補正室 ８ バイパスバルブ ９ バルブ
Claims (2)
- 【請求項１】 電気容量を検出する電極板と、この電極
板を内部に含む基準圧力値をもつ基準圧力室と、この基
準圧力室の両側にダイヤフラムを介して取付けられる気
体導入室とを備えることを特徴とする真空計。 - 【請求項２】 前記気体導入室をバルブを介して接続す
ることを特徴とする請求項１記載の真空計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15488392A JPH05346364A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15488392A JPH05346364A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 真空計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05346364A true JPH05346364A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15594043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15488392A Withdrawn JPH05346364A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | 真空計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05346364A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114018474A (zh) * | 2021-09-16 | 2022-02-08 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种电容薄膜真空计封装前电容信号调测装置 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP15488392A patent/JPH05346364A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114018474A (zh) * | 2021-09-16 | 2022-02-08 | 兰州空间技术物理研究所 | 一种电容薄膜真空计封装前电容信号调测装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |