JPH0712669A - 真空スイッチ - Google Patents
真空スイッチInfo
- Publication number
- JPH0712669A JPH0712669A JP5158487A JP15848793A JPH0712669A JP H0712669 A JPH0712669 A JP H0712669A JP 5158487 A JP5158487 A JP 5158487A JP 15848793 A JP15848793 A JP 15848793A JP H0712669 A JPH0712669 A JP H0712669A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atmospheric pressure
- diaphragm
- measurement
- pressure
- vacuum switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】真空スイッチに於いて、ダイアフラムの劣化や
反応生成物の付着によって、大気圧を検知する圧力に誤
差が生じることを防止する。 【構成】測定用ダイアフラム１の歪み量を測定するレー
ザー変位計２と、測定室４を強制的に大気にするバルブ
６を設けることにより、測定用ダイアフラム１の歪み量
に生じた誤差を検知・補正し、大気圧を検出する圧力
に、誤差が生じることを防止する。
反応生成物の付着によって、大気圧を検知する圧力に誤
差が生じることを防止する。 【構成】測定用ダイアフラム１の歪み量を測定するレー
ザー変位計２と、測定室４を強制的に大気にするバルブ
６を設けることにより、測定用ダイアフラム１の歪み量
に生じた誤差を検知・補正し、大気圧を検出する圧力
に、誤差が生じることを防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空スイッチに関し、特
に大気圧を検知する真空スイッチに関する。
に大気圧を検知する真空スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空スイッチは、図４に示す蓉
に、真空配管と接続される測定ポート３と、測定室４の
圧力変化により歪みを生じる測定用ダイアフラム１と、
測定室４の圧力が大気圧であることを外部へ信号出力す
る為のリミットスイッチ８を有している。次に動作につ
いて説明する。測定室４が大気圧より低い圧力では、測
定用ダイアフラム１が測定室４側へ歪みを生じ、リミッ
トスイッチ８はＯＦＦする。反対に測定室４の圧力が高
くなると、測定用ダイフラム１の歪みが小さくなり、測
定室４の圧力が大気圧に達する測定用ダイアフラム１の
歪みが無くなり元の状態に戻る。この時に測定用ダイア
フラム１がリミットスイッチ８をＯＮし、測定室４が大
気圧であることを外部へ信号出力する様になっていた。
に、真空配管と接続される測定ポート３と、測定室４の
圧力変化により歪みを生じる測定用ダイアフラム１と、
測定室４の圧力が大気圧であることを外部へ信号出力す
る為のリミットスイッチ８を有している。次に動作につ
いて説明する。測定室４が大気圧より低い圧力では、測
定用ダイアフラム１が測定室４側へ歪みを生じ、リミッ
トスイッチ８はＯＦＦする。反対に測定室４の圧力が高
くなると、測定用ダイフラム１の歪みが小さくなり、測
定室４の圧力が大気圧に達する測定用ダイアフラム１の
歪みが無くなり元の状態に戻る。この時に測定用ダイア
フラム１がリミットスイッチ８をＯＮし、測定室４が大
気圧であることを外部へ信号出力する様になっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の真空スイッ
チでは、大気・真空間の繰返しによるダイアフラムの劣
化や、反応生成物やゴミの付着により、大気圧時のダイ
アフラムの歪み量（戻り量）が変化し、リミットスイッ
チの動作する圧力に誤差を生じていた。その誤差が発生
することにより、例えばＣＶＤ装置に於いて、チャンバ
ー内が完全に大気圧に戻っていないにもかかわらず大気
圧と誤認識することによりハッチが開き、チャンバー内
のパーティクルを巻上げるといったトラブルや、大気圧
になっているにもかかわらず大気圧と認識しないことに
よる製品のチャンバー内放置といった製品上に悪影響を
及ぼす問題点があった。
チでは、大気・真空間の繰返しによるダイアフラムの劣
化や、反応生成物やゴミの付着により、大気圧時のダイ
アフラムの歪み量（戻り量）が変化し、リミットスイッ
チの動作する圧力に誤差を生じていた。その誤差が発生
することにより、例えばＣＶＤ装置に於いて、チャンバ
ー内が完全に大気圧に戻っていないにもかかわらず大気
圧と誤認識することによりハッチが開き、チャンバー内
のパーティクルを巻上げるといったトラブルや、大気圧
になっているにもかかわらず大気圧と認識しないことに
よる製品のチャンバー内放置といった製品上に悪影響を
及ぼす問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の真空スイッチ
は、測定室の測定用ダイアフラムに生じる歪み量を任意
の時間に検知する歪み検知機能と、大気圧時の測定用ダ
イアフラムの基準歪み量を測定する為に測定室を強制的
に大気圧にするバルブを備えている。
は、測定室の測定用ダイアフラムに生じる歪み量を任意
の時間に検知する歪み検知機能と、大気圧時の測定用ダ
イアフラムの基準歪み量を測定する為に測定室を強制的
に大気圧にするバルブを備えている。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の実施例１の概略断面図、図２は測定
室圧力と測定用ダイアフラム歪み量の相関図の一例であ
る。図１の様に測定用ダイアフラム１で生じた歪み量を
検出するレーザー変位計２と、測定ポート３と測定室４
を遮断する為のバルブ５と、測定室４を強制的に大気圧
へ戻す為のバルブ６を備えている。
る。図１は本発明の実施例１の概略断面図、図２は測定
室圧力と測定用ダイアフラム歪み量の相関図の一例であ
る。図１の様に測定用ダイアフラム１で生じた歪み量を
検出するレーザー変位計２と、測定ポート３と測定室４
を遮断する為のバルブ５と、測定室４を強制的に大気圧
へ戻す為のバルブ６を備えている。
【０００６】まず、測定用ダイアフラム１が正常な場合
には、図２の実線で示す様に、レーザー変位計２による
測定用ダイアフラム１の歪み量は、大気圧で０となる。
しかし、測定用ダイアフラム１に劣化や生成物の付着が
生じた場合、測定用ダイアフラム１の復元力に変化が生
じ、図２の一点鎖線で示す様に、歪み量に誤差が生じ
る。つまり、測定用ダイアフラム１が元に戻りきらない
場合には、測定室４が大気圧状態に於てもＸ1 の歪み量
が残り、歪み量が０となるには、更に高い圧力（大気圧
＋α）が必要であり、大気圧の検知ができない。逆に、
測定用ダイアフラム１が戻り過ぎた場合には、測定室４
が大気圧より低い真空状態（大気圧−β）で歪み量が０
に達し、大気圧と誤検知してしまう。この場合、測定室
４が大気圧状態では、反対側にＸ2 という歪み量が生じ
る。そこで、この様に歪み量に誤差が生じている状態
で、大気−真空−大気と移行する工程の任意の時間に、
バルブ５を閉め、バルブ６を開けることにより、測定室
４を強制的に大気圧にする。ここで、レーザー変位計２
により測定用ダイアフラム１の歪み量を測定し、その基
準歪み量が０でなく、Ｘ1 やＸ2 の誤差を生じているこ
とを認識し、基準歪み量を補正することにより、生じた
誤差を無くし、大気圧を正確に検知することができる。
には、図２の実線で示す様に、レーザー変位計２による
測定用ダイアフラム１の歪み量は、大気圧で０となる。
しかし、測定用ダイアフラム１に劣化や生成物の付着が
生じた場合、測定用ダイアフラム１の復元力に変化が生
じ、図２の一点鎖線で示す様に、歪み量に誤差が生じ
る。つまり、測定用ダイアフラム１が元に戻りきらない
場合には、測定室４が大気圧状態に於てもＸ1 の歪み量
が残り、歪み量が０となるには、更に高い圧力（大気圧
＋α）が必要であり、大気圧の検知ができない。逆に、
測定用ダイアフラム１が戻り過ぎた場合には、測定室４
が大気圧より低い真空状態（大気圧−β）で歪み量が０
に達し、大気圧と誤検知してしまう。この場合、測定室
４が大気圧状態では、反対側にＸ2 という歪み量が生じ
る。そこで、この様に歪み量に誤差が生じている状態
で、大気−真空−大気と移行する工程の任意の時間に、
バルブ５を閉め、バルブ６を開けることにより、測定室
４を強制的に大気圧にする。ここで、レーザー変位計２
により測定用ダイアフラム１の歪み量を測定し、その基
準歪み量が０でなく、Ｘ1 やＸ2 の誤差を生じているこ
とを認識し、基準歪み量を補正することにより、生じた
誤差を無くし、大気圧を正確に検知することができる。
【０００７】次に図３は、本発明の実施例２の概略断面
図である。この実施例では歪み量を検知する手段として
電極板７を設け、測定用ダイアフラム１と電極板７間の
静電容量により歪み量を測定する。基準歪み量を補正す
る手段としては実施例１と同様の手段を用いることによ
り補正が可能である。この実施例２では測定用ダイアフ
ラム１の歪み量をある一点の歪み量ではなく、全体の歪
み量で捕えることができる為、再現性や測定精度を向上
できるという利点がある。
図である。この実施例では歪み量を検知する手段として
電極板７を設け、測定用ダイアフラム１と電極板７間の
静電容量により歪み量を測定する。基準歪み量を補正す
る手段としては実施例１と同様の手段を用いることによ
り補正が可能である。この実施例２では測定用ダイアフ
ラム１の歪み量をある一点の歪み量ではなく、全体の歪
み量で捕えることができる為、再現性や測定精度を向上
できるという利点がある。
【０００８】
【発明の効果】以上説明した様に本発明は、ダイアフラ
ムの歪み量を検知する機能と、測定室を強制的に大気圧
に戻し、その時の歪み量を基準歪み量として誤差を補正
することにより、大気圧の検知制度を向上させることが
できる。又、大気圧検知機能が不可欠である半導体製造
用減圧装置に於ては、製品へのパーティクル発生やチャ
ンバー内放置というトラブルを防止することができ、製
品の歩留りを向上させる効果を有する。
ムの歪み量を検知する機能と、測定室を強制的に大気圧
に戻し、その時の歪み量を基準歪み量として誤差を補正
することにより、大気圧の検知制度を向上させることが
できる。又、大気圧検知機能が不可欠である半導体製造
用減圧装置に於ては、製品へのパーティクル発生やチャ
ンバー内放置というトラブルを防止することができ、製
品の歩留りを向上させる効果を有する。
【図１】本発明の実施例１の概略断面図。
【図２】本発明に係わる測定室圧力と測定用ダイアフラ
ム歪み量の相関図。
ム歪み量の相関図。
【図３】本発明の実施例２の概略断面図。
【図４】従来の真空スイッチの概略断面図。
１ 測定用ダイアフラム ２ レーザー変位計 ３ 測定ポート ４ 測定室 ５ バルブ ６ バルブ ７ 電極板 ８ リミットスイッチ
Claims (1)
- 【請求項１】 圧力により形成する金属で大気圧を検知
する真空スイッチに於いて、その金属の歪み量を任意の
時間に検知できる機能と、真空スイッチの測定室を強制
的に大気圧にする為のバルブを設けたことを特徴とする
真空スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5158487A JPH0712669A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 真空スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5158487A JPH0712669A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 真空スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712669A true JPH0712669A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15672818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5158487A Withdrawn JPH0712669A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 真空スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712669A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1120259A2 (en) * | 2000-01-21 | 2001-08-01 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
| JP2005337924A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Tokyo Electron Ltd | 圧力計の製造方法、ガス処理装置の製造方法、圧力計、及び、ガス処理装置 |
| JP2006017711A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-19 | Alcon Inc | 非侵襲光学圧力センサ |
| WO2022044632A1 (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | 株式会社村田製作所 | センサ装置 |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP5158487A patent/JPH0712669A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1120259A2 (en) * | 2000-01-21 | 2001-08-01 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
| EP1120259A3 (en) * | 2000-01-21 | 2001-12-12 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
| EP1747888A3 (en) * | 2000-01-21 | 2007-04-11 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
| EP1754608A3 (en) * | 2000-01-21 | 2007-04-11 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus |
| JP2005337924A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Tokyo Electron Ltd | 圧力計の製造方法、ガス処理装置の製造方法、圧力計、及び、ガス処理装置 |
| JP2006017711A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-19 | Alcon Inc | 非侵襲光学圧力センサ |
| WO2022044632A1 (ja) * | 2020-08-28 | 2022-03-03 | 株式会社村田製作所 | センサ装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |