JP3498034B2 - ロ−ドロック室 - Google Patents
ロ−ドロック室Info
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- JP3498034B2 JP3498034B2 JP2000060388A JP2000060388A JP3498034B2 JP 3498034 B2 JP3498034 B2 JP 3498034B2 JP 2000060388 A JP2000060388 A JP 2000060388A JP 2000060388 A JP2000060388 A JP 2000060388A JP 3498034 B2 JP3498034 B2 JP 3498034B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、未処理のウェハが
搬入されるとともに処理済みのウェハが搬出される搬出
入口をもつチャンバと、この搬出入口を開閉するゲ−ト
バルブと、チャンバを減圧する真空ポンプとを備えるロ
−ドロック室に関する。
搬入されるとともに処理済みのウェハが搬出される搬出
入口をもつチャンバと、この搬出入口を開閉するゲ−ト
バルブと、チャンバを減圧する真空ポンプとを備えるロ
−ドロック室に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のロ−ドロック室は、ＣＶ
Ｄ装置やプラズマエッチング装置の処理室に隣接して設
けられていた。そして、処理室の真空を解放させること
なく被処理物であるウェハの搬出入の動作を自動的に行
えることを特徴としていた。
Ｄ装置やプラズマエッチング装置の処理室に隣接して設
けられていた。そして、処理室の真空を解放させること
なく被処理物であるウェハの搬出入の動作を自動的に行
えることを特徴としていた。
【０００３】例えば、このロ−ドロック室から複数のウ
ェハが収納されたウェハキャリアを大気外に搬出すると
きは、まず、減圧状態のロ−ドロック室のチャンバと処
理室とを仕切るゲ−トバルブと、真空ポンプの配管経路
にあるバルブとを閉じ、しかる後、チャンバのリ−クバ
ルブを開きチャンバを大気圧にしてから、チャンバの大
気側にあるゲ−トバルブを開き、ウェハキャリアをチャ
ンバから取り出していた。
ェハが収納されたウェハキャリアを大気外に搬出すると
きは、まず、減圧状態のロ−ドロック室のチャンバと処
理室とを仕切るゲ−トバルブと、真空ポンプの配管経路
にあるバルブとを閉じ、しかる後、チャンバのリ−クバ
ルブを開きチャンバを大気圧にしてから、チャンバの大
気側にあるゲ−トバルブを開き、ウェハキャリアをチャ
ンバから取り出していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、チャン
バの大気圧領域を測定する圧力計が精度が悪いと、圧力
計が１気圧と測定しても、実際のチャンバの圧力が、例
えば、０．９５気圧となり、チャンバの圧力と大気圧と
に圧力差が生じる。このときゲ−トバルブを開けると、
大気からチャンバ内に流れ込む空気の流れを生じ、チャ
ンバ内に蓄積された反応生成物であるゴミが舞い上が
り、処理されたウェハに付着しウェハの歩留まりを低下
させるという問題があった。
バの大気圧領域を測定する圧力計が精度が悪いと、圧力
計が１気圧と測定しても、実際のチャンバの圧力が、例
えば、０．９５気圧となり、チャンバの圧力と大気圧と
に圧力差が生じる。このときゲ−トバルブを開けると、
大気からチャンバ内に流れ込む空気の流れを生じ、チャ
ンバ内に蓄積された反応生成物であるゴミが舞い上が
り、処理されたウェハに付着しウェハの歩留まりを低下
させるという問題があった。
【０００５】この問題を解消する圧力測定の真空スイッ
チが、特開平７−１２６６９号公報に開示されている。
図４は特開平７−１２６６９号公報に開示された真空ス
イッチを説明する図である。この真空スイッチは、図４
に示すように、チャンバの測定ポ−ト１７とバルブ１８
を介して連結される測定室１９に配置される測定用ダイ
ヤフラム２０と、測定用ダイヤフラム２０の歪みを測定
するレ−ザ−変位計２１とを備えている。
チが、特開平７−１２６６９号公報に開示されている。
図４は特開平７−１２６６９号公報に開示された真空ス
イッチを説明する図である。この真空スイッチは、図４
に示すように、チャンバの測定ポ−ト１７とバルブ１８
を介して連結される測定室１９に配置される測定用ダイ
ヤフラム２０と、測定用ダイヤフラム２０の歪みを測定
するレ−ザ−変位計２１とを備えている。
【０００６】そして、測定用ダイヤフラムの上記の不都
合により大気圧力値を示さないとき、バルブ１８を閉
じ、バルブ２２を開け強制的に外気を導入し測定室１９
を大気にし、このとき測定用ダイヤフラム２０の歪み量
をレ−ザ−変位計２１で測定し、基準歪み量として補正
することを特徴としている。
合により大気圧力値を示さないとき、バルブ１８を閉
じ、バルブ２２を開け強制的に外気を導入し測定室１９
を大気にし、このとき測定用ダイヤフラム２０の歪み量
をレ−ザ−変位計２１で測定し、基準歪み量として補正
することを特徴としている。
【０００７】しかしながら、レ−ザ−変位計２１を測定
室１９内に配置することは、測定室が大きくなるという
欠点がある。また、測定室１９が大気圧であると測定し
たとしても、大きな測定室１９との間に細い測定ポ−ト
１７によりコンダクタンスを悪くし、さらにバルブ１８
がある限り、測定室とチャンバ内に圧力差を生じる。従
って、チャンバが大気圧より低い場合は、バルブ１８が
開いたとき、チャンバへの空気の流れが生じゴミを舞い
上げるという問題を起こすことになる。また、圧力を測
定するための測定用ダイアフラムが撓み量が変動し易く
補正しても、測定する毎に圧力が変化する恐れがある。
室１９内に配置することは、測定室が大きくなるという
欠点がある。また、測定室１９が大気圧であると測定し
たとしても、大きな測定室１９との間に細い測定ポ−ト
１７によりコンダクタンスを悪くし、さらにバルブ１８
がある限り、測定室とチャンバ内に圧力差を生じる。従
って、チャンバが大気圧より低い場合は、バルブ１８が
開いたとき、チャンバへの空気の流れが生じゴミを舞い
上げるという問題を起こすことになる。また、圧力を測
定するための測定用ダイアフラムが撓み量が変動し易く
補正しても、測定する毎に圧力が変化する恐れがある。
【０００８】従って、本発明の目的は、圧力計の精度を
良くすると同時に測定の信頼性を高め、チャンバを大気
にしたときチャンバ内のゴミを舞上がらせないロ−ドロ
ック室を提供することにある。
良くすると同時に測定の信頼性を高め、チャンバを大気
にしたときチャンバ内のゴミを舞上がらせないロ−ドロ
ック室を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ウェハ
が搬出入する搬出入口をもつチャンバと、大気側から前
記ウェハが搬出入される前記搬出入口を開閉するゲ−ト
バルブと、前記チャンバを真空排気する真空ポンプと、
減圧された前記チャンバに不活性ガスを導入し前記チャ
ンバを大気圧にする開閉バルブと、前記チャンバの圧力
を測定する圧力計と、前記圧力計の測定値信号を入力し
前記開閉バルブの開閉を制御するシ−ケンス制御部とを
備え、減圧された前記チャンバ室を大気に戻すとき、前
記開閉バルブを開き前記不活性ガスを前記チャンバに導
入し前記チャンバの圧力が外気に対し陽圧となるまで前
記不活性ガスを導入し続けしかる後前記開閉バルブを閉
じるとともに前記ゲ−トバルブを開くロ−ドロック室で
ある。
が搬出入する搬出入口をもつチャンバと、大気側から前
記ウェハが搬出入される前記搬出入口を開閉するゲ−ト
バルブと、前記チャンバを真空排気する真空ポンプと、
減圧された前記チャンバに不活性ガスを導入し前記チャ
ンバを大気圧にする開閉バルブと、前記チャンバの圧力
を測定する圧力計と、前記圧力計の測定値信号を入力し
前記開閉バルブの開閉を制御するシ−ケンス制御部とを
備え、減圧された前記チャンバ室を大気に戻すとき、前
記開閉バルブを開き前記不活性ガスを前記チャンバに導
入し前記チャンバの圧力が外気に対し陽圧となるまで前
記不活性ガスを導入し続けしかる後前記開閉バルブを閉
じるとともに前記ゲ−トバルブを開くロ−ドロック室で
ある。
【００１０】また、前記圧力計は、測定室内に固定され
る電極板と、この電極板と平行に配置されるとともにベ
ロ−を介して前記測定室に取り付けられる可動電極板と
を備える静電容量型の圧力計であることが望ましい。さ
らに、前記圧力計の圧力値を記憶する記憶装置を備える
ことが望ましい。
る電極板と、この電極板と平行に配置されるとともにベ
ロ−を介して前記測定室に取り付けられる可動電極板と
を備える静電容量型の圧力計であることが望ましい。さ
らに、前記圧力計の圧力値を記憶する記憶装置を備える
ことが望ましい。
【００１１】一方、前記静電容量型の圧力計の他に、前
記チャンバの一側壁の膨らみや凹みの歪み度を測定する
歪み測定器を備えることが望ましい。好ましくは、前記
歪み測定器はレ−ザ変位計を用いることである。また、
前記不活性ガスは窒素ガスであることが望ましい。
記チャンバの一側壁の膨らみや凹みの歪み度を測定する
歪み測定器を備えることが望ましい。好ましくは、前記
歪み測定器はレ−ザ変位計を用いることである。また、
前記不活性ガスは窒素ガスであることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１３】図１は本発明の一実施の形態におけるロ−
ドロック室を示す図である。このロ−ドロック室は、図
１に示すように、ウェハが搬出入する搬出入口をもつチ
ャンバ４と、大気側からウェハが搬出入される搬出入口
を開閉するゲ−トバルブ９と、チャンバ４と処理室８と
を仕切るゲ−トバルブ１０と、チャンバ４を真空排気す
る真空排気用のポンプ７と、減圧されたチャンバ４に不
活性ガスを導入しチャンバ４を大気圧にする開閉バルブ
５と、チャンバ４の圧力を測定する圧力計３と、圧力計
３の測定値信号を入力し開閉バルブ５の開閉を制御する
シ−ケンス制御部２とを備えている。
ドロック室を示す図である。このロ−ドロック室は、図
１に示すように、ウェハが搬出入する搬出入口をもつチ
ャンバ４と、大気側からウェハが搬出入される搬出入口
を開閉するゲ−トバルブ９と、チャンバ４と処理室８と
を仕切るゲ−トバルブ１０と、チャンバ４を真空排気す
る真空排気用のポンプ７と、減圧されたチャンバ４に不
活性ガスを導入しチャンバ４を大気圧にする開閉バルブ
５と、チャンバ４の圧力を測定する圧力計３と、圧力計
３の測定値信号を入力し開閉バルブ５の開閉を制御する
シ−ケンス制御部２とを備えている。
【００１４】図２は図１の圧力計の構造を示す断面図で
ある。図１の圧力計は、図２に示すように、測定室１４
内に固定される固定電極板１１と、この固定電極板１１
と平行に配置されるとともにベロ−１３を介して測定室
１４に取り付けられる可動電極板１２とを備えている。
チャンバ４の圧力が上昇すると、ベロ−１３が伸び、一
定の電位におかれた二つ電極間が狭くなり、固定電極１
１の電荷量が増加する。
ある。図１の圧力計は、図２に示すように、測定室１４
内に固定される固定電極板１１と、この固定電極板１１
と平行に配置されるとともにベロ−１３を介して測定室
１４に取り付けられる可動電極板１２とを備えている。
チャンバ４の圧力が上昇すると、ベロ−１３が伸び、一
定の電位におかれた二つ電極間が狭くなり、固定電極１
１の電荷量が増加する。
【００１５】また、この圧力計は、弾性範囲内で直線的
に伸縮するベロ−１３であるので、二つの電極は常に平
行を保ち、従来の圧力計に比べ精度の高く再現性のある
静電容量の測定、すなわち圧力の測定ができる。また、
二つの電極板の平行精度をより高めて維持するならば、
測定室１４の底部から二本のガイドポストを立てて、可
動電極板１２に二つのガイドブッシュを設け、ガイドポ
ストにガイドブッシュをはめて、精密な可動電極板１２
の上下摺動させることである。
に伸縮するベロ−１３であるので、二つの電極は常に平
行を保ち、従来の圧力計に比べ精度の高く再現性のある
静電容量の測定、すなわち圧力の測定ができる。また、
二つの電極板の平行精度をより高めて維持するならば、
測定室１４の底部から二本のガイドポストを立てて、可
動電極板１２に二つのガイドブッシュを設け、ガイドポ
ストにガイドブッシュをはめて、精密な可動電極板１２
の上下摺動させることである。
【００１６】次に、ロ−ドロック室におけるチャンバ４
を大気から真空にする動作について説明する。まず、大
気側からウェハキャリアがチャンバ４内に収納された状
態からスタ−トする。すなわち、バルブ５およびバルブ
６とゲ−トバルブ１０が閉じた状態からスタ−トする。
を大気から真空にする動作について説明する。まず、大
気側からウェハキャリアがチャンバ４内に収納された状
態からスタ−トする。すなわち、バルブ５およびバルブ
６とゲ−トバルブ１０が閉じた状態からスタ−トする。
【００１７】次に、シ−ケンス制御部２によりゲ−トバ
ルブ９が閉じバルブ６が開き真空排気用のポンプ７によ
りチャンバ４内が真空排気される。真空排気されるのに
伴って図２に示す可動電極板１２は下降し静電容量が減
少し、記憶装置１に予め設定された圧力値に対応する静
電容量と比較する。そして、圧力計３の測定容量が予め
設定された基準容量に達したら、シ−ケンス制御部２は
比較回路からの信号を受け、バルブ６を閉じる。
ルブ９が閉じバルブ６が開き真空排気用のポンプ７によ
りチャンバ４内が真空排気される。真空排気されるのに
伴って図２に示す可動電極板１２は下降し静電容量が減
少し、記憶装置１に予め設定された圧力値に対応する静
電容量と比較する。そして、圧力計３の測定容量が予め
設定された基準容量に達したら、シ−ケンス制御部２は
比較回路からの信号を受け、バルブ６を閉じる。
【００１８】それ以後の動作は、ゲ−トバルブ１０が開
き、チャンバ４内のロボットア−ムによりチャンバ４内
にあるウェハキャリアから一枚づつウェハを取り出し、
ウェハを処理室８のステ−ジに移載し処理を行う。そし
て、処理されたウェハは、再びロボットア−ムによりウ
ェハキャリアに戻される。
き、チャンバ４内のロボットア−ムによりチャンバ４内
にあるウェハキャリアから一枚づつウェハを取り出し、
ウェハを処理室８のステ−ジに移載し処理を行う。そし
て、処理されたウェハは、再びロボットア−ムによりウ
ェハキャリアに戻される。
【００１９】このように処理されたウェハの全てがチャ
ンバ４内のウェハキャリアに収納されると、シ−ケンス
制御部２の指令によりゲ−トバルブ１０が閉じ、処理室
８とチャンバ４とは気密に遮断される。
ンバ４内のウェハキャリアに収納されると、シ−ケンス
制御部２の指令によりゲ−トバルブ１０が閉じ、処理室
８とチャンバ４とは気密に遮断される。
【００２０】次に、チャンバ４からウェハキャリアを取
り出す動作について説明する。まず、バルブ５を開き不
活性ガスをチャンバ４に導入する。この不活性ガスは安
価な窒素ガスが望ましい。また、窒素ガスは急激に流し
込まないように絞り弁など設け、窒素ガスを徐徐に流し
込むことが望ましい。何となれば、急激に流すことによ
りチャンバ４内の反応生成物であるゴミを舞い上がら
せ、チャンバ４内の処理済みのウェハに付着させる恐れ
があるからである。
り出す動作について説明する。まず、バルブ５を開き不
活性ガスをチャンバ４に導入する。この不活性ガスは安
価な窒素ガスが望ましい。また、窒素ガスは急激に流し
込まないように絞り弁など設け、窒素ガスを徐徐に流し
込むことが望ましい。何となれば、急激に流すことによ
りチャンバ４内の反応生成物であるゴミを舞い上がら
せ、チャンバ４内の処理済みのウェハに付着させる恐れ
があるからである。
【００２１】窒素ガスの導入に伴って図２の可動電極板
１２が上昇し、固定電極板１１に近づき電極板のギャッ
プが狭くなる。その結果、静電容量が増加する。この静
電容量が、予め記憶装置１に設定されたチャンバ４の圧
力が外気に対して陽圧となる圧力値に対応する静電容量
に到達したら、ゲ−トバルブ９を開き、ウェハキャリア
をチャンバ４から取り出す。
１２が上昇し、固定電極板１１に近づき電極板のギャッ
プが狭くなる。その結果、静電容量が増加する。この静
電容量が、予め記憶装置１に設定されたチャンバ４の圧
力が外気に対して陽圧となる圧力値に対応する静電容量
に到達したら、ゲ−トバルブ９を開き、ウェハキャリア
をチャンバ４から取り出す。
【００２２】ここで、チャンバ４の内圧を、例えば、
１．０１気圧程度の陽圧にしてゲ−トバルブ９を開けれ
ば、外気からチャンバ４内への空気の流れが生じなくチ
ャンバ４からチャンバ外に空気が流れる。従って、従
来、起きていた反応生成物であるゴミの舞い上がりが無
くなり、ウェハの汚染問題を解消できる。
１．０１気圧程度の陽圧にしてゲ−トバルブ９を開けれ
ば、外気からチャンバ４内への空気の流れが生じなくチ
ャンバ４からチャンバ外に空気が流れる。従って、従
来、起きていた反応生成物であるゴミの舞い上がりが無
くなり、ウェハの汚染問題を解消できる。
【００２３】図３（ａ）および（ｂ）は図１のロ−ドロ
ック室の変形例を示す図である。このロ−ドロック室
は、図２に示すよに、圧力によってチャンバ４の歪み量
を測定するレ−ザ変位計１６を設けたことである。それ
以外は、前述の実施の形態におけるロ−ドロック室の構
成と同じである。
ック室の変形例を示す図である。このロ−ドロック室
は、図２に示すよに、圧力によってチャンバ４の歪み量
を測定するレ−ザ変位計１６を設けたことである。それ
以外は、前述の実施の形態におけるロ−ドロック室の構
成と同じである。
【００２４】チャンバ４を、例えば、１気圧から０．０
１気圧に減圧すると、図２（ｂ）に示すように、Ｏリン
グなど介在しない剛性の大きなチャンバ側壁４ａが鎖線
で示すように、内側に凹むように僅かに歪む。また、チ
ャンバ４を大気にすると、実線に示すように、チャンバ
側壁４ａは歪みが無くなり元に戻る。そこで、減圧およ
び大気圧を繰り返して行って歪みを測定したところ、チ
ャンバ側壁４ａの歪み量は、バラツキが無いとの知見を
得た。これは、チャンバ４の側壁が剛性が高い所以であ
る。
１気圧に減圧すると、図２（ｂ）に示すように、Ｏリン
グなど介在しない剛性の大きなチャンバ側壁４ａが鎖線
で示すように、内側に凹むように僅かに歪む。また、チ
ャンバ４を大気にすると、実線に示すように、チャンバ
側壁４ａは歪みが無くなり元に戻る。そこで、減圧およ
び大気圧を繰り返して行って歪みを測定したところ、チ
ャンバ側壁４ａの歪み量は、バラツキが無いとの知見を
得た。これは、チャンバ４の側壁が剛性が高い所以であ
る。
【００２５】そこで、１気圧から１．０１気圧に陽圧に
して、チャンバ側壁４ａの膨らみ度をダイヤルゲ−ジで
測定してみたところ、数ミクロンの歪みを示したもの
の、測定値１０ミクロン範囲程度ばらついた。このバラ
ツキは、ダイヤルゲ−ジの分解能が限度があることやダ
イヤルゲ−ジの固定方法あるいは側壁と接触するニ−ド
ル位置のズレに起因することが後日判明した。
して、チャンバ側壁４ａの膨らみ度をダイヤルゲ−ジで
測定してみたところ、数ミクロンの歪みを示したもの
の、測定値１０ミクロン範囲程度ばらついた。このバラ
ツキは、ダイヤルゲ−ジの分解能が限度があることやダ
イヤルゲ−ジの固定方法あるいは側壁と接触するニ−ド
ル位置のズレに起因することが後日判明した。
【００２６】そこで、１ミクロン以下の分解能をもち非
接触で測定できるレ−ザ変位計１６を用いて、チャンバ
側壁４ａの中央部にある鏡面に仕上げられたタ−ゲット
領域１５にレ−ザ光を照射し、膨らみ度の測定を試みた
ところ、歪み量は再現性良く精密に測定できた。この歪
み度の測定が再現性あることから、例えば、０．１気圧
となることが仮にチャンバ４の陽圧となる設定値とし
た。
接触で測定できるレ−ザ変位計１６を用いて、チャンバ
側壁４ａの中央部にある鏡面に仕上げられたタ−ゲット
領域１５にレ−ザ光を照射し、膨らみ度の測定を試みた
ところ、歪み量は再現性良く精密に測定できた。この歪
み度の測定が再現性あることから、例えば、０．１気圧
となることが仮にチャンバ４の陽圧となる設定値とし
た。
【００２７】このような条件設定し、運用に際して、こ
のチャンバの歪み度による圧力測定手段と図２の静電容
量型圧力計とを併用すれば、静電容量型の圧力測定値が
正確な値か否かを確認できるという利点がある。例え
ば、この圧力測定手段による圧力値を基準にして、静電
容量型の圧力計の圧力値と比較し、その差がなければ、
静電容量型の圧力計は、正常であると判定できる。
のチャンバの歪み度による圧力測定手段と図２の静電容
量型圧力計とを併用すれば、静電容量型の圧力測定値が
正確な値か否かを確認できるという利点がある。例え
ば、この圧力測定手段による圧力値を基準にして、静電
容量型の圧力計の圧力値と比較し、その差がなければ、
静電容量型の圧力計は、正常であると判定できる。
【００２８】さらに、チャンバの歪み度による圧力測定
手段の圧力値と静電容量型の圧力値とが、例えば、１０
パ−セント以上の違いがあれば、静電容量型の圧力計に
異常あると判定できる。もし、異常と判定されれば、圧
力測定をチャンバの歪み度による圧力測定手段に切り換
えて運転すれば、運転を中止させることなく運転でき
る。運転を中止したとき静電容量型の圧力計を交換すれ
ば良い。
手段の圧力値と静電容量型の圧力値とが、例えば、１０
パ−セント以上の違いがあれば、静電容量型の圧力計に
異常あると判定できる。もし、異常と判定されれば、圧
力測定をチャンバの歪み度による圧力測定手段に切り換
えて運転すれば、運転を中止させることなく運転でき
る。運転を中止したとき静電容量型の圧力計を交換すれ
ば良い。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、精度の高
い静電容量型の圧力計を用いて、外気に対しチャンバの
圧力を陽圧になるように不活性ガスをチャンバ内に導入
しチャンバのゲ−トバルブを開くことによって、チャン
バ内に流れ込む空気の流れを抑制し、流れ込む空気によ
るゴミの舞上がりを防止し、ウェハの歩留まりが向上す
るという効果がある。
い静電容量型の圧力計を用いて、外気に対しチャンバの
圧力を陽圧になるように不活性ガスをチャンバ内に導入
しチャンバのゲ−トバルブを開くことによって、チャン
バ内に流れ込む空気の流れを抑制し、流れ込む空気によ
るゴミの舞上がりを防止し、ウェハの歩留まりが向上す
るという効果がある。
【００３０】また、校正基準圧力が測定できるチャンバ
の歪み度で圧力を測定する圧力測定手段を静電容量型の
圧力計と併用することによって、さらに測定の信頼性が
得られるという効果がある。
の歪み度で圧力を測定する圧力測定手段を静電容量型の
圧力計と併用することによって、さらに測定の信頼性が
得られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施の形態におけるロ−ドロック室
を示す図である。
を示す図である。
【図２】図１の圧力計の構造を示す断面図である。
【図３】図１のロ−ドロック室の変形例を示す図であ
る。
る。
【図４】特開平７−１２６６９号公報に開示された真空
スイッチを説明する図である。
スイッチを説明する図である。
１ 記憶装置
２ シ−ケンス制御部
３ 圧力計
４ チャンバ
５，６，１８，２２ バルブ
７ ポンプ
８ 処理室
９，１０ ゲ−トバルブ
１１ 固定電極板
１２ 可動電極板
１３ ベロ−
１４，１９ 測定室
１５ タ−ゲット領域
１６，２１ レ−ザ変位計
１７ 測定ポ−ト
２０ 測定用ダイヤフラム
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01J 3/00 - 3/04
H01L 21/00 - 21/98
Claims (5)
- 【請求項１】 ウェハが搬出入する搬出入口をもつチャ
ンバと、大気側から前記ウェハが搬出入される前記搬出
入口を開閉するゲ−トバルブと、前記チャンバを真空排
気する真空ポンプと、減圧された前記チャンバに不活性
ガスを導入し前記チャンバを大気圧にする開閉バルブ
と、前記チャンバの圧力を測定する圧力計と、前記圧力
計の測定値信号を入力し前記開閉バルブの開閉を制御す
るシ−ケンス制御部とを備え、減圧された前記チャンバ
室を大気に戻すとき、前記開閉バルブを開き前記不活性
ガスを前記チャンバに導入し前記チャンバの圧力が外気
に対し陽圧となるまで前記不活性ガスを導入し続けしか
る後前記開閉バルブを閉じるとともに前記ゲ−トバルブ
を開くロ−ドロック室であって、前記圧力計は、測定室
内に固定される電極板と、この電極板と平行に配置され
るとともにベロ−を介して前記測定室に取り付けられる
可動電極板とを備える静電容量型の圧力計であることを
特徴とするロ−ドロック室。 - 【請求項２】 前記圧力計の圧力値を記憶する記憶装置
を備えることを特徴とする請求項１記載のロ−ドロック
室。 - 【請求項３】 ウェハが搬出入する搬出入口をもつチャ
ンバと、大気側から前記ウェハが搬出入される前記搬出
入口を開閉するゲ−トバルブと、前記チャンバを真空排
気する真空ポンプと、減圧された前記チャンバに不活性
ガスを導入し前記チャンバを大気圧にする開閉バルブ
と、前記チャンバの圧力を測定する圧力計と、前記圧力
計の測定値信号を入力し前記開閉バルブの開閉を制御す
るシ−ケンス制御部とを備え、減圧された前記チャンバ
室を大気に戻すとき、前記開閉バルブを開き前記不活性
ガスを前記チャンバに導入し前記チャンバの圧力が外気
に対し陽圧となるまで前記不活性ガスを導入し続けしか
る後前記開閉バルブを閉じるとともに前記ゲ−トバルブ
を開くロ−ドロック室であって、前記チャンバの一側壁
の膨らみや凹みの歪み度を測定する歪み測定器を備える
ことを特徴とするロ−ドロック室。 - 【請求項４】前記歪み測定器はレ−ザ変位計であること
を特徴とする請求項３記載のロ−ドロック室。 - 【請求項５】前記不活性ガスは窒素ガスであることを特
徴とする請求項１または３記載のロ−ドロック室。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000060388A JP3498034B2 (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | ロ−ドロック室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000060388A JP3498034B2 (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | ロ−ドロック室 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001239145A JP2001239145A (ja) | 2001-09-04 |
| JP3498034B2 true JP3498034B2 (ja) | 2004-02-16 |
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ID=18580715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000060388A Expired - Fee Related JP3498034B2 (ja) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | ロ−ドロック室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3498034B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7854607B2 (en) * | 2005-11-02 | 2010-12-21 | Emerson Electric Co. | Ignition control with integral carbon monoxide sensor |
Families Citing this family (3)
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-
2000
- 2000-03-01 JP JP2000060388A patent/JP3498034B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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