JPH05345601A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH05345601A JPH05345601A JP15484192A JP15484192A JPH05345601A JP H05345601 A JPH05345601 A JP H05345601A JP 15484192 A JP15484192 A JP 15484192A JP 15484192 A JP15484192 A JP 15484192A JP H05345601 A JPH05345601 A JP H05345601A
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- JP
- Japan
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- electrode
- ozone
- dielectric
- gas
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/32—Constructional details of the dielectrics
Abstract
(57)【要約】
【目的】 比較的低い電圧で無声放電を発生させると共
に、高濃度のオゾンを生成する。 【構成】 電極１，２間に、電極１の表面と接触する部
分の空隙の角度が鋭角となる形状の誘電体５を複数列そ
の長さ方向に夫々交互に僅かにずらして並設し、前記鋭
角の空隙により無声放電の発生をしやすくすると共に、
誘電体を交互にずらすことにより空隙部７を連続した一
本の長いガス通路とする。電極２の表面に誘電体薄板を
設けて短絡を防止する。原料ガスを流入口８から連続し
た空隙部７の一端に流せば連続した長い空隙部７を通過
していくに伴って次第にオゾンが蓄積され流出口９から
高濃度のオゾン化ガスが得られる。
に、高濃度のオゾンを生成する。 【構成】 電極１，２間に、電極１の表面と接触する部
分の空隙の角度が鋭角となる形状の誘電体５を複数列そ
の長さ方向に夫々交互に僅かにずらして並設し、前記鋭
角の空隙により無声放電の発生をしやすくすると共に、
誘電体を交互にずらすことにより空隙部７を連続した一
本の長いガス通路とする。電極２の表面に誘電体薄板を
設けて短絡を防止する。原料ガスを流入口８から連続し
た空隙部７の一端に流せば連続した長い空隙部７を通過
していくに伴って次第にオゾンが蓄積され流出口９から
高濃度のオゾン化ガスが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放電によりオゾンを生
成するオゾン発生装置に関する。
成するオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは極めて強い酸化力を有して、水
の殺菌・脱色など上，下水処理やし尿処理及び食品関連
における殺菌などの多くの用途に使われている。
の殺菌・脱色など上，下水処理やし尿処理及び食品関連
における殺菌などの多くの用途に使われている。
【０００３】オゾンの生成法には、紫外線照射法，放射
線照射法，プラズマ放電法，無声放電法及び水の電気分
解法などがある。工業的には無声放電法が主体である。
線照射法，プラズマ放電法，無声放電法及び水の電気分
解法などがある。工業的には無声放電法が主体である。
【０００４】無声放電法のオゾン発生装置を図７（ａ）
及び（ｂ）に示す。１１，１２は対向配置された平板状
電極、１３，１４無声放電を安定させる放電安定用誘電
体板で、同図（ａ），（ｂ）に示すように電極１１，１
２の一方又は両方に設けられている。このオゾン発生装
置は、電極１１，１２間に例えば、交流高電圧ＨＶを印
加して空隙部に無声放電を発生させ、原材料となる乾燥
空気又は酸素Ｏ2をこの空隙部に通してオゾンＯ3を生成
させるようになっている。
及び（ｂ）に示す。１１，１２は対向配置された平板状
電極、１３，１４無声放電を安定させる放電安定用誘電
体板で、同図（ａ），（ｂ）に示すように電極１１，１
２の一方又は両方に設けられている。このオゾン発生装
置は、電極１１，１２間に例えば、交流高電圧ＨＶを印
加して空隙部に無声放電を発生させ、原材料となる乾燥
空気又は酸素Ｏ2をこの空隙部に通してオゾンＯ3を生成
させるようになっている。
【０００５】オゾンＯ3の理論収率は、Ｏ2→Ｏ＋Ｏ−１
１８ＫＣａｌ（吸熱反応），Ｏ＋Ｏ2→Ｏ3＋２５ＫＣａ
ｌ（発熱反応）より、３Ｏ2→２Ｏ3−６８ＫＣａｌとな
り、Ｏ3を１ｍｏｌ生成するため３４ＫＣａｌ必要とな
る。従って理論上の収率は１．２ｋｇＯ3／ＫＷ・Ｈと
なる。
１８ＫＣａｌ（吸熱反応），Ｏ＋Ｏ2→Ｏ3＋２５ＫＣａ
ｌ（発熱反応）より、３Ｏ2→２Ｏ3−６８ＫＣａｌとな
り、Ｏ3を１ｍｏｌ生成するため３４ＫＣａｌ必要とな
る。従って理論上の収率は１．２ｋｇＯ3／ＫＷ・Ｈと
なる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、消費電力に対
するオゾンの生成効率は理論収率に比べて極めて低く、
数％にすぎないというのがオゾン発生装置の現状であ
る。オゾンの生成量に影響を及ぼす主な因子としては、
（１）電極の形状（２）電極間ギャップの大きさ（３）
誘電体板の形状及び材質（４）電極の冷却方法（５）原
料ガスの除湿や冷却方法（６）印加電圧の波形などが挙
げられる。
するオゾンの生成効率は理論収率に比べて極めて低く、
数％にすぎないというのがオゾン発生装置の現状であ
る。オゾンの生成量に影響を及ぼす主な因子としては、
（１）電極の形状（２）電極間ギャップの大きさ（３）
誘電体板の形状及び材質（４）電極の冷却方法（５）原
料ガスの除湿や冷却方法（６）印加電圧の波形などが挙
げられる。
【０００７】図７に示したオゾン発生装置において安定
な無声放電を発生させるには、電極間空隙長を数ｍｍ以
下にすると共に、空隙長を均一にして、放電を放電空隙
部分で一様に発生させる必要があるが、微小な空隙を均
一に保つことが困難であり、従って安定な無声放電が得
られにくい。
な無声放電を発生させるには、電極間空隙長を数ｍｍ以
下にすると共に、空隙長を均一にして、放電を放電空隙
部分で一様に発生させる必要があるが、微小な空隙を均
一に保つことが困難であり、従って安定な無声放電が得
られにくい。
【０００８】しかも、印加電圧が空隙長と原料ガス圧力
で決まる放電開始電圧に至れば、それ以上電圧を上昇し
てもオゾン発生量が増加しない。
で決まる放電開始電圧に至れば、それ以上電圧を上昇し
てもオゾン発生量が増加しない。
【０００９】また、電圧印加中に上昇する電極及び誘電
体の温度が電極間が狭いので空隙部分に伝わり易く、そ
のため生成されたオゾンＯ3分解して酸素Ｏ2に戻ってし
まうなどの問題がある。このためオゾンの生成効率を向
上させることが困難であるというのが現状である。
体の温度が電極間が狭いので空隙部分に伝わり易く、そ
のため生成されたオゾンＯ3分解して酸素Ｏ2に戻ってし
まうなどの問題がある。このためオゾンの生成効率を向
上させることが困難であるというのが現状である。
【００１０】本発明は、従来のこのような問題点に鑑み
てなされたものであり、その目的とするところは、電極
間の空隙長を厳密に均一にする必要がなく比較的低い電
圧で無声放電を発生させることができると共に、原料ガ
スのすべてが長く形成された空隙通路を通過することに
より高濃度のオゾンを発生しうるオゾン発生効率の高い
オゾン発生装置を提供することにある。
てなされたものであり、その目的とするところは、電極
間の空隙長を厳密に均一にする必要がなく比較的低い電
圧で無声放電を発生させることができると共に、原料ガ
スのすべてが長く形成された空隙通路を通過することに
より高濃度のオゾンを発生しうるオゾン発生効率の高い
オゾン発生装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にかかるオゾン発生装置は、対向配置された
電極間にその一方の電極表面と接触する部分の空隙の角
度を鋭角になしうる断面形状をした細長い誘電体を複数
列その長さ方向に夫々交互に僅かにずらして並設すると
共に、両電極間に電極と水平となるように誘電体薄板を
設け、前記一方の電極又は一方の電極面に設けられた誘
電体板と上記誘電体との間に形成される連続した長い空
隙部の一端から他端に原料ガスを流入すようにしたもの
である。
に、本発明にかかるオゾン発生装置は、対向配置された
電極間にその一方の電極表面と接触する部分の空隙の角
度を鋭角になしうる断面形状をした細長い誘電体を複数
列その長さ方向に夫々交互に僅かにずらして並設すると
共に、両電極間に電極と水平となるように誘電体薄板を
設け、前記一方の電極又は一方の電極面に設けられた誘
電体板と上記誘電体との間に形成される連続した長い空
隙部の一端から他端に原料ガスを流入すようにしたもの
である。
【００１２】
【作用】一方の電極又は一方の電極面に設けられた誘電
体薄板と細長い誘電体との接触する部分の空隙の角度が
鋭角となっているので、その空隙部の電界が増加し低い
電圧で無声放電をする。
体薄板と細長い誘電体との接触する部分の空隙の角度が
鋭角となっているので、その空隙部の電界が増加し低い
電圧で無声放電をする。
【００１３】そして、細長い誘電体は上記空隙の角度を
鋭角にするため一方の電極との対向面が傾面状となって
おり、その長さ方向に夫々交互に僅かずらして並設され
ているので、一方の電極又は一方の電極面に設けられた
誘電体薄板と細長い誘電体との間に形成される空隙部は
ジグザグに連続した長い空隙部となる。
鋭角にするため一方の電極との対向面が傾面状となって
おり、その長さ方向に夫々交互に僅かずらして並設され
ているので、一方の電極又は一方の電極面に設けられた
誘電体薄板と細長い誘電体との間に形成される空隙部は
ジグザグに連続した長い空隙部となる。
【００１４】しかして、この長い空隙部一端から他端に
原料ガスを流せば、原料ガスは空隙部に発生している無
声放電によりオゾン化されるが、長い空隙部を通過して
いくに伴ってオゾンが次第に蓄積するので、他端からは
高濃度のオゾンが得られる。
原料ガスを流せば、原料ガスは空隙部に発生している無
声放電によりオゾン化されるが、長い空隙部を通過して
いくに伴ってオゾンが次第に蓄積するので、他端からは
高濃度のオゾンが得られる。
【００１５】
【実施例】本発明の実施例を図面を参照して説明する。
【００１６】図１，図２について、１，２は対向配置さ
れた電極で、電極１には原料ガス流入口８及びオゾン化
ガス流出口９が穿設されている。４は電極２の内側に設
けられた短絡防止用誘電体板、５，６は電極１と誘電体
板４との間に配置された電極の保持及びガス通路の隔壁
を兼ねた無声放電をしやすくするための誘電体である。
れた電極で、電極１には原料ガス流入口８及びオゾン化
ガス流出口９が穿設されている。４は電極２の内側に設
けられた短絡防止用誘電体板、５，６は電極１と誘電体
板４との間に配置された電極の保持及びガス通路の隔壁
を兼ねた無声放電をしやすくするための誘電体である。
【００１７】誘電体５は図２に示すように、両側の斜面
５１の電極１に対する角度αが６０°以下となるように
なっており、端部ａの内側斜面５２及び端部ｂの外側斜
面の角度は斜面５１と同じ角度になっている。
５１の電極１に対する角度αが６０°以下となるように
なっており、端部ａの内側斜面５２及び端部ｂの外側斜
面の角度は斜面５１と同じ角度になっている。
【００１８】誘電体６は誘電体５の斜面５１と同じ角度
の斜面６１を有し、断面がほぼ直角三角形状をしてお
り、図１に示すようにその斜面６１を内側にして額縁状
に組合され、周囲の壁部材を兼ねている。
の斜面６１を有し、断面がほぼ直角三角形状をしてお
り、図１に示すようにその斜面６１を内側にして額縁状
に組合され、周囲の壁部材を兼ねている。
【００１９】誘電体５は図１に示すように、交互にその
端部ａがその長手方向にある誘電体６の内端縁に接し、
端部ｂの斜面５３が誘電体６の斜面６１に密接するよう
に、端部ａ，ｂの向き及び位置が交互にずらされて並設
されている。
端部ａがその長手方向にある誘電体６の内端縁に接し、
端部ｂの斜面５３が誘電体６の斜面６１に密接するよう
に、端部ａ，ｂの向き及び位置が交互にずらされて並設
されている。
【００２０】誘電体５及び６の斜面５１，５２及び６１
と電極１間に形成される空隙部７が原料ガス流入口８か
らオゾン化ガス流出口９まで連続した一本の長いガス通
路となるように構成されている。
と電極１間に形成される空隙部７が原料ガス流入口８か
らオゾン化ガス流出口９まで連続した一本の長いガス通
路となるように構成されている。
【００２１】以上のように構成されているので、電極１
の表面と誘電体５，６とが接触する部分の空隙の角度が
少なくとも６０°以下の鋭角となるため、空隙７の接触
部分近傍の電界が上昇する。しかして電極間隔が同じで
あるならば、従来図７に示した電極構成の場合よりも低
い電圧で無声放電が発生しオゾン化可能となる。
の表面と誘電体５，６とが接触する部分の空隙の角度が
少なくとも６０°以下の鋭角となるため、空隙７の接触
部分近傍の電界が上昇する。しかして電極間隔が同じで
あるならば、従来図７に示した電極構成の場合よりも低
い電圧で無声放電が発生しオゾン化可能となる。
【００２２】電極間に設置する誘電体５，６として比誘
電体εが大きい材料を用いたり、電極１と固体誘電体
５，６とが接触する部分の空隙の角度αをより電界が集
中するように鋭角にすれば、低い電圧で無声放電が発生
するようになる。
電体εが大きい材料を用いたり、電極１と固体誘電体
５，６とが接触する部分の空隙の角度αをより電界が集
中するように鋭角にすれば、低い電圧で無声放電が発生
するようになる。
【００２３】電極１，２間の空隙部７で無声放電が起こ
ると、微小なストリーマが空隙部７で多数発生し、空隙
部７を流れている原料ガス内の酸素分子Ｏ2と電子とが
衝突し、衝突電離によって酸素原子Ｏや励起酸素分子Ｏ
2＊が生成し、酸素分子Ｏ2と反応してオゾンＯ3が生成
される（放電の化学作用）。
ると、微小なストリーマが空隙部７で多数発生し、空隙
部７を流れている原料ガス内の酸素分子Ｏ2と電子とが
衝突し、衝突電離によって酸素原子Ｏや励起酸素分子Ｏ
2＊が生成し、酸素分子Ｏ2と反応してオゾンＯ3が生成
される（放電の化学作用）。
【００２４】しかして、実施例の構造を用いることで、
より低い印加電圧で空隙部７に多くの微小なストリーマ
を発生させて多数の電子を生成し、原料ガス中の酸素分
子Ｏ2と電子とが衝突する確率を増やすことができる。
より低い印加電圧で空隙部７に多くの微小なストリーマ
を発生させて多数の電子を生成し、原料ガス中の酸素分
子Ｏ2と電子とが衝突する確率を増やすことができる。
【００２５】また、電極１，２間に並設した誘電体５乃
至６は、それ自体が電極１，２と誘電体５乃至６で囲ま
れた無声放電の空間で発生するオゾン化ガスの隔壁とな
る。そして電極１，２間で誘電体５を複数個並設すると
き誘電体の長さ方向において交互に僅か（１０ｍｍ程
度）ずらしてあるので、原料ガス流入口からオゾン化ガ
ス流出口まで空隙部７が連続したものとなり、一本の長
いガス通路が形成される（図１では連続した空隙部７の
長さは誘電体５の長さの約６倍になっている）。
至６は、それ自体が電極１，２と誘電体５乃至６で囲ま
れた無声放電の空間で発生するオゾン化ガスの隔壁とな
る。そして電極１，２間で誘電体５を複数個並設すると
き誘電体の長さ方向において交互に僅か（１０ｍｍ程
度）ずらしてあるので、原料ガス流入口からオゾン化ガ
ス流出口まで空隙部７が連続したものとなり、一本の長
いガス通路が形成される（図１では連続した空隙部７の
長さは誘電体５の長さの約６倍になっている）。
【００２６】この原料ガス乃至オゾン化ガスの流れは、
図３に示すように、ガス流入口８から流入した原料ガス
が電極１，２と誘電体５乃至６とで囲まれ、無声放電が
発生しているすべての空隙部７を通過しながら流出口９
に至ることになる。
図３に示すように、ガス流入口８から流入した原料ガス
が電極１，２と誘電体５乃至６とで囲まれ、無声放電が
発生しているすべての空隙部７を通過しながら流出口９
に至ることになる。
【００２７】このため無声放電によって生成するオゾン
が連続した空隙部７を通過していくに伴って次第に蓄積
するようになる。従って流出口９付近に近づくに伴って
オゾンの濃度が高くなる。
が連続した空隙部７を通過していくに伴って次第に蓄積
するようになる。従って流出口９付近に近づくに伴って
オゾンの濃度が高くなる。
【００２８】このような構造とすることにより、電極
１，２間の空隙部７で発生したオゾンのすべてを流出口
９から取り出すことが可能となり、電極１，２間に設け
た誘電体５乃至６がすべてオゾン発生に有効に寄与でき
るようになった。
１，２間の空隙部７で発生したオゾンのすべてを流出口
９から取り出すことが可能となり、電極１，２間に設け
た誘電体５乃至６がすべてオゾン発生に有効に寄与でき
るようになった。
【００２９】比較例として図２の誘電体５の断面形状と
同じ誘電体５′を単に電極１，２間に並設したものを図
６に示す。この比較例においては、原料ガスが複数の誘
電体５′の列方向に形成される誘電体５′の長さと等し
い長さの複数の空隙部７内を流れてオゾン化されるの
で、上記実施例のように高濃度のオゾンを得ることはで
きない。
同じ誘電体５′を単に電極１，２間に並設したものを図
６に示す。この比較例においては、原料ガスが複数の誘
電体５′の列方向に形成される誘電体５′の長さと等し
い長さの複数の空隙部７内を流れてオゾン化されるの
で、上記実施例のように高濃度のオゾンを得ることはで
きない。
【００３０】上記実施例では、誘電体板４を電極２側に
だけ設けているが、図４に示すように電極１及び２に夫
々誘電体板３及び４を設けることができる。
だけ設けているが、図４に示すように電極１及び２に夫
々誘電体板３及び４を設けることができる。
【００３１】この場合も電極１と誘電体５乃至６との間
に鋭角な空隙ができるので、上記実施例同様にこの鋭角
な空隙に電界が集中し、低い電圧で無声放電が発生す
る。
に鋭角な空隙ができるので、上記実施例同様にこの鋭角
な空隙に電界が集中し、低い電圧で無声放電が発生す
る。
【００３２】この場合図４に示すように、誘電体板３に
電極１のガス流入口８及び流出口９と一致する孔を穿設
し、流入口８から空隙部７に原料ガスを流入すれば、図
５に示すようにガスは上記実施例と同様に流れるので、
濃度の高いオゾンが得られる。
電極１のガス流入口８及び流出口９と一致する孔を穿設
し、流入口８から空隙部７に原料ガスを流入すれば、図
５に示すようにガスは上記実施例と同様に流れるので、
濃度の高いオゾンが得られる。
【００３３】図１，図４はオゾン発生部のうちの電極及
び誘電体部分のみを示しているが、実際には周囲を密閉
して乾燥空気若しくは酸素などの原料ガスの流入口とオ
ゾン化ガスの流出口のみを設けた構造として使用するも
のである。
び誘電体部分のみを示しているが、実際には周囲を密閉
して乾燥空気若しくは酸素などの原料ガスの流入口とオ
ゾン化ガスの流出口のみを設けた構造として使用するも
のである。
【００３４】当然ながら電極間に設置する誘電体５，６
の材質として比誘電率εの大きい材料を用いればより低
い電圧で無声放電が起こってオゾンが発生する。また誘
電体５の数や電極１，２の面積を増やせばオゾンの生成
量は増加し、かつ図１、或は図４に示した構造のものを
何段も組み合わせれば、更に大量のオゾンを生成でき
る。
の材質として比誘電率εの大きい材料を用いればより低
い電圧で無声放電が起こってオゾンが発生する。また誘
電体５の数や電極１，２の面積を増やせばオゾンの生成
量は増加し、かつ図１、或は図４に示した構造のものを
何段も組み合わせれば、更に大量のオゾンを生成でき
る。
【００３５】また、冷却用のフィンや風冷用のフアンを
設けたり、冷却水用の配管等を組み込んで冷却すればよ
り効率良くオゾンを生成できる。
設けたり、冷却水用の配管等を組み込んで冷却すればよ
り効率良くオゾンを生成できる。
【００３６】上記実施例では誘電体５の断面形状は図２
に示すような形状にこれに限定されるものではなく、電
極１或は誘電体板３と接触する部分の空隙の角度αが鋭
角となるものであればよい。また誘電体５の端部ａ，ｂ
の形状も図２に示した形状のものに限定されるものでは
なく、要は多数の誘電体の並設により流入口８から流出
口９まで長い通路が形成されるものであればよい。ま
た、誘電体板３乃至４と誘電体５乃至６は一体に成形し
てもよい。
に示すような形状にこれに限定されるものではなく、電
極１或は誘電体板３と接触する部分の空隙の角度αが鋭
角となるものであればよい。また誘電体５の端部ａ，ｂ
の形状も図２に示した形状のものに限定されるものでは
なく、要は多数の誘電体の並設により流入口８から流出
口９まで長い通路が形成されるものであればよい。ま
た、誘電体板３乃至４と誘電体５乃至６は一体に成形し
てもよい。
【００３７】
【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、次に記載する効果を奏する。
ので、次に記載する効果を奏する。
【００３８】（１）対向する電極間に設置した誘電体と
電極との接触する部分の空隙の角度が鋭角であるために
接触部分近傍の電界が増大し、低い電圧で無声放電が怠
起されるので、電極間隔乃至電極方向の空隙長さの均一
化に注意を払う必要から、製造することができる。
電極との接触する部分の空隙の角度が鋭角であるために
接触部分近傍の電界が増大し、低い電圧で無声放電が怠
起されるので、電極間隔乃至電極方向の空隙長さの均一
化に注意を払う必要から、製造することができる。
【００３９】（２）低い電圧で無声放電が起こるので、
電極間への印加電圧を低くすることができると共に、オ
ゾン発生させるために要する放電消費電力が少なくて済
み、オゾン発生効率が向上する。
電極間への印加電圧を低くすることができると共に、オ
ゾン発生させるために要する放電消費電力が少なくて済
み、オゾン発生効率が向上する。
【００４０】（３）原料ガスは流入口と流出口との間に
形成された長いガス通路を通過し、その通過していくに
伴ってオゾンが蓄積されていくので、高濃度のオゾンが
得られる。
形成された長いガス通路を通過し、その通過していくに
伴ってオゾンが蓄積されていくので、高濃度のオゾンが
得られる。
【図１】（ａ）は発明の一実施例にかかるオゾン発生装
置の要部を示す平面図。（ｂ）は同（ａ）のＡ−Ａ線断
面図。
置の要部を示す平面図。（ｂ）は同（ａ）のＡ−Ａ線断
面図。
【図２】（ａ），（ｂ）及び（ｃ）は実施例における誘
電体を示す平面図，正面図及び側面図。
電体を示す平面図，正面図及び側面図。
【図３】実施例におけるガスの流れを示す説明図。
【図４】（ａ）は他の実施例にかかるオゾン発生装置の
要部を示す平面図。（ｂ）は同（ａ）のＢ−Ｂ断面図。
要部を示す平面図。（ｂ）は同（ａ）のＢ−Ｂ断面図。
【図５】他の実施例におけるガスの流れを示す説明図。
【図６】（ａ）は比較例の要部を示す平面図、（ｂ）は
同（ａ）のＣ−Ｃ断面図。
同（ａ）のＣ−Ｃ断面図。
【図７】（ａ），（ｂ）は夫々オゾン生成の原理説明
図。
図。
１，２，１１，１２…電極 ３，４…誘電体薄板 ５，６…誘電体 ７…空隙部 ８…ガス流入口 ９…ガス流出口
Claims (3)
- 【請求項１】 対向配置された電極間にその一方の電極
表面と接触する部分の空隙の角度を鋭角になしうる断面
形状をした細長い誘電体を複数列その長さ方向に夫々交
互に僅かにずらして並設すると共に、両電極間に電極と
水平となるように誘電体薄板を設け、前記一方の電極又
はその電極面に設けられた誘電体薄板と上記誘電体との
間に形成される連続した長い空隙部の一端から他端に原
料ガスを流すことを特徴としたオゾン発生装置。 - 【請求項２】 誘電体の断面形状を電極表面と接触する
部分の空隙の角度が少なくとも６０°以下となるように
したことを特徴とした請求項１記載のオゾン発生装置。 - 【請求項３】 複数列の誘電体と誘電体薄板とを一体成
形したことを特徴とする請求項１又は２記載のオゾン発
生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15484192A JPH05345601A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15484192A JPH05345601A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05345601A true JPH05345601A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15593064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15484192A Pending JPH05345601A (ja) | 1992-06-15 | 1992-06-15 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05345601A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010035033A (ko) * | 2000-11-14 | 2001-05-07 | 이광식 | 가변 적층 평판형 고농도 오존발생장치 |
| KR100327598B1 (ko) * | 2000-01-28 | 2002-03-07 | 이재신 | 소형 고효율 오존발생장치 |
-
1992
- 1992-06-15 JP JP15484192A patent/JPH05345601A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100327598B1 (ko) * | 2000-01-28 | 2002-03-07 | 이재신 | 소형 고효율 오존발생장치 |
| KR20010035033A (ko) * | 2000-11-14 | 2001-05-07 | 이광식 | 가변 적층 평판형 고농도 오존발생장치 |
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