JPH05340897A - Ｘ線分光器 - Google Patents
Ｘ線分光器Info
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- JPH05340897A JPH05340897A JP4151635A JP15163592A JPH05340897A JP H05340897 A JPH05340897 A JP H05340897A JP 4151635 A JP4151635 A JP 4151635A JP 15163592 A JP15163592 A JP 15163592A JP H05340897 A JPH05340897 A JP H05340897A
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- ray
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 分析点の多い分析における測定時間を短縮
し、またスペクトル測定においてバックグラウンドの変
化率の大きい領域において微小ピークも正確に検出する
Ｘ線分光器を提供する。 【構成】 分光結晶２を用いて軟Ｘ線を分光検出するＸ
線分光器において、スリット位置をずらすことによって
ピーク、バックグラウンド長波長側、及びバックグラウ
ンド短波長側の３つのスペクトルを検出するＸ線検出器
３と、前記Ｘ線検出器の出力によってバックグラウンド
を補正する補正手段６とによってＸ線分光器を構成し、
リアルタイムでバックグラウンドを補正し、元素の特性
Ｘ線ピークの信号強度分のみの計測、あるいはピークの
みのスペクトル測定を行う。
し、またスペクトル測定においてバックグラウンドの変
化率の大きい領域において微小ピークも正確に検出する
Ｘ線分光器を提供する。 【構成】 分光結晶２を用いて軟Ｘ線を分光検出するＸ
線分光器において、スリット位置をずらすことによって
ピーク、バックグラウンド長波長側、及びバックグラウ
ンド短波長側の３つのスペクトルを検出するＸ線検出器
３と、前記Ｘ線検出器の出力によってバックグラウンド
を補正する補正手段６とによってＸ線分光器を構成し、
リアルタイムでバックグラウンドを補正し、元素の特性
Ｘ線ピークの信号強度分のみの計測、あるいはピークの
みのスペクトル測定を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＥＰＭＡなどの軟Ｘ線
を分光して元素の分析を行う装置に関するものである。
を分光して元素の分析を行う装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＥＰＭＡなどにおいて、検出される特性
Ｘ線の波長が元素に特有なことを利用して定性を行い、
また、その強度から定量を行うことができる。そして、
ＥＰＭＡなどには前記特性Ｘ線を検出するためにＸ線検
出器を設けている。前記Ｘ線検出器では、試料からのＸ
線の主スペクトルと、電子線とＸ線の相互の散乱やＸ線
の再励起等により生じるバックグラウンドとが混在した
信号として検出される。
Ｘ線の波長が元素に特有なことを利用して定性を行い、
また、その強度から定量を行うことができる。そして、
ＥＰＭＡなどには前記特性Ｘ線を検出するためにＸ線検
出器を設けている。前記Ｘ線検出器では、試料からのＸ
線の主スペクトルと、電子線とＸ線の相互の散乱やＸ線
の再励起等により生じるバックグラウンドとが混在した
信号として検出される。
【０００３】そこで、ある分析位置における元素の真の
ピーク強度を得るためには、バックグラウンドの補正を
行う必要がある。従来、バックグラウンドの補正を行う
ために、分光器の駆動によって分光位置をピーク位置か
らずらしてバックグラウンド強度を測定し、該バックグ
ラウンド強度を基にして内挿によってピーク位置でのバ
ックグラウンド強度を求め、ピーク位置における検出強
度から前記バックグラウンド強度を引算することによっ
て元素のピーク強度を得ている。
ピーク強度を得るためには、バックグラウンドの補正を
行う必要がある。従来、バックグラウンドの補正を行う
ために、分光器の駆動によって分光位置をピーク位置か
らずらしてバックグラウンド強度を測定し、該バックグ
ラウンド強度を基にして内挿によってピーク位置でのバ
ックグラウンド強度を求め、ピーク位置における検出強
度から前記バックグラウンド強度を引算することによっ
て元素のピーク強度を得ている。
【０００４】図５は従来のＸ線分光器の構成図である。
図５において、１１は試料、１２は分光結晶、１３はＸ
線検出器、１４は信号処理部である。試料１１に対して
電子ビームを照射すると、試料１１からは該試料の元素
に特有の特性Ｘ線が放出される。該特性Ｘ線は分光結晶
１２は単結晶または人工多層膜よりなる分光結晶１２に
よって分光され、分光された特定の波長の特性Ｘ線はＸ
線検出器１３によって検出される。該検出信号には特性
Ｘ線の信号とバックグラウンドの信号とが含まれてい
る。
図５において、１１は試料、１２は分光結晶、１３はＸ
線検出器、１４は信号処理部である。試料１１に対して
電子ビームを照射すると、試料１１からは該試料の元素
に特有の特性Ｘ線が放出される。該特性Ｘ線は分光結晶
１２は単結晶または人工多層膜よりなる分光結晶１２に
よって分光され、分光された特定の波長の特性Ｘ線はＸ
線検出器１３によって検出される。該検出信号には特性
Ｘ線の信号とバックグラウンドの信号とが含まれてい
る。
【０００５】図６は従来のＸ線検出器の出力図である。
図６において、Ｘ線検出器で検出されるピーク信号ＩPK
にはバックグラウンドの信号ＩBKが含まれている。図５
の従来のＸ線検出器によってバックグラウンドの補正を
行う場合には、Ｘ線検出器によってバックグラウンド信
号ＩBGを含んだピーク信号ＩPKを検出するとともに、別
にバックグラウンド信号ＩBGのみの検出を行う。バック
グラウンド信号ＩBGのみの検出は、分光結晶１２を駆動
して特性Ｘ線の方向をＸ線検出器１３からずらし、該Ｘ
線検出器１３にはバックグラウンドの信号ＩBGのみが入
力されるように設定することによって行われる。
図６において、Ｘ線検出器で検出されるピーク信号ＩPK
にはバックグラウンドの信号ＩBKが含まれている。図５
の従来のＸ線検出器によってバックグラウンドの補正を
行う場合には、Ｘ線検出器によってバックグラウンド信
号ＩBGを含んだピーク信号ＩPKを検出するとともに、別
にバックグラウンド信号ＩBGのみの検出を行う。バック
グラウンド信号ＩBGのみの検出は、分光結晶１２を駆動
して特性Ｘ線の方向をＸ線検出器１３からずらし、該Ｘ
線検出器１３にはバックグラウンドの信号ＩBGのみが入
力されるように設定することによって行われる。
【０００６】信号処理部１４においては、前記Ｘ線検出
器１３から特性Ｘ線のバックグラウンド信号を含んだピ
ーク信号とバックグラウンドのみの信号とを入力し、バ
ックグラウンド信号を含んだピーク信号からバックグラ
ウンドのみの信号を差し引いてピーク信号を検出してい
る。また、定性のためのスペクトル測定では、バックグ
ラウンドを含んだデータを基にしてピーク検出を行って
いる。
器１３から特性Ｘ線のバックグラウンド信号を含んだピ
ーク信号とバックグラウンドのみの信号とを入力し、バ
ックグラウンド信号を含んだピーク信号からバックグラ
ウンドのみの信号を差し引いてピーク信号を検出してい
る。また、定性のためのスペクトル測定では、バックグ
ラウンドを含んだデータを基にしてピーク検出を行って
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来の前記Ｘ線分析器においては、以下の問題点を有し
ている。 （１）マッピング分析などの分析点の多い分析において
は、各分析ごとにバックグラウンドの測定を行うためそ
の測定時間が膨大となり、全体として分析の作業量が増
大するとともに分析の長時間化を招くことになる。 （２）また、前記分析において、バックグラウンド分の
測定のために分析結晶を駆動する必要があり、リアルタ
イムの測定ができない。 （３）また、スペクトル測定ではバックグラウンドを含
んだデータを基にしてピーク検出を行っているため、バ
ックグラウンドの変化率が大きい場合には微小ピークと
バックグラウンドの区別が困難となり、正確な測定が難
しくなる。
従来の前記Ｘ線分析器においては、以下の問題点を有し
ている。 （１）マッピング分析などの分析点の多い分析において
は、各分析ごとにバックグラウンドの測定を行うためそ
の測定時間が膨大となり、全体として分析の作業量が増
大するとともに分析の長時間化を招くことになる。 （２）また、前記分析において、バックグラウンド分の
測定のために分析結晶を駆動する必要があり、リアルタ
イムの測定ができない。 （３）また、スペクトル測定ではバックグラウンドを含
んだデータを基にしてピーク検出を行っているため、バ
ックグラウンドの変化率が大きい場合には微小ピークと
バックグラウンドの区別が困難となり、正確な測定が難
しくなる。
【０００８】本発明は上記の問題点を除去し、分析点の
多い分析における測定時間を短縮し、またスペクトル測
定においてバックグラウンドの変化率の大きい領域にお
いて微小ピークも正確に検出するＸ線分光器を提供する
ことを目的とする。
多い分析における測定時間を短縮し、またスペクトル測
定においてバックグラウンドの変化率の大きい領域にお
いて微小ピークも正確に検出するＸ線分光器を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の問題点
を克服するために、分光結晶を用いて軟Ｘ線を分光検出
するＸ線分光器において、スリット位置をずらすことに
よってピーク、バックグラウンド長波長側、及び短波長
側の３つのスペクトルを検出するＸ線検出器と、前記Ｘ
線検出器の出力によってバックグラウンドを補正する補
正手段とを有し、分析位置において前記補正手段によっ
て前記分光器を駆動することなくリアルタイムでバック
グラウンドを補正し、元素の特性Ｘ線ピークの信号強度
分のみを計測することができるＸ線分光器を構成する。
を克服するために、分光結晶を用いて軟Ｘ線を分光検出
するＸ線分光器において、スリット位置をずらすことに
よってピーク、バックグラウンド長波長側、及び短波長
側の３つのスペクトルを検出するＸ線検出器と、前記Ｘ
線検出器の出力によってバックグラウンドを補正する補
正手段とを有し、分析位置において前記補正手段によっ
て前記分光器を駆動することなくリアルタイムでバック
グラウンドを補正し、元素の特性Ｘ線ピークの信号強度
分のみを計測することができるＸ線分光器を構成する。
【００１０】また、分光結晶を用いて軟Ｘ線を分光検出
するＸ線分光器において、スリット位置をずらすことに
よってピーク、バックグラウンド長波長側、及び短波長
側の３つのスペクトルを検出するＸ線検出器と、前記Ｘ
線検出器の出力によってバックグラウンドを補正する補
正手段とを有し、分析位置における定性分析において、
前記補正手段によって前記分光器を駆動しながらリアル
タイムでバックグラウンドを補正し、ピークのみのスペ
クトル測定を行うことができるＸ線分光器を構成するも
のである。
するＸ線分光器において、スリット位置をずらすことに
よってピーク、バックグラウンド長波長側、及び短波長
側の３つのスペクトルを検出するＸ線検出器と、前記Ｘ
線検出器の出力によってバックグラウンドを補正する補
正手段とを有し、分析位置における定性分析において、
前記補正手段によって前記分光器を駆動しながらリアル
タイムでバックグラウンドを補正し、ピークのみのスペ
クトル測定を行うことができるＸ線分光器を構成するも
のである。
【００１１】
【作用】本発明のＸ線分光器によれば、Ｘ線検出器のス
リット位置をずらすことによって得られるピーク、バッ
クグラウンド長波長側、及び短波長側の３つの計測値を
補正手段に入力し、バックグラウンドを補正した元素の
特性Ｘ線ピークの信号強度分のみを分光器を駆動するこ
となくリアルタイムで計測することができる。
リット位置をずらすことによって得られるピーク、バッ
クグラウンド長波長側、及び短波長側の３つの計測値を
補正手段に入力し、バックグラウンドを補正した元素の
特性Ｘ線ピークの信号強度分のみを分光器を駆動するこ
となくリアルタイムで計測することができる。
【００１２】また、本発明のＸ線分光器によれば、Ｘ線
検出器のスリット位置をずらすことによって得られるピ
ーク、バックグラウンド長波長側、及び短波長側の３つ
の計測値を補正手段に入力し、分析位置における定性分
析において、バックグラウンドを補正したピークのみの
スペクトル測定を前記分光器を駆動しながらリアルタイ
ムで行うことができる。
検出器のスリット位置をずらすことによって得られるピ
ーク、バックグラウンド長波長側、及び短波長側の３つ
の計測値を補正手段に入力し、分析位置における定性分
析において、バックグラウンドを補正したピークのみの
スペクトル測定を前記分光器を駆動しながらリアルタイ
ムで行うことができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照しな
がら詳細に説明する。図１は本発明のＸ線分光器の構成
図である。図１において、１は試料、２は分光結晶、３
はＸ線検出器、４は増幅回路、５は計数回路、６は演算
用コンピュータ、７はホストコンピュータである。
がら詳細に説明する。図１は本発明のＸ線分光器の構成
図である。図１において、１は試料、２は分光結晶、３
はＸ線検出器、４は増幅回路、５は計数回路、６は演算
用コンピュータ、７はホストコンピュータである。
【００１４】試料１には電子ビームが照射され、試料１
からは特性Ｘ線が放出される。該特性Ｘ線は分光結晶１
２は単結晶または人工多層膜よりなる分光結晶１２によ
って分光され、分光された特定の波長の特性Ｘ線はＸ線
検出器１３によって検出される。検出器３の出力は増幅
器４を介して計数回路５に入力され、強度が測定され
る。演算用コンピュータ６は前記検出信号のバックグラ
ウンド補正などの演算を行うものである。
からは特性Ｘ線が放出される。該特性Ｘ線は分光結晶１
２は単結晶または人工多層膜よりなる分光結晶１２によ
って分光され、分光された特定の波長の特性Ｘ線はＸ線
検出器１３によって検出される。検出器３の出力は増幅
器４を介して計数回路５に入力され、強度が測定され
る。演算用コンピュータ６は前記検出信号のバックグラ
ウンド補正などの演算を行うものである。
【００１５】また、検出器３、増幅回路４、計数回路
５、及び演算用コンピュータ６等の制御、及び前記演算
用コンピュータ６でバックグラウンド補正された測定値
による分析処理はホストコンピュータ７によって行われ
る。本発明のＸ線分光器のＸ線検出器３は、３個のＸ線
検出器ＤBG+ ，ＤP ，ＤBG - を並列に並べて構成され
る。各Ｘ線検出器ＤBG+ ，ＤP ，ＤBG- にはＸ線を透過
させて検出器に導くためのスリットＳが形成されてい
る。各Ｘ線検出器ＤBG+，ＤP ，ＤBG- のスリット位置
はそれぞれずれている。
５、及び演算用コンピュータ６等の制御、及び前記演算
用コンピュータ６でバックグラウンド補正された測定値
による分析処理はホストコンピュータ７によって行われ
る。本発明のＸ線分光器のＸ線検出器３は、３個のＸ線
検出器ＤBG+ ，ＤP ，ＤBG - を並列に並べて構成され
る。各Ｘ線検出器ＤBG+ ，ＤP ，ＤBG- にはＸ線を透過
させて検出器に導くためのスリットＳが形成されてい
る。各Ｘ線検出器ＤBG+，ＤP ，ＤBG- のスリット位置
はそれぞれずれている。
【００１６】ピーク位置のＸ線を検出するＸ線検出器Ｄ
P は中央にスリットが設けられている。一方、バックグ
ラウンド長波長側のＸ線を検出するＸ線検出器ＤBG+ は
下方にずれた位置にスリットが設けられており、また、
バックグラウンド短波長側のＸ線を検出するＸ線検出器
ＤBG- は上方にずれた位置にスリットが設けられてい
る。前記３個のＸ線検出器ＤBG+ ，ＤP ，及びＤBG- は
一体に形成され、分光結晶を駆動すると同時に駆動され
る。
P は中央にスリットが設けられている。一方、バックグ
ラウンド長波長側のＸ線を検出するＸ線検出器ＤBG+ は
下方にずれた位置にスリットが設けられており、また、
バックグラウンド短波長側のＸ線を検出するＸ線検出器
ＤBG- は上方にずれた位置にスリットが設けられてい
る。前記３個のＸ線検出器ＤBG+ ，ＤP ，及びＤBG- は
一体に形成され、分光結晶を駆動すると同時に駆動され
る。
【００１７】また、前記３個のＸ線検出器ＤBG+ ，
ＤP ，及びＤBG- の出力は、それぞれ増幅回路４に入力
される。次に、本発明のＸ線分光器の動作について説明
する。始めに、バックグラウンド値について説明する。
図２は検出スペクトル波形図である。
ＤP ，及びＤBG- の出力は、それぞれ増幅回路４に入力
される。次に、本発明のＸ線分光器の動作について説明
する。始めに、バックグラウンド値について説明する。
図２は検出スペクトル波形図である。
【００１８】図において、ピーク値ＩP はＸ線検出器Ｄ
P の出力であり、長波長バックグラウンド値ＩBG+ はＸ
線検出器ＤBG+ の出力であり、また、短波長バックグラ
ウンド値ＩBG- はＸ線検出器ＤBG- の出力である。長波
長バックグラウンド値ＩBG+ は、ピーク値ＩP から長波
長側にずれたスペトクルのバックグラウンドの値を表し
ている。一方、短波長バックグラウンド値ＩBG- はピー
ク値ＩP から短波長側にずれたスペトクルのバックグラ
ウンドの値を表している。
P の出力であり、長波長バックグラウンド値ＩBG+ はＸ
線検出器ＤBG+ の出力であり、また、短波長バックグラ
ウンド値ＩBG- はＸ線検出器ＤBG- の出力である。長波
長バックグラウンド値ＩBG+ は、ピーク値ＩP から長波
長側にずれたスペトクルのバックグラウンドの値を表し
ている。一方、短波長バックグラウンド値ＩBG- はピー
ク値ＩP から短波長側にずれたスペトクルのバックグラ
ウンドの値を表している。
【００１９】一方、Ｘ線検出器ＤP の出力であるピーク
値ＩP にはピークにおけるバックグラウンドの値ＩPKが
含まれている。したがって、真のピーク値ＩPOを得るた
めにはピーク値ＩP からバックグラウンドの値ＩPKを差
し引く必要がある。前記長波長バックグラウンド値Ｉ
BG+ 及び短波長バックグラウンド値ＩBG- は、Ｘ線検出
器ＤP のスリット位置とから充分離れた位置に各スリッ
トを形成することによってバックグラウンド値を得るこ
とができるが、Ｘ線検出器ＤP のスリット位置と各スリ
ット位置のずれ量によって定まるものであり、長波長バ
ックグラウンド値ＩBG+ と短波長バックグラウンド値Ｉ
BG- は必ずしも同じ値ではない。また、ピークにおける
バックグラウンドの値ＩPKは、長波長バックグラウンド
値ＩBG+ と短波長バックグラウンド値ＩBG- の算術平均
とならない。
値ＩP にはピークにおけるバックグラウンドの値ＩPKが
含まれている。したがって、真のピーク値ＩPOを得るた
めにはピーク値ＩP からバックグラウンドの値ＩPKを差
し引く必要がある。前記長波長バックグラウンド値Ｉ
BG+ 及び短波長バックグラウンド値ＩBG- は、Ｘ線検出
器ＤP のスリット位置とから充分離れた位置に各スリッ
トを形成することによってバックグラウンド値を得るこ
とができるが、Ｘ線検出器ＤP のスリット位置と各スリ
ット位置のずれ量によって定まるものであり、長波長バ
ックグラウンド値ＩBG+ と短波長バックグラウンド値Ｉ
BG- は必ずしも同じ値ではない。また、ピークにおける
バックグラウンドの値ＩPKは、長波長バックグラウンド
値ＩBG+ と短波長バックグラウンド値ＩBG- の算術平均
とならない。
【００２０】したがって、ピーク値ＩP から長波長バッ
クグラウンド値ＩBG+ と短波長バックグラウンド値Ｉ
BG- の平均値を差し引くことによって、真のピーク値を
求めることはできない。本発明においては、前記バック
グラウンドの値ＩPKを３個のＸ線検出器ＤBG+，ＤP ，
及びＤBG- の出力である長波長バックグラウンド値Ｉ
BG+ ，ピーク値Ｉ P ，及び短波長バックグラウンド値Ｉ
BG- によって以下のようにして求める。
クグラウンド値ＩBG+ と短波長バックグラウンド値Ｉ
BG- の平均値を差し引くことによって、真のピーク値を
求めることはできない。本発明においては、前記バック
グラウンドの値ＩPKを３個のＸ線検出器ＤBG+，ＤP ，
及びＤBG- の出力である長波長バックグラウンド値Ｉ
BG+ ，ピーク値Ｉ P ，及び短波長バックグラウンド値Ｉ
BG- によって以下のようにして求める。
【００２１】図３は本発明のＸ線検出器によるバックグ
ラウンド測定値である。図３において、ＩBG+ はＸ線検
出器ＤBG+ による長波長バックグラウンド値であり、Ｉ
BG- はＸ線検出器ＤBG- による短波長バックグラウンド
値であり、また、ＩPKはＸ線検出器ＤP によるバックグ
ラウンドの値である。ピークのある分析位置において
は、本発明のＸ線検出器３からはＸ線検出器Ｄ BG+ によ
る長波長バックグラウンド値ＩBG+ とＸ線検出器ＤBG-
による短波長バックグラウンド値ＩBG- を求めることは
できるが、Ｘ線検出器ＤP の出力はピーク値を含んでい
るのでバックグラウンドの値ＩPKのみを求めることはで
きない。
ラウンド測定値である。図３において、ＩBG+ はＸ線検
出器ＤBG+ による長波長バックグラウンド値であり、Ｉ
BG- はＸ線検出器ＤBG- による短波長バックグラウンド
値であり、また、ＩPKはＸ線検出器ＤP によるバックグ
ラウンドの値である。ピークのある分析位置において
は、本発明のＸ線検出器３からはＸ線検出器Ｄ BG+ によ
る長波長バックグラウンド値ＩBG+ とＸ線検出器ＤBG-
による短波長バックグラウンド値ＩBG- を求めることは
できるが、Ｘ線検出器ＤP の出力はピーク値を含んでい
るのでバックグラウンドの値ＩPKのみを求めることはで
きない。
【００２２】このピークのある分析位置において求める
ことのできるのは、長波長バックグラウンド値ＩBG+ と
短波長バックグラウンド値ＩBG- の値を算術平均した平
均バックグラウンド値ＩBGである。前記各バックグラウ
ンドの値ＩBG+ ，ＩBG- ，及びＩPKは、本発明のＸ線検
出器３を予めピークのない分析位置に置くことによって
得られる。
ことのできるのは、長波長バックグラウンド値ＩBG+ と
短波長バックグラウンド値ＩBG- の値を算術平均した平
均バックグラウンド値ＩBGである。前記各バックグラウ
ンドの値ＩBG+ ，ＩBG- ，及びＩPKは、本発明のＸ線検
出器３を予めピークのない分析位置に置くことによって
得られる。
【００２３】そこで、本発明のＸ線分光器は、前記平均
バックグラウンド値ＩBGとバックグラウンドの値ＩPKと
の関係をピークのない分析位置にＸ線検出器３を置いた
ときのそれぞれの値から予め求めておく。そして、ピー
クのある分析位置において各Ｘ線検出器ＤBG+ ，ＤP ，
及びＤBG- からの測定値を求め、前記平均バックグラウ
ンド値ＩBGとバックグラウンドの値ＩPKとの関係にピー
クのある分析位置における長波長バックグラウンド値Ｉ
BG+ と短波長バックグラウンド値ＩBG- を代入して、ピ
ークのある分析位置におけるバックグラウンドの値ＩPK
を求める。
バックグラウンド値ＩBGとバックグラウンドの値ＩPKと
の関係をピークのない分析位置にＸ線検出器３を置いた
ときのそれぞれの値から予め求めておく。そして、ピー
クのある分析位置において各Ｘ線検出器ＤBG+ ，ＤP ，
及びＤBG- からの測定値を求め、前記平均バックグラウ
ンド値ＩBGとバックグラウンドの値ＩPKとの関係にピー
クのある分析位置における長波長バックグラウンド値Ｉ
BG+ と短波長バックグラウンド値ＩBG- を代入して、ピ
ークのある分析位置におけるバックグラウンドの値ＩPK
を求める。
【００２４】前記長波長バックグラウンド値ＩBG+ と短
波長バックグラウンド値ＩBG- の値を算術平均した平均
バックグラウンド値ＩBGとバックグラウンドの値ＩPKと
の間には次式の関係で表せる。 ＩPK＝ｋ（ＩBG+ ＋ＩBG- ）／２ ＝ｋＩBG …（１） 式（１）はバックグラウンドの値ＩPKを求める補正式と
なり、ｋは該補正式の係数となる。
波長バックグラウンド値ＩBG- の値を算術平均した平均
バックグラウンド値ＩBGとバックグラウンドの値ＩPKと
の間には次式の関係で表せる。 ＩPK＝ｋ（ＩBG+ ＋ＩBG- ）／２ ＝ｋＩBG …（１） 式（１）はバックグラウンドの値ＩPKを求める補正式と
なり、ｋは該補正式の係数となる。
【００２５】したがって、本発明のＸ線検出器３を予め
ピークのない分析位置に置いてＸ線検出器ＤBG+ による
長波長バックグラウンド値ＩBG+ とＸ線検出器ＤBG- に
よる短波長バックグラウンド値ＩBG- を実測して、該実
測値から前記式（１）によって補正係数ｋの値を求め、
Ｘ線検出器３がピークのある分析位置におけるバックグ
ラウンドの値ＩPKを求める。
ピークのない分析位置に置いてＸ線検出器ＤBG+ による
長波長バックグラウンド値ＩBG+ とＸ線検出器ＤBG- に
よる短波長バックグラウンド値ＩBG- を実測して、該実
測値から前記式（１）によって補正係数ｋの値を求め、
Ｘ線検出器３がピークのある分析位置におけるバックグ
ラウンドの値ＩPKを求める。
【００２６】そして、Ｘ線検出器３のＸ線検出器ＤP の
ピーク値ＩP から前記バックグラウンド値ＩPKを差し引
くことによってバックグラウンド補正を行うことがで
き、真のピーク値ＩPOは次式によって与えられる。 ＩPO＝ＩP −ＩPK ＝ＩP −ｋ（ＩBG+ ＋ＩBG- ）／２ …（２） 前記バックグラウンド補正の演算は、図１において演算
用コンピュータ６に予め前記補正係数ｋを記憶させてお
き、該演算用コンピュータ６においてＸ線検出器３の出
力信号ＩP ，ＩBG+ ，及びＩBG- を用いて前記式（２）
によって行われる。
ピーク値ＩP から前記バックグラウンド値ＩPKを差し引
くことによってバックグラウンド補正を行うことがで
き、真のピーク値ＩPOは次式によって与えられる。 ＩPO＝ＩP −ＩPK ＝ＩP −ｋ（ＩBG+ ＋ＩBG- ）／２ …（２） 前記バックグラウンド補正の演算は、図１において演算
用コンピュータ６に予め前記補正係数ｋを記憶させてお
き、該演算用コンピュータ６においてＸ線検出器３の出
力信号ＩP ，ＩBG+ ，及びＩBG- を用いて前記式（２）
によって行われる。
【００２７】前記演算用コンピュータ６においてバック
グラウンド補正されたピーク値はホストコンピュータ７
において分析処理が行われる。したがって、ホストコン
ピュータ７には常にバックグラウンド補正されたピーク
値ＩPOが入力されることになる。次に、本発明のＸ線分
光器による定性分析について説明する。
グラウンド補正されたピーク値はホストコンピュータ７
において分析処理が行われる。したがって、ホストコン
ピュータ７には常にバックグラウンド補正されたピーク
値ＩPOが入力されることになる。次に、本発明のＸ線分
光器による定性分析について説明する。
【００２８】本発明のＸ線分光器による定性分析は、Ｘ
線分光器３のそれぞれのＸ線検出器ＤBG+ 、Ｘ線検出器
ＤP 、及びＸ線検出器ＤBG- を同時に駆動し、Ｘ線検出
器Ｄ BG+ 及びＸ線検出器ＤBG- からの測定値によってＸ
線検出器ＤP の測定値をバックグラウンド補正すること
により行われる。図４は本発明のＸ線分光器による定性
分析のスペクトル図である。
線分光器３のそれぞれのＸ線検出器ＤBG+ 、Ｘ線検出器
ＤP 、及びＸ線検出器ＤBG- を同時に駆動し、Ｘ線検出
器Ｄ BG+ 及びＸ線検出器ＤBG- からの測定値によってＸ
線検出器ＤP の測定値をバックグラウンド補正すること
により行われる。図４は本発明のＸ線分光器による定性
分析のスペクトル図である。
【００２９】図４の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、それ
ぞれＸ線検出器ＤBG+ 、Ｘ線検出器ＤP 、及びＸ線検出
器ＤBG- の出力スペクトル図である。各Ｘ線検出器Ｄ
BG+ ，ＤP 、及びＤBG- から得られる出力スペクトルの
ピークの位置は、それぞれのＸ線検出器に形成されたス
リットの位置に応じてずれることになる。定性分析は次
のステップによって行われる。
ぞれＸ線検出器ＤBG+ 、Ｘ線検出器ＤP 、及びＸ線検出
器ＤBG- の出力スペクトル図である。各Ｘ線検出器Ｄ
BG+ ，ＤP 、及びＤBG- から得られる出力スペクトルの
ピークの位置は、それぞれのＸ線検出器に形成されたス
リットの位置に応じてずれることになる。定性分析は次
のステップによって行われる。
【００３０】始めに、Ｘ線検出器３を予めピークのない
分析位置に置いてＸ線検出器ＤBG+による長波長バック
グラウンド値ＩBG+ とＸ線検出器ＤBG- による短波長バ
ックグラウンド値ＩBG- を実測して、該実測値から前記
式（１）によって補正係数ｋの値を予め求めておく。次
に、分光結晶２を駆動して検出器３に対するスペクトル
分布を移動させながら計測を行う。該計測に伴って演算
用コンピュータ６においてバックグラウンド補正を行
う。
分析位置に置いてＸ線検出器ＤBG+による長波長バック
グラウンド値ＩBG+ とＸ線検出器ＤBG- による短波長バ
ックグラウンド値ＩBG- を実測して、該実測値から前記
式（１）によって補正係数ｋの値を予め求めておく。次
に、分光結晶２を駆動して検出器３に対するスペクトル
分布を移動させながら計測を行う。該計測に伴って演算
用コンピュータ６においてバックグラウンド補正を行
う。
【００３１】前記バックグラウンド補正は以下のように
して行われる。前記式（２）において、ＩP に図４の
（ｂ）のＸ線検出器ＤP の出力値を代入し、ＩBG+ に図
４の（ａ）のＸ線検出器ＤBG+ の出力値を代入し、Ｉ
BG- に図４の（ｃ）のＸ線検出器ＤBG- の出力値を代入
し、また、ｋに予め求めておいた補正係数ｋを代入す
る。これによって得られる出力は図４の（ｄ）の信号図
となる。
して行われる。前記式（２）において、ＩP に図４の
（ｂ）のＸ線検出器ＤP の出力値を代入し、ＩBG+ に図
４の（ａ）のＸ線検出器ＤBG+ の出力値を代入し、Ｉ
BG- に図４の（ｃ）のＸ線検出器ＤBG- の出力値を代入
し、また、ｋに予め求めておいた補正係数ｋを代入す
る。これによって得られる出力は図４の（ｄ）の信号図
となる。
【００３２】図４の（ｄ）の信号図においては、ピーク
信号の両側に負の値の部分が生じる。そこで、該負の値
の部分の計測値は零とすることによって、図４の（ｅ）
のバックグラウンド補正したピーク信号のスペクトル分
布を得ることができる。前記演算処理は演算用コンピュ
ータ６において行われ、測定されたピーク信号による分
析処理はホストコンピュータ７によって行われる。
信号の両側に負の値の部分が生じる。そこで、該負の値
の部分の計測値は零とすることによって、図４の（ｅ）
のバックグラウンド補正したピーク信号のスペクトル分
布を得ることができる。前記演算処理は演算用コンピュ
ータ６において行われ、測定されたピーク信号による分
析処理はホストコンピュータ７によって行われる。
【００３３】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 （１）マッピング分析などの分析点の多い分析において
も、バックグラウンドの測定のための時間は短くして、
分析の作業量の増加や分析時間の長時間化を防ぐことが
できる。 （２）分析において、バックグラウンド分の測定のため
に分析結晶を駆動する必要がないので、リアルタイムの
測定を行うことができる。 （３）スペクトル測定ではバックグラウンドを含まない
データを基にしてピーク検出を行うことができるため、
バックグラウンドの変化率が大きい場合においても微小
ピークとバックグラウンドの区別が容易となり、正確な
測定を行うことができる。
も、バックグラウンドの測定のための時間は短くして、
分析の作業量の増加や分析時間の長時間化を防ぐことが
できる。 （２）分析において、バックグラウンド分の測定のため
に分析結晶を駆動する必要がないので、リアルタイムの
測定を行うことができる。 （３）スペクトル測定ではバックグラウンドを含まない
データを基にしてピーク検出を行うことができるため、
バックグラウンドの変化率が大きい場合においても微小
ピークとバックグラウンドの区別が容易となり、正確な
測定を行うことができる。
【図１】本発明のＸ線分光器の構成図である。
【図２】検出スペクトル波形図である。
【図３】本発明のＸ線検出器によるバックグラウンド測
定値である。
定値である。
【図４】本発明のＸ線分光器による定性分析のスペクト
ル図である。
ル図である。
【図５】従来のＸ線分光器の構成図である。
【図６】従来のＸ線検出器の出力図である。
１…試料、２…分光結晶、３…Ｘ線検出器、４…増幅回
路、５…計数回路、６…演算用コンピュータ、７…ホス
トコンピュータ、Ｓ…スリット、ＤBG+ ，ＤP ，ＤBG-
…Ｘ線検出器、ＩPK…バックグラウンドの値、ＩBG+ …
長波長バックグラウンド値、ＩBG- …短波長バックグラ
ウンド値、ＩP …ピーク値
路、５…計数回路、６…演算用コンピュータ、７…ホス
トコンピュータ、Ｓ…スリット、ＤBG+ ，ＤP ，ＤBG-
…Ｘ線検出器、ＩPK…バックグラウンドの値、ＩBG+ …
長波長バックグラウンド値、ＩBG- …短波長バックグラ
ウンド値、ＩP …ピーク値
Claims (1)
- 【請求項１】 分光結晶を用いて軟Ｘ線を分光検出する
Ｘ線分光器において、（ａ）スリット位置をずらすこと
によってピーク、バックグラウンド長波長側、及びバッ
クグラウンド短波長側の３つのスペクトルを検出するＸ
線検出器と、（ｂ）バックグラウンドを補正する補正手
段とを有し、（ｃ）前記補正手段に前記Ｘ線検出器の出
力を入力し、前記Ｘ線検出器のピークに係わる信号のバ
ックグラウンドをリアルタイムで補正することを特徴と
するＸ線分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4151635A JPH05340897A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | Ｘ線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4151635A JPH05340897A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | Ｘ線分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05340897A true JPH05340897A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15522859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4151635A Pending JPH05340897A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | Ｘ線分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05340897A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010271144A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Toyota Motor Corp | Ｅｐｍａ分析におけるバックグラウンド補正方法 |
| WO2018061608A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 株式会社リガク | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置およびそれを用いる蛍光ｘ線分析方法 |
| WO2018061607A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 株式会社リガク | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置 |
-
1992
- 1992-06-11 JP JP4151635A patent/JPH05340897A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010271144A (ja) * | 2009-05-20 | 2010-12-02 | Toyota Motor Corp | Ｅｐｍａ分析におけるバックグラウンド補正方法 |
| WO2018061608A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 株式会社リガク | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置およびそれを用いる蛍光ｘ線分析方法 |
| WO2018061607A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 株式会社リガク | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置 |
| JP2018054571A (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | 株式会社リガク | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置 |
| JPWO2018061608A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2019-03-07 | 株式会社リガク | 波長分散型蛍光ｘ線分析装置およびそれを用いる蛍光ｘ線分析方法 |
| CN109791116A (zh) * | 2016-09-30 | 2019-05-21 | 株式会社理学 | 波长色散型荧光x射线分析装置 |
| US10768125B2 (en) | 2016-09-30 | 2020-09-08 | Rigaku Corporation | Wavelength dispersive x-ray fluorescence spectrometer and x-ray fluorescence analyzing method using the same |
| US10948436B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-03-16 | Rigaku Corporation | Wavelength dispersive X-ray fluorescence spectrometer |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010424 |