JPH05326713A - 半導体装置の出力回路 - Google Patents

半導体装置の出力回路

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JPH05326713A
JPH05326713A JP4126123A JP12612392A JPH05326713A JP H05326713 A JPH05326713 A JP H05326713A JP 4126123 A JP4126123 A JP 4126123A JP 12612392 A JP12612392 A JP 12612392A JP H05326713 A JPH05326713 A JP H05326713A
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Yoshiaki Toyoshima
義明 豊島
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、容易にスル−レ−ト制御がで
き、多端子のASIC−LSIにおいても、各端子にお
いて最適なスル−レ−トを与えることができる半導体装
置の出力回路を提供することにある。 【構成】 入力端子(10)と出力端子(16)との間に互いに
縦続接続された少なくとも複数のバッファ回路(12,14)
より成るバッファ部を具備し、このバッファ部内の配線
層(28)の配線状態を変更することにより、バッファ部の
インピ−ダンス成分を変化させて、出力端子(16)から出
力される出力電位の遷移時間を変更するように構成され
ていることを主要な特徴としている。このようなもので
あると、配線層の配線状態を変更するだけで出力回路の
スイッチング速度(スル−レ−ト)を制御することが可
能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置の出力回
路に係わり、特にASIC(Application Specific Int
egrated Circuits)−LSIに好適な出力回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図11は、CMOS−LSIで用いられ
る代表的な出力回路の回路図である。
【0003】図11に示すように、電源VCCと電源GN
Dとの間には、プリバッファ100と出力バッファ10
2とが挿設されている。プリバッファ100は、Pチャ
ネル型MOSFET(以下PMOSと称す)104とN
チャネル型MOSFET(以下NMOSと称す)106
とで構成され、また、出力バッファ102は、PMOS
108とNMOS110とで構成されている。プリバッ
ファ100の出力は出力バッファ102の入力に接続さ
れ、出力バッファ102の出力は出力端112に接続さ
れている。
【0004】LSI内部の信号は、外部回路を駆動する
に足るまでバッファ回路により駆動力が増幅される。こ
こで言う駆動力として容量性の負荷を所定の時間で充放
電し、かつ直流的な負荷の場合にはこれも駆動し続ける
事が必要であり、一般に出力回路の最終段バッファ回路
の駆動力には、内部回路のトランジスタに比べて、数十
倍の大きなものが用いられる。
【0005】一方、LSIの高集積化に伴って、入出力
回路の端子数も増大し続けている。最先端のマイクロプ
ロセッサや高速のASIC−LSIでは400から50
0の端子を有するものも珍しくはなくなってきた。この
様な多端子LSIで問題になるのは、上記の様に、極め
て大きなバッファが動作することによるノイズ発生の問
題である。図11および図12を参照してノイズ発生の
機構について説明する。
【0006】図11に示すようなCMOS回路で構成さ
れた出力回路を高速でスイッチングすると過渡的に大電
流が流れる。電源配線の抵抗が無視し得ない場合には、
図12に示す線202のように、電源の電位の変動、す
なわち、ノイズが発生する。また、LSIの出力回路そ
のもの、LSIを搭載するパッケ−ジ、さらに回路基板
まで考慮すると、負荷としての容量114の他に、寄生
インダクタンス成分116が含まれる。このため、図1
2に示す線200のように、出力信号線でもアンダ−シ
ュ−ト、オ−バ−シュ−トといった電源電圧を超えるノ
イズが発生する。半導体集積回路装置の微細化、高速化
に伴い入出力回路のスイッチング速度も高速になり、ノ
イズ発生の問題は深刻な問題となってきている。
【0007】一方、これら多端子のLSIでも、高速な
スイッチングを真に要求されるのは全ての端子ではな
く、信号の種類に応じて、必要充分なスイッチング速度
(スル−レ−ト)は異なっている。高速スイッチングと
ノイズ発生のトレ−ドオフ関係を最適化するためには、
必要最小限のスル−レ−トをもって駆動するよう、出力
バッファの回路設計、または素子設計を、各端子につい
て行う必要がある。しかしながら、ASIC−LSIの
ように、同一の下地パタ−ンから、配線層の変更により
種々の専用LSIを構成する場合には、あらかじめ上記
のような最適化を行うことはできず、必要となり得る最
大の駆動力、スル−レ−トが得られるように設計される
ため、総じて出力回路の駆動力は過剰なものとなりがち
である。したがって、上記のノイズ発生問題はより厳し
い状況となりやすい。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記のよ
うな点に鑑み為されたもので、その目的は、容易にスル
−レ−ト制御ができ、多端子のASIC−LSIにおい
ても、各端子において最適なスル−レ−トを与えること
ができる半導体装置の出力回路を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明の半導体装置の
出力回路は、入力端子と出力端子との間に互いに縦続接
続された少なくとも複数のバッファ回路より成るバッフ
ァ部を具備し、このバッファ部内の配線層の配線状態を
変更することにより、バッファ部のインピ−ダンス成分
を変化させて、出力端子から出力される出力電位の遷移
時間を変更するように構成されていることを特徴として
いる。
【0010】
【作用】上記のような半導体装置の出力回路にあって
は、バッファ部内の配線層の配線状態を変更してバッフ
ァ部のインピ−ダンス成分を変化させることにより、出
力回路の出力電位の遷移時間を変更できる。すなわち、
配線層の配線状態を変更するだけで出力回路のスイッチ
ング速度(スル−レ−ト)を制御することが可能とな
る。また、配線層の配線状態を変更するだけでスル−レ
−トを制御できることからは、例えば複数の出力回路が
LSI内に組み込まれた場合、各出力回路において独立
してのスル−レ−トの制御が可能となる、という効果が
得られる。また、各出力回路に対して独立に制御するこ
とが、配線層の変更のみで実現でき、最適なスル−レ−
トを得るための難易な回路設計や素子設計を省略するこ
とができる。従って、この発明に係る出力回路は、AS
IC−LSIに好適で、中でも素子配置パタ−ンを標準
化しておくマスタ−スライス方式、ゲ−トアレイ方式、
スタンダ−ドセル方式等に特に好適となる。さらに、各
出力回路のスル−レ−トを独立して制御できることから
は、出力回路のスル−レ−トを、各出力回路において最
適化でき、出力回路の過剰なスル−レ−トに伴うノイズ
発生を最小限とできる。
【0011】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明を実施例によ
り説明する。この説明において、全図に渡り同一の部分
には同一の参照符号を付し、重複説明は避けることにす
る。
【0012】図1は、この発明の第1の実施例に関わる
半導体装置の出力回路の回路図、図2は第1の実施例に
関わる出力回路を用いて構成された半導体装置の要部の
回路図である。
【0013】図1に示すように、参照符号10は入力端
子であり、LSIの内部よりの内部信号SINが供給され
る。入力端子に供給された内部信号SINはプリバッファ
12に入力され、プリバッファ12、より出力された信
号は出力バッファ14に入力され、出力バッファ14よ
り出力信号SOUT として出力される。このとき、出力バ
ッファ14は、高電位電源VCCと低電位電源GNDとの
間に並列接続されたMOSFET201 、202 、21
1 、212 により構成され、MOSFETのドレインを
配線層28により出力端子16に接続するか否かのみの
選択でバッファサイズの変更が可能なように、配線層以
下のパタ−ンが標準化されている。
【0014】すなわち、プリバッファ12は、Pチャネ
ル型MOSFET(以下PMOSと称す)22とNチャ
ネル型MOSFET(以下NMOSと称す)23とで構
成されるインバ−タ、PMOS24とNMOS25とで
構成されるインバ−タとにより構成されているが、出力
バッファ14は、電源VCCと出力端子16との間にPM
OS201 、202 を並列に接続し、出力端子16と電
源GNDとの間にNMOS211 、212 を並列に接続
したインバ−タにより構成されている。PMOS202
およびNMOS212 は配線層28の選択により、参照
符号A、Bの箇所で切り離すことができる。この結果、
出力バッファ14は、その駆動力が可変となり、各出力
端子毎に適切な駆動力、スル−レ−トを与えることがで
きる。
【0015】図2は図1に示す出力回路を用いた半導体
装置の要部の回路図である。図2に示すように、図1に
示した出力回路が一つのチップ上に複数形成されてい
る。これらの出力回路はそれぞれ、各種内部信号SIN
〜SIN3の供給受け、出力信号SOUT 1〜SOUT 3を出
力する。信号SIN1〜SIN3はそれぞれ、必要なスイッ
チング速度(スル−レ−ト)がそれぞれ異なっていると
する。このような場合、この発明によれば、例えば信号
IN2が供給される出力回路の出力バッファ142 にお
いて、トランジスタと出力端子162 とを接続する配線
層を無くし、その駆動力を弱める。このようにして、各
信号SIN1〜SIN3それぞれのスル−レ−トが、最適に
調節され、出力回路の過剰なスル−レ−トに伴うノイズ
発生を最小限とすることができる。また、第1の実施例
では、出力バッファ14のバッファサイズを可変とでき
ることから、出力回路のスル−レ−トのみならず、出力
バッファ14の直流駆動力をも調節でき、個々の出力回
路において、駆動力の最適化をも図ることができる。こ
のようなスル−レ−トの最適化、および駆動力の最適化
が行われた装置は、配線層の形成に用いられるマスクパ
タ−ンを変更するだけで実現することができる。
【0016】図3は、第1の実施例に係る半導体装置の
出力回路のゲ−ト配置を示すパタ−ン平面図、図4は、
図3に示す装置に配線層を形成した状態を示すパタ−ン
平面図である。なお、図3に示すパタ−ンは、図1に示
す回路と、特にトランジスタ数に関して一致はしない
が、基本的な回路構成は同じである。
【0017】図3に示すように、例えばシリコン基板の
ような半導体基板31上には、フィ−ルド酸化膜等の素
子分離領域30が形成され、N型の能動素子領域32、
P型の能動素子領域34が分離されている。能動素子領
域32、34上には、例えばポリシリコン等でなるゲ−
ト361 〜366 が形成されている。ここで、ゲ−ト3
1 、362 、364 および365 はそれぞれ、プリバ
ッファ12を構成するMOSFETのゲ−トであり、特
にゲ−ト361 、364 は入力段のゲ−トである。ま
た、ゲ−ト363 、366 はそれぞれ、出力バッファ1
4を構成するMOSFETのゲ−トである。図中の参照
符号SおよびDはそれぞれ、MOSFETのソ−スおよ
びドレインに対応している。図3に示すパタ−ンは、例
えばゲ−トアレイとして、あるいはスタンダ−ドセルと
してCADに登録する等して標準化される。配線層形成
時には、図4に示すように、能動素子領域32、34、
ゲ−ト361 〜366 上に、コンタクト孔38…38を
形成した後、例えばアルミニウム等でなる配線層401
〜406 を形成する。ここで、配線層401 は入力端子
10となる配線層で、404 は出力端子16となる配線
層である。また、配線層402 はプリバッファ12のう
ち、入力段バッファの出力と第2段のバッファの入力と
を接続する配線層で、403 はプリバッファ12の出力
と出力バッファ14の入力とを接続する配線層である。
さらに、配線層405 はVCCレベルの電源線で、406
はGNDレベルの電源線である。これらの配線層のう
ち、第1の実施例では配線層404 の参照符号A、Bに
示す箇所で、配線の接続、非接続を選択することによ
り、特に出力バッファ14のバッファサイズを可変とで
き、前述の駆動力、スル−レ−トの変更が可能となる。
【0018】図5は、この発明の第2の実施例に関わる
半導体装置の出力回路の回路図、図6は第2の実施例に
関わる出力回路を用いて構成された半導体装置の要部の
回路図である。
【0019】第2の実施例は、プリバッファ12のバッ
ファサイズを可変としてスル−レ−トを制御する装置で
ある。図5に示すように、LSI内部からプリバッファ
12を介して出力バッファ14に信号供給される点は第
1の実施例と同様である。このとき、プリバッファのう
ち、第2段のバッファ(インバ−タ)において、PMO
S241 〜243 をそれぞれ並列に接続するとともに、
NMOS241 〜243 をそれぞれ並列に接続する。こ
のようにすることにより、配線層のみの選択でバッファ
サイズの変更が可能なように、配線以前のパタ−ンを標
準化しておく。
【0020】すなわち、プリバッファ12のうちPMO
S22、NMOS23で構成される入力段のバッファの
バッファサイズと、PMOS20、NMOS21で構成
される出力バッファ14のバッファサイズとはそれぞれ
一定とするが、プリバッファ12のうち第2段のバッフ
ァはPMOS241 〜243 、およびNMOS251
253 を並列接続してインバ−タを構成する。第2段バ
ッファの駆動力は図5に示す参照符号C1、C2、D1
およびD2において、配線の接続、非接続を選択するこ
とで変更する。
【0021】このような第2の実施例は、出力バッファ
14の直流駆動力は一定のまま、出力回路のスル−レ−
トのみを変えることができ、現在の標準的なTTLレベ
ルのインタ−フェ−スのように、大きな駆動力が必要な
場合のスル−レ−ト制御に好適である。
【0022】図6は図5に示す出力回路を用いた半導体
装置の要部の回路図である。図6に示すように、図5に
示した出力回路が一つのチップ上に複数形成されてお
り、プリバッファ12の第2段バッファにおいて、配線
層の接続を変えることにより、その駆動力がそれぞれ変
えられている。このようにして、各信号は、必要に応じ
たスイッチング速度に最適化されている。図7は、第2
の実施例に係る半導体装置の配線層形成時におけるパタ
−ン平面図である。
【0023】図7に示すように、ゲ−ト配置は図3に示
すパタ−ンと同じである。第2の実施例では、配線層4
3 の参照符号C1、C2、D1、D2に示す箇所で、
配線の接続、非接続を選択することにより、特にプリバ
ッファ12のバッファサイズを可変とでき、前述の駆動
力、スル−レ−トの変更が可能となる。また、図7に示
すゲ−ト配置は図3に示すゲ−ト配置と同じでも良いこ
とからは、第1の実施例と第2の実施例とを同時に適用
することも可能である。
【0024】図8は、この発明の第3の実施例に関わる
半導体装置の出力回路の回路図、図9は第3の実施例に
関わる出力回路を用いて構成された半導体装置の要部の
回路図である。
【0025】第3の実施例は、プリバッファ12と出力
バッファ14との間に抵抗部50を直列に接続し、この
抵抗部50の抵抗値を可変としてスル−レ−トを制御す
る装置である。図8に示すように、抵抗部50は、等価
回路では3つの抵抗521 〜523 で表現される抵抗体
から構成される。スル−レ−トの制御は、図8に示す参
照符号E、Fの少なくとも一方の箇所において、配線の
接続、非接続を選択することで変更する。例えば参照符
号E、F双方の箇所で配線を非接続とすれば、抵抗部5
0の抵抗値は、抵抗501 〜503 それぞれの抵抗値の
和となり、また、参照符号E、Fの箇所で配線を接続す
れば、抵抗部50の抵抗値は抵抗503の抵抗値のみと
なる。この第3の実施例においても、出力回路のスル−
レ−トは、出力バッファ14の直流駆動力と独立に制御
でき、第2の実施例と同様に、大きな駆動力が必要な場
合のスル−レ−ト制御に好適、という効果が得られる。
【0026】図9は図8に示す出力回路を用いた半導体
装置の要部の回路図である。図9に示すように、図8に
示した出力回路が一つのチップ上に複数形成されてお
り、抵抗部501 〜503 において、配線層の接続を変
え抵抗部50の抵抗値を変えることにより、各信号は必
要に応じたスイッチング速度に最適化されている。図1
0は、第3の実施例に係る半導体装置の配線層形成時に
おけるパタ−ン平面図である。
【0027】図10に示すように、ゲ−ト配置は図3に
示すパタ−ンと同じであるが、プリバッファ12と出力
バッファ14との間に抵抗部50が設けられている。抵
抗部50は、素子分離領域上に形成されたポリシリコン
層、あるいは基板内に形成された拡散層等でなる抵抗体
52により構成されている。抵抗体52には、コンタク
ト孔54を介して配線層403 が接続されている。さら
に、抵抗体52は、コンタクト孔56を介して配線層4
7 に接続され、この配線層407 はコンタクト孔38
を介して出力バッファ14のゲ−トに接続されている。
これらの配線層のうち、配線層403 の参照符号E、F
に示す箇所で、配線の接続、非接続を選択することによ
り、特にプリバッファ12から出力バッファ14までの
信号遅延時間を可変とでき、出力回路のスル−レ−トの
変更が可能となる。
【0028】上記第1〜第3の実施例にて説明した半導
体装置の出力回路ではそれぞれ、LSIの多数の出力回
路について各々に最適なスル−レ−トを、配線層のみの
変更だけで制御することができる。従って、多端子のL
SIにおいて、スイッチングノイズの低減に大きな効果
を得ることができる。また、上記出力回路では、最適な
スル−レ−トを得るための難易な回路設計や素子設計の
必要がないことから、特にASIC−LSIに適用され
れば、納期の短縮に大きい効果が得られる。特に図3に
示したようなゲ−ト配置パタ−ンは、ゲ−トアレイ方
式、スタンダ−ドセル方式等において標準化しておくこ
とも可能で、標準化しておいた場合には、配線層を形成
するためのマスクパタ−ンを変更するだけで各出力回路
についてそれぞれ、スル−レ−トの制御ができ、有用で
ある。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、出力回路のスル−レ−ト制御を容易とし、多端子の
ASIC−LSIにおいても、各端子において最適なス
ル−レ−トを与えることができる半導体装置の出力回路
を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1はこの発明の第1の実施例に関わる半導体
装置の出力回路の回路図。
【図2】図2はこの発明の第1の実施例に関わる出力回
路を用いて構成された半導体装置の要部の回路図。
【図3】図3はこの発明の第1の実施例に係る半導体装
置の出力回路のゲ−ト配置を示すパタ−ン平面図。
【図4】図4は図3に示す装置に配線層を形成した状態
を示すパタ−ン平面図。
【図5】図5はこの発明の第2の実施例に関わる半導体
装置の出力回路の回路図。
【図6】図6はこの発明の第2の実施例に関わる出力回
路を用いて構成された半導体装置の要部の回路図。
【図7】図7はこの発明の第2の実施例に係る半導体装
置の配線層形成時におけるパタ−ン平面図。
【図8】図8はこの発明の第3の実施例に関わる半導体
装置の出力回路の回路図。
【図9】図9はこの発明の第3の実施例に関わる出力回
路を用いて構成された半導体装置の要部の回路図。
【図10】図10はこの発明の第3の実施例に係る半導
体装置の配線層形成時におけるパタ−ン平面図。
【図11】図11は代表的な出力回路の回路図。
【図12】図12は出力信号線と電源配線とに現れるノ
イズを示す図。
【符号の説明】
10…入力端子、12…プリバッファ、14…出力バッ
ファ、16…出力端子、20、201 、202 …PMO
S、21、211 、212 …NMOS、22…PMO
S、23…NMOS、24、241 〜243 …PMO
S、25、251 〜253 …PMOS、30…素子分離
領域、32…N型能動素子領域、34…P型能動素子領
域、361 〜366 …ゲ−ト、38…コンタクト孔、4
1 〜407…配線層、50…抵抗部、52、521
523 …抵抗、54…コンタクト孔、56…コンタクト
孔。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力端子および出力端子と、 前記入力端子と前記出力端子との間に互いに縦続接続さ
    れた少なくとも複数のバッファ回路より成るバッファ部
    と、を具備し、 前記バッファ部のインピ−ダンス成分を、このバッファ
    部内の配線層の配線状態を変更することにより変化さ
    せ、前記出力端子から出力される出力電位の遷移時間を
    変更するように構成されていることを特徴とする半導体
    装置の出力回路。
  2. 【請求項2】 前記バッファ部は、入力および出力を有
    し、その入力を前記入力端子に接続した第1のバッファ
    回路と、入力および出力を有し、その出力を前記出力端
    子に接続し、その入力を前記第1のバッファ回路の出力
    に接続した第2のバッファ回路とからなり、前記第2の
    バッファ回路の駆動力を、この第2のバッファ回路内の
    配線層の配線を変更することにより変化させ、前記出力
    端子から出力される出力電位の遷移時間を変更するよう
    に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の半
    導体装置の出力回路。
  3. 【請求項3】 前記バッファ部は、入力および出力を有
    し、その入力を前記入力端子に接続した第1のバッファ
    回路と、入力および出力を有し、その出力を前記出力端
    子に接続し、その入力を前記第1のバッファ回路の出力
    に接続した第2のバッファ回路とからなり、前記第1の
    バッファ回路の駆動力を、この第1のバッファ回路内の
    配線層の配線を変更することにより変化させ、前記出力
    端子から出力される出力電位の遷移時間を変更するよう
    に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の半
    導体装置の出力回路。
  4. 【請求項4】 前記バッファ部は、入力および出力を有
    し、その入力を前記入力端子に接続した第1のバッファ
    回路と、入力および出力を有し、その出力を前記出力端
    子に接続した第2のバッファ回路と、一端および他端を
    有し、その一端を前記第1のバッファ回路の出力に接続
    し、その他端を前記第2のバッファ回路の入力に接続し
    た抵抗器とからなり、前記抵抗器の抵抗値を、この抵抗
    器内の配線層の配線を変更することにより変化させ、前
    記出力端子から出力される出力電位の遷移時間を変更す
    るように構成されていることを特徴とする請求項1に記
    載の半導体装置の出力回路。
  5. 【請求項5】 前記抵抗器は、半導体基板上に形成され
    た所定の長さ有する多結晶シリコン層でなり、前記第1
    のバッファ回路からの出力を流す配線層を前記多結晶シ
    リコン層の任意の箇所に接続することにより、前記第1
    のバッファ回路の出力と前記第2のバッファ回路の入力
    との間の抵抗値を変化させ、前記出力端子から出力され
    る出力電位の遷移時間を変更するように構成されている
    ことを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の出力回
    路。
  6. 【請求項6】 前記抵抗器は、半導体基板内に形成され
    た所定の長さ有する拡散層でなり、前記第1のバッファ
    回路からの出力を流す配線層を前記拡散層の任意の箇所
    に接続することにより、前記第1のバッファ回路の出力
    と前記第2のバッファ回路の入力との間の抵抗値を変化
    させ、前記出力端子から出力される出力電位の遷移時間
    を変更するように構成されていることを特徴とする請求
    項4に記載の半導体装置の出力回路。
JP4126123A 1992-05-19 1992-05-19 半導体装置の出力回路 Pending JPH05326713A (ja)

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JP (1) JPH05326713A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6304206B1 (en) 1997-09-04 2001-10-16 Sanyo Electric Co., Ltd. Voltage comparator, operational amplifier and analog-to-digital conversion circuit employing the same
JP2009188189A (ja) * 2008-02-06 2009-08-20 Nec Electronics Corp 半導体集積回路装置

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