JPH05322053A - ゴッグル弁の弁箱内圧力調整方法 - Google Patents
ゴッグル弁の弁箱内圧力調整方法Info
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- JPH05322053A JPH05322053A JP15421492A JP15421492A JPH05322053A JP H05322053 A JPH05322053 A JP H05322053A JP 15421492 A JP15421492 A JP 15421492A JP 15421492 A JP15421492 A JP 15421492A JP H05322053 A JPH05322053 A JP H05322053A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 弁箱内と流路筒内の圧力差を一定範囲内とし
開閉時のシール部材の飛び出しを防止することにある。 【構成】 ゴッグル弁において、流路筒内の圧力を検出
する圧力検出器とこの検出結果に基づき弁箱内へ不活性
ガスを供給する差圧調整弁と、弁箱内の圧力と流路筒内
の圧力差が一定値以上となると流路筒内へ不活性ガスを
放出する逃がし弁とを備えたのでシール部材が異常な圧
力差で飛び出したりする虞がない。
開閉時のシール部材の飛び出しを防止することにある。 【構成】 ゴッグル弁において、流路筒内の圧力を検出
する圧力検出器とこの検出結果に基づき弁箱内へ不活性
ガスを供給する差圧調整弁と、弁箱内の圧力と流路筒内
の圧力差が一定値以上となると流路筒内へ不活性ガスを
放出する逃がし弁とを備えたのでシール部材が異常な圧
力差で飛び出したりする虞がない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弁体の開閉時に弁箱と
流路筒の圧力を調整することのできるゴッグル弁の弁箱
内圧力調整方法に関するものである。
流路筒の圧力を調整することのできるゴッグル弁の弁箱
内圧力調整方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、高炉や鉱石焼結設備等のように多
量のダストを含むガス流路に使用するゴッグル弁につい
ては、弁体の操作時にダストを含む高温ガスが弁箱内に
流入しないように不活性高圧ガスを注入した構造のもの
が知られている。
量のダストを含むガス流路に使用するゴッグル弁につい
ては、弁体の操作時にダストを含む高温ガスが弁箱内に
流入しないように不活性高圧ガスを注入した構造のもの
が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
のゴッグル弁において、弁体の開閉時に排ガスや高温ダ
ストが流路筒内から弁箱内に吹き込むのを防止するため
に、不活性高圧ガスが注入されているが、ゴッグル弁の
設置された流路筒内の圧力変動が大きい場合、弁箱と流
路筒内と差圧が大きくなりすぎることがあった。この場
合、弁体を開閉する際弁箱内の不活性ガスが一気に吹き
出し、その吹き出し圧によって蟻溝内に挿嵌されたパッ
キン（シール部材）を飛び出させる事があった。蟻溝内
に挿嵌されたパッキン（シール部材）が一旦飛び出すと
元の状態に戻すことが殆どできず、弁体操作時にシール
部材を擦り切ったりして、弁体のシールが不完全とな
り、そこからダストが流入しガスカット等により弁体を
破損させる虞があった。
のゴッグル弁において、弁体の開閉時に排ガスや高温ダ
ストが流路筒内から弁箱内に吹き込むのを防止するため
に、不活性高圧ガスが注入されているが、ゴッグル弁の
設置された流路筒内の圧力変動が大きい場合、弁箱と流
路筒内と差圧が大きくなりすぎることがあった。この場
合、弁体を開閉する際弁箱内の不活性ガスが一気に吹き
出し、その吹き出し圧によって蟻溝内に挿嵌されたパッ
キン（シール部材）を飛び出させる事があった。蟻溝内
に挿嵌されたパッキン（シール部材）が一旦飛び出すと
元の状態に戻すことが殆どできず、弁体操作時にシール
部材を擦り切ったりして、弁体のシールが不完全とな
り、そこからダストが流入しガスカット等により弁体を
破損させる虞があった。
【０００４】本発明の目的は、上述した従来の欠点に鑑
みなされたもので、弁箱内の圧力と流路筒内の圧力差を
一定範囲内とし開閉時のシール部材の飛び出しを防止し
弁体の気密性を永続させたゴッグル弁の弁箱内圧力調整
方法を提供することにある。
みなされたもので、弁箱内の圧力と流路筒内の圧力差を
一定範囲内とし開閉時のシール部材の飛び出しを防止し
弁体の気密性を永続させたゴッグル弁の弁箱内圧力調整
方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るゴッグル弁
の弁箱内圧力調整方法は、互いに対向配置された固定弁
座と可動弁座と開放用弁体と閉鎖用弁体とを有すると共
にローラを介して摺動自在に吊り下げられた弁体支持フ
レームとを弁箱内に備え、弁体駆動機構により前記弁体
支持フレームを移動させる際に可動弁座駆動機構により
前記可動弁座を移動させると共に弁体支持フレームを移
動した可動弁座と固定弁座との中間位置に移動できるよ
うにしてなるゴッグル弁において、流路筒内の圧力を検
出する圧力検出器と、該圧力検出器の検出結果に基づき
弁箱内へ不活性ガスを供給する差圧調整弁と、弁箱内の
圧力と流路筒内の圧力差が一定値以上となると流路筒内
へ不活性ガスを放出する逃がし弁とを備え、弁箱内の圧
力と流路筒内の圧力差を流路筒内の圧力変動にかかわら
ず一定範囲とすることを特徴とするゴッグル弁の弁箱内
圧力調整方法である。
の弁箱内圧力調整方法は、互いに対向配置された固定弁
座と可動弁座と開放用弁体と閉鎖用弁体とを有すると共
にローラを介して摺動自在に吊り下げられた弁体支持フ
レームとを弁箱内に備え、弁体駆動機構により前記弁体
支持フレームを移動させる際に可動弁座駆動機構により
前記可動弁座を移動させると共に弁体支持フレームを移
動した可動弁座と固定弁座との中間位置に移動できるよ
うにしてなるゴッグル弁において、流路筒内の圧力を検
出する圧力検出器と、該圧力検出器の検出結果に基づき
弁箱内へ不活性ガスを供給する差圧調整弁と、弁箱内の
圧力と流路筒内の圧力差が一定値以上となると流路筒内
へ不活性ガスを放出する逃がし弁とを備え、弁箱内の圧
力と流路筒内の圧力差を流路筒内の圧力変動にかかわら
ず一定範囲とすることを特徴とするゴッグル弁の弁箱内
圧力調整方法である。
【０００６】
【作用】このように、本発明に係るゴッグル弁の弁箱内
圧力調整方法によれば、弁箱内の圧力と流路筒内の圧力
差を流路筒内の圧力変動にかかわらず一定とする差圧調
整弁と、逃がし弁とを備えたので異常な圧力差によりシ
ール部材が飛び出したりする虞がない。
圧力調整方法によれば、弁箱内の圧力と流路筒内の圧力
差を流路筒内の圧力変動にかかわらず一定とする差圧調
整弁と、逃がし弁とを備えたので異常な圧力差によりシ
ール部材が飛び出したりする虞がない。
【０００７】
【実施例】以下、添付図面に従って本発明の一実施例を
説明する。図１は、本発明の一実施例であるゴッグル弁
を示す断面図、図２は、本発明の一実施例であるゴッグ
ル弁の正面図である。図面中で１０は、弁箱でありこの
弁箱１０内で一対の流路筒１１、１２の先端が同軸配置
で突合せ状態に対向されている。その一方の流路筒１１
の先端の外周には、固定弁座１３が固着されている。他
方の流路筒１２の先端外周には移動筒１５が同軸配置に
挿嵌され、その移動筒１５の先端に可動弁座１４が固着
されている。
説明する。図１は、本発明の一実施例であるゴッグル弁
を示す断面図、図２は、本発明の一実施例であるゴッグ
ル弁の正面図である。図面中で１０は、弁箱でありこの
弁箱１０内で一対の流路筒１１、１２の先端が同軸配置
で突合せ状態に対向されている。その一方の流路筒１１
の先端の外周には、固定弁座１３が固着されている。他
方の流路筒１２の先端外周には移動筒１５が同軸配置に
挿嵌され、その移動筒１５の先端に可動弁座１４が固着
されている。
【０００８】そしてその可動弁座１４の背面と流路筒１
２の外周に形成したフランジ１６との間にベローズ１７
が連結されている。またこの可動弁座１４にはその背面
に一定間隔を隔てて複数の金具１８が突設され、その金
具１８に弁箱１０の端面に固定した油圧シリンダー１９
のロッド１９ａの先端が連結され、そのロッド１９ａの
駆動により可動弁座１４が固定弁座１３に対向して移動
されるよう配設されている。
２の外周に形成したフランジ１６との間にベローズ１７
が連結されている。またこの可動弁座１４にはその背面
に一定間隔を隔てて複数の金具１８が突設され、その金
具１８に弁箱１０の端面に固定した油圧シリンダー１９
のロッド１９ａの先端が連結され、そのロッド１９ａの
駆動により可動弁座１４が固定弁座１３に対向して移動
されるよう配設されている。
【０００９】一方、弁箱１０内には弁体支持フレーム２
０が水平方向にスライド自在に支持されている。この弁
体支持フレーム２０には、その長さ方向に所定の距離を
おいて閉鎖用弁体２１と開放用弁体２２とが交換可能に
固着されている。更に、弁体支持フレーム２０の上縁に
は、吊り下げ用の支持板２３が一体的に形成され、その
下面が支持ローラ２４で支持されている。
０が水平方向にスライド自在に支持されている。この弁
体支持フレーム２０には、その長さ方向に所定の距離を
おいて閉鎖用弁体２１と開放用弁体２２とが交換可能に
固着されている。更に、弁体支持フレーム２０の上縁に
は、吊り下げ用の支持板２３が一体的に形成され、その
下面が支持ローラ２４で支持されている。
【００１０】支持板２３の上面には、ラック２５が形成
され、駆動用ピニオン２６と噛合している。駆動用ピニ
オン２６は駆動機構により回転駆動される。駆動用ピニ
オン２６が駆動機構により回転駆動されると、弁体支持
フレーム２０がスライドし弁体２１，２２が移動する。
され、駆動用ピニオン２６と噛合している。駆動用ピニ
オン２６は駆動機構により回転駆動される。駆動用ピニ
オン２６が駆動機構により回転駆動されると、弁体支持
フレーム２０がスライドし弁体２１，２２が移動する。
【００１１】なお、閉鎖用弁体２１及び開放用弁体２２
の各々の弁座対向面には環状蟻溝２７ａ，２７ｂが穿設
されている。この環状蟻溝２７ａ，２７ｂには、シール
部材２８ａ，２８ｂが夫々嵌合されている。また、両シ
ール部材２８ａ，２８ｂは、それぞれ端面を弁体の表面
より突出させている。
の各々の弁座対向面には環状蟻溝２７ａ，２７ｂが穿設
されている。この環状蟻溝２７ａ，２７ｂには、シール
部材２８ａ，２８ｂが夫々嵌合されている。また、両シ
ール部材２８ａ，２８ｂは、それぞれ端面を弁体の表面
より突出させている。
【００１２】また、固定弁座１３及び可動弁座１４の弁
体対向面の夫々には、各シール部材２８ａ，２８ｂと対
向配置された高圧ガス供給路２９ａ，２９ｂを備えた高
圧ガス導入路３０が形成されている。この高圧ガス導入
路３０には、耐圧フレキシブルパイプ３１が接続されて
いる。なお、パージ用のガスとしては、一般に窒素ガス
が使用される。
体対向面の夫々には、各シール部材２８ａ，２８ｂと対
向配置された高圧ガス供給路２９ａ，２９ｂを備えた高
圧ガス導入路３０が形成されている。この高圧ガス導入
路３０には、耐圧フレキシブルパイプ３１が接続されて
いる。なお、パージ用のガスとしては、一般に窒素ガス
が使用される。
【００１３】図３は、本発明に係る圧調整方法を説明す
る為の原理図である。同図において４０は差圧調整弁で
あり、該差圧調整弁は、一方において減圧弁４１を介し
て不活性ガスが充填されたガスボンベ等につながってい
るガス管路４２と接続され、他方においてはガス管路４
３を介して前記弁箱１０に接続されている。
る為の原理図である。同図において４０は差圧調整弁で
あり、該差圧調整弁は、一方において減圧弁４１を介し
て不活性ガスが充填されたガスボンベ等につながってい
るガス管路４２と接続され、他方においてはガス管路４
３を介して前記弁箱１０に接続されている。
【００１４】前記差圧調整弁４０は、その内部が弁室４
０ａと圧力室４０ｂとにベローズ４５を介して仕切ら
れ、前記弁室４０ａには弁体４０ｃが配設されている。
この、弁体４０ｃは、弁室４０ａと圧力室４０ｂの圧力
差で移動するベローズ４５により駆動される。弁室４０
ａ内の圧力ＰBと圧力室４０ｂ内の圧力ＰGとの圧力差
（ＰB−ＰG）を自動的に保つように調整バネ４６が備え
られている。調整バネ４６及びベローズ４５の上側に作
用する圧力ＰGは、弁体４０ｃを開くよう下向きに作用
し、ベローズ４５の下側に作用する圧力ＰB及び図外の
弁体バネは、上向きに弁体４０ｃを閉じるよう作用す
る。
０ａと圧力室４０ｂとにベローズ４５を介して仕切ら
れ、前記弁室４０ａには弁体４０ｃが配設されている。
この、弁体４０ｃは、弁室４０ａと圧力室４０ｂの圧力
差で移動するベローズ４５により駆動される。弁室４０
ａ内の圧力ＰBと圧力室４０ｂ内の圧力ＰGとの圧力差
（ＰB−ＰG）を自動的に保つように調整バネ４６が備え
られている。調整バネ４６及びベローズ４５の上側に作
用する圧力ＰGは、弁体４０ｃを開くよう下向きに作用
し、ベローズ４５の下側に作用する圧力ＰB及び図外の
弁体バネは、上向きに弁体４０ｃを閉じるよう作用す
る。
【００１５】今、差圧ＰB−ＰGが調整され、調整バネ４
６及びＰGによる下向きの力とＰBによる上向きの力とが
バランスして、弁体が所定の開度を保っているとき、負
荷変動により差圧（ＰB−ＰG）が所定値より大きくなる
と、ベローズ４５により検出され、該ベローズ４５は、
下方に移動する。これに伴って弁体４０ｃも開く方向へ
動き、減圧弁４１を介して不活性ガスが弁箱１０内へ供
給される。逆に、差圧（ＰB−ＰG）が所定圧より、小さ
くなった時は、ベローズ４５と弁体４０ｃは、前述と逆
の動作を行い、ＰB−ＰGを一定とする。
６及びＰGによる下向きの力とＰBによる上向きの力とが
バランスして、弁体が所定の開度を保っているとき、負
荷変動により差圧（ＰB−ＰG）が所定値より大きくなる
と、ベローズ４５により検出され、該ベローズ４５は、
下方に移動する。これに伴って弁体４０ｃも開く方向へ
動き、減圧弁４１を介して不活性ガスが弁箱１０内へ供
給される。逆に、差圧（ＰB−ＰG）が所定圧より、小さ
くなった時は、ベローズ４５と弁体４０ｃは、前述と逆
の動作を行い、ＰB−ＰGを一定とする。
【００１６】また、差圧調整弁４０の圧力室４０ｂは、
他方で流路筒１２内の圧力を検出する圧力検出器４７と
接続されている。更に、弁箱１０には、流路筒１２と接
続された逃がし弁４４が備えられており、流路筒１２と
の圧力差が所定値、例えば０.３〜０.５Kg/cm2以上にな
れば開放される。
他方で流路筒１２内の圧力を検出する圧力検出器４７と
接続されている。更に、弁箱１０には、流路筒１２と接
続された逃がし弁４４が備えられており、流路筒１２と
の圧力差が所定値、例えば０.３〜０.５Kg/cm2以上にな
れば開放される。
【００１７】次に、以上のように構成されたゴッグル弁
の使用方法について説明する。先ずゴッグル弁を開く場
合、弁箱１０内の圧力は逃がし弁４４により所定圧力内
に設定されている。このような、著しい圧力差のない状
態で油圧シリンダー１９を操作して、可動弁座１４を後
退させる。すると、弁箱１０内に充満していた不活性ガ
スは、可動弁座１４と閉鎖用弁体２１との隙間から吹き
出す。この際、可動弁座１４及び各シール部材２８ａ、
２８ｂ付近に付着しているダストを吹き飛ばすがシール
部材２８が飛び出すこともない。
の使用方法について説明する。先ずゴッグル弁を開く場
合、弁箱１０内の圧力は逃がし弁４４により所定圧力内
に設定されている。このような、著しい圧力差のない状
態で油圧シリンダー１９を操作して、可動弁座１４を後
退させる。すると、弁箱１０内に充満していた不活性ガ
スは、可動弁座１４と閉鎖用弁体２１との隙間から吹き
出す。この際、可動弁座１４及び各シール部材２８ａ、
２８ｂ付近に付着しているダストを吹き飛ばすがシール
部材２８が飛び出すこともない。
【００１８】次に、油圧シリンダー３２により閉鎖用弁
体２１を固定弁座１３と可動弁座１４との略中間に押し
出す。かかる状態で、駆動用ピニオン２６を駆動しラッ
ク２５を介して、弁体支持フレーム２０を移動する。弁
体支持フレーム２０を移動することにより、開放用弁体
２２を弁座位置に配置する。開放用弁体２２が弁座位置
に来た状態で油圧シリンダー１９を操作して、可動弁座
１４を開放用弁体２２を介して固定弁座１３に押圧す
る。弁箱１０内には、不活性ガスが差圧調整弁４０を介
して充填される。
体２１を固定弁座１３と可動弁座１４との略中間に押し
出す。かかる状態で、駆動用ピニオン２６を駆動しラッ
ク２５を介して、弁体支持フレーム２０を移動する。弁
体支持フレーム２０を移動することにより、開放用弁体
２２を弁座位置に配置する。開放用弁体２２が弁座位置
に来た状態で油圧シリンダー１９を操作して、可動弁座
１４を開放用弁体２２を介して固定弁座１３に押圧す
る。弁箱１０内には、不活性ガスが差圧調整弁４０を介
して充填される。
【００１９】この様に、弁体を開閉する際、弁箱１０内
の圧力が適当に調整されているので、シール部材が飛び
出したりする事がない。また、弁箱１０内は、常に流路
筒１１，１２より圧力が高いのでダストを含んだガスが
流入し弁箱１０を破損させる事もない。
の圧力が適当に調整されているので、シール部材が飛び
出したりする事がない。また、弁箱１０内は、常に流路
筒１１，１２より圧力が高いのでダストを含んだガスが
流入し弁箱１０を破損させる事もない。
【００２０】尚、以上の実施例では、差圧調整弁４０及
び逃がし弁４４により弁箱１０内の圧力を調整している
が、これに限る事なく他の制御方法であってもよい。
び逃がし弁４４により弁箱１０内の圧力を調整している
が、これに限る事なく他の制御方法であってもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るゴッグル弁の弁箱内圧力調整方法によれば、互いに対
向配置された固定弁座と可動弁座と開放用弁体と閉鎖用
弁体とを有すると共にローラを介して摺動自在に吊り下
げられた弁体支持フレームとを弁箱内に備え、弁体駆動
機構により前記弁体支持フレームを移動させる際に可動
弁座駆動機構により前記可動弁座を移動させると共に弁
体支持フレームを移動した可動弁座と固定弁座との中間
位置に移動できるようにしてなるゴッグル弁において、
流路筒内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器
の検出結果に基づき弁箱内へ不活性ガスを供給する差圧
調整弁と、弁箱内の圧力と流路筒内の圧力差が一定値以
上となると流路筒内へ不活性ガスを放出する逃がし弁と
を備え、弁箱内の圧力と流路筒内の圧力差を流路筒内の
圧力変動にかかわらず一定範囲とするので弁体の開閉時
にシール部材が異常な圧力差で飛び出したりする虞がな
い。したがって、シール部材の弁座部における不整合に
よりシール不良を未然に防止できる。また、弁箱内の圧
力が常に所定圧だけ高いので、流路筒内の高温ダストが
弁箱内に流入する虞もない。
るゴッグル弁の弁箱内圧力調整方法によれば、互いに対
向配置された固定弁座と可動弁座と開放用弁体と閉鎖用
弁体とを有すると共にローラを介して摺動自在に吊り下
げられた弁体支持フレームとを弁箱内に備え、弁体駆動
機構により前記弁体支持フレームを移動させる際に可動
弁座駆動機構により前記可動弁座を移動させると共に弁
体支持フレームを移動した可動弁座と固定弁座との中間
位置に移動できるようにしてなるゴッグル弁において、
流路筒内の圧力を検出する圧力検出器と、該圧力検出器
の検出結果に基づき弁箱内へ不活性ガスを供給する差圧
調整弁と、弁箱内の圧力と流路筒内の圧力差が一定値以
上となると流路筒内へ不活性ガスを放出する逃がし弁と
を備え、弁箱内の圧力と流路筒内の圧力差を流路筒内の
圧力変動にかかわらず一定範囲とするので弁体の開閉時
にシール部材が異常な圧力差で飛び出したりする虞がな
い。したがって、シール部材の弁座部における不整合に
よりシール不良を未然に防止できる。また、弁箱内の圧
力が常に所定圧だけ高いので、流路筒内の高温ダストが
弁箱内に流入する虞もない。
【図１】本発明の一実施例であるゴッグル弁を示す断面
図である。
図である。
【図２】本発明の一実施例であるゴッグル弁の正面図で
ある。
ある。
【図３】本発明の一実施例であるゴッグル弁の弁箱内圧
力調整方法を示す説明図である。
力調整方法を示す説明図である。
１０ 弁箱 １１ 流路筒 １２ 流路筒 １３ 固定弁座 １４ 可動弁座 １５ 移動筒 １６ フランジ １７ ベローズ １８ 金具 １９ 油圧シリンダー ２０ 弁体支持フレーム ２１ 閉鎖用弁体 ２２ 開放用弁体 ２３ 支持板 ２４ 支持ローラ ２５ ラック ２６ 駆動用ピニオン ２７ 環状蟻溝 ２８ シール部材 ２９ 高圧ガス供給路 ３０ 高圧ガス導入路 ３１ 耐圧フレキシブルパイプ ３２ 油圧シリンダー ４０ 差圧調整弁 ４１ 減圧弁 ４２ ガス管路 ４３ ガス管路 ４４ 逃がし弁 ４５ ベローズ ４６ 調整バネ ４７ 圧力検出器
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに対向配置された固定弁座と可動弁
座と開放用弁体と閉鎖用弁体とを有すると共にローラを
介して摺動自在に吊り下げられた弁体支持フレームとを
弁箱内に備え、弁体駆動機構により前記弁体支持フレー
ムを移動させる際に可動弁座駆動機構により前記可動弁
座を移動させると共に弁体支持フレームを移動した可動
弁座と固定弁座との中間位置に移動できるようにしてな
るゴッグル弁において、流路筒内の圧力を検出する圧力
検出器と、該圧力検出器の検出結果に基づき弁箱内へ不
活性ガスを供給する差圧調整弁と、弁箱内の圧力と流路
筒内の圧力差が一定値以上となると流路筒内へ不活性ガ
スを放出する逃がし弁とを備え、弁箱内の圧力と流路筒
内の圧力差を流路筒内の圧力変動にかかわらず一定範囲
とすることを特徴とするゴッグル弁の弁箱内圧力調整方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15421492A JPH05322053A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ゴッグル弁の弁箱内圧力調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15421492A JPH05322053A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ゴッグル弁の弁箱内圧力調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322053A true JPH05322053A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15579340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15421492A Pending JPH05322053A (ja) | 1992-05-22 | 1992-05-22 | ゴッグル弁の弁箱内圧力調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322053A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006052846A (ja) * | 2004-08-13 | 2006-02-23 | Vat Holding Ag | 二つの真空室間に配置される真空バルブの制御方法 |
| KR20170004319A (ko) * | 2015-07-02 | 2017-01-11 | 전태식 | 핫 가스 게이트 밸브 |
| CN113983190A (zh) * | 2021-11-25 | 2022-01-28 | 翔正阀门有限公司 | 一种高效自动补偿式闸阀及其使用方法 |
-
1992
- 1992-05-22 JP JP15421492A patent/JPH05322053A/ja active Pending
Cited By (4)
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