JPH05312667A - 湿度センサーおよび湿度計 - Google Patents

湿度センサーおよび湿度計

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JPH05312667A
JPH05312667A JP4117118A JP11711892A JPH05312667A JP H05312667 A JPH05312667 A JP H05312667A JP 4117118 A JP4117118 A JP 4117118A JP 11711892 A JP11711892 A JP 11711892A JP H05312667 A JPH05312667 A JP H05312667A
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は湿度センサーおよび湿度計に関する
もので、取り扱いやすく、精度の高いものを提供するこ
とを目的とする。 【構成】 2組の中空体11の中にそれぞれ一対の音波
発振素子と音波受信素子を互に等距離に設け、一方の中
空体11には乾燥空気を入れ基準中空体とし、他方の中
空体11には小孔12を設け測定中空体とした。この構
成で湿度の違いによる音波の伝達速度の差を検出し、こ
れにより湿度を測定した。 【効果】 本発明は従来の通風乾燥球湿度計に比して、
(1) 短時間で測定可能、(2) 水の補給が不要で取り扱い
が簡便、(3) 遠隔測定ができ、かつ、自動記録が可能等
の利点を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は湿度センサーおよびに関
するものである。
【0002】
【従来の技術】JIS Z8806 湿度測定方法に記
載されている様に、湿度計は測定精度の良いものとして
はアスマン通風乾燥球湿度計および気象庁形通乾湿球温
度形があるが、これらはともにの水の補給が必要であ
り、連続記録ができない、遠隔測定ができない、
さらに自動制御に使用できないといった欠点があった。
これに対し抵抗湿度計式の湿度計は水の補給の問題が未
解決であるだけでなく、JIS−Z8806の解説に記
載のごとく校正しないと使用できず、従って湿度の絶対
測定はできない。
【0003】また、筒便型としてはバイメタル式、種々
の材質が湿気を吸着した時の変化……伸び、電気抵抗、
静電容量、高周波に対する吸収などを測定する方法があ
るが、湿気の吸着現象は必然的に経時変化を伴うもので
あり、信頼できる湿度測定はできない。
【0004】一方、湿度により音速が変化する事は古く
から知られており、理科年表にも水蒸気圧と音速の変化
の式が記載されているが、この信頼できる物理変化もそ
の変化量が非常に小さいため(例えば20℃において湿
度が0%から100%まで変化しても音速の変化はわず
か0.37%程であるのに対し、湿度が2℃変化すれば同
程度の音速変化が表われる。)にこれを湿度計に利用し
た例は見あたらない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術で述べ
た『信頼できる湿度計』の欠点である 1.水の補給の問題を解決する 2.連続記録、遠隔記録および自動制御を可能にする 3.これらの欠点を解消するため従来利用できなかった
『小さな音速の変化』を利用するものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
(1) 実質的に同一形状の2つの中空体を設け、各々の中
空体には一対の音波発振素子と音波受信素子とを一定の
距離に対向して設け、一方の中空体には乾燥空気等の既
知の湿度量の空気を封入し、他方の中空体には通気用小
孔をあけ、両方の中空体を近接せしめる構成としたもの
である。
【0007】(2) 中空体を薄い板金製円筒で構成し、円
筒の一端には右ネジを、他端には左ネジのメネジを設
け、これらに嵌合する右ネジのオネジと左ネジのオネジ
とを各々の端より回転挿入せしめ、音波発振素子および
音波受信素子の一方を右ネジのオネジに、他方を左ネジ
のオネジに固定せしめる構成としたものである。
【0008】(3) 音波発振素子および音波受信素子とも
に周波数40KHz程度の超音波素子としたものであ
る。
【0009】(4) 中空体の一部(の壁面)をゴム等の薄
い弾性体で置き換える構成とするものである。
【0010】(5) 請求項1の湿度センサーの2つの音波
発振素子に、一つの発振器の出力を接続し、2つの音波
受信素子の各々の出力を位相差検出器の2つの入力に接
続し、出力を表示装置に接続する構成としたものであ
る。
【0011】(6) 位相差検出器として2つのコンパレー
ター(ゼロクロスディテクター)と排他的論理和素子
(エクスクルーシブオア ゲート)とを用いる構成とし
たものである。
【0012】(7) 中空体の側壁(内側)に薄い吸音体を
設けた構成としたものである。
【0013】
【作用】本発明は上記構成により、以下の作用を有す
る。
【0014】(1) 一つの発振器の出力を2つの音波発振
素子に接続するため、この2つの音波発振素子は基本的
に同一周波数同一位相の音波を発生する。2つの中空体
の一方には乾燥空気等の既知の湿度量を含む空気が封入
され、他方には中空体に通気用小孔があけられているの
でこの中には外気が侵入し、発生した音波はこの空気中
を進む。一定の距離を進むと音波受信素子があり、電気
信号に変換される。この2つの中空体に充満している空
気の湿度量の差により到達時間にわずかの差が生じ、そ
れが電気信号の位相の差となる。この位相差を有する2
つの音波受信素子の出力が位相差検出器に入力され、位
相差に対応した出力が生じる。
【0015】2つの中空体は実質的に同一形状であり、
かつ近接して設けられているので内部の空気の湿度は同
一であり、湿度差に基づく位相差の誤差を除くことがで
きる。
【0016】(2) 音波発振素子と音波受信素子との距離
を一定の値に調整する事が一つのキーポイントである
が、中空体を円筒とし、その両端の一方に右ネジ、他方
に左ネジを設け、これらに嵌合するオネジを各々の端よ
り回転挿入せしめ、音波発振素子および音波受信素子の
一方を右ネジのオネジに、他方を左ネジのオネジに固定
してあるので、2つのオネジは回転させずに例えば手で
軽く固定した状態で円筒を回転させると、その回転の方
向に従って音波発振素子と音波受信素子との距離を近づ
けたり、遠ざけたりすることが容易に行なえる。
【0017】また中空体が薄い板金で作られているの
で、熱容量が小さく、かつ熱伝導に優れ、従って周囲の
気温と中空体内部の空気の湿度が順応しやすくなり、こ
れも誤差の減少に役立つ。
【0018】(3) 音波として可聴音域でなく超音波領域
を用いれば人間には聞こえないので周囲の人間の迷惑に
ならない。
【0019】また位相差検出方式においては低い周波数
ほど簡単に算出できる湿度の測定範囲が広がるので有利
であり、またその中では広く普及している40KHz程
度が素子も安価である。
【0020】(4) 中空体の壁面の一部をゴム等の薄い弾
性体で置き換えたので外気圧の変化が中空体内部にも伝
達され、誤差を取り除ける。
【0021】(5) (1) に記述した原理により、発生する
位相差を表示装置に表示することにより、湿度計とする
ことができる。
【0022】(6) ほぼ正弦波に近い音波受信素子の出力
電圧が、コンパレーター(ゼロクロスディテクター)に
加えられる事によりその位相(ゼロクロスポイント)に
対応した矩形波が得られ、この2つの矩形波をエクスク
ルーシブオアゲートに入力する事により両者の位相差に
対応した出力が得られる。
【0023】(7) 中空体の内側壁に薄い吸音体を設けた
ので、側壁で反射する音波が吸収され、音波受信素子に
到達する音波は音波発振素子から発せられた直接波のみ
となり、不要な信号が混入する事を防止する。
【0024】
【実施例】図1は本発明の湿度センサーの一実施例の斜
視図およびそのA−A′断面図である。
【0025】中空体11は薄いアルミ製のパイプであ
り、同一寸法のものを2個用いる。但し、一方のみに小
孔12をあけておく。パイプの両端は転造によりネジを
形成する。一端は右ネジ13、他端は左ネジ14とす
る。この右ネジ13に嵌合する外形形状を有するプラス
チック製のホルダー16は、一方に円筒の凹所、他方に
は俗に言うDカット17を施す。但しDカットを円対称
の位置にも施し、DではなくOに近い形状となる。この
Oカット部分には2つの細長い丸穴18を前記凹所に貫
通させる。円形凹所には超音波発振素子21を挿入し、
超音波発振素子の2本のリード線は前述の丸穴18に挿
入する。図1においてはこのリード線の先端には何も接
続されていないがこれは煩雑になる事をさけ、理解を容
易にするためであり、実際には電線が接続される。電線
を接続した後に丸穴18はエポキシ樹脂等の接着剤で封
止される。
【0026】ホルダー19は外形形状が左ネジである事
を除いてホルダー16と同一である。円形の凹所には超
音波受信素子22を挿入固定する。
【0027】中空体11の中(内側)には発泡ポリウレ
タン製の吸音体23を入れる。吸音体は厚さ1/2mm
程の長方形の板を丸めて中空体内に挿入する。
【0028】各々の超音波発振素子21と超音波受信素
子22とを固定した状態のホルダー16およびホルダー
19は中空体11の両端より回転させながら挿入する
が、この操作はマイナス50〜60℃の低温下で行う。
つまりパイプの両端に形成したネジ(メネジ)13およ
び14と、これに嵌合するホルダー16および19に形
成されたネジ(オネジ)の寸法はこの程度の低温にて支
障なく回転可能な程度に接近した値としておく。またこ
の程度の低温においては空気中に含まれる水蒸気量は非
常に小さく、乾燥空気とみなせる。低温下にて回転挿入
した後、ゆるやかに温度を上昇させ、常温にもどす。良
く知られる様に、一般にプラスチックの熱膨張率は金属
のそれより大きいので、常温にもどった時、プラスチッ
ク製のホルダーは熱膨張して中空体を内側から圧迫し、
中空体とホルダーとの機械的固定および密封の役目をは
たす。しかし密封の良否は湿度測定の精度を左右するの
で、これだけにたよる事なく、接着剤塗布等の二重対策
を施しておく。
【0029】常温、乾燥空気中で回転挿入を行っても良
いが、この場合はネジの寸法は常温でスムーズに回転す
る程度にすると共に、固定および密封をより厳重に行う
必要がある。
【0030】金属製のバンド24および小ネジ25を2
組用い、中空体11を2つ、小孔12がないものとある
ものを固定する。
【0031】図2は本発明の湿度計の回路図および各部
の電圧波形である。発振器31は40KHzの正弦波を
発生させ、この出力は2つの音波発振素子21を並列接
続したものに加えられる。小孔12のあいた中空体11
およびあかない中空体11を介して対向して設けられた
2つの音波受信素子22の受信出力はコンパレーター3
2に加えられる。コンパレーター32の出力は排他的理
論和素子33に加えられる。これらコンパレーター(ゼ
ロクロスディテクター)32と排他的論理和素子(エク
スクルーシグオアゲート)33とで位相差検出器34を
構成する。つまり超音波受信素子22の出力は位相差検
出器34の2つの入力に接続される。
【0032】位相差検出器34の出力は表示装置35に
接続される。表示装置35は抵抗36とコンデンサ37
の積分回路、増幅器38およびメーター39とからな
る。
【0033】図3は本発明一実施例の湿度計の斜視図お
よびそのB−B′断面図である。薄い板金製の箱41の
正面にはメータ39が設けられ、内部には図1に示した
湿度センサー51(湿度センサー全体……図1で表わし
た範囲……51番とする。)が設けられ、この湿度セン
サーの下側、箱41の底面にはファン42が設けられ
る。図2で示した電子回路は図3では省略する。またフ
ァン42の電気接続および電源コード等も図2、図3に
は示さない。
【0034】図2にもどり、各部の電圧波形に基づいて
動作説明を行う。発振器31で発生した40KHz正弦
波が音波発振素子21に加えられると40KHzの音波
が発生し、中空体11の中部に充満した空気中を伝達し
て音波受信素子22に達する。2つの中空体11のう
ち、小孔12のない方は乾燥空気が充満しているので、
例えば気温が25℃、音波発振素子21と音波受信素子
22との間の距離を10cmと仮定すると約288マイ
クロ秒で伝わる。これに対し、小孔12のあいた中空体
内部に相対温度50%程の空気が充満しているとこれよ
り約0.7マイクロ秒早く伝わる。乾燥空気中を伝わっ
て音波受信素子に到達しこの素子に発生した電圧を
1 、湿度50%の湿度中を伝わった電圧をv2 とする
とv2 の位相が若干進んでいる。
【0035】周波数40KHzであるから1サイクルの
時間は25マイクロ秒、半サイクルは12.5マイクロ秒
である。従って半サイクルの時間に対し、5〜6%の時
間差が生じたわけである。これらv1 およびv2 電圧が
CMOSのコンパレーター32に加えられると各々
3 、v4 の波形となる。CMOSでなく、TTL等の
入力インピーダンスの低いコンパレーターを用いると波
形が歪み、正確なゼロクロスを検出しない。またCMO
Sであっても正負両電源を用いずに例えば+5Vだけの
電源で動作させるとこれも波形が歪み、ゼロクロスを検
知しない。v3 、v 4 の矩形波の幅は理想的には12.5
マイクロ秒である。この2つの矩形波v3 およびv4
排他的理論和素子33に加えられるとv3 とv4 との異
なった部分のみに対応したパルス幅の矩形波v5 が生じ
る。v5 の幅は理想的には前述の0.7マイクロ秒であ
る。これを積分回路を通すとv6 の波形となる。これを
増幅器38を通し、メータ39を振らせるわけである。
6 の電圧値は理想的には0.7/12.5倍にされた『素
子33の出力電圧』となる。
【0036】理科年表に記載された湿気中の音速を表す
式は(数1)であり、気圧Hの空気中に圧力Pの水蒸気
がある時の音速Cwを同温度における乾燥空気中の音速
Cより求めるものであり、γwは水蒸気の定圧比熱と定
容比熱の比、γaは乾燥空気における同様の比である。
【0037】
【数1】
【0038】これに化学便覧に記載されている水蒸気分
圧P〔mmHg〕と絶対湿度f〔g/m3 〕の式 P=0.945{1+0.00367t}f ここでtは気湿〔℃〕を代入して25℃における絶対湿
度と距離10cmにおける遅れ時間を計算すると(表
1)の様になる。
【0039】
【表1】
【0040】本実施例で用いた排他的論理和素子におい
ては+5V電源を用いた時の出力電圧は5Vであるか
ら、表1の値に5/12.5をかけた値の電圧が図2のv
6 として得られるわけである。従って本湿度計は絶対湿
度を表示する。湿度が異なる場合は電圧値は変化する
が、同様に計算すると例えば4g/m3 の絶対湿度にお
ける0℃、25℃、50℃の遅れ時間を計算すると0℃
−0.24μsec、25℃−0.26μsec、50
℃−0.26μsecであり、非常に小さいのでメータ
39には25℃における値を目盛っておき、必要に応じ
温度補正すれば実用上無視できるレベルとも考えられ
る。
【0041】以上述べた様に本発明の構成により絶対湿
度計が実現できるわけであるが、二三補足すると、ま
ず、以上述べた内容は2つの中空体11の中の空気温が
等しいとの前提に基づいており、これがくずれると大き
な誤差を生じる。従って熱的には2つの中空体は同一に
すべく、小孔12はできるだけ小さな穴径とし、これ以
外は全く同一の形状、寸法とし、かつ外気温が中空体内
に伝わりやすくするため中空体は薄いアルミ板(ビール
やジュースの缶程度)で構成し、その上、2つの中空体
を金属製のバンド24で接触させ、固定せしめている。
つまり仮に2つの中空体の温度が異なった場合、接触部
分かつ熱が伝わり、時間とともに等しくなっていく。
【0042】さらに図3の湿度計の例においては、湿度
センサー51の下部にファン42を設け、これによりセ
ンサーに強制的に風を当てて外気と中空体内部との差お
よび2つの中空体内部間の差を縮めている。
【0043】但し中空体内部に風が入ると音波の伝達が
乱されて出力波形がふらつく。小孔12の部分には発泡
ポリウレタン製の吸音体23があるので風の侵入を防ぐ
効果があるが完全ではない。風に対しては小孔12の大
きさ、吸音材の厚さおよび密度およびセンサーに当てる
風の強さ等の設計的な要因を追求すべきであり、ここで
は以上述べるにとどめる。
【0044】温度と共に重要な意味を持つのが音波の発
振および受信素子間の距離である。乾燥空気の入った中
空体と、外気が小孔12から侵入する中空体との間で距
離に差があればその差の分だけ出力電圧(図2のv6
が偏ってしまう。例えば10cmに対して0.1mmの
差があると約0.3マイクロ秒の差となって表われる。
従って表1から約5g/m3 の湿度量に相当する。本発
明においては2つの中空体における音波の発振および受
信素子間距離の差をなくすための調整作業の容易さに配
慮している。
【0045】図4はこの距離調整作業の方法を示す斜視
図である。両端をU字状に切欠かれた厚さ2mm程度の
板金をコの字状に直角に曲げた治具に、ホルダー16お
よび19のDカットされたO字状部分を前記U字状切欠
部に嵌合する様に挿入した後、中空体を左回転または右
回転させると2つのホルダー16および19の間隔が回
転の方向に応じて広がったり狭ばまったりする。この
時、ホルダー16および19は回転しない。従って音波
発振および音波受信各々の素子に電線を接続してあって
もよじられる事がなく、通電状態での距離調節が容易で
ある。図2の回路に組込み、動作させ、v6 の電圧がゼ
ロまたは極小になる中空体を左または右に回転させれば
良い。
【0046】表示装置として実施例ではメータ39を用
いたが、液晶、蛍光表示管等のデジタル表示に置き換え
る事は容易であり、またサーミスタや熱電対等の温度セ
ンサーと組合わせ、コンピュータに入力し、温度補正後
に表示することも現在の技術においては容易である。
【0047】また音速は気圧の平方根に比例するので2
つの中空体の中の気圧に差があるとこれも大きな誤差を
生ずるので両者の気圧を等しくする必要がある。小孔1
2のあいた方は外気と等しくなるが、乾燥空気が封入さ
れた方は壁面の一部分をゴム等の薄い弾性体で置き換え
る事により内部の気圧を外気と等しく保つ。
【0048】さて本発明の湿度計の利点は第1には短時
間で測定できることである。正確な測定が可能な通風乾
湿球湿度計では約10分の測定時間が必要とされるから
10分の間に湿度が変化する場合、例えば人の出入のあ
る空調された室内などでは正確な測定が不可能である。
その点、本発明によれば最小300マイクロ秒程あれば
理論的には測定可能であり、実際にも一秒程度で測定で
きる。
【0049】第2には測定精度が高い事である。本実施
例においては最も単純、簡便なものを用いたが、位相差
検出器34に高精度のものを用いればそれだけ測定精度
が向上する。湿度と音速の関係は、通風乾湿球湿度計に
用いられている湿度と蒸発量およびそれによってうばわ
れる熱量との関係に対し、本質的な精度の差、再現性の
差があるとは考えられないからである。
【0050】第3には低湿時の測定に有利な事である。
通風乾湿球湿度計は少量と言えども測定のために水を放
出するので大気中の測定であるならばさほど問題にはな
らないが、限られた空間内であれば、10分間も水を放
出すると空間内の湿度を上昇させてしまう。また水の放
出があるがために水の補給という手間ひまが必要となる
のである。
【0051】これに対し本発明の湿度計においては全く
水放出がなく、湿度の限られた空間内においても測定器
による誤差は生じない。もち論、水の補給も全く不必要
である。
【0052】第4には従来例で述べた様に、自動記録、
遠隔測定が可能であり、自動制御にも使用可能である。
【0053】第5には本湿度計は本質的な経年変化はな
い。つまり発振器の振幅、音波発振素子の発振効率、音
波受信素子の受信効率などが変化しても出力には影響し
ない。
【0054】
【発明の効果】以上のように本発明の湿度センサーおよ
び湿度計によれば、次の効果が得られる。
【0055】(1) 請求項1および請求項5に対して、湿
度と音速という基本的物理量を用いた湿度センサーおよ
び湿度計が実現できる。特に、等距離に置かれた2つの
音波発振素子と音波受信素子間の伝達時間の差を取り立
す事により微少変化を利用可能にし、精度、信頼性の高
い、かつ水の補給等の保守不要で遠隔測定、自動記録な
ども可能な湿度センサーおよび湿度計が実現できた。
【0056】(2) 請求項2に対して、音波発振素子と音
波受信素子との間の距離調整が容易にできる。
【0057】(3) 請求項3に対して、超音波素子を用い
る事により人間の耳に聞こえることなく測定可能であ
り、また40KHz近辺は広く用いられているので安価
に実現できる。
【0058】(4) 請求項4に対して、気圧の変化による
誤差を取りのぞく事ができる。 (5) 請求項6に対して、わずか3つの素子で位相差検出
が構成でき、安価に湿度計が実現できる。
【0059】(6) 請求項7に対して、中空体内壁に吸音
体を設けた事により壁面で反射される不要な伝達がなく
なり、測定の誤差を減じる事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の湿度センサーの斜視図およびA−A′
断面図
【図2】本発明の湿度計の回路図およびその各部の電圧
波形図
【図3】本発明の湿度計の斜視図およびB−B′断面図
【図4】湿度センサーの2つの音波素子間距離の調節方
法を示す斜視図
【符号の説明】
11 中空体 12 小孔 13 右ネジ 14 左ネジ 21 音波発振素子 22 音波受信素子 23 吸音体 31 発振器 32 コンパレータ 33 排他的論理和素子 34 位相差検出器 35 表示装置

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】実質的に同一形状の2つの中空体と、2つ
    の音波発振素子と、2つの音波受信素子とからなり、各
    々の中空体には一組の音波発振素子と音波受信素子とを
    一定の距離を隔てて対向せしめ、一方の中空体には既知
    の湿度量を有する空気を封入し、他方の中空体は通気用
    小孔をあけ、両方の中空体を近接せしめた構成の湿度セ
    ンサー。
  2. 【請求項2】中空体を薄い板金製円筒で構成し、円筒の
    一端に右ネジを、他端に左ネジのメネジを構成し、これ
    らに嵌合するオネジを各々の端より回転挿入せしめると
    共に、音波発振素子および音波受信素子の一方を右ネジ
    のオネジに、他方を左ネジのオネジに固定せしめた事を
    特徴とする請求項1記載の湿度センサー。
  3. 【請求項3】音波発振素子および音波受信素子ともに周
    波数約40KHz超音波素子とした事を特徴とする請求
    項1記載の湿度センサー。
  4. 【請求項4】中空体の一部を薄い弾性体で構成した構成
    とする請求項1記載の湿度センサー。
  5. 【請求項5】中空体の側壁に吸音体を設けた構成の請求
    項1記載の湿度センサー。
  6. 【請求項6】請求項1記載の湿度センサーと、発振器
    と、位相差検出器と表示装置とを有し、前記湿度センサ
    ーの2つの音波発振素子に発振器の出力を接続し、2つ
    の音波受信素子の各々の出力を位相差検出器の2つの入
    力に接続し、位相差検出器の出力を表示装置に接続した
    構成の湿度計。
  7. 【請求項7】位相差検出器として2つのコンパレーヌー
    および一つの排他的論理和素子(エクスクルーシブオア
    ゲート)を用いた請求項5記載の湿度計。
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