JPH05312664A - 差圧伝送器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧力伝達用媒体液の封入量を精度良く一定に
し得、計器の測定誤差を解消し得る差圧伝送器を提供す
ることを目的とする。 【構成】 内部中央にセンタダイヤフラム２１で仕切ら
れた圧力検出部２を備えたボディ本体１の波形両開口面
１１に、シールダイヤフラム３１を張設した受圧部３を
設け、この受圧部３を圧力伝送部４を介して圧力検出部
２に連通すると共に、ボディ本体１の適所に圧力検出部
２の液路２２に連通し液供給槽８と接続する接続部２３
を備えたものであって、前記ボディ本体１の下部には上
記接続部２３に連通し、且つ液路２２に連通する空室部
５を設け、この空室部５に空室部内のプール液を圧力検
出部２へ一定量送り出す液定量設定手段６を配備したこ
とを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、工業計測の分野で用
いられる差圧伝送器に関する。

【０００２】

【従来の技術】差圧伝送器は、ボディ本体の内部中央に
センタダイヤフラムで仕切られた圧力検出部を備えると
共に、ボディ本体の波形両開口面にシールダイヤフラム
を張設した受圧部を設け、この受圧部を圧力伝送部（伝
送管）を介して圧力検出部に連通すると共に、ボディ本
体の下部に圧力検出部の液路に連通する接続部を備えて
いる（図示せず）。

【０００３】圧力検出部へ圧力伝達用媒体液（シリコン
オイル或いはフッ素オイル）を封入する場合は、通常は
真空置換方式が採用されている。つまり、ボディ本体下
部の接続部を液供給槽に接続する。そして、液供給槽内
の媒体液を真空脱気し、同時に圧力検出部（及び受圧
部）を真空脱気する。この後、圧力検出部と液供給槽間
のバルブを開いて両者を連通させた後、液供給槽を大気
圧に開放することで、槽内の媒体液が圧力検出部、圧力
伝送部及び受圧部へ流入し封入される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】センタダイヤフラムで
仕切られる圧力検出部及びこの圧力検出部に連通する受
圧部内の封入液量は、圧力検出精度上、一定であること
が望ましい。ところが、受圧部を構成するシールダイヤ
フラムの形状には、若干のバラツキ（相異）があり、ま
た、ボディ本体の溶接歪みによりボディ本体の波形開口
面の形状にも若干のバラツキ（相異）がある。このた
め、受圧部、つまりボディ本体の波形開口面とシールダ
イヤフラム間に封入される媒体液量にバラツキが出
来、、計器の誤差（温度誤差・静圧誤差）を発生する等
の不利があった。

【０００５】この発明は、以上のような課題を解消さ
せ、圧力伝達用媒体液の封入液量を精度良く一定にし
得、計器の測定誤差を解消し得る差圧伝送器を提供する
ことを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段及び作用】この目的を達成
させるために、この発明の差圧伝送器では、次のような
構成としている。差圧伝送器は、内部中央にセンタダイ
ヤフラムで仕切られた圧力検出部を備えたボディ本体の
波形両開口面に、シールダイヤフラムを張設した受圧部
を設け、この受圧部を圧力伝送部を介して前記圧力検出
部に連通すると共に、ボディ本体の適所に圧力検出部の
液路に連通し液供給槽と接続する接続部を備えた差圧伝
送器であって、前記ボディ本体の下部には上記接続部に
連通し、且つ液路に連通する空室部を設け、この空室部
に空室部内のプール液を圧力検出部へ一定量送り出す液
定量設定手段を配備したことを特徴としている。

【０００７】このような構成を有する差圧伝送器では、
圧力検出部に連通する空室部を設け、この空室部に液定
量設定手段を配備している。この液定量設定手段は、例
えば空室部の内周面螺子部に螺合する可動体である。圧
力検出部に圧力伝達用媒体液を封入するには、真空置換
方式が使用される。液の封入に際し、可動体は例えば空
室部の容積が最も大となるような状態、つまり可動体の
先端が空室部の下方に位置する状態に設定してある。こ
の状態で、接続部を液供給槽に接続し、槽内の媒体液を
真空脱気し、同時に圧力検出部（及び受圧部）を真空脱
気する。そして、受圧部のシールダイヤフラムを外側か
ら加圧してシールダイヤフラムとボディ本体の波形開口
面とを密着させた状態で、媒体液の脱気と圧力検出部の
脱気を停止する。ここで、圧力検出部と液供給槽間のバ
ルブを開いて両者を連通させた後、液供給槽を大気圧に
開放する。これにより、槽内の媒体液（被封入液）が接
続部から空室部に流入し、更に液路から圧力検出部及び
圧力伝送部（伝送管）へ流入する。しかし、この時点で
は受圧部は、波形開口面とシールダイヤフラムとが密着
しており、受圧部に被封入液は流入しない。ここで、接
続部の弁を閉じ、且つシールダイヤフラムの加圧を開放
する。つまり大気圧状態とする。そして、可動体を回し
て空室部内を上昇させる。これにより、空室部内の圧が
高まり、可動体の上昇に応じて空室部内にプールする被
封入液が液路から圧力検出部側へと送り出され、被封入
液が受圧部（波形開口面とシールダイヤフラム間）に流
入する。可動体の先細先端部が液路開口面に侵入し停止
する時、液路が先細先端部で閉成される。これにより、
空室部内にプールする全プール液（被封入液）、つまり
一定量の液が受圧部に封入されたこととなり、封入液量
の一定性が実現でき、計器の精度を向上させ得る。

【０００８】

【実施例】図１は、この発明に係る差圧伝送器の具体的
な一実施例を示す断面図である。

【０００９】差圧伝送器は、公知のように、内部中央に
センタダイヤフラム２１で仕切られた圧力検出部２を備
えたボディ本体１の波形両開口面１１、１１ａに、シー
ルダイヤフラム３１、３１ａを張設した受圧部３、３ａ
を設け、この受圧部３、３ａを圧力伝送部４、４を介し
て前記圧力検出部２に連通すると共に、ボディ本体１の
下部に圧力検出部２の液路２２、２２に連通する接続部
２３、２３を備えている。

【００１０】実施例のボディ本体１は、中央に圧力伝送
部（伝送管）４を備えた一対の半体１ａ、１ｂとから成
り、両半体１ａ、１ｂの対向接合面に圧力検出部２とな
る空間が開くように設定してある。そして、この空間の
中央にセンタダイヤフラム２１を配備し、空間を２分割
状に仕切っている。ボディ本体１の両開口面は、波形開
口面１１、１１ａに形成し、この波形開口面１１、１１
ａにそれぞれシールダイヤフラム３１、３１ａを張設し
て受圧部３、３ａを形成している。つまり、圧力伝送部
４を介して受圧部３、３ａと圧力検出部２とが連通して
いる。また、圧力検出部２の下部には、圧力検出部２に
連通する２本の液路２２、２２が下方へ引きだされ、ボ
ディ本体１の下面に液路２２、２２の開口面が臨出させ
てある。

【００１１】更に、ボディ本体１の外周面には、受圧部
３、３ａを囲むフランジ体７が配備され、フランジ体７
はシールダイヤフラム３１、３１ａとの間に僅かな隙間
を開いて設けられ、且つ面内にこの隙間に連通する導圧
口７１が開口してある。このフランジ体７は、ボディ本
体１にＯリング７２を介して取付けてある。また、上記
圧力検出部２の上方には、圧力検出部２に連通する導圧
キャピラリー２４がボディ本体１の外側へ引き出され、
この導圧キャピラリー２４に半導体圧力センサ２５が取
付けてある。

【００１２】この発明の特徴は、上記ボディ本体１の下
部に、上記接続部２３に連通し、且つ液路２２に連通す
る空室部５を設け、この空室部５に空室部内のプール液
を圧力検出部２へ一定量送り出す液定量設定手段６を配
備した点にある。図２で示すように、空室部５は液路２
２の真下に設けられ、介在壁５１を介して接続部２３と
隣合っている。空室部５は、液路２２及び接続部２３に
それぞれ連通している。空室部５の内周面には螺子部５
２が設けられている。

【００１３】上記液定量設定手段６は、空室部５の内径
に対応する外径を有する可動体６１で、この可動体６１
の外周面に上記螺子部５２に螺着するネジ部６２が設け
てあり、可動体６１は空室部５に螺着配備され空室部５
内を上下動する。また、可動体６１と空室部５との間に
は、嵌合上部（液路２２開口面側）において、Ｏリング
５３が配備され液密状に設定してある。また、この可動
体６１の先端部は、先細状に設定され、先細先端部６３
が液路２２の開口面に侵入することで、液路２２を閉成
し得るようになっている。

【００１４】このような構成を有する差圧伝送器では、
圧力検出部（液封入室）２に圧力伝達用媒体液Ｙを封入
するには、真空置換方式が使用される。液Ｙの封入に際
し、可動体６１は例えば空室部５の容積が最も大となる
ような状態、つまり可動体６１の下端が空室部５の下端
に位置する状態に設定してある（図２で示す仮想線の位
置に設定してある）。この状態で、接続部２３を液供給
槽８に接続し、図３で示すように、槽８内の媒体液Ｙを
真空脱気し、同時に圧力検出部（及び受圧部３、３ａ）
２を真空脱気する。つまり、液脱気用真空ポンプＡを可
動させ、且つ液封入室脱気用真空ポンプＢを可動させ、
それぞれ真空脱気する。そして、シールダイヤフラム外
側脱気用真空ポンプＣを可動させてシールダイヤフラム
３１、３１ａ外側を脱気する。更に、シールダイヤフラ
ム加圧用ポンプＤを可動させて、受圧部３、３ａのシー
ルダイヤフラム３１、３１ａを外側から加圧し、シール
ダイヤフラム３１、３１ａとボディ本体の波形開口面１
１、１１ａとを密着させた状態で、媒体液Ｙの脱気と圧
力検出部２の脱気を停止する。ここで、圧力検出部２と
液供給槽８間のバルブＥ、Ｆをそれぞれ開いて両者を連
通させた後、バルブＧを開いて液供給槽８を大気圧に開
放する。これにより、槽８内の媒体液（被封入液）Ｙが
接続部２３から空室部５に流入し、空室部５から溢れた
液Ｙが液路２２から圧力検出部２及び圧力伝送部（伝送
管）４へ流入する。しかし、この時点では受圧部３、３
ａは波形開口面１１（１１ａ）とシールダイヤフラム３
１（３１ａ）とが密着しており、被封入液は流入しな
い。ここで、接続部２３の弁Ｅを閉じ、且つシールダイ
ヤフラム３１（３１ａ）の加圧を開放する。つまり大気
圧状態とする。そして、可動体６１を回して空室部５内
を上昇させる。これにより、空室部５内の圧が高まり、
可動体６１の上昇に応じて空室部５内にプールする被封
入液Ｙが液路２２から圧力検出部２側へと送り出され、
被封入液Ｙが受圧部（波形開口面とシールダイヤフラム
間）３、３ａに流入する。可動体６１の先細先端部６３
が液路２２の開口面に侵入し停止する時、液路２２が先
端部６３で閉成される。これにより、空室部５内にプー
ルする全プール液（被封入液）、つまり一定量の液が受
圧部３、３ａに封入されたこととなり、封入液量の一定
性が実現でき、計器の精度を向上させ得る。

【００１５】

【発明の効果】この発明では、以上のように、接続部及
び液路に連通する空室部を設け、この空室部に可動体を
配備し、この可動体の上下動により空室部内のプール液
を圧力検出部側へ一定量送り出すようにしたから、常に
一定量の液が受圧部に封入されることとなる。従って、
従来のようにボディ本体の波形両開口面形状のバラツキ
及び、シールダイヤフラムの形状のバラツキが多少あっ
たとしても、封入液量の一定性を実現でき、計器の精度
を向上させ得る等、発明目的を達成した優れた効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例差圧伝送器を示す断面図である。

【図２】実施例差圧伝送器の要部を示す説明断面図であ
る。

【図３】実施例差圧伝送器の液封入構成を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１ ボディ本体 ２ 圧力検出部 ３ 受圧部 ５ 空室部 ６ 液定量設定手段 １１ 波形両開口面 ２１ センタダイヤフラム ２２ 液路 ２３ 接続部 ３１ シールダイヤフラム

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内部中央にセンタダイヤフラムで仕切られ
   た圧力検出部を備えたボディ本体の波形両開口面に、シ
   ールダイヤフラムを張設した受圧部を設け、この受圧部
   を圧力伝送部を介して前記圧力検出部に連通すると共
   に、ボディ本体の適所に圧力検出部の液路に連通し液供
   給槽と接続する接続部を備えた差圧伝送器であって、前
   記ボディ本体の下部には上記接続部に連通し、且つ液路
   に連通する空室部を設け、この空室部に空室部内のプー
   ル液を圧力検出部へ一定量送り出す液定量設定手段を配
   備したことを特徴とする差圧伝送器。