JPH05298646A

JPH05298646A - 磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH05298646A
Application number: JP4095693A
Authority: JP
Inventors: Shigetomo Sawada; 茂友澤田; Yoshimichi Asauchi; 良道浅内; Yoshio Tanaka; 義男田中; Kikuo Yashiro; 喜久雄八城; Yasuo Okamoto; 康男岡本
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1992-04-15
Filing date: 1992-04-15
Publication date: 1993-11-12
Anticipated expiration: 2013-10-08
Also published as: JP2808208B2

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気記録媒体の回転によって発生する気流で、
スライダを浮上させて、情報の記録／再生を行なう浮上
式磁気ヘッドの製造方法に関し、浮上式の磁気ヘッドに
おける浮上面を均一にしかも能率的に加工できる方法を
実現することを目的とする。【構成】浮上式の磁気ヘッドの浮上面を加工する方法で
あって、複数個のスライダに分離する前のスライダ・ブ
ロック１７の状態で、凹曲面状のラップ定盤２０上で直
線もしくは回転運動させて浮上面を加工する。さらに、
上記ブロック１７の背面を可撓性のシート１９に貼り付
けた後、各スライダ１…間を切断して分離し、シート１
９に貼り付けられた状態で、複数のスライダ１…を一斉
に浮上面加工し、加工が終了した後に、各スライダ１…
をシート１９から取り外す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】情報処理システムにおける外部記
憶装置として使用される磁気ディスク装置用の磁気ヘッ
ドは、ジンバルと呼ばれる薄い板バネで支持され、磁気
ディスクが高速回転する際の気流で浮上するようになっ
ている。本発明は、このように磁気記録媒体の回転によ
って発生する気流で、スライダを浮上させて、情報の記
録／再生を行なう浮上式磁気ヘッドの製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図７は浮上式磁気ヘッドによって情報の
記録／再生を行なっている状態を示す側面図である。Ｄ
は磁気ディスクであり、矢印a₁方向に高速回転している
ものとする。磁気ヘッドＨは、スライダ１の後端に、電
磁変換用のコイル２を巻いたコア３が接着され、前端に
流入斜面９を有する構造になっている。スライダ１は、
ジンバル４を介してスプリングアーム５に取付けられ、
スプリングアーム５がキャリッジアーム６に取付けられ
ている。

【０００３】いま、キャリッジ７が往復回転すると、ス
ライダ１が紙面と垂直方向に移動され、シーク動作す
る。磁気ディスクＤが高速回転すると、スライダ１と磁
気ディスクＤ間に発生する空気流で、スライダ１が１μ
ｍ以下の微小隙間Ｇをおいて浮上し、浮上状態で記録／
再生ギャップ８によって、情報の記録／再生が行われ
る。

【０００４】このように、磁気ヘッドＨが、磁気ディス
クＤの高速回転時の気流で浮上し、磁気ディスクＤが停
止すると、スプリングアーム５のバネ力で磁気ディスク
面に圧接する方式を、ＣＳＳ方式と呼んでいる。一方Ｃ
ＳＳ方式の磁気記録媒体には、スライダ１が摺動する際
の摩耗を防止するために、潤滑剤が塗布される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この潤滑剤
によって、磁気ディスクの停止時にスライダが吸着しや
すく、特にスライダの浮上面が、加工歪みなどで凹曲面
となっている場合に顕著である。潤滑剤による吸着が起
きると、起動時に粘着力に抗してスライダ１が磁気ディ
スク面から引き離されることになり、ジンバル４が変形
したり、スライダ１が磁気ディスク面から引き離された
ときの反動で、磁気ディスク面に磁気ヘッドが衝突して
傷つくなどの恐れがある。

【０００６】また、通常複数枚の磁気ディスクの各面に
１個または複数個の磁気ヘッドが配設されているため、
起動時には同時に多数の磁気ヘッドを磁気ディスク面か
ら引き離す必要があり、起動トルクの大きなスピンドル
モータを使用しなければならない。

【０００７】以上のような問題は、図８に示すような薄
膜型の磁気ヘッドにおいても生じる。薄膜磁気ヘッド
は、スライダ１の後端に、薄膜技術によって作製された
ヘッド素子部１０を有し、レール状の浮上面１１の前端
に流入斜面９が形成されている。なお、浮上面１１や空
気の流入斜面９は、スライダ１を研磨することによって
形成される。

【０００８】前記のようなスライダの粘着力を軽減する
ために、磁気ヘッドのスライダの浮上面が凹曲面となら
ないように、高精度に平坦化加工したり、特開昭55−10
5857号公報、特開昭56−68961 号公報、特開昭58−1280
51号公報などに記載のように、スライダの浮上面を凸曲
面( クラウン形状 )とすることで、磁気ディスク面との
吸着を防止することが試みられている。

【０００９】ところが、これらの薄膜磁気ヘッドは、図
９に示すように、１枚の基板１２に多数個分のヘッド素
子部１０を薄膜技術で一斉に作製した後、マトリクス状
の切断線１３で切断して、スライダ１…を１個ずつ分離
した状態で、前記のレール状浮上面１１が研削形成され
る。

【００１０】その後、図１０（１）に示すように、錘１
４に貼り付けたゴム盤１５に、分離されたスライダ１を
複数個貼り付けた状態で、（２）のようにラップ定盤１
６上に反転して載置し、回転しているラップ定盤１６上
で、錘１４を自転させることで、前記の浮上面１１が平
面あるいは弾性部材１５の弾力性により凸クラウンとな
るように加工し、凹曲面を除去する。

【００１１】しかしながら、このように１個ずつ治具に
取付けるため、大量生産に適しない難点があった。

【００１２】これに対し、図１１に示すように、図９に
おける１列のスライダがブロック状に連結している状態
において、各スライダの浮上面１１や流入斜面９などを
加工した後に、スライダ・ブロック１７単位に、ラップ
加工することで、浮上面１１を平面にあるいは凸クラウ
ンに形成し、最後に各スライダ１間の溝１８の位置から
切断して１個ずつ分離する方法も提案されている。

【００１３】しかしながら、スライダ・ブロックの浮上
面を、凹曲面の定盤で凸クラウンに加工しようとした場
合、該スライダ・ブロックが真っ直ぐに加工されている
ため、両端でのラッピング量が過剰になりやすく、スラ
イダ・ブロックの全体を均一に加工できない問題があっ
た。

【００１４】本発明の技術的課題は、このような問題に
着目し、浮上式の磁気ヘッドにおける浮上面を均一にし
かも能率的に加工できる方法を実現することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】図１は本発明による磁気
ヘッドの製造方法の基本原理を説明する図である。請求
項１の発明は、図１（ａ）に示すように、スライダの浮
上面加工用のラップ定盤２０の加工面２１を平面、円錐
面または球面もしくはこれらの中間的な凹曲面とし、こ
の凹曲面２１にスライダの浮上面１１を円周方向に向け
て載置し、スライダ・ブロック１７または分離後のスラ
イダ１を、柔軟部材１５で保持しつつ加工面２１に対し
半径方向に往復移動させることで、浮上面をクラウンに
形成する。

【００１６】請求項２の発明は、図１（ｂ）のように、
錘１４に設置した柔軟部材１５で保持しつつ、スライダ
・ブロック１７の長手方向を円周の方向に配列し、回転
する平面または凹曲面の加工面２１上で、錘１４を回転
させてラッピング加工し、浮上面をクラウンに形成す
る。

【００１７】請求項３の発明は、浮上式の磁気ヘッドの
浮上面１１を加工する際に、図１（ｃ）のように複数個
のスライダに分離する前のスライダ・ブロック１７の状
態で、背面を可撓性のあるシート１９に貼り付け、各ス
ライダ１・１間を切断して分離する。このようにして、
分離された各スライダ１…がシート１９に貼り付けられ
た状態で、複数のスライダ１…を一斉に浮上面加工し、
加工が終了した後に、各スライダ１…をシート１９から
取り外す。

【００１８】請求項４の発明は、図１（ａ）または
（ｂ）のように、スライダの浮上面加工用のラップ定盤
２０の加工面２１を円錐面または球面もしくはこれらの
中間の曲面からなる凹曲面とし、この凹曲面２１にスラ
イダの浮上面１１を円周方向に向けて載置し、回転して
いる凹曲面２１に対し半径方向に往復移動させるか、も
しくは回転する加工面２１に、スライダの浮上面を載置
し、スライダをその長手方向に回転運動させることで、
浮上面をクラウンに形成する。

【００１９】この際、請求項３に示すように、複数個の
スライダに分離する前のスライダ・ブロック１７の背面
を、薄いシート１９に貼り付けた状態で、各スライダ間
を切断して分離し、シート１９に貼り付けられた状態
で、前記の凹曲面２１上でクラウンに加工する。

【００２０】

【作用】請求項１のように、加工面２１が平面または凹
曲面となったラップ定盤２０を用い、この加工面２１に
スライダの浮上面１１を載置し、半径方向に往復移動さ
せて浮上面を加工するため、スライダの浮上面が確実に
凸のクラウンとなる。

【００２１】円錐定盤の場合に得られるクラウン量Ｃ
は、定盤面の曲率が転写されるものとして、次の式で幾
何学的に導かれる。実際のクラウン量は、この式のＣに
平面定盤で得られる５〜10nmのクラウン量を加えた値に
なる。

【００２２】

【数１】

【００２３】ここで、図２（ａ）に示すように、αは定
盤の加工面２１の勾配、ｒは定盤中心からの距離、Ｌは
ワーク長（浮上レール面長さ）である。

【００２４】浮上面加工は、単体のスライダの状態で行
なってもよいが、複数個のスライダに分離する前のスラ
イダ・ブロック１７の状態でクラウン加工すれば、一度
に複数個のスライダを加工でき、量産に適している。

【００２５】また、請求項２のように平面または凹曲面
状のラップ定盤２０を用い、スライダ・ブロック１７を
回転させる方法でも、一度に複数個のスライダをクラウ
ン状に加工でき、量産に適している。スライダ・ブロッ
ク１７は柔軟部材で軟らかく支持しているために、スラ
イダ・ブロック１７が容易にたわんで加工面２１から逃
げて、凹曲面上を同ブロックが運動しても、その両端に
過度な力が加わることなく、ブロックは均一に加工され
る。

【００２６】ワークを円錐面定盤上で回転した場合に形
成されるクラウン量は、同様に（１）式の示す値と、平
面定盤で得られる５〜10nmのクラウン量を足した和にな
る。

【００２７】請求項３のように、複数個のスライダに分
離する前の、一体となったスライダ・ブロック１７の状
態で、背面を可撓性のあるシート１９に貼り付けてか
ら、各スライダ１・１間を切断して分離するため、各ス
ライダ１…は、シート１９を介して連結している。

【００２８】このように、各スライダ１…が可撓性のシ
ート１９に貼り付けられた状態で、複数のスライダ１…
を一斉に浮上面加工するため、各スライダ１…に均一に
荷重が作用し、均一に浮上面を加工できる。

【００２９】また、各スライダ間は予め切断されている
ため、加工が終了した後に、各スライダ１…をシート１
９から取り外すだけで足り、浮上面加工後にスライダ間
を切断する方法と違って、浮上面加工したスライダに切
断による加工歪みが発生するようなことがない。

【００３０】また、請求項４に示すように、複数個のス
ライダに分離する前のスライダ・ブロック１７の背面を
薄いシート１９に貼り付けた状態で、各スライダ１…間
を切断して分離し、シート１９に貼り付けられた状態
で、平面または円錐状加工面２１で加工すると、スライ
ダブロック全体がその長手方向にたわみやすくなり、総
てのスライダに均一に荷重が作用するため、中央側のス
ライダも両端側のスライダも均一にクラウン加工でき
る。

【００３１】

【実施例】次に本発明による磁気ヘッドの製造方法が実
際上どのように具体化されるかを実施例で説明する。図
３はスライダの浮上面１１をクラウン加工している状態
の斜視図と縦断面図である。２０はクラウン加工用のラ
ップ定盤であり、加工面２１は円錐状の凹曲面とした。

【００３２】この円錐状凹曲面２１上に、スライダ１の
浮上面が円周方向を向くように載置し、回転している円
錐状凹曲面２１に対し半径方向に往復移動させると、円
錐状凹曲面２１の曲率と同等の凸クラウンが形成され
る。

【００３３】この場合、外周側と内周側との間にわずか
( 約0.2mm ) の寸法差ｈができる程度の円錐面でよく、
円錐の傾斜角は約1000分の１で極めて小さい。

【００３４】スライダは円錐状凹曲面２１上で半径方向
に移動させる構成とした。２６はスライダを保持する治
具であり、（ａ）図に示すように、ゴム盤２７が貼り付
けられている。このゴム盤２７に、前記のように分離さ
れた状態のスライダ、または図２のようにシート１９上
で分離された複数個のスライダ、あるいは図１１のよう
なスライダ・ブロック１７を貼り付ける。図示例では、
複数個のスライダ・ブロック１７を一定の向きに揃えて
貼り付けてある。

【００３５】また、（ｂ）図のように、クラウン加工定
盤２０の外側において、垂直方向の駆動軸２８に取付け
られた揺動アーム２９の先端下面に、前記の保持治具２
６を裏返しにした状態で取付け、モータＭでアーム２９
を往復揺動させる構成を用いた。

【００３６】アーム２９の往復揺動により、保持治具２
６は、円錐状凹曲面２１上で、半径方向に円弧運動する
ことになるが、アーム２９は充分に長くするため、直線
運動に近い円弧運動となり、実用上問題の無いクラウン
形状が得られる。

【００３７】試作装置の場合、アーム２９の長さを７０
０ｍｍ、クラウン加工定盤２０の外径を４００ｍｍ、内
径を８０ｍｍ、図５（ｂ）に示す外周側と内周側との中
凹量ｈを２００μｍとし、図６（ａ）のようにゴム盤２
７を介して、浮上面長Ｌが３mmの４個のスライダ・ブロ
ック１７を保持治具２６に取付け、ｒ＝100mmの位置で
クラウン加工を行なった。

【００３８】その結果、半径方向の往復動により、１５
〜２０ｎｍのクラウン量が得られた。また、ゴム盤２７
は柔軟性があるため、１μｍ程度のスライダ厚みの誤差
が吸収され、各スライダブロックを均一に加工できた。

【００３９】クラウン加工の際、スライダを治具に取付
け、治具を介して、円錐状凹曲面２１の半径方向に往復
動させるが、その際図５で説明したように、１個ずつ分
離されたスライダ１を、１個または複数個、治具に取付
けてもよく、あるいは図１１に示すスライダ・ブロック
１７を、１個または複数個、取付けてもよい。

【００４０】図４に請求項２の実施例を示す。円錐状凹
曲面２１上でスライダブロックを回転動作させ、浮上面
をクラウン加工するラッピング方式である。この場合に
も、加工物を柔軟に保持するための、柔軟部材１５を用
いた。

【００４１】スライダブロックは細長い形状のため長手
方向には撓みやすく、曲面の定盤と接触した際に加工物
が定盤面から逃げ易い傾向があり、曲面定盤の曲率は、
加工物の長手方向には転写されにくい。

【００４２】一方、スライダブロックはその短手方向に
は撓みにくいため、この方向には定盤の曲率が転写され
やすい。これらの特徴のため、浮上面にクラウン形状を
生じさせることができる。

【００４３】これらの特徴を用い、ブロックを円錐定盤
面上で回転動作させる簡単な方法により、クラウンを形
成できた。加工物を回転させる方式では、加工治具が簡
単で、低コスト化できる利点がある。この場合のラップ
定盤の加工面２１は、図３の場合と同様に、約０.2mmの
内外周高低差の円錐面とした。

【００４４】以上の各実施例において、円錐状凹曲面２
１は、内周側と外周側とで曲率が異なるため、厳密には
各スライダのクラウン形状が異なるが、実用上は問題な
い。特に、加工物を直線動作させる場合には、ある程度
クラウン加工した後に、図６（ｂ）における保持治具２
６を１８０度反転させた状態で、再度クラウン加工すれ
ば、外周側のスライダと内周側のスライダとのクラウン
加工量の均一性を高めることができる。

【００４５】なお、凹曲面を円錐面としたのは、その製
造が容易だからである。円錐面では、面を創成するバイ
ト移動の勾配を変えるだけで、面の曲率を容易に加減で
きる特長がある。球面もしくはパラボラ面等を用いた場
合、その曲率が浮上面に転写されるので、クラウン形成
できるが、定盤の形成が難しく、高コストとなる。

【００４６】図５は請求項３の発明の実施例を工程順に
示す斜視図である。（１）は複数個のスライダに分離す
る前のスライダ・ブロック１７であり、複数個のスライ
ダ１…が一体になっている。各スライダ１…の間には、
浮上面１１側に溝１８が入っており、この状態で研削や
研摩によって、レール状の浮上面１１や流入斜面９が形
成されている。

【００４７】このスライダ・ブロック１７の背面に、
（２）のように樹脂や金属等からなるシート１９を貼り
つける。このようにシート１９に貼り付けた状態で、前
記の溝１８の位置を切断し、（３）のように各スライダ
１…を分離する。この分離は、回転砥石に対し、スライ
ダ・ブロック１７を溝１８の方向に相対的に移動させる
ことで行われる。この際、回転砥石がシート１９に食い
込み、浅い溝２２ができるように加工することで、隣接
するスライダを確実に分離できる。

【００４８】シート１９として、厚さが０．３ｍｍのポ
リイミド樹脂フィルムを用い、スライダ・ブロック１７
を軟化点約５０℃のワックスで貼り付けた場合、溝２２
の深さが数μｍ〜数十μｍ程度となるように切断を行な
うことで、各スライダ１…を確実に分離できた。

【００４９】このように、スライダ・ブロック１７の状
態でシート１９に貼り付けるので、貼り付け作業は容易
であり、また各スライダ１…ごとに分離しているもの
の、整然と揃った状態となるので、浮上面加工の際に、
各スライダを均一に加工できる。また、（４）図に示す
ように、分離された複数個のスライダ１…が貼り付けら
れたシート１９をピンセット等で保持したりした場合、
シート１９が可撓性なため、各スライダ１…が完全に分
離しているかのように、独立した振る舞いをする。

【００５０】図６は、シート１９に貼り付けられた複数
個のスライダの浮上面を平坦に加工する例である。ま
ず、（１）図に示すように、円盤状の錘１４に貼り付け
られた弾性部材１５に、図２のシート１９の背面を貼り
付ける。このとき、図示のように同時に複数個のシート
１９…を貼り付けることで、大量に処理できる。弾性部
材１５としては、ゴム板が本来的に粘性を持ち、有効で
あった。もちろん、粘着性処理を施した他の弾性部材で
も有効である。

【００５１】前記の錘１４を裏返しにして、（２）図の
ように、回転しているラップ定盤１６上に載せて自転さ
せることで、多数のスライダの浮上面を同時にラップ加
工し、平坦化する。

【００５２】ラップ加工のとき、各スライダ１…は、可
撓性のあるシート１９で連結されており、しかも弾性に
富んだ弾性部材１５を介して錘１４に貼り付けられてい
るので、各スライダ１…に独立して錘１４の荷重が作用
することになり、各スライダが実質的に独立した状態で
ラップ加工できる。したがって、スライダの各面を均一
にラップ加工でき、しかも各スライダ間の加工バラツキ
も解消される。

【００５３】

【発明の効果】以上のように、請求項１によれば、加工
面２１が凹曲面となったラップ定盤２０を用い、スライ
ダを半径方向に往復移動させて加工するため、スライダ
の浮上面を確実にクラウンに加工できる。

【００５４】また請求項２には、凹曲面となったラップ
定盤２０を用い、スライダ・ブロックを回転させながら
加工し、スライダを弾性部材を介して保持するため、同
ブロックの全体を均一にクラウン加工できる。

【００５５】これらのとき、請求項１のように、スライ
ダ・ブロック１７の背面を可撓性のシート１９に貼り付
けた状態で、各スライダ間を切断分離した後に、凹曲面
２１でクラウン加工すると、各スライダに均一に荷重が
作用するため、すべてのスライダを均一にクラウン加工
できる。

【００５６】請求項３によれば、各スライダ１…が可撓
性のシート１９に貼り付けられた状態で、複数のスライ
ダ１…を一斉に浮上面加工するため、各スライダを均一
に浮上面加工でき、しかも浮上面加工後にスライダ間を
切断する方法と違って、浮上面加工したスライダに加工
歪みが発生する恐れがない。

【００５７】また、請求項４によれば、可撓性のシート
１９で貼りつけられた複数のスライダ１…を、より均一
にクラウン加工できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気ヘッドの製造方法の基本原理
を説明する図である。

【図２】本発明によるクラウン加工の原理を説明する図
である。

【図３】請求項１の発明の実施例を示す斜視図と側面図
である。

【図４】請求項２の実施例を示す斜視図である。

【図５】請求項３の発明における実施例を示す斜視図で
ある。

【図６】請求項４の発明の実施例を示す斜視図である。

【図７】浮上式磁気ヘッドを備えた磁気ディスク装置の
側面図である。

【図８】薄膜型の磁気ヘッドを示す斜視図である。

【図９】薄膜磁気ヘッドの従来の製造方法を示す斜視図
である。

【図10】従来のスライダ浮上面加工（平坦化加工）方法
を示す斜視図である。

【図11】スライダ・ブロックの状態を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１スライダ８記録／再生ギャップ９流入斜面 10 ヘッド素子部 11 レール状の浮上面ｅレール状浮上面のエッジ 12 基板 13 切断線 14 錘 15 柔軟部材 16 ラップ定盤 17 スライダ・ブロック 18 溝 19 可撓性のシート 20 クラウン加工用のラップ定盤 21 円錐状凹曲面( 加工面 ) 22 シート上の溝 23 治具 26 保持治具 27 ゴム盤 28 駆動軸 29 揺動アームＭモータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者八城喜久雄神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内 (72)発明者岡本康男神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地富士通株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】浮上式の磁気ヘッドの浮上面を加工する
方法であって、ラップ定盤(20)の加工面(21)を平面、円錐面または球面
もしくはこれらの中間の曲面からなる凹曲面とし、この
加工面(21)にスライダ(1) の浮上面を円周方向に向けて
載置し、柔軟部材(15)に粘着させて保持したスライダ・ブロック
(17)または分離後のスライダ(1) を、該加工面(21)に対
し半径方向に往復移動させてラッピング加工することを
特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】ラップ定盤(20)の加工面(21)を平面、円
錐面または球面もしくはこれらの中間の曲面からなる凹
曲面とし、スライダ・ブロック(17)を柔軟部材(15)上に粘着させて
保持し、該加工面(21)上で、該スライダ・ブロック(17)
の保持体である錘(14)を回転させ、同時にラップ定盤(2
0)を回転させて、ラッピング加工することを特徴とする
磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】複数個のスライダに分離する前のスライ
ダ・ブロック(17)の状態で、背面を可撓性のシート(19)
に貼り付けた後、各スライダ( １… )間を切断して分離
し、シート(19)に貼り付けられた状態で、複数のスライダ(
１… )を一斉に浮上面ラッピング加工し、加工が終了した後に、各スライダ( １… )をシート(19)
から取り外すことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】複数個のスライダに分離する前のスライ
ダ・ブロック(17)の状態で、背面を可撓性のシート(19)
に貼り付けた後、各スライダ( １… )間を切断して分離
し、ラップ定盤(20)の加工面(21)を平面、円錐面または球面
もしくはこれらの中間の曲面からなる凹曲面とし、この
加工面(21)上に、スライダ(1) の浮上面を円周方向に向
けて、前記シート(19)に貼り付けられた状態のスライダ
( １… )を載置し、回転している凹曲面(21)に対し、各スライダ( １… )を
ラップ定盤(20)の半径方向に往復移動させること、およ
び前記加工面(21)を回転させ、前記シート(19)に貼り付
けられた状態のスライダ( １… )を柔軟部材(15)上に粘
着させて保持し、該スライダ(1) を回転させてラッピン
グ加工することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。