JPH05297083A

JPH05297083A - 磁界感応装置

Info

Publication number: JPH05297083A
Application number: JP3159778A
Authority: JP
Inventors: Herbert Schewe; シエーウエヘルベルト
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1990-06-06
Filing date: 1991-06-03
Publication date: 1993-11-12
Also published as: US5128614A; EP0460291A2; EP0460291A3; DE4018148A1

Abstract

(57)【要約】【目的】特に回転方向認識を有する回転数発信器また
は直線変位発信器に用いる磁界感応装置を、薄膜技術に
より構造化の精度および磁気的特性の再現性への高度な
要求を満たし、また比較的経済的な量産を可能にするよ
うに構成する。【構成】磁界センサ３、３′が少なくとも１つの直列
配置（アレイ）にまとめられており、その際に直列配置
に属する磁界センサのコイル巻線７とストリップ形状を
有する強磁性の要素部分１３、１４とが薄膜構造として
非磁性材料から成る基板４の上に構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、それぞれコイル巻線に
より囲まれており軸線方向に延びている２つの強磁性の
要素部分から成る結合要素を含んでいる複数の磁界セン
サを有する磁界感応装置であって、前記要素部分がそれ
ぞれ軸線方向に位置する磁化容易方向を有する一軸の磁
気的異方性を有し、また、外部のスイッチング磁界によ
り小さいほうの保磁力を有する要素部分のなかにのみ自
発性の磁化切換を生じさせ、それにより、相応の電圧パ
ルスを対応付けられているコイル巻線のなかに発生させ
るように、前記磁化容易方向に相い異なる保磁力を有す
る材料から成っている磁界感応装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】刊行物“シーメンス研究開発報告”、第
１５巻（１９８６）、第３号、第１３５〜１４４頁に
は、大きいバルクハウゼン跳躍の速い伝播に基づく強磁
性ワイヤーのなかの自発性のスイッチング効果が報告さ
れている。相応のワイヤーはたとえば特別な強磁性材料
から成るいわゆる“ヴィーガンド‐ワイヤー(Wiegand W
ire)”である。特に特殊なパルスワイヤーもこのような
スイッチング効果を可能にする。このようなパルスワイ
ヤーはワイヤー状のコアおよびこれを包囲する外被から
成っている結合要素である。その際にコアは比較的軟磁
性の（ほぼ０２Ａ／ｃｍと２０Ａ／ｃｍとの間の保磁力
Ｈ_C1を有する）材料から成っている。このコアのなかに
外部磁界、いわゆるスイッチング磁界により急速な跳躍
状の磁束変化、従ってまた磁化方向の反転を生じさせる
ためには、コアはさらにその長手方向または軸線方向に
位置する磁化容易方向を有する際立った一軸の磁気的異
方性を有していなければならない。さらにコアの比較的
短い長さにおいて望ましくない終端磁区の形成が回避さ
れるように、外被に対しては、コアを永久的に磁化し得
るように、比較的磁気的に硬い（少なくとも３０Ａ／ｃ
ｍの保磁力Ｈ_C2を有する）材料が選定される。

【０００３】磁界センサの一部分としての相応のパルス
ワイヤーによりスイッチング装置が構成され得る。その
ためにワイヤーはワイヤーを包囲する、磁界センサの別
の部分としてのコイル巻線のなかに位置している。パル
スワイヤーのコアのなかに外部のスイッチング磁界によ
り自発性の磁化切替が特定の磁界強度しきい値の上方超
過の際に生ぜしめられると（たとえば図書“強磁性学(F
erromagnetismus)”、E.Kneller 著、スプリンガー出
版、１９６２年、特に第４０１〜４０８頁参照）、コイ
ル巻線のなかに電圧パルスが誘導される。この電圧パル
スは次いで、コイル巻線の後に対応付けられている評価
電子回路により制御またはスイッチング過程をレリーズ
し得る。ほぼ５０ないし３００μｍの直径を有するこの
ようなパルスワイヤーはこうして別の補助エネルギーな
しにたとえば回転数発信器、直線変位発信器または直線
電流値限界発信器のような多数のセンサ課題に対するし
きい値スイッチとして、磁界測定のために、または磁界
感応キーとして使用され得る。

【０００４】冒頭に記載した特徴を有する複数のこのよ
うな磁界センサを有する磁界感応装置はたとえば“パル
スワイヤーを有するＳＩＰＵＬＳ回転数発信器”に関す
るシーメンス社のパンフレットから公知である。この装
置は電動機の軸と結合された発信器車の上に位置するセ
ットおよびリセット磁石の対を含んでいる。これらの磁
石は発信器車の回転の際に複数の位置固定の磁界センサ
の側を通過させられる。いまたとえば１つのセット磁石
が磁界センサに近接すると、そのパルスワイヤーのなか
でスイッチング磁界が上方超過され、またパルスワイヤ
ーの周りに巻かれているコイル巻線のなかに電圧パルス
が発生される。続いてパルスワイヤーはリセット磁石の
リセット磁界により再び磁気的初期位置にもたらされ
る。すなわち電圧パルスは、セット磁石がパルスワイヤ
ーに近接する場合にのみ生ずる。公知の装置では複数の
このような磁界センサが存在しているので、回転方向が
磁界センサにおいて発生される電圧パルスの順序により
認識され得る。

【０００５】しかし、公知のパルスワイヤーおよびそれ
を包囲するコイル巻線は比較的大きい費用によってのみ
製造可能であり、またさらにワイヤーのなかに磁気的特
性、特に要求される異方性を十分な正確さで再現可能に
設定するのに困難を伴う。その結果、磁気感応装置のな
かの等しい構成の磁界センサから発生れさるパルスがし
ばしば全く相い異なっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
に記載した特徴を有する磁界感応装置を、前記の問題点
が回避されているように構成することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
れば、磁界センサが少なくとも１つの直列配置（アレ
イ）にまとめられており、その際に直列配置に属する磁
界センサのコイル巻線とストリップ形状を有する強磁性
の要素部分とが薄膜構造として非磁性材料から成る基板
の上に構成されていることにより達成される。

【０００８】本発明による磁界感応装置の有利な実施例
は請求項２以下にあげられている。

【０００９】

【発明の効果】本発明による磁界感応装置の利点は特
に、薄膜技術が構造化の精度および磁気的特性の再現性
への高度な要求を満たすことができ、また比較的経済的
な量産を可能にすることにある。従って、大きい横方向
分解能および確定されたパルス比を有するセンサが構成
され得るので、それらは直列配置のなかで等価の要素を
なす。このような直列配置により、特に回転方向認識を
有する回転数発信器または直線変位発信器が有利に構成
され得る。

【００１０】

【実施例】以下、図面に示されている実施例により本発
明を一層詳細に説明する。以下ではセンサ装置と呼ばれ
る本発明による磁界感応装置の、図１に平面図で示され
ている部分は２つの実際上同一の磁界センサ３および
３′を示している。これらの磁界センサは互いにたとえ
ば０１ｍｍと１ｍｍとの間の間隔ａをおかれている。本
発明によるセンサ装置は一般に図１中に示されているも
のよりもはるかに多数の磁界センサを有する。すべての
これらの磁界センサは本発明により薄膜技術で詳細には
示されていない非磁性材料から成る基板４の上に作成さ
れており、またそこで直列配置いわゆる“アレイ”を形
成すべきである。その際にアレイとは、基板の表面上の
少なくともほぼ同一構造のセンサの比較的密な配置を意
味する。この直列配置のうち以下では基板４の縁に位置
する磁界センサ３が一層詳細に説明されている。

【００１１】磁界センサ３は主として層状の結合要素６
とこの要素を包囲するコイル巻線７とから成っている。
層状の結合要素６は軸線Ａの方向に、一般に１ｍｍを越
え、またたとえば２ｃｍを越えない長さＬを有する。軸
線Ａに対して垂直に測った結合要素の幅Ｂは数μｍない
し１ｍｍである。軸線Ａに対して垂直なコイル巻線７の
幅Ｗは一般に幅Ｂの１５ないし３倍の範囲内である。そ
の際に幅Ｗの最小値は大きさＷ_MIN＝Ｂ＋２０μｍを下
方超過してはならない。こうして予め定められた面の上
に有利に相応に多数の磁界センサを１つのアレイとして
配置することができる。結合要素６の長さＬ、コイル巻
線７の個々の巻線の導体幅ｂならびに巻線ピッチｓはそ
の場合に巻線の可能な巻数を決定する。一般に導体幅ｂ
は数μｍのオーダーであり、また巻線ピッチｓは１０μ
ｍを越えない。こうしてたとえば３μｍの巻線ピッチ
ｓ、１μｍの導体幅ｂおよび３ｍｍの長さＬでは巻線７
の約１０００の巻数が実現され得る。

【００１２】薄膜技術でたとえばセンサ３のような相応
の磁界センサを製造するためには、先ず基板４の上に、
たとえば軸線Ａに対して斜めに延びている互いに平行
な、適当な導体材料、たとえばＣｕ、ＡｇまたはＡｕか
ら成る巻線７の下側導体部分７ａが析出される。その上
にこれらの導体部分に対して絶縁されて、結合要素６を
形成する種々の強磁性材料から成る層列が載せられ、ま
た続いて絶縁される。下側導体部分７ａおよび結合要素
６から成るこの構造の上に次いで軸線Ａに対してほぼ垂
直に延びている上側導体部分７ｂが構成され、上側導体
部分７ｂはその際に相応の下側導体部分７ａとコイル巻
線７の縁範囲内で接触させられる。この接触を容易にす
るため、下側導体部分７ａの相応の接触範囲が比較的大
きい面積の接触帯、いわゆる“接触パッド”として構成
されることは有利である。図１にはこれらの接触範囲の
うち、図示を簡単にするため、ただ１つが詳細に示され
ており、また参照符号９を付されている。センサ装置２
の縁に位置するコイル巻線７の外側の端７ｃが同じくこ
のような大きい面積の接触範囲として構成されることは
目的にかなっている。すべての直列配置の相応の接触範
囲で後に対応付けられている評価電子回路の電気的接続
導体も終端している。これらの接続導体のうち図面には
磁界センサの接触範囲７ｃと接続されている導体のみが
参照符号１０を付して示されている。さらに直列配置の
個々の磁界センサは互いに相応の導体帯を介して一括接
続されている。図面には隣接する磁界センサ３および
３′の接続個所７ｄおよび７ｃ′の間のこれらの接続導
体帯１１のみが示されている。直列配置のすべての導体
帯１１は有利に上側導体部分７ｂと一緒に同一の作業工
程で作成され得る。

【００１３】図２には図１の磁界センサ３の層状の結合
要素６の原理的な構成が斜視図で概要を示されている。
結合要素はその際に少なくとも２つの上下に配置された
ストリップ状の要素部分１３および１４から成る層シス
テムにより形成される。要素部分１３および１４から成
る層システムの具体的な構成の可能性は“相い異なる保
磁力の部分を有するスイッチング装置の磁界センサ”と
いう名称の１９９０年４月２４日付けの未公開のドイツ
連邦共和国特許出願第P4013016.9号明細書に示されてい
る。すなわちこの層システムの、以下で磁石層１３およ
び１４と呼ばれる両要素部分は、軸線Ａの方向に位置す
る磁化容易方向および（この磁化容易方向にみて）種々
の保磁力ＨC₁またはＨC₂を有するそれぞれ１つの際立っ
た一軸の磁気的異方性を有する相い異なる強磁性材料か
ら成っているべきである。この際に磁石層１３の保磁力
ＨC₁は磁石層１４の保磁力ＨC₂よりもはるかに小さく、
好ましくは少なくとも比５だけ小さくなければならな
い。一般に磁石層１３に対しては、１０Ａ／ｃｍ以下、
好ましくは１Ａ／ｃｍ以下の保磁力ＨC₁を有する軟磁性
の材料が適している。このような材料の例は重量比で４
９％のＣｏおよび重量比で２％のＶを有するＣｏＶＦｅ
合金または重量比で約８０％のＮｉを有するＮｉＦｅ合
金である。それに対して磁石層１４に対しては磁気的に
より硬い材料、特に５０Ａ／ｃｍ以上、好ましくは１０
０Ａ／ｃｍ以上の保磁力ＨC₂を有する材料を選択しなけ
ればならない。相応の材料はたとえばＣｏＰｔ、ＣｏＮ
ｉまたはＮｉＣｏＦｅ合金である。

【００１４】これらの磁石層１３および１４は薄膜技術
の公知の方法に従って、たとえば蒸着、スパッタリング
または電解析出によりそれぞれ１μｍと１０μｍとの間
の厚みＤ₁またはＤ₂で製造される。所望の一軸の異方性
は有利に公知の仕方で形状異方性および（または）拡散
異方性および（または）応力異方性により設定され得
る。たとえばスパッタリング法を用いると、スパッタリ
ングの間の加熱およびそれに続く冷却の際に磁石層およ
びその下に位置する基板の相い異なる熱膨脹に基づいて
生ずる大きい機械的応力が有利に利用され得る。また、
層の中の応力はスパッタリングパラメータによても直接
影響され得る。さらに層のなかで引張応力が材料の正の
飽和磁気歪に基づいて、または圧縮応力が負の飽和磁気
歪に基づいて軸線Ａの方向の応力異方性に通じ得る。従
って、飽和磁気歪λ_Sが零に等しくない材料、特に｜λ_S
｜＞１０^-6の材料を選択することは有利である。

【００１５】さらに図２に示されているように、高保磁
力の磁石層１４の磁化Ｍ₂は軸線Ａの方向に位置してい
る。この層は、この場合に、軟磁性の磁石層１３の範囲
内でその図面中に示されている磁化Ｍ₁に対して平行に
位置している漏れ磁界を発生する。磁化Ｍ₁およびＭ₂の
方向は図面中に矢印により示されている。

【００１６】図３には結合要素６に対して付属のヒステ
リシス曲線がダイアグラムとして示されている。その際
に横軸には結合要素に作用する外部磁界の磁界の強さＨ
が、また縦軸には磁石層１３のなかで観測すべき磁化Ｍ
₁が記入されている。この磁石層の磁化切換のために公
知の仕方（たとえば前記の刊行物“シーメンス研究開発
報告”参照）で逆磁界Ｈ（外部のスイッチング磁界）が
磁化Ｍ₂に対して平行に与えられ、それによって特定の
しきい値磁界Ｈ_Sの到達の際に磁石層１３を通って磁化
切換フロントが走り、この磁化切換フロントがそれを包
囲するコイル巻線のなかに相応の電圧を誘導し、また磁
化Ｍ₁を反転する。続いて磁石層１３が公知の仕方でリ
セット磁界により図２中に示されている初期状態に再び
戻される。

【００１７】このような外部のリセット磁界は、硬磁性
の磁石層１４に対して、残留磁気Ｍ_r2が十分に大きい材
料が選定されるならば、省略され得る。すなわち図３の
ダイアグラムの基礎となっている磁化比にくらべての残
留磁気Ｍ_r2の増大は正の横軸方向のヒステリシス曲線の
ずれに現れ、また相応のダイアグラムとして図４に示さ
れている。このことは、たとえば図５の断面図に示され
ている回転数発信器１６に対して、本発明によるセンサ
装置２のなかでパルス電圧Ｕを発生するために、極性Ｎ
（北極）の（棒）磁石１７のみが必要であることを意味
する。しかしながらスイッチング磁界Ｈ_Sは図３のダイ
アグラムの比にくらべて相応に高められていなければな
らない。

【００１８】図５に示されている回転数発信器１６では
公知の実施例から出発される（たとえば前記の刊行物
“シーメンス研究開発報告”参照）。この回転数発信器
は発信器車とも呼ばれる円形の断面を有する非磁性のホ
ルダー１８を含んでおり、このホルダーはたとえば電動
機の回転軸に取り付けられており、また（棒）磁石１７
を収容する役割をする。この磁石はその際にホルダーの
周縁方向にみて規則的に分配されて外縁の範囲内に配置
されており、動作中に本発明による固定位置のセンサ装
置２の側を通される。それらはそこで磁界センサ３、
３′の磁石層１３のなかに磁化切換を生じさせ、従って
また対応付けられているコイル巻線７のなかにパルス電
圧Ｕを生じさせる。

【００１９】等しい極性の磁石１７から成る回転数発信
器１６のこのような構成は高い角度分解能を保証する。
別の利点は、組立後に１回の作業工程で１つの方向に磁
化され得る円周上に配置された磁石１７の簡単な製造か
ら生ずる。それによってこの場合には、公知の回転数発
信器では必要である多くの交互の磁石の誤った配置の危
険が排除されている。

【００２０】回転数発信器１６の製造の際に本質的な簡
単化は、等極の磁石１７が硬磁性の層としてスパッタリ
ング、プラズマ噴射または電解析出により合成樹脂また
はセラミック箔の上に取り付けられ、高い寸法精度でマ
イクロ構造技術の公知の方法によりエッチングされ、ま
た最後にシリンダ外被の上に固定されることにより達成
される。このための硬磁性の材料としては特にＣｏＰ
ｔ、ＣｏＮｉ、ＣｏＦｅＮｉ、ＦｅＳｍＴｉ、ＣｏＳｍ
またはＮｄＦｅＢから成る層が考えられる。

【００２１】公知の回転数発信器にくらべての角度分解
能の増大は、センサ装置のなかに本発明により多数の磁
界センサを使用することにより保証されている。相応の
実施例として図６には、図５に示されているセンサ装置
２を有する回転数発信器の一部分が拡大して示されてい
る。この図には等しい極性Ｎのただ２つの磁石１７がホ
ルダー１８の外縁に示されている。センサ装置２は、図
４によるヒステリシス曲線を有する、また導体帯１１を
介して直列に接続されている６つの磁界センサ３ａない
し３ｆを含んでいる。こうしてこのセンサ装置で発生す
べきパルス電圧Ｕは両外部磁界センサ３ａおよび３ｆに
おける接続導体１０ａおよび１０ｂから取り出される。
しかし、場合によっては、より多くの磁界センサを有す
る本発明によるセンサ装置を、各センサで発生されるパ
ルス電圧が個々に取り出され、また公知の加算回路のな
かで加算されるように構成することも可能である。

【００２２】回転数発信器１６により発生すべきパルス
電圧Ｕのパルス列は図７のダイアグラムに時間ｔに関係
して示されている。このダイアグラムは特に本発明によ
るセンサ装置の実施例における和電圧の比較的大きい分
解能を示している。

【００２３】図５ないし図７の基礎となっている実施例
から離れて、本発明によるセンサ装置に対して図３のダ
イアグラムに相応するヒステリシス曲線を有する磁界セ
ンサを使用することも可能である。しかし、この場合に
は、和電圧の分解能は周期長さの倍増により比２だけ小
さい。なぜならば、ここでは常に相い異なる極性の（ス
イッチング）磁石の対が必要であるからである。

【００２４】本発明によるセンサ装置は、それにより回
転数発信器の回転方向を認識するように構成されていて
もよい。その実施例が図８に示されており、その際に図
６に相応する図示が選ばれている。回転数発信器２１の
参照符号２０を付されているセンサ装置は再び６つの磁
界センサ３ａないし３ｆを含んでいるが、これらの磁界
センサは２つの歯状に互いに入り込んだ群に一括接続さ
れている。第１の群はその際に３つの相い前後して接続
されている磁界センサ３ａ、３ｃおよび３ｅにより形成
され、またパルス電圧Ｕ₁を発生し、他方において磁界
センサ３ｂ、３ｄおよび３ｆにより形成される第２の群
からはパルス電圧Ｕ₂が取り出される。回転するホルダ
ー１８の回転方向はその際に２つの矢印＋ｖまたは−ｖ
により示されている。

【００２５】そのつどの回転方向に関係して発生される
パルス電圧Ｕ₁およびＵ₂は図９および図１０のダイアグ
ラムに示されている。これらのダイアグラムにはパルス
電圧Ｕ₁はそれぞれ実線により、またパルス電圧Ｕ₂は破
線により示されている。図９のダイアグラムは正の回転
方向＋ｖの際に生じ、他方において図１０のダイアグラ
ムに示されている電圧関係は負の回転方向−ｖに対して
得られる。両ダイアグラムからわかるように、回転方向
に関係してパルスＵ₁およびＵ₂の間の時間的順序が反転
しており、こうして回転方向の決定を可能にする。

【００２６】図９および図１０のダイアグラムに示され
ているパルスＵ₁およびＵ₂の関係に基づいて、図８によ
り構成されたセンサ装置２０は特に有利に直線変位セン
サに対しても使用され得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁界感応装置の一部分。

【図２】この装置の磁界センサの層状の結合要素の原理
的構成。

【図３】相応の結合要素のヒステリシス曲線。

【図４】相応の結合要素のヒステリシス曲線。

【図５】本発明による磁界感応装置を有する回転数発信
器の原理的構成。

【図６】この回転数発信器の一部分。

【図７】このような回転数発信器により発生すべきパル
ス電圧。

【図８】別の回転数発信器の一部分。

【図９】この回転数発信器により発生すべきパルス電
圧。

【図１０】この回転数発信器により発生すべきパルス電
圧。

【符合の説明】

２センサ装置３、３′、３ａ〜３ｆ磁界センサ４基板６結合要素７ａ下側導体部分７ｂ上側導体部分７ｃコイル端７ｃ′、７ｄ結合個所９接触範囲１０〜１０ｂ接続導体１１導体帯１３、１４磁石層１６回転数発信器１７磁石１８ホルダー２０センサ装置２１回転数発信器ａ間隔Ａ軸線Ｌ長さＢ幅Ｗコイル幅ｂ導体幅ｓ巻線ピッチＨ_C1、Ｈ_C2 保磁力Ｄ₁、Ｄ₂ 層厚みＭ₁、Ｍ₂ 磁化Ｈ磁界の強さＨS しきい値磁界の強さＮ極性（北極）Ｕ、Ｕ₁、Ｕ₂ パルス電圧ｔ時間

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】それぞれコイル巻線により囲まれており
軸線方向に延びている２つの強磁性の要素部分から成る
結合要素を含んでいる複数の磁界センサを有する磁界感
応装置であって、前記要素部分がそれぞれ軸線方向に位
置する磁化容易方向を有する一軸の磁気的異方性を有
し、また、外部のスイッチング磁界により小さいほうの
保磁力を有する要素部分のなかにのみ自発性の磁化切換
を生じさせ、それにより、相応の電圧パルスを対応付け
られているコイル巻線のなかに発生させるように、前記
磁化容易方向に相い異なる保磁力を有する材料から成っ
ている磁界感応装置において、磁界センサ（３、３′、
３ａないし３ｆ）が少なくとも１つの直列配置（アレ
イ）にまとめられており、その際に直列配置に属する磁
界センサのコイル巻線（７）とストリップ形状を有する
強磁性の要素部分（１３、１４）とが薄膜構造として非
磁性材料から成る基板（４）の上に構成されていること
を特徴とする磁界感応装置。
【請求項２】直列配置の各磁界センサ（３、３′、３
ａないし３ｆ）のなかで第１の要素部分の軟磁性の磁石
層（１３）が、第２の要素部分の高保磁力の磁石層（１
４）の保磁力（Ｈ_C2）よりも少なくとも比５だけ小さい
保磁力（Ｈ_C1）を有することを特徴とする請求項１記載
の磁界感応装置。
【請求項３】軟磁性の磁石層（１３）が１０Ａ／ｃｍ
以下、好ましくは１Ａ／ｃｍ以下の保磁力（Ｈ_C1）を有
する材料から成っていることを特徴とする請求項２記載
の磁界感応装置。
【請求項４】高保磁力の磁石層（１４）が５０Ａ／ｃ
ｍ以上、好ましくは１００Ａ／ｃｍ以上の保磁力
（Ｈ_C2）を有する材料から成っていることを特徴とする
請求項２または３記載の磁界感応装置。
【請求項５】高保磁力の磁石層（１４）の材料の保磁
力（Ｈ_C2）が、外部のスイッチング磁界（Ｈ_S）により
それぞれ対応付けられている軟磁性の磁石層（１３）の
なかに生ぜしめられる磁化切換がスイッチング磁界（Ｈ
_S）の不存在の際に取り消されているように大きいこと
を特徴とする請求項４記載の磁界感応装置。
【請求項６】磁界センサ（３、３′、３ａないし３
ｆ）の磁石層（１３、１４）のなかで一軸の磁気的異方
性が形状異方性により、かつ（または）拡散異方性によ
り、かつ（または）応力異方性により設定されているこ
とを特徴とする請求項２ないし５の１つに記載の磁界感
応装置。
【請求項７】磁界センサ（３、３′、３ａないし３
ｆ）の結合要素（６）の材料が｜λ_S｜＞１０^-6の飽和
磁気歪λ_Sを示すことを特徴とする請求項１ないし６の
１つに記載の磁界感応装置。
【請求項８】直列配置の磁界センサ（３ａないし３
ｆ）が多数の群（３ａ、３ｃ、３ｅまたは３ｂ、３ｄ、
３ｆ）に一括接続されていることを特徴とする請求項１
ないし７の１つに記載の磁界感応装置。
【請求項９】回転数発信器（１６、２１）または直線
変位発信器において電圧パルスを発生するために使用さ
れることを特徴とする請求項１ないし８の１つに記載の
磁界感応装置。