JPH05296933A - Icp emission spectrophotometer - Google Patents

Icp emission spectrophotometer

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JPH05296933A
JPH05296933A JP10298092A JP10298092A JPH05296933A JP H05296933 A JPH05296933 A JP H05296933A JP 10298092 A JP10298092 A JP 10298092A JP 10298092 A JP10298092 A JP 10298092A JP H05296933 A JPH05296933 A JP H05296933A
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JP
Japan
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ultrasonic
sample
nebulizer
plasma torch
icp emission
Prior art date
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Pending
Application number
JP10298092A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hitoshi Hiromichi
仁 広道
Kensuke Daiho
健介 大穂
Koji Okada
幸治 岡田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To increase the sample aerosol generating amount of the title analyzer so as to improve the detection sensitivity of its plasma torch without sharply increasing the manufacturing cost of the analyzer. CONSTITUTION:In the analyzer provided with an ultrasonic nebulizer 1, a plurality of ultrasonic vibrators 7 to which a liquid sample S is respective supplied and confluence section 5 through which the sample aerosols generated from the vibrators 7 join together and flow to a single plasma torch 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ICP(高周波誘導結
合プラズマ)発光分光分析装置に係り、詳しくは、超音
波ネブライザと、この超音波ネブライザから試料エアロ
ゾルが導入されるプラスズマトーチとを有するICP発
光分光分析装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ICP (high frequency inductively coupled plasma) emission spectroscopic analyzer, and more specifically, it has an ultrasonic nebulizer and a plasma torch into which a sample aerosol is introduced from the ultrasonic nebulizer. The present invention relates to an ICP emission spectroscopy analyzer.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICP発光分光分析装置には、超音波ネ
ブライザにより液体試料をエアロゾル化して、プラズマ
トーチに導入するようにしたものがある。
2. Description of the Related Art Some ICP emission spectroscopic analyzers are those in which a liquid sample is aerosolized by an ultrasonic nebulizer and introduced into a plasma torch.

【0003】図3に、従来のこの種のICP発光分光分
析装置の要部の構成を示す。同図を参照して、21は超
音波ネブライザであり、22はプラズマトーチである。
FIG. 3 shows the structure of the main part of a conventional ICP emission spectroscopic analyzer of this type. Referring to the figure, 21 is an ultrasonic nebulizer and 22 is a plasma torch.

【0004】超音波ネブライザ21は、超音波振動によ
り液体試料を霧化するネブライザ本体23と、脱溶媒部
24とからなる。
The ultrasonic nebulizer 21 comprises a nebulizer body 23 for atomizing a liquid sample by ultrasonic vibration, and a desolvation section 24.

【0005】ネブライザ本体23は、霧化室25内に超
音波振動子26を設けたもので、霧化室25にはキャリ
アガス送入管27を通じてキャリアガスが送入されると
ともに、超音波振動子26の表面には、試料容器28か
らポンプ29の駆動により供給管30を通じて液体試料
Sが送り込まれ、液体試料Sは超音波振動子26の振動
により霧化し、その試料エアロゾルはキャリアガスとと
もに脱溶媒部24へ送出される。
The nebulizer body 23 is provided with an ultrasonic vibrator 26 in the atomizing chamber 25. The carrier gas is introduced into the atomizing chamber 25 through a carrier gas inlet pipe 27 and ultrasonic vibration is generated. On the surface of the child 26, the liquid sample S is sent from the sample container 28 through the supply pipe 30 by the drive of the pump 29, the liquid sample S is atomized by the vibration of the ultrasonic transducer 26, and the sample aerosol is released together with the carrier gas. It is delivered to the solvent section 24.

【0006】脱溶媒部24は、前段の加熱段24aと、
後段の冷却段24bとからなり、加熱段24aでは、ネ
ブライザ本体23からの試料エアロゾルが加熱乾燥され
て細粒子化され、冷却段24bでは、冷却により気化溶
媒が結露して試料エアロゾルから取り除かれる。
The desolvation section 24 includes a heating stage 24a at the front stage,
In the heating stage 24a, the sample aerosol from the nebulizer body 23 is heated and dried to be fine particles, and in the cooling stage 24b, the vaporized solvent is condensed and removed from the sample aerosol by cooling.

【0007】このようにして脱溶媒部24を通過した試
料エアロゾルは、プラズマトーチ22に搬送される。
The sample aerosol thus passing through the desolvation section 24 is conveyed to the plasma torch 22.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、超音波ネブ
ライザは、霧吹き方式のネブライザと比べた場合には、
粒径の細かい試料エアロゾルを得ることができ、また、
キャリアガスの供給量には関係なく試料エアロゾルの量
を調整できる等の利点があるものの、従来のものでは、
発生可能な試料エアロゾルの量に限度があり、そのた
め、さらに試料エアロゾルの発生量を増やして検出感度
を高めたいという要請に十分に応えることができない。
By the way, the ultrasonic nebulizer, when compared with the nebulizer of the mist blowing type,
A sample aerosol with a small particle size can be obtained, and
Although there is an advantage that the amount of sample aerosol can be adjusted regardless of the supply amount of carrier gas, the conventional one has
Since there is a limit to the amount of sample aerosol that can be generated, it is not possible to sufficiently meet the demand for increasing the amount of sample aerosol generated and increasing the detection sensitivity.

【0009】これに対しては、超音波ネブライザに大出
力の超音波振動子を使用して試料エアロゾルの発生量を
増やすことが考えられるのであるが、そのような超音波
振動子では非常にコストがかさむことになって、実際の
製品としての装置には採用しがたい。
On the other hand, it is conceivable to use a high-power ultrasonic vibrator for the ultrasonic nebulizer to increase the amount of sample aerosol generated, but such an ultrasonic vibrator is very costly. However, it is difficult to use for a device as an actual product.

【0010】したがって、本発明においては、コストの
大幅な上昇を招来することなく、超音波ネブライザでの
試料エアロゾルの発生量を増やし、プラスズマトーチで
の検出感度を高めることができるようにすることを課題
としている。
Therefore, in the present invention, it is possible to increase the amount of the sample aerosol generated by the ultrasonic nebulizer and increase the detection sensitivity of the plasma torch without significantly increasing the cost. Is an issue.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
達成するために、超音波ネブライザと、この超音波ネブ
ライザから試料エアロゾルが導入されるプラスズマトー
チとを有するICP発光分光分析装置において、前記超
音波ネブライザが、液体試料がそれぞれに供給される複
数の超音波振動子と、各超音波振動子で生成される試料
エアロゾルを合流して前記プラズマトーチに導入する合
流部とを備えたことを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention provides an ICP emission spectroscopic analyzer having an ultrasonic nebulizer and a plasma torch into which a sample aerosol is introduced from the ultrasonic nebulizer. The ultrasonic nebulizer includes a plurality of ultrasonic vibrators to which a liquid sample is supplied, and a confluence unit for converging sample aerosols generated by the ultrasonic vibrators and introducing the sample aerosols into the plasma torch. It is characterized by

【0012】[0012]

【作用】上記の構成によれば、複数の超音波振動子の表
面で発生した試料エアロゾルが合流部で合流されてプラ
スズマトーチに導入されるから、各超音波振動子が小出
力のものであっても、全体としては多量の試料エアロゾ
ルが得られるとともに、これがプラズマトーチに導入さ
れることから、高感度の検出が可能になる。
According to the above construction, since the sample aerosols generated on the surfaces of the plurality of ultrasonic transducers are merged at the merging portion and introduced into the plasma torch, each ultrasonic transducer has a small output. Even if there is, a large amount of sample aerosol is obtained as a whole, and since this is introduced into the plasma torch, highly sensitive detection is possible.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の詳細を図示の各実施例に基づ
いて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described below based on the illustrated embodiments.

【0014】実施例1 図1は本発明の実施例1に係るICP発光分光分析装置
の要部の構成を示す構成図である。
Example 1 FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the main part of an ICP emission spectroscopic analyzer according to Example 1 of the present invention.

【0015】図1を参照して説明するように、実施例1
のICP発光分光分析装置は、基本的には、超音波ネブ
ライザ1と、プラズマトーチ2とを備えており、かつ、
超音波ネブライザ1が、ネブライザ本体と、脱溶媒部4
とからなる点は、前記した従来例と同様であり、また、
脱溶媒部4が、ネブライザ本体からの試料エアロゾルを
加熱する前段の加熱段4aと、加熱された試料エアロゾ
ルを冷却する後段の冷却段4bとからなることについて
も、従来例と同様である。
As described with reference to FIG. 1, the first embodiment
Basically, the ICP emission spectroscopic analyzer of No. 1 is equipped with an ultrasonic nebulizer 1 and a plasma torch 2, and
The ultrasonic nebulizer 1 includes a nebulizer body and a desolvation unit 4
The point consisting of and is the same as the conventional example described above,
It is similar to the conventional example that the desolvation unit 4 is composed of a heating stage 4a in the front stage for heating the sample aerosol from the nebulizer body and a cooling stage 4b in the rear stage for cooling the heated sample aerosol.

【0016】そして、実施例1に係るICP発光分光分
析装置が従来のものと異なって特徴としている構造は、
超音波ネブライザ1においては、複数(図示例では3
個)のネブライザ本体3A,3B,3Cが並列的に設け
られているとともに、各ネブライザ本体3A,3B,3
Cで発生した試料エアロゾルが合流部5で合流されたう
えで、単一の脱溶媒部4に流入されてプラスズマトーチ
2に導入されるようになっていることにある。
The structure of the ICP emission spectroscopic analyzer according to the first embodiment, which is different from the conventional one, is
In the ultrasonic nebulizer 1, a plurality (3 in the illustrated example
Individual) nebulizer bodies 3A, 3B, 3C are provided in parallel, and each nebulizer body 3A, 3B, 3
This is because the sample aerosol generated in C is merged in the merging section 5, and then is introduced into the single desolvation section 4 and introduced into the plasma torch 2.

【0017】各ネブライザ本体3A,3B,3Cについ
て見ると、いずれも従来のネブライザ本体23と同様
に、霧化室6内に超音波振動子7を設けたもので、各霧
化室6にはそれぞれキャリアガス送入管8と、液体試料
Sの供給管9とが連通接続されており、各霧化室6に
は、対応するキャリアガス送入管8を通じてキャリアガ
スが送入されるとともに、各超音波振動子7の表面に
は、対応する供給管9を通じて試料容器10からの液体
試料Sがポンプ11の駆動により送り込まれるようにな
っている。
Looking at each of the nebulizer bodies 3A, 3B and 3C, as in the conventional nebulizer body 23, all of them are provided with an ultrasonic transducer 7 in the atomizing chamber 6, and each atomizing chamber 6 has a corresponding one. A carrier gas inlet pipe 8 and a liquid sample S supply pipe 9 are connected in communication with each other, and the carrier gas is fed into each atomization chamber 6 through the corresponding carrier gas inlet pipe 8. The liquid sample S from the sample container 10 is fed to the surface of each ultrasonic transducer 7 through the corresponding supply pipe 9 by driving the pump 11.

【0018】各キャリアガス送入管8にはそれぞれ流量
調整バルブ12が設けられ、このバルブ12により、各
霧化室6へのキャリアガス供給量が各別に制御される。
Each carrier gas inlet pipe 8 is provided with a flow rate adjusting valve 12, and the valve 12 controls the amount of carrier gas supplied to each atomizing chamber 6 individually.

【0019】上記の構成において、各ネブライザ本体3
A,3B,3Cでは、液体試料Sが超音波振動子7の表
面に供給されることで、その液体試料Sは超音波振動子
7の超音波振動によりエアロゾル化される。
In the above structure, each nebulizer body 3
In A, 3B, and 3C, the liquid sample S is supplied to the surface of the ultrasonic oscillator 7, so that the liquid sample S is aerosolized by the ultrasonic vibration of the ultrasonic oscillator 7.

【0020】各ネブライザ本体3A,3B,3Cで発生
した試料エアロゾルは、それぞれ霧化室6の出口から流
出させられるが、合流部5で合流されて脱溶媒部4に流
入されるとともに、この脱溶媒部4を経てプラズマトー
チ2に搬送される。このようにして各超音波振動子7で
生成された試料エアロゾルが合流部5で合流されるの
で、各超音波振動子7が小出力のものであっても、全体
としては多量の試料エアロゾルが得られ、これが単一の
プラズマトーチ2に導入されることになるから、プラス
ズマトーチ2での高感度の検出が可能になる。
The sample aerosols generated in the nebulizer main bodies 3A, 3B and 3C are respectively discharged from the outlet of the atomization chamber 6, but are combined at the confluence section 5 and flow into the desolvation section 4 and the desolvation section 4 It is conveyed to the plasma torch 2 via the solvent section 4. In this way, since the sample aerosols generated by the ultrasonic transducers 7 are merged at the merging portion 5, even if each ultrasonic transducer 7 has a small output, a large amount of sample aerosol is generated as a whole. Since it is obtained and introduced into a single plasma torch 2, high-sensitivity detection with the plasma torch 2 is possible.

【0021】実施例2 図2は、本発明の実施例2に係るネブライザ本体の断面
図である。実施例1にあっては、図1を参照するように
一つの霧化室6内に1個の超音波振動子7を設けたネブ
ライザ本体3A(もしくは3B,3C)が示されている
が、この実施例2においては図2を参照するように、一
つの霧化室6内に2個の超音波振動子7,7を有するネ
ブライザ本体3Dを構成してもよい。このネブライザ本
体3Dでは、各超音波振動子7で発生した試料エアロゾ
ルは、霧化室6内で混合され、出口6aから脱溶媒部に
流入されることになる。したがって、この実施例2で
は、霧化室6が試料エアロゾルの合流部としても作用す
ることになる。霧化室6には、単一のキャリアガス送入
管8と、2本の液体試料の供給管9,9とが連通接続さ
れる。13は、冷却ブロックである。
Embodiment 2 FIG. 2 is a sectional view of a nebulizer body according to Embodiment 2 of the present invention. In Example 1, a nebulizer body 3A (or 3B, 3C) provided with one ultrasonic transducer 7 in one atomization chamber 6 is shown as shown in FIG. In the second embodiment, as shown in FIG. 2, a nebulizer body 3D having two ultrasonic transducers 7, 7 in one atomizing chamber 6 may be configured. In the nebulizer main body 3D, the sample aerosols generated by the ultrasonic transducers 7 are mixed in the atomization chamber 6 and flow into the desolvation section through the outlet 6a. Therefore, in the second embodiment, the atomization chamber 6 also functions as a confluence portion for the sample aerosol. A single carrier gas inlet pipe 8 and two liquid sample supply pipes 9, 9 are connected to the atomization chamber 6 for communication. 13 is a cooling block.

【0022】なお、実施例1においては図1を参照する
ように、単一の試料容器10から同一の液体試料Sを各
ネブライザ本体3A,3B,3Cに供給するようにして
あったが、別個の試料容器から異なる液体試料Sをそれ
ぞれのネブライザ本体3A,3B,3Cに供給するよう
にしてもよく、その場合は、標準添加法による分析を容
易に行える。
In the first embodiment, as shown in FIG. 1, the same liquid sample S is supplied from the single sample container 10 to each of the nebulizer bodies 3A, 3B and 3C. Different liquid samples S may be supplied to the respective nebulizer main bodies 3A, 3B, 3C from the sample container of No. 3, in which case the analysis by the standard addition method can be easily performed.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、複
数の超音波振動子で発生する試料エアロゾルを合流する
ことで、多量の試料エアロゾルをプラズマトーチに導入
することができ、この多量の試料エアロゾルを供給する
ことにより、プラスズマトーチでの検出感度を高めるこ
とができる。
As described above, according to the present invention, a large amount of sample aerosol can be introduced into the plasma torch by joining the sample aerosols generated by a plurality of ultrasonic vibrators. The detection sensitivity of the plasma torch can be increased by supplying the sample aerosol of.

【0024】しかも、超音波振動子としては、特に大出
力のものを使用する必要がないから、従来と同様、小出
力のものでもよいことになって、結果、コストの大幅な
上昇を招来することがなくなる。
Moreover, since it is not necessary to use a high-power ultrasonic transducer, a low-power ultrasonic transducer may be used as in the conventional case, resulting in a significant increase in cost. Will disappear.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例1に係るICP発光分光分析装
置の要部の構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a main part of an ICP emission spectroscopy analyzer according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例2に係るネブライザ本体の断面
図である。
FIG. 2 is a sectional view of a nebulizer main body according to a second embodiment of the present invention.

【図3】従来例に係るICP発光分光分析装置の要部の
構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of a main part of an ICP emission spectral analyzer according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 超音波ネブライザ 2 プラズマトーチ 3A,3B,3C ネブライザ本体 4 脱溶媒部 5 合流部 6 霧化室 7 超音波振動子 1 Ultrasonic nebulizer 2 Plasma torch 3A, 3B, 3C Nebulizer body 4 Desolvation part 5 Confluence part 6 Atomization chamber 7 Ultrasonic transducer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 超音波ネブライザと、この超音波ネブラ
イザから試料エアロゾルが導入されるプラスズマトーチ
とを有するICP発光分光分析装置において、 前記超音波ネブライザが、液体試料がそれぞれに供給さ
れる複数の超音波振動子と、各超音波振動子で生成され
る試料エアロゾルを合流して前記プラズマトーチに導入
する合流部とを備えていることを特徴とするICP発光
分光分析装置。
1. An ICP emission spectroscopic analyzer having an ultrasonic nebulizer and a plasma torch into which a sample aerosol is introduced from the ultrasonic nebulizer, wherein the ultrasonic nebulizer is provided with a plurality of liquid samples supplied to each of them. An ICP emission spectroscopic analyzer comprising: an ultrasonic oscillator; and a merging unit that merges sample aerosols generated by the ultrasonic oscillators and introduces the sample aerosol into the plasma torch.
JP10298092A 1992-04-22 1992-04-22 Icp emission spectrophotometer Pending JPH05296933A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6048552B1 (en) * 2015-08-21 2016-12-21 株式会社 イアス Analysis system for analysis samples transferred online
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