JPH10197448A - Icp emission spectrometric analyzer - Google Patents

Icp emission spectrometric analyzer

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JPH10197448A
JPH10197448A JP377997A JP377997A JPH10197448A JP H10197448 A JPH10197448 A JP H10197448A JP 377997 A JP377997 A JP 377997A JP 377997 A JP377997 A JP 377997A JP H10197448 A JPH10197448 A JP H10197448A
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JP
Japan
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sample
nebulizer
plasma
ultrasonic
section
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP377997A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuichi Okuzaki
友一 奥▲崎▼
Tomomi Komatsu
智美 小松
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH10197448A publication Critical patent/JPH10197448A/en
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  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the introducing efficiency of a sample solution and to improve the sensitivity of quantitative analysis. SOLUTION: The main part 5a of an ultrasonic nebulizer is constituted of a peristaltic pump 11 which sucks up a sample solution 10, an atomizing section 13 which atomizes the sample solution sucked up by the pump 11, a heating section 14 which removes a solvent from the atomized sample 10 by heating the sample 10, and a cooling section 15 which cools the solvent-removed sample 10 and introduces the cooled sample to a nebulizer chamber 2. A nebulizer holder 3 fixes the nebulizer in a ultrasonic nebulizer leading-in section 5b and, in the atomization section 13, an ultrasonic vibrator 12 which generates ultrasonic vibrations is provided for accelerating the atomization. A plasma torch 4, on the other hand, is constituted of a cooling gas leading-on pipe 16, an auxiliary gas leading-in pipe 17, and a high-frequency induction coil 18.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、試料溶液中の元素
を定量分析するICP(Inductively Coupled Plasma:
誘導結合高周波プラズマ)発光分光分析装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ICP (Inductively Coupled Plasma) for quantitatively analyzing elements in a sample solution.
The present invention relates to an inductively coupled high frequency plasma) emission spectrometer.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、水質調査において水溶液中の元素
の定量分析を行う場合には、ICP発光分光分析装置が
用いられている。このICP発光分光分析装置は、多元
素を同時に測定可能であることから、測定の迅速という
面において優れた装置である。また、感度的にもほとん
どの元素について高感度である。
2. Description of the Related Art Conventionally, an ICP emission spectrometer has been used for quantitative analysis of elements in an aqueous solution in a water quality survey. This ICP emission spectrometer is excellent in terms of rapid measurement because it can measure multiple elements simultaneously. In addition, the sensitivity is high for most elements.

【0003】図5は従来のICP発光分光分析装置に用
いられる試料導入装置の同軸ネブライザ付近の概略構成
を示す断面図であり、図6は、図5中のa付近を拡大し
た図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration near a coaxial nebulizer of a sample introduction device used in a conventional ICP emission spectrometer, and FIG. 6 is an enlarged view of the vicinity of a in FIG.

【0004】試料溶液10は、同軸ネブライザ1により
キャリアガスとともに噴霧室2内に噴霧される。噴霧室
2は、粒径の大きな粒子を分離してドレンとして捨て、
粒径の小さな粒子のみをからなる霧状の試料をプラズマ
トーチ4に導入する。プラズマトーチ4では、この霧状
の試料とは別に、冷却ガス、補助ガスが導入される。そ
して、図5には示してはいないが、プラズマトーチ上部
に取り付けた高周波誘導コイルによって放電させて、プ
ラズマを生成する。そして、キャリアガスとともにプラ
ズマ中に送られた霧状の試料は発光する。この試料の発
光強度を測定することで、元素の定量分析を行うことが
できる。
A sample solution 10 is sprayed into a spray chamber 2 together with a carrier gas by a coaxial nebulizer 1. The spray chamber 2 separates particles having a large particle diameter and discards them as drain,
A mist-like sample composed of only particles having a small particle diameter is introduced into the plasma torch 4. In the plasma torch 4, a cooling gas and an auxiliary gas are introduced separately from the atomized sample. Then, although not shown in FIG. 5, the plasma is generated by discharging by a high frequency induction coil attached to the upper part of the plasma torch. Then, the atomized sample sent into the plasma together with the carrier gas emits light. By measuring the luminescence intensity of this sample, the element can be quantitatively analyzed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記従来のICP発光
分光分析装置では、例えばNa,Kについての定量分析
においては、噴霧室に導入される霧の粒径が大きく、大
部分がドレンに回るため、試料の導入効率が低い。この
ため、定量下限値が高くなっている。具体的には、定量
下限値はNa,Kともに約0.1ppmと、他の元素に
比較して10倍〜数10倍も高く、分析条件がNa,K
においては適合していないことが分かる。
In the conventional ICP emission spectrometer described above, for example, in the quantitative analysis of Na and K, the particle size of the mist introduced into the spray chamber is large, and most of the mist flows to the drain. Low sample introduction efficiency. For this reason, the lower limit of quantification is higher. Specifically, the lower limit of quantification is about 0.1 ppm for both Na and K, which is 10 to several tens times higher than other elements.
It can be seen that is not suitable for.

【0006】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、試料溶液の導入
効率を上げ、高感度な定量分析を可能とするICP発光
分光分析装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide an ICP emission spectroscopic analyzer which increases the efficiency of introducing a sample solution and enables highly sensitive quantitative analysis. Is to do.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明のICP発光分光
分析装置は、プラズマ中で発光させた試料の発光スペク
トルを測定することにより試料溶液中の元素を定量分析
するICP発光分光分析装置において、超音波を発生さ
せて前記試料溶液を霧化する霧化部と、この霧化部によ
り霧化された試料を加熱して脱溶媒する加熱部と、この
加熱部により脱溶媒された試料を冷却して噴霧室に導入
する冷却部と、この噴霧室で噴霧された試料をプラズマ
中に導入して発光させるプラズマトーチとを具備したこ
とを特徴とする。
An ICP emission spectrometer according to the present invention is an ICP emission spectrometer which quantitatively analyzes elements in a sample solution by measuring an emission spectrum of a sample emitted in plasma. An atomizing unit that generates ultrasonic waves to atomize the sample solution, a heating unit that heats the sample atomized by the atomizing unit to remove the solvent, and cools the sample desolvated by the heating unit. And a plasma torch for introducing a sample sprayed in the spray chamber into plasma to emit light.

【0008】本発明の望ましい形態としては、本装置を
Na,Kの試料溶液の分析に適用し、この場合に霧化部
に導入するキャリアガス流量を1.2〜1.5l/mi
nに、プラズマを発生させる高周波誘導コイルの高周波
出力を0.8〜1.0kWに、また、噴霧室からプラズ
マ中に試料を導入するプラズマトーチの上端と分光器の
光軸との距離を16〜23mmに設定する。
As a desirable mode of the present invention, the present apparatus is applied to the analysis of a sample solution of Na and K, and in this case, the flow rate of the carrier gas introduced into the atomizing section is 1.2 to 1.5 l / mi.
n, the high-frequency output of a high-frequency induction coil for generating plasma to 0.8 to 1.0 kW, and the distance between the upper end of a plasma torch for introducing a sample into the plasma from the spray chamber and the optical axis of the spectrometer. Set to 2323 mm.

【0009】本発明のICP発光分光分析装置によれ
ば、以下に示す作用・効果を有する。霧化部において、
超音波発生手段により超音波を発生させ、試料溶液の霧
化を行う。霧化された試料溶液は、加熱部に送られ、加
熱されて脱溶媒される。この脱溶媒により単位重量当た
りの試料溶液の濃度が高くなる。そして、冷却部に送ら
れて温度を下げられ、噴霧室に送られる。噴霧室に送ら
れた試料溶液のうち、粒径の大きな粒子をドレンに回
し、残る粒径の小さな粒子をプラズマトーチに導入す
る。プラズマトーチでは、高周波誘導コイルの放電によ
りプラズマを発生させる。このプラズマ中に霧状の試料
を導入し、発光させる。この試料の発光スペクトルを分
光器で定量分析する。
The ICP emission spectrometer according to the present invention has the following functions and effects. In the atomization section,
Ultrasonic waves are generated by ultrasonic generating means to atomize the sample solution. The atomized sample solution is sent to the heating unit, where it is heated and desolvated. This solvent removal increases the concentration of the sample solution per unit weight. Then, it is sent to the cooling unit to lower the temperature, and is sent to the spray chamber. Of the sample solution sent to the spray chamber, particles having a large particle diameter are sent to a drain, and particles having a small particle diameter are introduced into a plasma torch. In a plasma torch, plasma is generated by discharging a high-frequency induction coil. A mist sample is introduced into the plasma to emit light. The emission spectrum of this sample is quantitatively analyzed by a spectrometer.

【0010】このように、噴霧室に導入される前に超音
波エネルギーにより試料溶液の霧化を行っているため、
霧の粒径が小さく、ドレンに回される試料の割合を低減
することができる。従って、試料溶液のプラズマ中への
導入効率を上げることが可能であるため、微量の試料で
あっても高精度の測定が可能となる。
[0010] As described above, since the sample solution is atomized by ultrasonic energy before being introduced into the spray chamber,
The particle size of the mist is small, and the ratio of the sample sent to the drain can be reduced. Therefore, since the efficiency of introducing the sample solution into the plasma can be increased, highly accurate measurement is possible even for a small amount of sample.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の一実施形態を説明する。図1は、本発明の一実施形態
に係るICP発光分光分析装置の全体構成を示す断面図
である。図1に示すように、本装置は大きく分けて、試
料溶液10を吸い上げて霧化等を行う超音波ネブライザ
5(図1中、超音波ネブライザ主要部5aから超音波ネ
ブライザ導入部5bまでを含めたものを示す)、超音波
ネブライザ5により噴霧された試料をキャリアガスとと
もにプラズマ中に導入する噴霧室2、噴霧室2から導入
された試料を生成されたプラズマ中で分解・励起させる
ことで発光させるプラズマトーチ4、分光器(不図示)
から構成される。図1中の試料導入方向に向かって6以
降の構成は、ICP発光分光分析装置本体の試料導入系
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating the overall configuration of an ICP emission spectrometer according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the present apparatus is roughly divided into an ultrasonic nebulizer 5 that sucks up a sample solution 10 and atomizes the sample solution 10 (in FIG. 1, including an ultrasonic nebulizer main part 5 a to an ultrasonic nebulizer introduction part 5 b). The spray chamber 2 introduces the sample sprayed by the ultrasonic nebulizer 5 into the plasma together with the carrier gas, and the sample introduced from the spray chamber 2 is decomposed and excited in the generated plasma to emit light. Plasma torch 4, spectroscope (not shown)
Consists of The configuration after 6 in the sample introduction direction in FIG. 1 is a sample introduction system of the main body of the ICP emission spectrometer.

【0012】また、超音波ネブライザ主要部5aは、試
料溶液10を吸い上げるペリスタルティックポンプ1
1、ポンプ11により吸い上げられた試料溶液をキャリ
アガス流入により霧化する霧化部13、霧化部13で霧
化された試料10を加熱し、脱溶媒する加熱部14、加
熱部14で脱溶媒された試料10を冷却し、噴霧室2に
導入する冷却部15から構成される。また、3は超音波
ネブライザ導入部5bにおいてネブライザ固定のための
ネブライザホルダである。
The main part 5a of the ultrasonic nebulizer is provided with a peristaltic pump 1 for sucking up a sample solution 10.
1. An atomizing section 13 for atomizing the sample solution sucked up by the pump 11 by inflow of a carrier gas, a heating section 14 for heating the atomized sample 10 in the atomizing section 13 and removing the solvent, and a heating section 14 for removing the solvent. The cooling unit 15 is configured to cool the sample 10 in which the solvent has been cooled and introduce the cooled sample 10 into the spray chamber 2. Reference numeral 3 denotes a nebulizer holder for fixing the nebulizer in the ultrasonic nebulizer introduction part 5b.

【0013】また、霧化部13には霧化促進のために超
音波振動子12が設置されており、この超音波振動子1
2は超音波を発生するようになっている。また、キャリ
アガス流入部及び試料溶液流入部が別個に設けられてい
るので、キャリアガス流量と霧の発生量が独立してお
り、霧の発生量にかかわらずにキャリアガス流量の最適
値を用いることができる。一方、プラズマトーチ4は、
冷却ガス導入管16、補助ガス導入管17、高周波誘導
コイル18から構成される。
The ultrasonic vibrator 12 is installed in the atomizing section 13 to promote atomization.
Numeral 2 generates ultrasonic waves. In addition, since the carrier gas inflow section and the sample solution inflow section are provided separately, the carrier gas flow rate and the amount of mist generated are independent, and the optimum value of the carrier gas flow rate is used regardless of the amount of mist generated. be able to. On the other hand, the plasma torch 4
It is composed of a cooling gas introduction pipe 16, an auxiliary gas introduction pipe 17, and a high frequency induction coil 18.

【0014】上記したICP発光分光分析装置におい
て、霧化部13,加熱部14及び噴霧室2においては、
プラズマ中に導入されない試料がドレンとして捨てられ
る。上記実施形態の動作を説明する。
In the ICP emission spectrometer described above, the atomizing unit 13, the heating unit 14, and the spray chamber 2
The sample not introduced into the plasma is discarded as drain. The operation of the above embodiment will be described.

【0015】ペリスタルティックポンプ11は、試料溶
液10を吸い上げて霧化部13に導入する。霧化部13
に設置された超音波振動子12は、超音波を発生する。
この超音波により、導入された試料溶液10は霧化さ
れ、また流入されるキャリアガスにより加熱部14へと
移動する。加熱部14は、霧化された試料を加熱により
脱溶媒して濃縮する。この脱溶媒により、試料に含まれ
る単位重量当たりの溶質の濃度が高くなり、ドレンとし
て捨てられる試料を減少させることができる。この脱溶
媒された試料は、冷却部15に導入される。冷却部15
は、試料を常温まで冷却し、導入管を通して噴霧室2に
送り込む。
The peristaltic pump 11 sucks up the sample solution 10 and introduces it into the atomization unit 13. Atomization unit 13
The ultrasonic vibrator 12 installed in the device generates ultrasonic waves.
The introduced sample solution 10 is atomized by the ultrasonic waves, and moves to the heating unit 14 by the flowing carrier gas. The heating unit 14 removes the solvent from the atomized sample by heating and concentrates the sample. This desolvation increases the concentration of solute per unit weight contained in the sample, and can reduce the amount of sample discarded as drain. The desolvated sample is introduced into the cooling unit 15. Cooling unit 15
Cools the sample to room temperature and sends it to the spray chamber 2 through the inlet tube.

【0016】導入された試料は二重構造の噴霧室2にて
粒径の大きい粒子が分離される。ここで、噴霧室2導入
時には、超音波振動子12により霧の粒径が小さくされ
ているので、ドレンに回す試料の割合が低減される。こ
のようにして得られた粒径の小さな粒子は、プラズマト
ーチ4を上方に上がっていき、プラズマトーチ4上部に
取り付けた高周波誘導コイル18付近に達する。一方、
高周波誘導コイル18は、キャリアガス等により放電
し、プラズマを生成する。ここで、導入された試料は、
生成されたプラズマ中で分解・励起され、発光する。そ
の発光強度を分光器等(不図示)で測定することで定量
分析が可能である。
In the introduced sample, particles having a large particle size are separated in the spray chamber 2 having a double structure. Here, when the spray chamber 2 is introduced, the particle size of the mist is reduced by the ultrasonic vibrator 12, so that the ratio of the sample to be drained is reduced. The thus obtained particles having a small particle diameter go up the plasma torch 4 and reach the vicinity of the high-frequency induction coil 18 mounted on the upper part of the plasma torch 4. on the other hand,
The high-frequency induction coil 18 is discharged by a carrier gas or the like and generates plasma. Here, the introduced sample is
It is decomposed and excited in the generated plasma and emits light. Quantitative analysis is possible by measuring the emission intensity with a spectroscope or the like (not shown).

【0017】上記実施形態の有効性の検証として、N
a,Kを試料溶液とした、表1に示す実施条件により、
実験を行った。ここで、本実施形態による実施条件との
比較において行った従来の同軸ネブライザを用いたIC
P発光分光分析装置による実験条件を表1に併せて示
す。
As a verification of the effectiveness of the above embodiment, N
According to the working conditions shown in Table 1 where a and K were sample solutions,
An experiment was performed. Here, an IC using a conventional coaxial nebulizer performed in comparison with the implementation conditions according to the present embodiment
Table 1 also shows the experimental conditions using the P emission spectrometer.

【0018】[0018]

【表1】 また、測定するNa,Kそれぞれの真空波長を表2に示
す。
[Table 1] Table 2 shows the respective vacuum wavelengths of Na and K to be measured.

【0019】[0019]

【表2】 [Table 2]

【0020】この実施条件においては、同軸ネブライザ
を用いた試料導入装置と構造が異なるため、特にキャリ
アガス流量、高周波誘導コイル18の高周波出力、プラ
ズマトーチ4のトーチ観測高さ、即ちプラズマトーチ4
と分光器の光軸との距離をS/B比により最適化した。
即ち、超音波ネブライザ5を用いることで最適なキャリ
アガス流量も変化するからである。また、高周波出力を
最適化することで、プラズマ中にてNa,Kが励起しや
すい温度、即ち発光しやすい温度にプラズマの温度を合
わせて試料の発光効率の向上を図り、またトーチ観測高
さを最適化することで、プラズマの位置による発光の最
大点に合わせて発光スペクトルの検出効率の向上に寄与
することができる。
In this embodiment, since the structure is different from that of the sample introduction device using the coaxial nebulizer, the flow rate of the carrier gas, the high frequency output of the high frequency induction coil 18, the observation height of the torch of the plasma torch 4, that is, the plasma torch 4,
The distance between the beam and the optical axis of the spectroscope was optimized by the S / B ratio.
That is, the use of the ultrasonic nebulizer 5 changes the optimum carrier gas flow rate. In addition, by optimizing the high frequency output, the temperature of the plasma is adjusted to the temperature at which Na and K are easily excited in the plasma, that is, the temperature at which plasma is easily emitted, thereby improving the luminous efficiency of the sample. Is optimized, it is possible to contribute to the improvement of the detection efficiency of the emission spectrum in accordance with the maximum point of the emission depending on the position of the plasma.

【0021】ここで、S/B比とは、(サンプル強度−
ブランク強度)/ブランク強度で表されるもので、ブラ
ンク強度とは、バックグラウンド等によるノイズの強度
である。このS/B比は、必要な信号が不要なノイズ等
と比較してどのくらい大きいかの指標となる値であり、
この値が大きいほど、感度がよいこととなる。従って、
条件検討の段階でS/B比の最も大きくなる条件を選出
するのが1つの方法である。これらキャリアガス流量、
高周波出力、トーチ観測高さとS/B比の関係を示した
のが図2〜図4である。横軸はそれぞれの実験パラメー
タ、縦軸はS/B比を示す。これら図2〜図4より、そ
れぞれのパラメータの最適値は、キャリアガス流量1.
2〜1.5(l/min)、高周波出力0.8〜1.0
(kW)、トーチ観測高さ16〜23(mm)となる。
Here, the S / B ratio is defined as (sample strength−
The blank strength is represented by (blank strength) / blank strength, and the blank strength is the strength of noise due to background or the like. The S / B ratio is a value that is an index of how large a required signal is compared to unnecessary noise and the like.
The larger the value, the better the sensitivity. Therefore,
One method is to select a condition that maximizes the S / B ratio at the stage of condition examination. These carrier gas flow rates,
FIGS. 2 to 4 show the relationship between the high-frequency output, the torch observation height and the S / B ratio. The horizontal axis shows each experimental parameter, and the vertical axis shows the S / B ratio. From FIG. 2 to FIG. 4, the optimum values of the respective parameters are as follows.
2 to 1.5 (l / min), high frequency output 0.8 to 1.0
(KW), and the torch observation height is 16 to 23 (mm).

【0022】上記したS/B比の最適値に基づいて求め
られたNa,Kの定量下限値を、従来の同軸ネブライザ
を用いたICP発光分光分析装置による実験結果ととも
に表3に示す。
Table 3 shows the lower limit of quantification of Na and K determined based on the above-mentioned optimum value of the S / B ratio, together with the experimental results obtained by an ICP emission spectrometer using a conventional coaxial nebulizer.

【0023】[0023]

【表3】 [Table 3]

【0024】表3から明らかなように、本発明のICP
発光分光分析装置によれば、従来条件による結果と比較
して、Na,Kの定量下限値が約1/20と飛躍的に向
上でき、これによりNa,Kの感度が20倍と大幅に改
善できることが分かる。
As is clear from Table 3, the ICP of the present invention
According to the emission spectrometer, the lower limit of quantification of Na and K can be drastically improved to about 1/20 as compared with the result obtained under the conventional conditions, thereby greatly improving the sensitivity of Na and K to 20 times. You can see what you can do.

【0025】このように、超音波振動子12により超音
波エネルギーを用いて噴霧室2導入前に試料溶液の霧化
を行っているため、噴霧室2導入時には霧の粒径が小さ
く、試料の導入効率を高く保つことができる。また、加
熱部14により霧化部13で霧化された試料を脱溶媒す
るため、単位重量当たりのNa,Kの濃度が高くなり、
導入効率をより高くしている。さらに、S/B比よりキ
ャリアガス流量、高周波出力、トーチ観測高さの最適化
を行うことで、発光スペクトルの検出効率、試料の発光
効率が向上し、より高精度の測定が可能となる。
As described above, since the sample solution is atomized before introduction into the spray chamber 2 by using the ultrasonic energy by the ultrasonic vibrator 12, the particle size of the mist is small at the time of introduction into the spray chamber 2, and The introduction efficiency can be kept high. Further, since the sample atomized in the atomization unit 13 is desolvated by the heating unit 14, the concentration of Na and K per unit weight increases,
The introduction efficiency is higher. Further, by optimizing the carrier gas flow rate, the high-frequency output, and the torch observation height based on the S / B ratio, the detection efficiency of the emission spectrum and the luminous efficiency of the sample are improved, and more accurate measurement becomes possible.

【0026】尚、本実施形態では水質調査に適用される
ICP発光分光分析装置を示したが、本発明をボイラ、
焼却炉、その他腐食が生じた時の原因調査、ディーゼル
機関等の潤滑油の汚れ具合の調査、焼却炉等のスケール
付着調査等に適用可能であることは勿論である。
In this embodiment, the ICP emission spectroscopy apparatus applied to the water quality survey is shown.
Of course, the present invention can be applied to the investigation of incinerators and other causes when corrosion has occurred, the investigation of the degree of contamination of lubricating oil in diesel engines, etc., and the investigation of scale adhesion in incinerators and the like.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、噴
霧室に導入される前に、超音波発生手段により試料溶液
の霧化を行っているため、噴霧室導入時には霧の粒径が
小さく、試料の導入効率が向上し、プラズマ中での発光
効率を上げることができる。
As described above, according to the present invention, since the sample solution is atomized by the ultrasonic wave generating means before being introduced into the spray chamber, the particle size of the mist is reduced when the sample solution is introduced into the spray chamber. It is small, and the sample introduction efficiency is improved, and the luminous efficiency in plasma can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係るICP発光分光分析
装置の全体構成を示す断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the overall configuration of an ICP emission spectrometer according to an embodiment of the present invention.

【図2】本実施形態における高周波出力とS/B比との
関係を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing a relationship between a high-frequency output and an S / B ratio in the embodiment.

【図3】本実施形態におけるキャリアガス流量とS/B
比との関係を示す図。
FIG. 3 shows carrier gas flow rate and S / B in the present embodiment.
The figure which shows the relationship with a ratio.

【図4】本実施形態におけるトーチ観測高さとS/B比
との関係を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a torch observation height and an S / B ratio in the embodiment.

【図5】従来のICP発光分光分析装置の概略構成を示
す断面図。
FIG. 5 is a sectional view showing a schematic configuration of a conventional ICP emission spectroscopy analyzer.

【図6】図5におけるICP発光分光分析装置の同軸ネ
ブライザ付近の拡大断面図。
FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view near the coaxial nebulizer of the ICP emission spectrometer in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 噴霧室 3 ネブライザホルダ 4 プラズマトーチ 5a 超音波ネブライザ主要部 5b 超音波ネブライザ導入部 10 試料溶液 11 ペリスタルティックポンプ 12 超音波振動子 13 霧化部 14 加熱部 15 冷却部 16 冷却ガス導入管 17 補助ガス導入管 18 高周波誘導コイル Reference Signs List 2 spraying chamber 3 nebulizer holder 4 plasma torch 5a main part of ultrasonic nebulizer 5b ultrasonic nebulizer introduction part 10 sample solution 11 peristaltic pump 12 ultrasonic oscillator 13 atomization part 14 heating part 15 cooling part 16 cooling gas introduction pipe 17 auxiliary Gas inlet tube 18 High frequency induction coil

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プラズマ中で発光させた試料の発光スペ
クトルを測定することにより試料溶液中の元素を定量分
析するICP発光分光分析装置において、超音波を発生
させて前記試料溶液を霧化する霧化部と、この霧化部に
より霧化された試料を加熱して脱溶媒する加熱部と、こ
の加熱部により脱溶媒された試料を冷却して噴霧室に導
入する冷却部と、この噴霧室で噴霧された試料をプラズ
マ中に導入して発光させるプラズマトーチとを具備した
ことを特徴とするICP発光分光分析装置。
An ICP emission spectrometer for quantitatively analyzing an element in a sample solution by measuring an emission spectrum of the sample emitted in plasma to generate an ultrasonic wave to atomize the sample solution. A heating unit for heating the sample atomized by the atomization unit to remove the solvent, a cooling unit for cooling the sample desolvated by the heating unit and introducing the sample into the spray chamber, and the spray chamber. And a plasma torch for introducing the sample sprayed into the plasma into the plasma to emit light.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20030093718A (en) * 2002-06-05 2003-12-11 김병회 Nebulizer
CN106525820A (en) * 2016-10-31 2017-03-22 上海化工研究院 Nozzle high-frequency vibration displacement cavitation type ICP (Inductively Coupled Plasma) sample injection atomization device

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