JPH06249783A - Icp emission spectroscopic analyzer - Google Patents

Icp emission spectroscopic analyzer

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JPH06249783A
JPH06249783A JP3529893A JP3529893A JPH06249783A JP H06249783 A JPH06249783 A JP H06249783A JP 3529893 A JP3529893 A JP 3529893A JP 3529893 A JP3529893 A JP 3529893A JP H06249783 A JPH06249783 A JP H06249783A
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JP
Japan
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sample
nebulizer
hydride
gas
generator
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Application number
JP3529893A
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Inventor
Koji Okada
幸治 岡田
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Shimadzu Corp
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Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To simultaneously analyze various kinds of chemical elements by a method wherein a hydride from a generator and an atomized sample from a nebulizer are introduced into two sample introduction tubes for a plasma torch. CONSTITUTION:An analyzer 1 is provided with two sample introduction systems for a hydride generator 2 and an ultrasonic nebulizer 3. The generator 2 is provided with a joint part 5 which introduces a liquid sample S, a hydrogenating agent and a carrier gas, with a coil-shaped reaction tube 6 and with a gas-liquid separation chamber 8 which is connected to it via a communication tube 7. The nebulizer 3 is provided with a nebulizer main body 13 which atomizes the sample by ultrasonic vibrations and with a solvent-removing part 14. A plasma torch 21 is provided with two sample introduction tubes so that a hydride from the generator 2 and an atomized sample from the nebulizer 3 can be introduced together with a coolant gas and a plasma gas. Thereby, chemical elements such as As, Se, Sb and the like which fall short of a sensitivity by the nebulizer 3 only as well as Cd, Fe, Zn and the like which cannot be changed into a gas hydride can be analyzed simultaneously, and the analytical efficiency of the title analyzer can be enhanced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ICP(高周波誘導結
合プラズマ)発光分光分析装置に係り、特には、その試
料導入系の改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ICP (high frequency inductively coupled plasma) emission spectroscopic analyzer, and more particularly to improvement of a sample introduction system thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、ICP発光分光分析装置の試料
導入系には、図3〜図5に示されるものがある。
2. Description of the Related Art Generally, a sample introduction system of an ICP emission spectral analyzer is shown in FIGS.

【0003】先ず、図3に示される試料導入系は、試料
容器18の液体試料Sを霧吹き方式のネブライザ25に
よって噴霧室27内に向けて噴き出して霧化し、この霧
化試料を搬送管28を経由して三重管構造のプラズマト
ーチ30に導入し、高周波コイル22による高周波磁界
により霧化試料を励起発光させて分析を行うものであ
る。
First, in the sample introduction system shown in FIG. 3, the liquid sample S in the sample container 18 is jetted toward the inside of the spray chamber 27 by the nebulizer 25 of the spraying type and atomized, and the atomized sample is transferred to the carrier pipe 28. It is introduced into a plasma torch 30 having a triple tube structure via a high frequency coil 22, and the high frequency magnetic field generated by the high frequency coil 22 excites and emits the atomized sample for analysis.

【0004】また、図4に示される試料導入系は、上述
の霧吹き方式のネブライザ25に比べて、粒径の細かい
試料エアロゾルを得ることができる超音波ネブライザ3
を用いた導入系である。この超音波ネブライザ3は、超
音波振動によって液体試料Sを霧化するネブライザ本体
13と脱溶媒部14とから構成されており、噴霧室15
内の超音波振動子16に、ポンプ19を介して供給され
た液体試料Sを、該超音波振動子16の振動によって霧
化し、キャリアガスと共に脱溶媒部14に送出し、この
脱溶媒部14の加熱段14aで加熱乾燥するとともに、
冷却段14bで冷却して溶媒を除去してプラズマトーチ
30に導入するものである。
Further, the sample introduction system shown in FIG. 4 is an ultrasonic nebulizer 3 capable of obtaining a sample aerosol having a finer particle size than that of the above-mentioned nebulizer 25 of the atomizing system.
Is an introduction system using. The ultrasonic nebulizer 3 is composed of a nebulizer body 13 that atomizes the liquid sample S by ultrasonic vibration and a desolvation unit 14, and a spray chamber 15
The liquid sample S supplied via the pump 19 to the ultrasonic vibrator 16 therein is atomized by the vibration of the ultrasonic vibrator 16 and sent to the desolvation unit 14 together with the carrier gas. While heating and drying in the heating stage 14a of
The solvent is removed by cooling in the cooling stage 14b and then introduced into the plasma torch 30.

【0005】さらに、図5に示される試料導入系は、液
体試料S中の元素を還元して気体の水素化物に変換して
からプラズマトーチ30に導入する水素化物発生器2を
有する導入系である。
Further, the sample introduction system shown in FIG. 5 is an introduction system having a hydride generator 2 which reduces the elements in the liquid sample S to convert them into gaseous hydrides and then introduces them into the plasma torch 30. is there.

【0006】水素化物発生器2のジョイント部5に液体
試料S、水素化剤、およびキャリアガスを共に導入する
と、反応管6を通過する際に液体試料Sと水素化剤の大
部分は反応して水素化物が生成するとともに、未反応の
一部の水素化剤や液体試料はそのまま気液分離室8内に
導入される。気液分離室8は、反応管6で得られる水素
化物Mと反応残留液Lとを分離するとともに、分析感度
を安定化させるためのものであり、この気液分離室8か
ら気体の水素化物がプラズマトーチ30に向けて送出さ
れるものである。なお、気液分離室8の下部には、液面
レベル調整用のS字管9と、試料液交換時に反応残留液
Lを排出する急速排出管10の各一端がそれぞれ接続さ
れ、S字管9と急速排出管10との各他端は、いずれも
ドレインタンク11に開口している。
When both the liquid sample S, the hydrogenating agent and the carrier gas are introduced into the joint portion 5 of the hydride generator 2, most of the liquid sample S reacts with the hydrogenating agent when passing through the reaction tube 6. As a result, hydride is produced, and a part of the unreacted hydrogenating agent and the liquid sample are directly introduced into the gas-liquid separation chamber 8. The gas-liquid separation chamber 8 is for separating the hydride M obtained in the reaction tube 6 from the reaction residual liquid L and stabilizing the analysis sensitivity. Are sent to the plasma torch 30. At the lower part of the gas-liquid separation chamber 8, an S-shaped tube 9 for adjusting the liquid level and each end of a rapid discharge tube 10 for discharging the reaction residual liquid L at the time of exchanging the sample liquid are respectively connected, and the S-shaped tube is The other ends of 9 and the rapid discharge pipe 10 are both open to the drain tank 11.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、図3に示さ
れる霧吹き方式のネブライザ25あるいは図4に示され
る超音波ネブライザ3を用いた試料導入系では、As、
Se、Sb、Biなどの元素は、感度が不足して分析で
きず、このため、かかる元素の分析では、図5に示され
る水素化物発生器2を用いた試料導入系によって元素を
還元して気体の水素化物に変換して分析する必要があ
り、逆に、Cd、Fe、Zn、Crなどの元素は、気体
の水素化物に変換できないために、霧吹き方式のネブラ
イザ25あるいは超音波ネブライザ3による試料導入系
を使用して分析する必要がある。
However, in the sample introduction system using the atomizing nebulizer 25 shown in FIG. 3 or the ultrasonic nebulizer 3 shown in FIG. 4, As,
Elements such as Se, Sb, and Bi cannot be analyzed due to insufficient sensitivity. Therefore, in the analysis of such elements, the elements are reduced by the sample introduction system using the hydride generator 2 shown in FIG. It is necessary to convert it into a gas hydride for analysis. On the contrary, since elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr cannot be converted into a gas hydride, the nebulizer 25 or the ultrasonic nebulizer 3 of the atomization method is used. It needs to be analyzed using a sample introduction system.

【0008】したがって、従来例のICP発光分光分析
装置では、上述のAs、Se、Sb、Biなどの元素お
よびCd、Fe、Zn、Crなどの元素を共に含む試料
を分析する場合には、試料導入系を取り替えて2度分析
する必要があり、このため、分析に手間がかかるととも
に、その間に、アルゴンガスなどが多量に消費され、分
析コストが高くつくといった難点がある。
Therefore, in the conventional ICP emission spectroscopic analyzer, when analyzing a sample containing both the elements such as As, Se, Sb and Bi and the elements such as Cd, Fe, Zn and Cr described above, It is necessary to replace the introduction system and perform the analysis twice. Therefore, the analysis is troublesome, and in the meantime, a large amount of argon gas is consumed and the analysis cost is high.

【0009】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、試料導入系を取り替えることなく、同時に多
種類の元素を分析できるようにすることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to enable simultaneous analysis of many kinds of elements without replacing the sample introduction system.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、液体試料中の元素を還元して水素化
物に変換する水素化物発生器と、前記液体試料を霧化す
るネブライザと、少なくとも二つの試料導入管を有する
プラズマトーチとを備え、前記水素化物発生器からの水
素化物および前記ネブライザで霧化された試料が、前記
プラズマトーチの各試料導入管に個別に導入されるよう
にしている。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a hydride generator for reducing elements in a liquid sample to convert them into hydrides, and a nebulizer for atomizing the liquid sample. And a plasma torch having at least two sample introduction tubes, wherein the hydride from the hydride generator and the nebulizer atomized sample are individually introduced into each sample introduction tube of the plasma torch. I am trying.

【0011】[0011]

【作用】上記構成によれば、水素化物発生器からの水素
化物およびネブライザで霧化された試料が、二つの試料
導入管を有する四重管構造のプラズマトーチに同時に導
入されるので、ネブライザによる試料導入系では感度が
不足するAs、Se、Sb、Biなどの元素および気体
の水素化物に変換できないCd、Fe、Zn、Crなど
の元素を、同時に分析できることになる。
According to the above construction, the hydride from the hydride generator and the nebulizer atomized sample are simultaneously introduced into the plasma torch having a quadruple tube structure having two sample introduction tubes. It is possible to simultaneously analyze elements such as As, Se, Sb, and Bi, which lack sensitivity in the sample introduction system, and elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr, which cannot be converted into gas hydrides.

【0012】[0012]

【実施例】以下、図面によって本発明の実施例について
詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0013】図1は本発明の実施例に係るICP発光分
光分析装置の全体を示す構成図であり、上述の従来例に
対応する部分には同一の符号を付す。
FIG. 1 is a block diagram showing the entire ICP emission spectroscopic analyzer according to an embodiment of the present invention. The parts corresponding to the above-mentioned conventional example are designated by the same reference numerals.

【0014】この実施例のICP発光分光分析装置1
は、水素化物発生器2および超音波ネブライザ3の2つ
の試料導入系を備えている。
ICP emission spectroscopic analyzer 1 of this embodiment
Is equipped with two sample introduction systems, a hydride generator 2 and an ultrasonic nebulizer 3.

【0015】水素化物発生器2は、図5の従来例と同様
の構成を有しており、液体試料S、NaBH4などの水素
化剤、およびArなどのキャリアガスが共に導入される
ジョイント部5と、このジョイント部5から延設された
コイル状の反応管6と、この反応管6に連通管7を介し
て接続された気液分離室8とを備えている。
The hydride generator 2 has a structure similar to that of the conventional example shown in FIG. 5, and a joint portion into which a liquid sample S, a hydrogenating agent such as NaBH 4 and a carrier gas such as Ar are introduced together. 5, a coil-shaped reaction tube 6 extending from the joint portion 5, and a gas-liquid separation chamber 8 connected to the reaction tube 6 via a communication tube 7.

【0016】気液分離室8は、反応管5で生成される水
素化物Mと反応残留物Lとを分離するとともに、分析感
度を安定化させるためのものであり、その下部には、液
面レベル調整用のS字管9と、試料液交換時に反応残留
液Lを排出する急速排出管10の各一端がそれぞれ接続
され、S字管9と急速排出管10との各他端は、いずれ
もドレインタンク11に開口している。また、急速排出
管10の途中には、反応残留液Lの強制排出用のペリス
タル式のポンプ12が設けられている。
The gas-liquid separation chamber 8 is for separating the hydride M produced in the reaction tube 5 from the reaction residue L and for stabilizing the analysis sensitivity. The S-shaped tube 9 for level adjustment and each one end of a rapid discharge tube 10 for discharging the reaction residual liquid L when exchanging the sample solution are connected to each other, and the other ends of the S-shaped tube 9 and the rapid discharge tube 10 are connected to each other. Also opens to the drain tank 11. A peristaltic pump 12 for forcibly discharging the reaction residual liquid L is provided in the middle of the rapid discharge pipe 10.

【0017】一方、超音波ネブライザ3は、図4の従来
例と同様の構成を有しており、超音波振動により液体試
料Sを霧化するネブライザ本体13と、脱溶媒部14と
からなる。
On the other hand, the ultrasonic nebulizer 3 has the same structure as that of the conventional example shown in FIG. 4, and comprises a nebulizer main body 13 for atomizing the liquid sample S by ultrasonic vibration and a desolvent section 14.

【0018】ネブライザ本体13は、噴霧室15内に超
音波振動子16を設けたもので、噴霧室15にはキャリ
アガス送入管17を通じてキャリアガスが送入されると
ともに、超音波振動子16の表面には、試料容器18か
らポンプ19の駆動により供給管20を通じて水素化物
発生器2へ送られる試料と同一の液体試料Sが送り込ま
れ、液体試料Sは超音波振動子16の振動により霧化
し、その試料エアロゾルはキャリアガスとともに脱溶媒
部14へ送出される。
The nebulizer body 13 is provided with an ultrasonic vibrator 16 in the spray chamber 15. The carrier gas is sent into the spray chamber 15 through a carrier gas inlet pipe 17, and the ultrasonic vibrator 16 is also provided. The same liquid sample S as the sample sent to the hydride generator 2 from the sample container 18 by the drive of the pump 19 is sent to the surface of the liquid sample S, and the liquid sample S is fogged by the vibration of the ultrasonic transducer 16. And the sample aerosol is sent to the desolvation section 14 together with the carrier gas.

【0019】脱溶媒部14は、前段の加熱段14aと、
後段の冷却段14bとからなり、加熱段14aでは、ネ
ブライザ本体13からの試料エアロゾルが加熱乾燥され
て細粒子化され、冷却段14bでは、冷却により気化溶
媒が結露して試料エアロゾルから取り除かれる。
The desolvation section 14 includes a heating stage 14a at the front stage,
In the heating stage 14a, the sample aerosol from the nebulizer main body 13 is heated and dried to be fine particles, and in the cooling stage 14b, the vaporized solvent is condensed and removed from the sample aerosol by cooling.

【0020】この実施例のプラズマトーチ21は、高周
波コイル22と同軸に配置されており、従来の三重管構
造のプラズマトーチ30と異なり、クーラントガスおよ
びプラズマガスとともに、水素化物発生器2からの水素
化物および超音波ネブライザ3からの試料エアロゾルと
が、共に導入できるように、二つの試料導入管を有する
四重管構造となっている。
The plasma torch 21 of this embodiment is arranged coaxially with the high frequency coil 22, and unlike the plasma torch 30 of the conventional triple tube structure, the hydrogen from the hydride generator 2 is supplied together with the coolant gas and the plasma gas. And a sample aerosol from the ultrasonic nebulizer 3 have a quadruple tube structure having two sample introduction tubes so that they can be introduced together.

【0021】以上の構成を有するICP発光分光分析装
置1では、水素化物発生器2のジョイント部5に液体試
料S、水素化剤、およびキャリアガスを共に導入する
と、反応管6を通過する際に液体試料Sと水素化剤の大
部分は反応して水素化物が生成するとともに、未反応の
一部の水素化剤や液体試料はそのまま気液分離室8内に
導入される。気液分離室8では、未反応の液体試料Sと
水素化剤とがここで完全に反応して水素化物Mが発生
し、気体の水素化物が四重管構造のプラズマトーチ21
の一方の試料導入管に向けて送出される。
In the ICP emission spectroscopic analyzer 1 having the above structure, when the liquid sample S, the hydrogenating agent, and the carrier gas are introduced into the joint portion 5 of the hydride generator 2 together, when passing through the reaction tube 6. Most of the liquid sample S and the hydrogenating agent react with each other to form a hydride, and a part of the unreacted hydrogenating agent and the liquid sample are introduced into the gas-liquid separation chamber 8 as they are. In the gas-liquid separation chamber 8, the unreacted liquid sample S and the hydrogenating agent are completely reacted here to generate a hydride M, and the gas hydride is a plasma torch 21 having a quadruple tube structure.
Is sent toward one of the sample introduction tubes.

【0022】一方、超音波ネブライザ3では、試料容器
18から送り込まれる液体試料Sが、噴霧室15内の超
音波振動子16に吹き付けられて霧化し、脱溶媒部14
の加熱段14aで加熱乾燥されて細粒化し、さらに、冷
却段14bで冷却されて溶媒が結露して試料エアロゾル
から取り除かれ、この試料エアロゾルが、四重管構造の
プラズマトーチ21の他方の試料導入管に向けて送出さ
れる。
On the other hand, in the ultrasonic nebulizer 3, the liquid sample S sent from the sample container 18 is sprayed and atomized by the ultrasonic vibrator 16 in the spray chamber 15, and the desolvation unit 14
Of the plasma torch 21 of the quadruple tube is heated and dried in the heating stage 14a of FIG. 1 to be finely granulated, and further cooled in the cooling stage 14b to remove the solvent from the sample aerosol. It is sent to the introduction pipe.

【0023】これによって、プラズマトーチ21には、
水素化物発生器2からの水素化物と超音波ネブライザ3
からの試料エアロゾルとが同時に導入されて励起発光さ
れ、分析される。
As a result, the plasma torch 21 has
Hydride from hydride generator 2 and ultrasonic nebulizer 3
The sample aerosol from the sample is introduced at the same time, excited and emitted, and analyzed.

【0024】このように、水素化物発生器2からの水素
化物と超音波ネブライザ3からの試料エアロゾルとを同
時にプラズマトーチ21に導入して分析するので、ネブ
ライザによる試料導入系では感度が不足するAs、S
e、Sb、Biなどの元素および気体の水素化物に変換
できないCd、Fe、Zn、Crなどの元素の同時分析
が可能となり、従来例のように、試料導入系を取り替え
て2度分析するといった必要がなく、分析効率が向上す
るとともに、分析コストを低減することができる。
As described above, since the hydride from the hydride generator 2 and the sample aerosol from the ultrasonic nebulizer 3 are simultaneously introduced into the plasma torch 21 for analysis, the sample introduction system using the nebulizer is insufficient in sensitivity. , S
Simultaneous analysis of elements such as e, Sb, and Bi and elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr that cannot be converted into gaseous hydrides is possible. As in the conventional example, the sample introduction system is replaced and analysis is performed twice. It is not necessary, the analysis efficiency is improved, and the analysis cost can be reduced.

【0025】このように、As、Se、Sb、Biなど
の元素およびCd、Fe、Zn、Crなどの元素の同時
分析が可能となるので、本発明のICP発光分光分析装
置1は、例えば、水道水の試験方法に好適である。
As described above, since it is possible to simultaneously analyze the elements such as As, Se, Sb, and Bi and the elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr, the ICP emission spectroscopic analyzer 1 of the present invention is, for example, It is suitable for testing tap water.

【0026】図2は、本発明の他の実施例のICP発光
分光分析装置11の全体を示す構成図であり、上述の実
施例に対応する部分には、同一の符号を付す。
FIG. 2 is a block diagram showing the entire ICP emission spectroscopic analyzer 1 1 of another embodiment of the present invention. The parts corresponding to those in the above embodiment are designated by the same reference numerals.

【0027】この実施例は、上述の実施例の超音波ネブ
ライザ3に代えて、霧吹き方式のネブライザ25を設け
たものであり、このICP発光分光分析装置11は、水
素化物発生器2および霧吹き方式のネブライザ25の2
つの試料導入系を備えている。
In this embodiment, the ultrasonic nebulizer 3 of the above-mentioned embodiment is replaced with a nebulizer 25 of a spraying type. This ICP emission spectroscopic analyzer 1 1 has a hydride generator 2 and a sprayer. Method nebulizer 25-2
Equipped with two sample introduction systems.

【0028】霧吹き方式のネブライザ25は、キャリア
ガスの噴出により、液体試料Sを霧化するネブライザ本
体26と、このネブライザ本体26で霧化して得られる
試料エアロゾルを均一化するための噴霧室27とからな
り、この噴霧室27からの試料エアロゾルが、搬送管2
8を介して四重管構造のプラズマトーチ21の一方の試
料導入管に導入されるようになっている。
The nebulizer 25 of the atomization system has a nebulizer body 26 for atomizing a liquid sample S by jetting a carrier gas, and a nebulizer chamber 27 for homogenizing a sample aerosol obtained by atomizing the nebulizer body 26. The sample aerosol from the spray chamber 27 is
It is adapted to be introduced into one of the sample introduction pipes of the plasma torch 21 having a quadruple pipe structure via 8.

【0029】その他の構成は、上述の実施例と同様であ
る。
The other structure is the same as that of the above-mentioned embodiment.

【0030】この実施例においても、水素化物発生器2
からの水素化物と霧吹き方式のネブライザ25からの試
料エアロゾルとが、四重管構造のプラズマトーチ21に
同時に導入されて励起発光され、分析される。
Also in this embodiment, the hydride generator 2 is used.
And the sample aerosol from the atomizer 25 nebulizer 25 are simultaneously introduced into the plasma torch 21 having a quadruple tube structure, excited and emitted for analysis.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、水素化物
発生器からの水素化物およびネブライザで霧化された試
料が、少なくとも二つの試料導入管を有する四重管構造
のプラズマトーチに同時に導入されるので、ネブライザ
による試料導入系では感度が不足するAs、Se、S
b、Biなどの元素および気体の水素化物に変換できな
いCd、Fe、Zn、Crなどの元素の同時分析が可能
となり、従来例のように、試料導入系を取り替えて2度
分析するといった必要がなく、分析効率が向上するとと
もに、分析コストを低減することができる。
As described above, according to the present invention, the hydride from the hydride generator and the sample atomized by the nebulizer are simultaneously applied to the plasma torch having the quadruple tube structure having at least two sample introduction tubes. As it is introduced, the sensitivity of As, Se, S is insufficient in the sample introduction system by the nebulizer.
Simultaneous analysis of elements such as b and Bi and elements such as Cd, Fe, Zn and Cr that cannot be converted into gaseous hydrides is possible, and it is necessary to replace the sample introduction system and analyze twice as in the conventional example. Therefore, the analysis efficiency can be improved and the analysis cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例のICP発光分光分析装置の
構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of an ICP emission spectroscopy analyzer according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例のICP発光分光分析装置
の構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram of an ICP emission spectroscopy analyzer according to another embodiment of the present invention.

【図3】霧吹き方式のネブライザを備えた従来例の構成
図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional example including a nebulizer of a mist blowing system.

【図4】超音波ネブライザを備えた従来例の構成図であ
る。
FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional example including an ultrasonic nebulizer.

【図5】水素化物発生器を備えた従来例の構成図であ
る。
FIG. 5 is a configuration diagram of a conventional example including a hydride generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,11 ICP発光分光分析装置 2 水素化物発生器 3 超音波ネブライザ 21 プラズマトーチ 25 霧吹き方式のネブライザ1,1 1 ICP emission spectroscopy analyzer 2 hydride generator 3 ultrasonic nebulizer 21 plasma torch 25 nebulizer of atomization system

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液体試料中の元素を還元して水素化物に
変換する水素化物発生器と、 前記液体試料を霧化するネブライザと、 少なくとも二つの試料導入管を有するプラズマトーチと
を備え、 前記水素化物発生器からの水素化物および前記ネブライ
ザで霧化された試料が、前記プラズマトーチの各試料導
入管に個別に導入されることを特徴とするICP発光分
光分析装置。
1. A hydride generator for reducing an element in a liquid sample to convert it to a hydride, a nebulizer for atomizing the liquid sample, and a plasma torch having at least two sample introduction tubes, An ICP emission spectroscopic analyzer characterized in that the hydride from the hydride generator and the sample atomized by the nebulizer are individually introduced into each sample introduction tube of the plasma torch.
JP3529893A 1993-02-24 1993-02-24 Icp emission spectroscopic analyzer Pending JPH06249783A (en)

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JP3529893A JPH06249783A (en) 1993-02-24 1993-02-24 Icp emission spectroscopic analyzer

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JP3529893A JPH06249783A (en) 1993-02-24 1993-02-24 Icp emission spectroscopic analyzer

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