JPH05296357A - メタルダイヤフラムバルブ - Google Patents
メタルダイヤフラムバルブInfo
- Publication number
- JPH05296357A JPH05296357A JP4126793A JP12679392A JPH05296357A JP H05296357 A JPH05296357 A JP H05296357A JP 4126793 A JP4126793 A JP 4126793A JP 12679392 A JP12679392 A JP 12679392A JP H05296357 A JPH05296357 A JP H05296357A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- metal diaphragm
- diameter
- stem
- handle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 メタルダイヤフラムバルブを大口径化する場
合に、メタルダイヤフラムのシール性能と信頼性（長寿
命化）を確保する。 【構成】 メタルダイヤフラムの大径化によってバルブ
の大口径化を図るのではなく、現在実用化され、問題の
ない径のメタルダイヤフラム１５を使用する。すなわ
ち、バルブボディ１１内にて小径ダイヤフラムに合うサ
イズにガス入口流路１２及び出口流路１３を分岐、小口
径化し、分岐したそれぞれにバルブ機能を持たせる。ま
た、それぞれのバルブ機能を一括して操作するために、
ハンドル１８とステム押え１９を有し、ハンドル１８の
上下動がステム押え１９を介して同一動作をそれぞれの
バルブ機能に行わせている。
合に、メタルダイヤフラムのシール性能と信頼性（長寿
命化）を確保する。 【構成】 メタルダイヤフラムの大径化によってバルブ
の大口径化を図るのではなく、現在実用化され、問題の
ない径のメタルダイヤフラム１５を使用する。すなわ
ち、バルブボディ１１内にて小径ダイヤフラムに合うサ
イズにガス入口流路１２及び出口流路１３を分岐、小口
径化し、分岐したそれぞれにバルブ機能を持たせる。ま
た、それぞれのバルブ機能を一括して操作するために、
ハンドル１８とステム押え１９を有し、ハンドル１８の
上下動がステム押え１９を介して同一動作をそれぞれの
バルブ機能に行わせている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はメタルダイヤフラムバル
ブに関し、特に半導体分野にて使用されるクリーンなガ
スの供給に用いられる大口径のメタルダイヤフラムバル
ブに関する。
ブに関し、特に半導体分野にて使用されるクリーンなガ
スの供給に用いられる大口径のメタルダイヤフラムバル
ブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造用のクリーンなバルク
ガス供給系には、図５に示すように、バルブボディ３１
内に流体を導く入口流路３２及び出口流路３３とプラス
チック製のシート３４，メタルダイヤフラム３５，ステ
ム３６，スプリング３７を備え、ステム３６上部にネジ
機構により上下するハンドル３８を有する小口径のメタ
ルダイヤフラムバルブが使用される。
ガス供給系には、図５に示すように、バルブボディ３１
内に流体を導く入口流路３２及び出口流路３３とプラス
チック製のシート３４，メタルダイヤフラム３５，ステ
ム３６，スプリング３７を備え、ステム３６上部にネジ
機構により上下するハンドル３８を有する小口径のメタ
ルダイヤフラムバルブが使用される。
【０００３】次に動作について説明する。ハンドル３８
を右回転させることでネジ機構によりハンドル３８が下
降し、その動きはステム３６に伝えられる。
を右回転させることでネジ機構によりハンドル３８が下
降し、その動きはステム３６に伝えられる。
【０００４】ステム３６は予め凸状に加工されたメタル
ダイヤフラム３５の頂部を押し、メタルダイヤフラム３
５は自らの弾性変形範囲内で変形し、下側のシート３４
に密着することで入口流路３２をふさぐ。このとき、バ
ルブ内を流れるガスは遮断された状態となる。
ダイヤフラム３５の頂部を押し、メタルダイヤフラム３
５は自らの弾性変形範囲内で変形し、下側のシート３４
に密着することで入口流路３２をふさぐ。このとき、バ
ルブ内を流れるガスは遮断された状態となる。
【０００５】次にハンドル３８を左回転させると、ネジ
機構によりハンドル３８は上昇する。ステム３６は圧縮
されたスプリング３７の復元力により上昇し、またダイ
ヤフラム３５も自らの弾性により元の形状に復元する。
機構によりハンドル３８は上昇する。ステム３６は圧縮
されたスプリング３７の復元力により上昇し、またダイ
ヤフラム３５も自らの弾性により元の形状に復元する。
【０００６】このとき、入口流路３２と出口流路３３と
は連通が得られ、ガスはバルブ内を流れることができ
る。
は連通が得られ、ガスはバルブ内を流れることができ
る。
【０００７】一方、大口径バルブとしては図６に示すス
テンレスベローズバルブが使用されている。４１はバル
ブボディ、４２は入口流路、４３は出口流路、４４はシ
ート、４５はステンレスベローズ、４６はステム、４８
はハンドルである。
テンレスベローズバルブが使用されている。４１はバル
ブボディ、４２は入口流路、４３は出口流路、４４はシ
ート、４５はステンレスベローズ、４６はステム、４８
はハンドルである。
【０００８】これはバルブ駆動部と流体を隔離する隔壁
をダイヤフラムからベローズ４５に置き換えたものと考
えれば良く、基本的に動作はメタルダイヤフラムバルブ
と同様である。
をダイヤフラムからベローズ４５に置き換えたものと考
えれば良く、基本的に動作はメタルダイヤフラムバルブ
と同様である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来、半導体の生産に
必要とされるクリーンなガスの供給配管系のバルブとし
ては、小口径のものから大口径のものまでステンレスベ
ローズバルブが用いられてきた。
必要とされるクリーンなガスの供給配管系のバルブとし
ては、小口径のものから大口径のものまでステンレスベ
ローズバルブが用いられてきた。
【００１０】しかし、ステンレスベローズバルブは、そ
のベローズ自身の構造から、図４に示すようにガスの滞
溜部を有するため、ガスの置換性が悪く、パーティクル
のたまりなどを生じさせやすいため、高度化する半導体
の生産には不向きとされた。
のベローズ自身の構造から、図４に示すようにガスの滞
溜部を有するため、ガスの置換性が悪く、パーティクル
のたまりなどを生じさせやすいため、高度化する半導体
の生産には不向きとされた。
【００１１】そこで、流体流路構造が単純で、かつ内表
面の平滑化加工性に優れたクリーン化メタルダイヤフラ
ムバルブが開発されたが、メタルダイヤフラムの大口径
化には、そのシール性能及び信頼性が確保できないとい
った問題があり、現在は呼び口径１インチ未満の小口径
のものが実用化されているのみであり、大口径バルブは
いまだステンレスベローズバルブを使用している。
面の平滑化加工性に優れたクリーン化メタルダイヤフラ
ムバルブが開発されたが、メタルダイヤフラムの大口径
化には、そのシール性能及び信頼性が確保できないとい
った問題があり、現在は呼び口径１インチ未満の小口径
のものが実用化されているのみであり、大口径バルブは
いまだステンレスベローズバルブを使用している。
【００１２】本発明の目的は、ステンレスベローズバル
ブを用いずに大口径バルブとしたメタルダイヤフラムバ
ルブを提供することにある。
ブを用いずに大口径バルブとしたメタルダイヤフラムバ
ルブを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るメタルダイヤフラムバルブは、バルブ
ボディ内に導入したガスの流路を複数に分岐する入口流
路と、分岐した流路それぞれに設けられ、バルブ駆動部
とガスの流れる部分を隔離する複数のメタルダイヤフラ
ムと、各流路のガスを遮断，開放する複数の弁部と、弁
部に開放，遮断の動力を伝えるステムと、各ステムに一
括して動力を伝えるハンドルと、複数に分岐した入口流
路を一本にまとめて外部に導く出口流路とを有するもの
である。
め、本発明に係るメタルダイヤフラムバルブは、バルブ
ボディ内に導入したガスの流路を複数に分岐する入口流
路と、分岐した流路それぞれに設けられ、バルブ駆動部
とガスの流れる部分を隔離する複数のメタルダイヤフラ
ムと、各流路のガスを遮断，開放する複数の弁部と、弁
部に開放，遮断の動力を伝えるステムと、各ステムに一
括して動力を伝えるハンドルと、複数に分岐した入口流
路を一本にまとめて外部に導く出口流路とを有するもの
である。
【００１４】
【作用】メタルダイヤフラムの大径化により、バルブの
大口径化を図るのではなく、現在、実用化され、問題の
ない径のメタルダイヤフラムを複数個使用して、結果と
して大口径のメタルダイヤフラムバルブを実現しようと
するものである。
大口径化を図るのではなく、現在、実用化され、問題の
ない径のメタルダイヤフラムを複数個使用して、結果と
して大口径のメタルダイヤフラムバルブを実現しようと
するものである。
【００１５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１６】（実施例１）図１は、本発明の実施例１に
係るメタルダイヤフラムバルブを示す断面図、図２は、
図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
係るメタルダイヤフラムバルブを示す断面図、図２は、
図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【００１７】図において、本メタルダイヤフラムバルブ
は、バルブボディ１１中に導入したガスの流路を３つに
分岐する入口流路１２と、分岐した流路それぞれに設け
られ、バルブ駆動部とガスの流れる部分を隔離し、ガス
を汚染から守るメタルダイヤフラム１５と、メタルダイ
ヤフラム１５と密着することでガスを遮蔽するシート１
４と、メタルダイヤフラム１５を変形させるための動力
を伝えるステム１６と、ステム１６の位置を復元させる
スプリング１７とを備え、各ステム１６上にはハンドル
１８からの上下動を各ステム１６に伝達するステム押え
１９が取り付けられている。
は、バルブボディ１１中に導入したガスの流路を３つに
分岐する入口流路１２と、分岐した流路それぞれに設け
られ、バルブ駆動部とガスの流れる部分を隔離し、ガス
を汚染から守るメタルダイヤフラム１５と、メタルダイ
ヤフラム１５と密着することでガスを遮蔽するシート１
４と、メタルダイヤフラム１５を変形させるための動力
を伝えるステム１６と、ステム１６の位置を復元させる
スプリング１７とを備え、各ステム１６上にはハンドル
１８からの上下動を各ステム１６に伝達するステム押え
１９が取り付けられている。
【００１８】また入口流路１２と並んで３つに分岐した
流路を再び一本にまとめ、ガスをバルブ外へと導く出口
流路１３を備えている。
流路を再び一本にまとめ、ガスをバルブ外へと導く出口
流路１３を備えている。
【００１９】次に動作について説明する。
【００２０】ハンドル１８を右回転させることでネジ機
構によりハンドル１８が下降し、その動きはステム押え
１９を介して３つのステム１６に伝えられる。
構によりハンドル１８が下降し、その動きはステム押え
１９を介して３つのステム１６に伝えられる。
【００２１】ステム１６は予め凸状に加工されたメタル
ダイヤフラム１５の頂部を押し、メタルダイヤフラム１
５は自らの弾性変形範囲内で変形し、下側のシート１４
と密着することで分岐した入口流路１２をふさぐ。この
とき、バルブ内を流れるガスは遮断された状態となる。
ダイヤフラム１５の頂部を押し、メタルダイヤフラム１
５は自らの弾性変形範囲内で変形し、下側のシート１４
と密着することで分岐した入口流路１２をふさぐ。この
とき、バルブ内を流れるガスは遮断された状態となる。
【００２２】次にハンドル１８を左回転させると、ネジ
機構によりハンドル１８は上昇する。ステム１６は圧縮
されていたスプリング１７の復元力により上昇し、また
弾性変形していたダイヤフラム１５も自らの弾性により
元の形状に復元し、ダイヤフラム１５とシート１４の間
に間隙が生じる。
機構によりハンドル１８は上昇する。ステム１６は圧縮
されていたスプリング１７の復元力により上昇し、また
弾性変形していたダイヤフラム１５も自らの弾性により
元の形状に復元し、ダイヤフラム１５とシート１４の間
に間隙が生じる。
【００２３】このとき、入口流路１２と出口流路１３と
は導通が得られ、ガスはバルブ内を流れることができ
る。以上の動作をフローシートとして表すと、次のよう
になる。
は導通が得られ、ガスはバルブ内を流れることができ
る。以上の動作をフローシートとして表すと、次のよう
になる。
【００２４】
【００２５】（実施例２）図３は本発明の実施例２を示
す断面図、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
す断面図、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【００２６】本実施例では、ステム２６にシート２４を
はめ込み、ステム２６の上方にメタルダイヤフラム２５
を設置した。また、ハンドル２８，ステム押え２９，ス
テム２６を結合し、スプリング１７を排除した。
はめ込み、ステム２６の上方にメタルダイヤフラム２５
を設置した。また、ハンドル２８，ステム押え２９，ス
テム２６を結合し、スプリング１７を排除した。
【００２７】これにより、前述した実施例１のように、
メタルダイヤフラム１５が直接入口流路１２に取り付け
られたシート１４と密着しガスを遮断するのではなく、
ステム２６に取り付けられたシート２４とバルブボディ
２１を密着させることでガスを遮断する。
メタルダイヤフラム１５が直接入口流路１２に取り付け
られたシート１４と密着しガスを遮断するのではなく、
ステム２６に取り付けられたシート２４とバルブボディ
２１を密着させることでガスを遮断する。
【００２８】この方法によれば、メタルダイヤフラム２
５を大径化することなく、入口流路２２，出口流路２３
の口径を大きくすることが可能で、バルブの大口径化に
は都合が良い。
５を大径化することなく、入口流路２２，出口流路２３
の口径を大きくすることが可能で、バルブの大口径化に
は都合が良い。
【００２９】また、スプリング１７を排除し、ハンドル
２８からシート２４までを結合することでスプリング１
７や、メタルダイヤフラム１５の弾性復元力にたよら
ず、ハンドル２８の操作が直接バルブの開閉動作となる
ため、バルブ操作の確実性を増すことが可能となった。
２８からシート２４までを結合することでスプリング１
７や、メタルダイヤフラム１５の弾性復元力にたよら
ず、ハンドル２８の操作が直接バルブの開閉動作となる
ため、バルブ操作の確実性を増すことが可能となった。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、メタルダ
イヤフラムの大径化により、バルブの大口径化を図るの
ではなく、現在実用化され、問題のない径のメタルダイ
ヤフラムを複数個使用して結果として大口径のメタルダ
イヤフラムバルブを実現しようとしたので、メタルダイ
ヤフラムバルブの持つクリーンな性能を生かしつつ、小
口径メタルダイヤフラムと同等のシール性能及び信頼性
を確保することができる。
イヤフラムの大径化により、バルブの大口径化を図るの
ではなく、現在実用化され、問題のない径のメタルダイ
ヤフラムを複数個使用して結果として大口径のメタルダ
イヤフラムバルブを実現しようとしたので、メタルダイ
ヤフラムバルブの持つクリーンな性能を生かしつつ、小
口径メタルダイヤフラムと同等のシール性能及び信頼性
を確保することができる。
【図１】本発明の実施例１を示す断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】本発明の実施例２を示す断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】従来のメタルダイヤフラムバルブを示す断面図
である。
である。
【図６】従来のステンレスベローズバルブを示す断面図
である。
である。
１１，２１，３１，４１ バルブボディ １２，２２，３２，４２ 入口流路 １３，２３，３３，４３ 出口流路 １４，２４，３４，４４ シート １５，２５，３５ メタルダイヤフラム ４５ ステンレスベローズ １６，２６，３６，４６ ステム １７，３７ スプリング １８，２８，３８，４８ ハンドル １９，２９ ステム押え
Claims (1)
- 【請求項１】 バルブボディ内に導入したガスの流路を
複数に分岐する入口流路と、 分岐した流路それぞれに設けられ、バルブ駆動部とガス
の流れる部分を隔離する複数のメタルダイヤフラムと、 各流路のガスを遮断，開放する複数の弁部と、 弁部に開放，遮断の動力を伝えるステムと、 各ステムに一括して動力を伝えるハンドルと、 複数に分岐した入口流路を一本にまとめて外部に導く出
口流路とを有することを特徴とするメタルダイヤフラム
バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4126793A JPH05296357A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | メタルダイヤフラムバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4126793A JPH05296357A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | メタルダイヤフラムバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05296357A true JPH05296357A (ja) | 1993-11-09 |
Family
ID=14944091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4126793A Pending JPH05296357A (ja) | 1992-04-20 | 1992-04-20 | メタルダイヤフラムバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05296357A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120046191A (ko) * | 2009-07-24 | 2012-05-09 | 베에스하 보쉬 운트 지멘스 하우스게랫테 게엠베하 | 가스 밸브 유닛의 구조 |
| KR20210083410A (ko) * | 2019-12-05 | 2021-07-07 | 주식회사 케이엘테크 | 고압가스 용기용 밸브유닛 |
-
1992
- 1992-04-20 JP JP4126793A patent/JPH05296357A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120046191A (ko) * | 2009-07-24 | 2012-05-09 | 베에스하 보쉬 운트 지멘스 하우스게랫테 게엠베하 | 가스 밸브 유닛의 구조 |
| KR20210083410A (ko) * | 2019-12-05 | 2021-07-07 | 주식회사 케이엘테크 | 고압가스 용기용 밸브유닛 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5326078A (en) | Metal diaphragm valve | |
| JPH06341560A (ja) | ダイヤフラム弁 | |
| WO2001077549A3 (en) | Poppet valve seal | |
| KR0170018B1 (ko) | 탱크실을 가진 블록밸브 | |
| EP0853205A3 (en) | Improved spring diaphragm for shut-off valves and regulators | |
| JPH0681987B2 (ja) | ダイアフラム弁 | |
| EP1281898A3 (en) | Diaphragm valve | |
| JP2000510561A (ja) | 改良された弁座及び弁覆いの組立体を有するボール弁 | |
| JPH1137329A (ja) | 樹脂製ダイヤフラム弁 | |
| JPH05296357A (ja) | メタルダイヤフラムバルブ | |
| US2538133A (en) | Control valve | |
| DE3468502D1 (en) | Gate valve | |
| JP2001509579A (ja) | 高流動型ダイヤフラム弁 | |
| JPH10153268A (ja) | ダイヤフラム式流量調整弁 | |
| JP2001108131A (ja) | ピストンバルブ | |
| JP2001153239A (ja) | ダイヤフラムバルブ | |
| JPH11159641A (ja) | 逆止機能付定流量弁 | |
| CN208703140U (zh) | 一种在线密封补偿结构 | |
| JP2952186B2 (ja) | ダイヤフラム弁 | |
| JP3075790U (ja) | 気体コントロールモジュール開閉機構 | |
| JPH0221082A (ja) | 湯電磁弁 | |
| CN210344335U (zh) | 一种具有清洁功能的调节阀 | |
| CN212480301U (zh) | 介质隔离型燃气电磁阀 | |
| JPH0640551U (ja) | 流体操作式開閉弁 | |
| CN111981183A (zh) | 介质隔离型燃气电磁阀 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080314 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090314 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090314 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100314 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100314 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110314 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120314 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130314 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |