JPH0529195A - 縮小投影型露光装置 - Google Patents
縮小投影型露光装置Info
- Publication number
- JPH0529195A JPH0529195A JP3182791A JP18279191A JPH0529195A JP H0529195 A JPH0529195 A JP H0529195A JP 3182791 A JP3182791 A JP 3182791A JP 18279191 A JP18279191 A JP 18279191A JP H0529195 A JPH0529195 A JP H0529195A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amount
- projection type
- exposure apparatus
- rotating
- type exposure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】縮小投影型露光装置において、予め露光された
集積回路パターンの１つの露光ショットの回転ずれ量を
検出することによって、残留ずれ量として除去出来なか
った回転ずれ量（チップローテーション量）を補正す
る。 【構成】ウェハー２を吸着し、検出された露光ショット
７のチップローテーション量を補正する回転テーブル
１、及び回転テーブル１を回転させる為のθ回転モータ
５とθ回転ギア４を持ち、θ回転ギア４は、従動ギア３
を回転させる。
集積回路パターンの１つの露光ショットの回転ずれ量を
検出することによって、残留ずれ量として除去出来なか
った回転ずれ量（チップローテーション量）を補正す
る。 【構成】ウェハー２を吸着し、検出された露光ショット
７のチップローテーション量を補正する回転テーブル
１、及び回転テーブル１を回転させる為のθ回転モータ
５とθ回転ギア４を持ち、θ回転ギア４は、従動ギア３
を回転させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェハー上に集積回路の
微細パターンを露光する縮小型投影型露光装置（ステッ
パー）に関する。
微細パターンを露光する縮小型投影型露光装置（ステッ
パー）に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の、この種のステッパーは、目合せ
露光時に集積回路パターン全体のＸ，Ｙ，θ方向の位置
ずれ検出及び位置補正は可能であり、ウェハーを吸着し
回転させる為の回転テーブルも有しているが、１つの露
光領域（露光ショット）の回転ずれ量（チップローテー
ション）を補正する目的には使用されていなかった。
露光時に集積回路パターン全体のＸ，Ｙ，θ方向の位置
ずれ検出及び位置補正は可能であり、ウェハーを吸着し
回転させる為の回転テーブルも有しているが、１つの露
光領域（露光ショット）の回転ずれ量（チップローテー
ション）を補正する目的には使用されていなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のステッ
パーは、チップローテーションを補正する目的で回転テ
ーブルを使用していないので、集積回路パターンの目合
せ露光時に、残留目ずれ量としてチップローテーション
ずれが存在するという欠点がある。
パーは、チップローテーションを補正する目的で回転テ
ーブルを使用していないので、集積回路パターンの目合
せ露光時に、残留目ずれ量としてチップローテーション
ずれが存在するという欠点がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のステッパーは、
予め露光された集積回路パターンの１つの露光ショット
のチップローテーションを検出し、このチップローテー
ションを補正する為の回転テーブルと、その駆動用モー
タを有している。
予め露光された集積回路パターンの１つの露光ショット
のチップローテーションを検出し、このチップローテー
ションを補正する為の回転テーブルと、その駆動用モー
タを有している。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例を示す図で、同図（ａ）は
平面図、同図（ｂ）は縦断面図である。図１（ａ）にお
いて、ウェハー２は回転テーブル１上に真空吸着されて
いる。この状態で、ウェハー２のＸ，Ｙ及び回転方向の
位置決めを実施する。しかし、この位置決めではチップ
ローテーション量が補正されないので、任意のウェハー
内の露光ショット７について、図２の説明図に示すよう
に、チップローテーションがのった露光ショット８と、
理想的な位置にある露光ショット９との間のずれ量
Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｙ1 ，Ｙ2 を計測する。このずれ量は、レ
チクル上のアライメントマークと、前工程でチップ上に
作り込まれたアライメントマークとの差を計測して得ら
れる。この量がわかることにより、チップローテーショ
ン量（ラジアン）は｛（Ｘ1 −Ｘ2 ）／Ｓy ＋（Ｙ1 −
Ｙ2 ）／Ｓx ｝／２で計算できる。なお、０点は装置が
認識している原点である。
る。図１は本発明の一実施例を示す図で、同図（ａ）は
平面図、同図（ｂ）は縦断面図である。図１（ａ）にお
いて、ウェハー２は回転テーブル１上に真空吸着されて
いる。この状態で、ウェハー２のＸ，Ｙ及び回転方向の
位置決めを実施する。しかし、この位置決めではチップ
ローテーション量が補正されないので、任意のウェハー
内の露光ショット７について、図２の説明図に示すよう
に、チップローテーションがのった露光ショット８と、
理想的な位置にある露光ショット９との間のずれ量
Ｘ1 ，Ｘ2 ，Ｙ1 ，Ｙ2 を計測する。このずれ量は、レ
チクル上のアライメントマークと、前工程でチップ上に
作り込まれたアライメントマークとの差を計測して得ら
れる。この量がわかることにより、チップローテーショ
ン量（ラジアン）は｛（Ｘ1 −Ｘ2 ）／Ｓy ＋（Ｙ1 −
Ｙ2 ）／Ｓx ｝／２で計算できる。なお、０点は装置が
認識している原点である。
【０００６】そこで、図１（ｂ）に示すように、パルス
モータ等のθ回転モータ５により、θ回転ギア４を回転
させ、回転テーブル１についている従動ギア３を、上記
のチップローテーション量に対応する量だけ軸受け６ま
わりに回転させる。ここで、回転テーブル１を固定し、
再度、ウェハー内の各ショット位置を検出すれば、チッ
プローテーション及びＸ，Ｙ方向のずれが、全て補正可
能である。
モータ等のθ回転モータ５により、θ回転ギア４を回転
させ、回転テーブル１についている従動ギア３を、上記
のチップローテーション量に対応する量だけ軸受け６ま
わりに回転させる。ここで、回転テーブル１を固定し、
再度、ウェハー内の各ショット位置を検出すれば、チッ
プローテーション及びＸ，Ｙ方向のずれが、全て補正可
能である。
【０００７】また、図３はウェハー内の任意の点（ｘ
ｉ，ｙｉ）が任意の角度（θ）だけ原点０を中心に回転
した場合のＸ，Ｙ方向のずれ量を図示したものである。
図３に示す様に、チップローテーション量を補正する際
に、ウェハー内の各点がどれだけずれたかが計算により
算出されるので、チップローテーション補正後のＸ，Ｙ
方向の位置検出は必ずしも実行する必要はない。
ｉ，ｙｉ）が任意の角度（θ）だけ原点０を中心に回転
した場合のＸ，Ｙ方向のずれ量を図示したものである。
図３に示す様に、チップローテーション量を補正する際
に、ウェハー内の各点がどれだけずれたかが計算により
算出されるので、チップローテーション補正後のＸ，Ｙ
方向の位置検出は必ずしも実行する必要はない。
【０００８】図３でのずれ補正量はＸ＝ｘ・（Ｌx −ｘ
ｉ）／ｘｉ，Ｙ＝ｙ・ｙｉ／Ｌy となる。なお、この式
は、各ショット内のｘ，ｙ座標の点（ｘｉ，ｙｉ）を、
ウェハー内のＸ，Ｙ座標に変換する式である。以上述べ
たように、本発明は、チップローテーション補正機能と
して、ウェハーを回転させる方式をとるステッパーには
全て適用可能であり、かつ露光ショットの歪以外のずれ
量は全て補正可能になる。
ｉ）／ｘｉ，Ｙ＝ｙ・ｙｉ／Ｌy となる。なお、この式
は、各ショット内のｘ，ｙ座標の点（ｘｉ，ｙｉ）を、
ウェハー内のＸ，Ｙ座標に変換する式である。以上述べ
たように、本発明は、チップローテーション補正機能と
して、ウェハーを回転させる方式をとるステッパーには
全て適用可能であり、かつ露光ショットの歪以外のずれ
量は全て補正可能になる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ウェハー
を吸着したテーブルを所定の量（チップローテーション
の量）だけ回転させることにより、これまで残留誤差と
して除去できなかったチップローテーションずれ量を補
正できる効果がある。
を吸着したテーブルを所定の量（チップローテーション
の量）だけ回転させることにより、これまで残留誤差と
して除去できなかったチップローテーションずれ量を補
正できる効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す図で、同図（ａ）は平
面図、同図（ｂ）は縦断面図である。
面図、同図（ｂ）は縦断面図である。
【図２】露光ショットにチップローテーションがのった
状態の説明図である。
状態の説明図である。
【図３】ウェハー内の各点のずれ量を算出する説明図で
ある。
ある。
１ 回転テーブル ２ ウェハー ３ 従動ギア ４ θ回転ギア ５ θ回転モータ ６ 軸受け ７ 露光ショット ８ チップローテーションがのった露光ショット ９ 理想的な位置にある露光ショット
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 半導体基板に集積回路パターンを繰返し
露光し、露光された前記集積回路パターンの位置検出及
び補正を行う縮小投影型露光装置において、予め露光さ
れた集積回路パターンの１つの露光領域の回転ずれ量を
検出し、この回転ずれ量を補正する為の回転テーブル
と、この回転テーブルを駆動する為のモータを有するこ
とを特徴とする縮小投影型露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3182791A JPH0529195A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 縮小投影型露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3182791A JPH0529195A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 縮小投影型露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0529195A true JPH0529195A (ja) | 1993-02-05 |
Family
ID=16124489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3182791A Pending JPH0529195A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 縮小投影型露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0529195A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6041145A (en) * | 1995-11-02 | 2000-03-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Device and method for smoothing picture signal, device and method for encoding picture and device and method for decoding picture |
| US8895680B2 (en) | 2004-08-09 | 2014-11-25 | Kuraray Noritake Dental Inc. | Redox curing-type nonaqueous curable composition |
-
1991
- 1991-07-24 JP JP3182791A patent/JPH0529195A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6041145A (en) * | 1995-11-02 | 2000-03-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Device and method for smoothing picture signal, device and method for encoding picture and device and method for decoding picture |
| US8895680B2 (en) | 2004-08-09 | 2014-11-25 | Kuraray Noritake Dental Inc. | Redox curing-type nonaqueous curable composition |
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