JPH05291546A - 固体撮像素子の製造方法 - Google Patents

固体撮像素子の製造方法

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JPH05291546A
JPH05291546A JP4087262A JP8726292A JPH05291546A JP H05291546 A JPH05291546 A JP H05291546A JP 4087262 A JP4087262 A JP 4087262A JP 8726292 A JP8726292 A JP 8726292A JP H05291546 A JPH05291546 A JP H05291546A
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JP
Japan
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lead
package
lead frame
recess
sensor chip
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JP4087262A
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Yasuhiro Asano
泰宏 浅野
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
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    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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    • H01L21/56Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565Moulds
    • HELECTRICITY
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
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  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 透光性樹脂によりパッケージが形成される撮
像素子を表面実装型とすることで、撮像ユニットの小型
化を可能にする。 【構成】 リード部11bがクランク状に折り曲げら
れ、リード部11bの先端部分からアイランド部11a
に段差が形成されたリードフレーム11をパッケージを
形成するための金型13の凹部14に収納する。このと
き、リード部11bを金型13の表面15に合わせると
共に、凹部14の側面に密着させることで、センサチッ
プ10の位置を固定する。その後、凹部14内に熱硬化
型の透光性樹脂16を充填し、加熱硬化してパッケージ
を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂モールド型のCC
Dイメージセンサの如き固体撮像素子の製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来よりCCDイメージセンサの如き固
体撮像素子に用いられるセラミックパッケージは、組立
て工程が繁雑なことやセラミックパッケージ自体が高価
なことから、固体撮像素子の製造コストを上げる要因の
一つとなっている。そこで、固体撮像素子の製造コスト
を低減させる方法として、透光性の樹脂によりパッケー
ジを形成することが考えられている。透光性の樹脂によ
ってセンサチップをモールドして固体撮像素子を形成す
れば、セラミックパッケージを用いる場合に比して組立
工程が簡単になり、材料自体も安価であるため、固体撮
像素子の製造コストを大幅に低減することができる。
【0003】図5は、透光性樹脂によりパッケージを形
成する固体撮像素子の製造方法を説明する断面図であ
る。リードフレーム1は、センサチップ2が装着される
アイランド部1a及びアイランド部1aの周辺に配置さ
れたリード部1bからなり、センサチップ2がアイラン
ド部1aに装着された後にセンサチップ2の入出力パッ
ドとリード部1bの先端とがワイヤ3により接続され、
さらにリード部1bがアイランド部1aに対して垂直に
折り曲げられる。
【0004】樹脂パッケージを形成する金型4の凹部5
は、所望のパッケージに合わせた形状を成し、その内部
に位置決め用のピン6が設けられる。このピン6は、リ
ードフレーム1のアイランド部1aに設けられる穴ある
いは切欠にはめ込まれて凹部5に対するアイランド部1
aすなわちセンサチップ2の位置を固定する。また、凹
部5内には、リードフレーム1を支持する段差が設けら
れ、センサチップ2の受光面と凹部5の底面とが平行に
なるようにリードフレーム1が保持される。そして、こ
の金型4の凹部5内にセンサチップ2が装着されたリー
ドフレーム1を収納し、凹部5内に熱硬化型の透光性樹
脂を充填した後に加熱してパッケージを形成する。樹脂
パッケージを形成した後には、この樹脂パッケージを金
型4から取り出し、リードフレーム1の不要部分を切断
することで固体撮像素子を完成させる。
【0005】以上のような製造方法は、一般的にキャス
ティング法と称され、例えば本出願人により特願平3−
63271号に提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、リード部1
bがパッケージの裏面側に突出したインラインタイプの
パッケージを用いる場合には、素子を装着する基板にリ
ード部1bを通す穴を設ける必要が生じ、基板の両面を
有効に利用できなくなるため、撮像ユニット小型化の妨
げとなっている。そこで、基板の両面を有効に活用でき
る表面実装型のアウトラインタイプのパッケージを採用
することが考えられるが、撮像素子の場合には、レンズ
等の光学系とセンサチップ2との位置合わせが必要なた
め、センサチップ2を正確な位置に装着することが課題
となる。
【0007】そこで本発明は、アウトラインタイプのパ
ッケージが採用される撮像素子の製造方法において、パ
ッケージ内部のチップ位置を正確に設定することを目的
とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するために成されたもので、その特徴とするところ
は、リード部がクランク形状を成し、このリード部の一
端側がアイランド部に対して平行で、且つ後退したリー
ドフレームに、複数の光電変換素子がマトリクス状に配
列されてなる半導体チップを装着した後、この半導体チ
ップの入出力パッドにリード部の他端側を電気的に接続
する工程と、パッケージ形状を成す凹部の開口側端部に
上記リード部の一端側を合わせるようにして、上記半導
体チップが装着された上記リードフレームを凹部に収納
し、この凹部内を熱硬化型の透光性樹脂で充填する工程
と、上記透光性樹脂を加熱して硬化し、上記半導体チッ
プを上記リードフレームのアイランド部と共に封止する
工程と、を有することにある。
【0009】
【作用】本発明によれば、半導体チップが装着されるリ
ードフレームのリード部とパッケージを形成する凹部の
開口側の端部とを合わせることにより、凹部内の所定の
位置に半導体チップが固定され、パッケージの表面ある
いは側面に対する半導体チップの位置が決定される。
【0010】
【実施例】図1乃至図3は、本発明の固体撮像素子の製
造方法を説明する工程順断面図である。センサチップ1
0は、周知のプロセスにより製造されるもので、図5と
同一構造を有する。リードフレーム11は、図1に示す
ように、センサチップ10が装着されるアイランド部1
1a及びこのアイランド部11aの周辺部に配置された
リード部11bからなり、リード部11bがクランク状
に折り曲げられ、リード部11bの先端部分でアイラン
ド部11aを支持するような段差が形成される。この段
差については、パッケージに対するセンサチップ10の
位置を決定するものであり、アイランド部11aとリー
ド部11bの先端部分とが平行で、各リード部11bで
等しくなるように形成される。そして、リードフレーム
11のアイランド部11aにセンサチップ10を装着し
た後、センサチップ10の入出力パッドとリード部11
bとをワイヤ12により接続する。ここで、リードフレ
ーム11の折り曲げについては、センサチップ10を装
着した後に行うようにしても差し支えない。
【0011】続いて、図2に示すように、パッケージを
形成する金型13の凹部14にセンサチップ10が装着
されたリードフレーム11を収納する。このとき、リー
ド部11bの先端部分を金型13の表面部分15と隙間
なく合わせることによりセンサチップ10が凹部14内
の所定の位置に固定される。即ち、リード部11bの段
差と凹部14の深さとの設定により、凹部14の底面に
対するセンサチップ10の位置が決定され、センサチッ
プ10が凹部14内で底面に対して平行に保持される。
また、凹部14の側面に対するセンサチップ10の位置
については、対向するリード部11bの段差の間の距離
と凹部14の幅とを一致させ、リード部11bの段差部
分が凹部14の側面に密着するようにしてリードフレー
ム11を凹部14に収納することで固定可能である。あ
るいは、図5の場合と同様にして、凹部14内に位置決
め用のピンを設け、リードフレーム11のアイランド部
11aに設けられる穴をそのピンにはめ込むようにする
ことでもセンサチップ10の位置を固定できる。
【0012】そして、金型13の凹部14にセンサチッ
プ10と共にリードフレーム11を収納した後には、図
3に示すように、凹部14内に熱硬化型の透光性樹脂1
6を充填し、この透光性樹脂16を加熱することにより
硬化させてパッケージを形成する。以上の製造方法によ
れば、透光性樹脂16によるアウトラインタイプのパッ
ケージが形成されるため、撮像素子の表面実装が可能に
なる。例えば、図4に示すように、回路パターンが形成
されたプリント基板20上に撮像素子を装着し、この撮
像素子を覆うようにしてレンズ21を支持するレンズマ
ウント22を装着することができる。このような実装方
法によると、プリント基板20に撮像素子装着用の穴を
設ける必要がなくなり、プリント基板20の両面を有効
に利用することができる。また、プリント基板20の穴
をなくすことにより、撮像素子の裏面側から侵入する不
要な光がなくなるため、撮像素子の裏面側を遮光する必
要がなくなる。これにより、遮光機構を簡略化し、レン
ズマウント22によりセンサチップ10を不要な光から
完全に遮光することができる。
【0013】
【発明の効果】本発明によれば、撮像素子が装着される
基板の両面を有効に活用できるため、その基板の面積を
縮小することができる。また、透光性樹脂でパッケージ
が形成される撮像素子において必要となる不要な光に対
する遮光が容易になり、遮光機構の簡略化が図れるた
め、基板面積の縮小に併せて撮像ユニットの小型化に有
効となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の固体撮像素子の製造方法の第1工程を
説明する断面図である。
【図2】本発明の固体撮像素子の製造方法を第2工程を
説明する断面図である。
【図3】本発明の固体撮像素子の製造方法を第3工程を
説明する断面図である。
【図4】固体撮像素子の実装方法を示す断面図である。
【図5】従来の固体撮像素子の製造方法を説明する断面
図である。
【符号の説明】
1、11 リードフレーム 1a、11a アイランド部 1b、11b リード部 2、10 センサチップ 3、12 ワイヤ 4、13 金型 5、14 開口部 6 位置決めピン 15 金型表面 16 透光性樹脂 20 プリント基板 21 レンズ 22 レンズマウント
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 23/31 23/50 G 9272−4M

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リード部がクランク形状を成し、このリ
    ード部の一端側がアイランド部に対して平行で、且つ後
    退したリードフレームに、複数の光電変換素子がマトリ
    クス状に配列されてなる半導体チップを装着した後、こ
    の半導体チップの入出力パッドにリード部の他端側を電
    気的に接続する工程と、パッケージ形状を成す凹部の開
    口側端部に上記リード部の一端側を合わせるようにし
    て、上記半導体チップが装着された上記リードフレーム
    を凹部に収納し、この凹部内を熱硬化型の透光性樹脂で
    充填する工程と、上記透光性樹脂を加熱して硬化し、上
    記半導体チップを上記リードフレームのアイランド部と
    共に封止する工程と、を有することを特徴とする固体撮
    像素子の製造方法。
JP4087262A 1992-04-08 1992-04-08 固体撮像素子の製造方法 Pending JPH05291546A (ja)

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