JPH0528915B2 - - Google Patents

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JPH0528915B2
JPH0528915B2 JP61099117A JP9911786A JPH0528915B2 JP H0528915 B2 JPH0528915 B2 JP H0528915B2 JP 61099117 A JP61099117 A JP 61099117A JP 9911786 A JP9911786 A JP 9911786A JP H0528915 B2 JPH0528915 B2 JP H0528915B2
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JP
Japan
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electro
optical
light source
laser
resonator
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JP61099117A
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JPS62254478A (ja
Inventor
Hideto Iwaoka
Takahiro Shiozawa
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
    • H01S3/107Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using electro-optic devices, e.g. exhibiting Pockels or Kerr effect
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本発明は、レーザ光の発振波長を変えることが
できる可変波長レーザ光源の特性の改良に関する
ものである。
《従来の技術》 従来の可変波長レーザ光源としては次のような
ものがある。
イ レーザ共振器内の光路上に音響光学フイルタ
を備え、通過周波数を制御するもの。
ロ レーザ共振器内の光路上に複屈折フイルタを
備えたもの。
ハ レーザ共振器内部に共振部を2つ有し、ミラ
ーを動かして発振波長を変化させる複合共振器
形。
ニ レーザ共振器内部において、音響偏向器によ
り回折格子への光入射角を変えることにより、
発振波長を制御するもの。
ホ その他レーザ共振器内にプリズムを入れるも
の、共振器を形成するミラーの代りに回折格子
を用いるものなどがある。
《発明が解決しようとする問題点》 しかしながら、上記のような構成の可変波長光
源において、ロとハ以外は発振スペクトル幅が広
くなるという欠点があり、ロは可変範囲が狭く、
ハは電気的な制御が難しいという問題点がある。
本発明はこのような問題点を解決するためにな
されたもので、スペクトル幅の狭い可変波長光源
を実現することを目的とする。
《問題点を解決するための手段》 本発明に係る可変波長光源は、 光路の一部を互いに共用する2つのレーザ共振
器と、 前記2つのレーザ共振器の光路上にそれぞれ設
けられ、且つ、互いに同一温度となるように構成
され、同一の光路長であつて、同一の温度特性を
持つ電気光学結晶と、 を備え、一方の電気光学結晶の屈折率を電気的に
制御することにより発振波長を変化させるように
構成したことを特徴とする。
《実施例》 以下本発明を図面を用いて詳しく説明する。
第1図は、本発明に係る装置が行う発振波長の
可変原理を説明する図である。LD1は半導体レ
ーザ、1,2はこの半導体レーザLD1の両端に
設けられた無反射コート部、LS1はこの無反射
コート部1から出射される光を平行光とするレン
ズ、HM1はこのレンズLS1を通過した光が反射
されるハーフミラー、LS2は無反射コート部2
から出射される光を平行光とするレンズ、EO1
はLiNbO3(ニオブ酸リチウム)等の結晶からなり
前記レンズLS2の出力光を入射する両面無反射
コートの電気光学素子、3はこの電気光学素子
EO1を制御する信号源、M1はこの電気光学素
子EO1の出力光を入射するミラーである。
半導体レーザLD1の無反射コート部1から出
射した光はレンズLS1で平行光となり、ハーフ
ミラーHM1で反射される。ハーフミラーHM1
からの反射光は光路を元に戻つて再び半導体レー
ザLD1に入射する。無反射コート部2から出射
した周波数f01の光はレンズLS2で平行光とされ、
電気光学素子EO1を通過し、ミラーM1で反射
した後元の光路を逆行して、再び半導体レーザ
LD1に入射する。この結果ハーフミラーHM1
とミラーM1の間で共振器を構成できる。ハーフ
ミラーHM1とミラーM1の間の電気光学素子
EO1の光路に沿つた長さlを除く光学長をL、
電気光学素子EO1の屈折率をn、光速をc,p
を整数とすると、発振周波数f01は f01=p・c/2(L+n(V)l) …(1) となる。すなわち信号源3により電気光学素子
EO1の電界強度を変えることにより屈折率nを
変化させることができ、その結果発振周波数f01
を掃引できる。レーザ光はハーフミラーHM1を
介して外部へ出力される。
このような構成の可変波長光源によれば、共振
器長が長く共振器のQが高いので、スペクトル幅
が狭いという利点がある。
また電気光学素子を用いているので、電気的な
制御が容易にできる。
なお半導体レーザLD1の左側端面をミラー・
コートすれば、レンズLS1とハーフミラーHM
1を省略することができる。
第2図は、第1図の可変波長光源を1チツプ上
に集積したものを示す斜視図である。集積形可変
波長光源10において、11はGaAlAs,
InGaAsP等から構成されるレーザダイオード、
12はこのレーザダイオード11の接合部に設け
られた光増幅部、13は同じく設けられた導波路
形外部共振器、14,15はレーザダイオード1
1の両端にもうけられたミラー、16は前記光増
幅部12に対応してレーザダイオード11の表面
に設けられた電極、17は前記導波路形外部共振
器13に対応してレーザダイオード11の表面に
設けられた電極である。電極16を介して接合部
に電流ILDを注入して光増幅部12においてレー
ザ光を発生させ、導波路形外部共振器13に電極
17を介して電流IFを流し導波路形外部共振器1
3の屈折率を変化させて発振周波数を掃引する。
光増幅部12および導波路形外部共振器13の接
合部に沿つた長さをそれぞれl1,l2、屈折率をそ
れぞれn1,n2,qを整数とすると、発振周波数
f02は f02=q・c/2(n1l1+n2(IF)l2) …(2) となる。
第3図は本発明に係る可変波長光源の実施例
で、第1図の可変波長光源を二重共振器型とした
ものを示す構成ブロツク図である。第1図と同じ
部分は同一の記号を付して説明を省略する。BS
1はレンズLS2からの出射光を2方向に分離す
るビームスプリツタ、EO1はこのビームスプリ
ツタBS1を透過した光を入射する電気光学素子、
M1はこの電気光学素子EO1の出射光を反射す
るミラー、EO2は前記ビームスプリツタBS1で
反射した光を入射する電気光学素子、M2はこの
電気光学素子EO2の出射光を反射するミラーで
ある。電気光学素子EO1,EO2の光路の方向の
長さをそれぞれl3,l4、屈折率をそれぞれn3,n4
ハーフミラーHM1,M1間の光路に沿つたl3
除く光学長をL1、ハーフミラーHM1M2間の光
路に沿つたl4を除く光学長をL2,rを整数とする
と、この場合の発振周波数f03は f03=r・c/2|(L1+n3(V1)l3) −(L2+n4(V2)l4| …(3) となる。ただしV1,V2はそれぞれ電気光学素子
EO1,EO2の駆動電圧である(図では省略)。
(3)式は(1)式よりも分母を小さくできるので、第1
図装置の場合よりも発振周波数の可変範囲を大き
くできる。
また従来の複合共振器の片面無反射コートと異
なり、半導体レーザLD1の両端を無反射コート
して外部ミラーを用いているので、半導体レーザ
LD1の両端面による共振器のQが下がり、前記
共振器の影響が少ないという利点もある。
なお電気光学素子は2つの共振器の一方のみに
設けてもよい。
第3図装置において、電気光学結晶の屈折率は
電界のみならず、温度によつても変化する。例え
ば、LiNbO3の屈折率の温度係数は、 dne/dT=5×10-5(1/℃) dn0/dT=5×10-6(1/℃) (ただしne,n0は主屈折率) であり、光軸方向に電界を加えたときの単位電界
に対する屈折率の変化 (2/3)ne 2r33=9.97×10-11 (m/V) (2/3)n0 2r13=3.34×10-11 (m/V) (ただし波長λ=633nmにおける値。r33,r13
電気光学係数)と比較すると、温度変化の屈折率
への影響は非常に大きい。その結果、発振波長が
変化するだけでなく、FSR(Free Spectral
Range)が狭くなり、ある温度で単一波長発振す
るように調整しても、温度が変ることにより、多
モード発振となつてしまう場合さえある。そこ
で、2つの電気光学結晶EO1,EO2として同一
長、同一温度特性のものを使用し、光の偏波面に
対して同一結晶軸方向に配置すれば、以下のよう
に温度補償を行うことができる。電気光学素子
EO1のみを駆動し、電気光学素子EO2を温度補
償用結晶として用いると、電界の変化ΔEおよび
温度の変化ΔTに対応するEO1側の光学長の変
化Δnl3は Δnl3={(dn/dE)ΔE+(dn/dT)△T}l …(4) となり、温度の変化△Tに対応するEO2側の光
学長の変化Δnl4は Δnl4=(dn/dT)ΔTl …(5) となる。ただしn3=n4=n,l3=l4=l である。したがつて、電界および温度の変化ΔE、
ΔTに対応する等価的共振器Leqの変化は ΔLeq=Δnl3−Δnl4=(dn/dE)ΔEl …(6) となり、温度を含む項が相殺されるので、温度変
化の影響を受けない。
第4図は第3図装置の2つの電気光学結晶を一
体ブロツク化して同一温度となるように構成した
ものを示す斜視図である。20は銅等の熱伝導の
良い金属等からなるブロツク、21,22はこの
ブロツク20内に近接して埋め込まれた波長可変
用と温度補償用の2つの電気光学結晶である。第
5図はこの電気光学素子を用いた可変波長光源の
第2の実施例を示す構成ブロツク図である。第3
図と異なるのは電気光学素子EO1,EO2の代り
にブロツク20を使用し、ミラーM3で光路の方
向を変えている点のみで、動作は同様である。2
つの電気光学結晶は光の偏波面に対して同一結晶
軸方向に配置され、光路長および温度特性が等し
く選ばれ、一体ブロツク化しているので温度も等
しくなり、前述のような温度補償効果を実現でき
る。
第6図は第3図装置の2つの電気光学結晶を1
つの結晶内に一体化して同一温度となるように構
成したものを示す斜視図である。30は電気光学
結晶、31,32はこの電気光学結晶30の両面
の半分に対向して設けられた波長変化用の電極で
ある。第7図はこの電気光学素子を用いた可変波
長光源の第3の実施例を示す構成ブロツク図であ
る。第5図装置のブロツク20の代りに、結晶3
0をその電極31が光路と平行となるように配置
したもので、電極31に対応する光路で波長可変
を行い、他の光路で温度補償を行う。
第8図は同じ電気光学素子を用いた可変波長光
源の第4の実施例を示す構成ブロツク図で、結晶
30の縦横の長さを等しくとり、第7図におい
て、結晶30の方向を90゜回転させるとともに、
ミラーM4を挿入して、2つの光路を交差させた
ものである。
なお、さらに温度の安定度が必要な場合には、
第4図のブロツクや第6図の結晶、さらには装置
全体を恒温槽に入れればよい。
第9図は本発明に係る可変波長光源の第5の実
施例を示す構成ブロツク図で、光導波路を用いて
二重外部共振器型の可変波長光源を実現したもの
である。4は半導体レーザLD1の片端面に設け
られたミラーコート面、40は光導波路で構成さ
れた外部共振器、この外部共振器40において、
41は半導体レーザLD1の出力光を集光用レン
ズLS2を介して入射する第1の導波路、43は
この光導波路41の端面に設けられたミラーコー
ト部、46は前記導波路41に設けられた波長変
化用の変調器、42は前記光導波路41の光を方
向性結合器49を介して結合する第2の光導波
路、44はこの光導波路42の一端に設けられた
ミラーコート部、45は同じく他端に設けられた
出力光を出射する無反射コート部、47は前記光
導波路42に設けられた波長変化用の変調部、4
8は出力変調器である。
上記の装置は第3図装置と同様の動作を行い、
半導体レーザLD1のミラーコート面4と外部共
振器40のミラーコート面43および44との間
には方向性結合器49を介して共振器が形成さ
れ、変調器46および変調器47の少なくとも一
方を駆動することにより、発振波長を変化させる
ことができる。
このような構成の可変波長光源によれば、光学
系の構成を簡単にできる。
なお上記実施例において、第5図装置と同様の
温度補償を容易に行うことができる。
第10図は本発明に係る可変波長光源の第6の
実施例を示す構成ブロツク図である。第1図装置
と異なるのは。電気光学素子EO1とミラーM1
の間の光路上に、複屈折フイルタあるいは音響光
学フイルタ等で構成され、透過帯域を外部から制
御可能な光学フイルタOF1を設けた点で、共振
器のゲインが大となる前記透過帯域で発振するよ
うに構成したものである。電気光学素子EO1で
制御できる波長の幅は余り大きくないが、光学フ
イルタOF1は帯域を大幅に制御することができ
るので、可変波長範囲の広い可変波長光源を実現
できる。
第11図は本発明に係る可変波長光源の第7の
実施例を示す構成ブロツク図で、第2図の集積形
の可変波長光源10の片端面を無反射コートした
ものと第10図装置のOF1,M1と同様の光学
フイルタOF2、ミラーM5を組合せて半集積形
で可変波長範囲の広い可変波長光源を構成したも
のである。
《発明の効果》 以上述べたように本発明によれば、温度変化の
影響を受けることなく、スペクトル幅の狭い可変
波長のレーザ光を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る装置が行う発振波長の可
変原理を説明する図、第2図は第1図の可変波長
光源を1チツプ上に集積したものを示す斜視図、
第3図は本発明に係る可変波長光源の実施例を示
す構成ブロツク図、第4図は第3図装置の一部の
変形例を示す部分斜視図、第5図は第4図装置を
用いた本発明に係る可変波長光源の第2の実施例
を示す構成ブロツク図、第6図は第3図装置の一
部の他の変形例を示す部分斜視図、第7図は第6
図装置を用いた本発明に係る可変波長光源の第3
の実施例を示す構成ブロツク図、第8図は同じく
第4の実施例を示す構成ブロツク図、第9図は本
発明に係る可変波長光源の第5の実施例を示す構
成ブロツク図、第10図は本発明に係る可変波長
光源の第6の実施例を示す構成ブロツク図、第1
1図は本発明に係る可変波長光源の第7の実施例
を示す構成ブロツク図である。 3…信号源、4,14,15,43,44,M
1,M2,M5…ミラー、10…可変波長光源、
12…光増幅部、13…導波路形外部共振器、
HM1…ハーフミラー、21,22,30,EO
1,EO2…電気光学素子、46,46…変調器、
LD1…半導体レーザ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 光路の一部を互いに共用する2つのレーザ共
    振器と、 前記2つのレーザ共振器の光路上にそれぞれ設
    けられ、且つ、互いに同一温度となるように構成
    され、同一の光路長であつて、同一の温度特性を
    持つ電気光学結晶と、 を備え、一方の電気光学結晶の屈折率を電気的に
    制御することにより発振波長を変化させるように
    構成した可変波長光源。 2 前記レーザ共振器の光路が光導波路で構成さ
    れたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の可変波長光源。
JP9911786A 1986-04-28 1986-04-28 可変波長光源 Granted JPS62254478A (ja)

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JP9911786A JPS62254478A (ja) 1986-04-28 1986-04-28 可変波長光源

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