JPH05288922A

JPH05288922A - カラーフィルタ

Info

Publication number: JPH05288922A
Application number: JP9312092A
Authority: JP
Inventors: Akira Okazaki; 暁岡崎; Hiroyuki Kusukawa; 宏之楠川; Norikatsu Ono; 典克小野
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1992-04-13
Filing date: 1992-04-13
Publication date: 1993-11-05

Abstract

(57)【要約】【目的】液晶ディスプレイ等のフラットディスプレ
イ、ＣＣＤ等のイメージャー、あるいはカラーセンサ等
に用いられる高精度のカラーフィルタを提供することを
目的とする。【構成】透明基板と、着色層と、この着色層上に形成
された保護層とを有し、着色層は露光により粘着性を発
現する感光性物質を透明基板上に塗布して形成された感
光性層を所定のパターンを有するフォトマスクを介して
露光し露光部分に着色粉末物質を付着させて形成した複
数色の着色パターンからなり、保護層は透明無機材料に
より形成されたものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルタに係り、
特に、例えば液晶ディスプレイ等のフラットディスプレ
イ、ＣＣＤ等のイメージャー、あるいはカラーセンサ等
に用いられるカラーフィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、カラービデオカメラの撮像管に
は、複数色の微細なストライプが透明基板上に形成され
たカラーフィルタが装着されている。

【０００３】また、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）におい
ても、近年のカラー化の要請に対応するために、アクテ
ィブマトリックス方式および単純マトリックス方式のい
ずれの方式においてもカラーフィルタが用いられてい
る。例えば、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用いたアク
ティブマトリックス方式の液晶ディスプレイでは、カラ
ーフィルタは透明基板上に形成された赤（Ｒ）、緑
（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色からなる着色層を備え、Ｒ，
Ｇ，Ｂのそれぞれの画素に対応する電極をオン、オフさ
せることで液晶がシャッタとして作動しＲ，Ｇ，Ｂのそ
れぞれの画素を光が透過してカラー表示が行われる。そ
して、色混合は２色以上の画素に対応する液晶シャッタ
を開き混色して別の色に見せる加色混合の原理により網
膜上で視覚的に行われる。

【０００４】上述のように用いられるカラーフィルタの
着色層は、従来、染色法、分散法等の手段を用いて形成
されていた。ここで、染色法によるカラーフィルタの着
色層の形成は、例えば次のようにして行われていた。

【０００５】すなわち、ゼラチン、カゼイン、ポリビニ
ルアルコール等の親水性樹脂に重クロム酸塩等の感光剤
を添加した塗布液を、スピンコート塗布法等により透明
ガラス基板上に塗布し、次いで、所定パターンのマスク
を用いて露光・現像を行い、その後、染料により染色し
て第一着色層を形成する。その後、この第一着色層上に
二度染め防止のために防染層を設けてから第二着色層お
よび第三着色層をそれぞれ第一着色層の形成と同様にし
て形成する。これにより、透明ガラス基板上にＲ，Ｇ，
Ｂの各着色層を備えたカラーフィルタを得ることができ
る。

【０００６】また、分散法を用いたカラーフィルタの着
色層の形成は、例えば次のようにして行われていた。す
なわち、透明感光性樹脂に有機顔料、無機顔料等の着色
剤を分散した感光液を透明ガラス基板上に塗布して感光
性樹脂層を形成する。次に、この感光性樹脂層上に所定
形状の開口パターンを有するマスクを載置し、露光・現
像を行い第一着色層を形成する。同様にして第二着色
層、第三着色層を形成してＲ，Ｇ，Ｂの各着色層を備え
たカラーフィルタを得ることができる。

【０００７】また、カラーフィルタの着色層上には保護
層が設けられ、この保護層は着色層の耐水性、耐薬品性
の向上、表面平滑性の向上、信頼性の向上および液晶層
への汚染防止等を目的とするものであった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、染色法
により形成されるカラーフィルタは、色調が豊富で解像
性に優れるが、染色の際に既に着色された部分が二度染
めされないように防染対策を施す必要がある等の点から
工程が煩雑であり製造コストが高いという問題があっ
た。また、着色剤に染料を用いているため耐熱性、耐薬
品性、耐光性等が劣るという問題もあった。

【０００９】また、分散法により形成されるカラーフィ
ルタは、耐熱性、耐光性の高い微細なパターン形成が可
能である反面、色変えの度にフォトリソグラフィー工程
の処理を行う必要があるため工程が煩雑で製造コスト低
減が困難であるという問題があった。

【００１０】このような背景から、低コスト化と量産化
を同時に可能にするとともに、大画面化も可能な印刷法
により製造さるカラーフィルタが提案されている。しか
しながら、印刷法においては、画素の太りや細り、ピン
ホールの発生等により印刷形状が悪化したり、細線の厚
みが充分にとれないため、得られるカラーフィルタは微
細パターンの再現性に問題があり、また、高品位のブラ
ックマトリックスを備えるカラーフィルタでは、クロム
蒸着法等によりブラックマトリックスを形成する必要が
あり製造コストが増大するという問題があった。

【００１１】また、カラーフィルタの着色層上に形成さ
れる保護層は、着色層との密着性、耐性、レベリング
性、透明性等の種々の特性が要求され、着色層がどのよ
うに形成されたかを考慮して保護層材料を決定する必要
があった。

【００１２】本発明は上述のような事情に鑑みてなされ
たものであり、液晶ディスプレイ等のフラットディスプ
レイ、ＣＣＤ等のイメージャー、あるいはカラーセンサ
等に用いられる高精度のカラーフィルタを提供すること
を目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は透明基板と、露光により粘着性を発
現する感光性物質を前記透明基板上に塗布して形成され
た感光性層を所定のパターンを有するフォトマスクを介
して露光し露光部分に着色粉末物質を付着させて形成し
た複数色の着色パターンからなる着色層と、該着色層上
に積層され透明無機材料により形成されている保護層と
を有するような構成とした。

【００１４】

【作用】カラーフィルタは、透明基板上の感光性層が所
定のパターンを有するフォトマスクを介して露光されて
粘着性が発現された露光部分に着色粉末物質が付着され
て形成された複数色の着色パターンからなる着色層が設
けられ、この着色層上には透明無機材料により形成され
た保護層が積層される。これにより、カラーフィルタに
形成された微細パターンは極めて精度が高いとともに、
カラーフィルタは優れた耐薬品性、耐熱性、耐光性を有
する。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施例であるカラーフィ
ルタの概略構成を示す断面図である。図１において、カ
ラーフィルタ１０は透明基板１２と、この透明基板１２
上に形成されたブラックマトリックス１４と、着色層１
６と、ブラックマトリックス１４と着色層１６を覆うよ
うに設けられた保護層１８と透明共通電極１９とを備え
ている。そして、着色層１６は赤色パターン１６Ｒ、緑
色パターン１６Ｇ、青色パターン１６Ｂからなってい
る。

【００１６】また、図２は本発明のカラーフィルタを用
いたアクティブマトリックス方式による液晶ディスプレ
イ（ＬＣＤ）の一例を示す斜視図であり、図３は同じく
概略断面図である。図２および図３において、ＬＣＤ１
はカラーフィルタ１０と透明ガラス基板２０とをシール
材３０を介して対向させ、その間に捩れネマティック
（ＴＮ）液晶からなる厚さ約５〜１０μｍ程度の液晶層
４０を形成し、さらに、カラーフィルタ１０と透明ガラ
ス基板２０の外側に偏光板５０，５１が配設されて構成
されている。そして、カラーフィルタ１０は透明共通電
極１９が液晶層４０側に位置するように配設されてい
る。

【００１７】また、透明ガラス基板２０上には表示電極
２２が各着色パターン１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂに対応す
るように設けられ、各表示電極２２は薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）２４を有している。また、各表示電極２２間
にはブラックマトリックス１４に対応するように走査線
（ゲート電極母線）２６ａとデータ線２６ｂが配設され
ている。

【００１８】尚、カラーフィルタ１０の着色層１６の各
着色パターンの配列は図２に示されるようにモザイク配
列となっているが、着色パターンの配列はこれに限定さ
れるものではなく、三角配列、ストライプ配列等として
もよい。

【００１９】このようなＬＣＤ１では、各着色パターン
１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂが画素を構成し、偏光板５１側
から照明光を照射した状態で各画素に対応する表示電極
をオン、オフさせることで液晶層４０がシャッタとして
作動し、着色パターン１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂのそれぞ
れの画素を光が透過してカラー表示が行われる。

【００２０】カラーフィルタ１０の透明基板１２として
は、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英板等の
可撓性のないリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、
光学用樹脂板等の可撓性を有するフレキシブル材等を用
いることができる。このなかで、特にコーニング社製７
０５９ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定
性および高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガ
ラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスであ
るため、アクティブマトリックス方式によるＬＣＤ用の
カラーフィルタに適している。

【００２１】ここで、本発明のカラーフィルタにおける
ブラックマトリックス１４および着色層１６の形成例を
図４および図５を参照して説明する。先ず透明基板１２
上に感光性物質を塗布して厚さ０．５〜５μｍ程度の感
光性層１３を形成する（図４（Ａ））。次に、ブラック
マトリックス用のフォトマスクを介して感光性層１３を
露光し露光部分１３ａに粘着性を発現させる（図４
（Ｂ））。そして、感光性層１３上に隠蔽粉末物質を散
布し（図４（Ｃ））、露光部分１３ａに隠蔽粉末物質を
付着させるとともに余分な隠蔽粉末物質を吹き飛ばすこ
とによりブラックマトリックス１４が形成される（図４
（Ｄ））。

【００２２】次に、赤色パターン用のフォトマスクを介
して感光性層１３を露光し露光部分１３ｂに粘着性を発
現させる（図５（Ａ））。そして、感光性層１３上に赤
色粉末物質を散布し（図５（Ｂ））、露光部分１３ｂに
赤色粉末物質を付着させるとともに余分な赤色粉末物質
を吹き飛ばすことにより赤色パターン１６Ｒが形成され
る（図５（Ｃ））。同様に、緑色パターン用のフォトマ
スクを介して露光し、緑色粉末物質を付着させて緑色パ
ターン１６Ｇが形成され（図５（Ｄ））、青色パターン
用のフォトマスクを介して露光し、青色粉末物質を付着
させて青色パターン１６Ｂが形成される（図５
（Ｅ））。このようにして、赤、緑、青の各着色パター
ンからなる着色層１６が形成される。

【００２３】上述のようにしてブラックマトリックス１
４および着色層１６を形成した後に加熱処理を施しても
よい。加熱処理条件は、通常、１５０℃以上、好ましく
は２５０℃以上である。このような加熱処理により、感
光性層１３の感光性物質が昇華除去されて、ブラックマ
トリックス１４を構成する隠蔽粉末物質および着色層１
６を構成する着色粉末物質が平坦化され、ブラックマト
リックス１４および着色層１６の表面平滑性が向上す
る。

【００２４】尚、露光部分への隠蔽粉末物質、各着色粉
末物質の付着は、上述のように１回の付着操作のみとし
てもよく、あるいは複数回繰り返してもよい。また、上
述の実施例では、ブラックマトリックス１４が形成され
てから着色層１６が形成されるが、形成順序はこれに限
定されるものではなく、着色層１６が形成されてからブ
ラックマトリックス１４が形成されるものであってもよ
い。また、ブラックマトリックスを備えていないカラー
フィルタとしてもよい。

【００２５】露光により粘着性を発現する感光性物質と
しては、下記に示されるような１，４−ジヒドロピリジ
ン化合物を用いることができる。１，４−ジヒドロピリジン化合物：２，６−ジメチ
ル−４−（２′−ニトロフェニル）−１，４−ジヒドロ
ピリジン−３，５−ジカルボン酸ジメチルエステル；
２，６−ジメチル−４−（２′−ニトロフェニル）−
１，４−ジヒドロピリジン−３，５−ジカルボン酸ジエ
チルエステル；２，６−ジメチル−４−（２′−ニト
ロ−４′，５′−ジメトキシフェニル）−１，４−ジヒ
ドロピリジン−３，５−ジカルボン酸ジエチルエステ
ル；２，６−ジメチル−４−（２′−ニトロフェニ
ル）−１，４−ジヒドロピリジン−３，５−ジカルボン
酸ジイソプロピルエステル；２，６−ジメチル−４−
（２′−ニトロフェニル）−１，４−ジヒドロピリジン
−３，５−ジカルボン酸ジ（β−エトキシエチル）エス
テル；２，６−ジメチル−４−（２′−ニトロフェニ
ル）−１，４−ジヒドロピリジン−３，５−ジカルボン
酸３−メチル−５−エチルエステル；２，６−ジメチ
ル−４−（２′−ニトロフェニル）−１，４−ジヒドロ
ピリジン−３，５−ジカルボン酸３−イソプロピル−５
−メチルエステル；２，６−ジメチル−４−（２′−
ニトロフェニル）−３−アセト−１，４−ジヒドロピリ
ジン−５−カルボン酸エチルエステル；２，６−ジメ
チル−４−（２′−ニトロフェニル）−３，５−ジアセ
ト−１，４−ジヒドロピリジンおよび２，６−ジメチル
−４−（２′−ニトロフェニル）−３，５−ジシアノ−
１，４−ジヒドロピリジン。

【００２６】このような１，４−ジヒドロピリジン化合
物は、例えば１モルの脂肪族または芳香族アルデヒド、
１モルのアンモニアおよび２モルのβ−ケトカルボン酸
エステル、β−ケトカルボン酸ニトリルあるいはβ−ジ
ケトンとから、Hantzsch合成の方法に従って製造するこ
とができる。

【００２７】上述の感光性物質は、単独で用いて感光性
層１３を形成してもよく、あるいはバインダーと混合し
て使用してもよい。バインダーとの混合割合は、バイン
ダー１重量部に対して０．２〜９重量部程度が好まし
い。使用するバインダーとしては、ポリアクリル酸エス
テルおよび／またはポリメタクリル酸エステル、アクリ
ル酸および／またはメタクリル酸もしくは他のアクリル
モノマーおよび／またはビニルモノマー類の共重合体；
マレイン酸無水物、マレイン酸および／またはそのス
チレン、もしくは他のビニルモノマーのジ−もしくはセ
ミエステル類の共重合体；ポリ塩化ビニル、その塩素
化処理生成物、ポリ塩化ビニリデン、塩素化ポリエチレ
ン等の塩素含有ビニルポリマー、または共重合体；ポ
リスチレンおよびマレイン酸等とのスチレン共重合体、
ポリエチレンおよびマレイン酸等とのエチレン共重合
体；ブタジエン、クロロプレン等に基づく合成ゴムお
よびそれらのスチレン、アクリロニトリル等との共重合
体；高分子量のポリエチレンオキサイドまたはポリエ
ピクロルヒドリンのようなポリエーテルが挙げられる。

【００２８】また、感光性物質には増感剤、安定化剤等
を含有することができる。上述のような感光性物質を透
明基板１２上に塗布するには、スピンコート法等の公知
の方法を用いることができる。また、感光性層１３の露
光に用いる光源としては、超高圧水銀灯、キセノンラン
プ、蛍光灯等が挙げられる。露光における照射量は５０
〜３００ｍＪ／cm²程度が好ましい。

【００２９】隠蔽粉末物質および着色粉末物質は、酸化
チタン（ＴｉＯ₂）、ＳｉＯ₂、ガラス粉末、カーボン
ブラック、グラファイト、銅ーフタロシアニン類、アゾ
染料、アルミニウム、銅、鉄等の金属粉末あるいは金属
酸化物をバインダーを用いて平均粒径３０μｍ以下、好
ましくは１０μｍ以下の微細粒子としたものを使用する
ことができる。バインダーとしては、上記の感光性層１
３形成用のバインダと同様の材料を使用することができ
る。また、バインダーには湿潤剤、帯電防止剤等の添加
剤を加えてもよい。

【００３０】カラーフィルタ１０のブラックマトリック
ス１４と着色層１６を覆うように設けられる保護層１８
は、透明無機材料により形成される。保護層１８に使用
される透明無機材料としては、二酸化ケイ素（Ｓｉ
Ｏ₂）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、三酸化二ジルコニウム
（Ｚｒ₂Ｏ₃）等のいずれか、あるいはこれらの２種以
上の組み合わせを挙げることができる。このような透明
無機材料による保護層１８の形成は、スパッタリング
法、イオンプレーティング、イオンアシスト等の蒸着法
等の公知の方法に従って行うことができる。又、有機ケ
イ素化合物を用いてディッピング法により形成すること
もできる。そして、このような保護層１８の厚さは、２
０〜２０００Å程度が好ましい。保護層１８の厚さが２
０Å未満では保護層としての効果が発揮されず、また２
０００Åを越えると保護層自体の応力が増加し好ましく
ない。このように、保護層１８が透明無機材料により形
成されることにより、カラーフィルタ１０には優れた耐
薬品性、耐熱性、耐光性が付与される。

【００３１】透明共通電極１９としては、酸化インジウ
ムスズ（ＩＴＯ）膜、酸化亜鉛（ＺｎＯ）膜等を用いる
ことができる。ＩＴＯ膜、ＺｎＯ膜は蒸着法、スパッタ
法等の公知の方法により形成することができ、厚さは２
００〜２０００Å程度が好ましい。

【００３２】次に、実験例を示して本発明を更に詳細に
説明する。（実験例１）まず、２−ブタノン２００cm³中に、２，
６−ジメチル−４−（２′−ニトロフェニル）−１，４
−ジヒドロピリジン−３，５−ジカルボン酸のジメチル
エステル７．５ｇと、２，６−ジメチル−４−（２′−
ニトロフェニル）−１，４−ジヒドロピリゾン−３，５
−シガルボン酸のジエチルエステル７．５ｇとを溶解し
て、露光により粘着性を発現する感光性物質を調製し
た。そして、透明基板としてコーニング社製７０５９ガ
ラス（厚さ＝１．１ｍｍ）を用い、スピンコート法（回
転数＝５００r.p.m.）により上記の感光性物質を塗布
し、透明基板上に感光性層（厚さ＝１．５μｍ）を形成
した。

【００３３】次に、感光性層に対してブラックマトリッ
クス用のフォトマスクを介して紫外線露光を行った。露
光用の光源は超高圧水銀灯を用い、照射量は３６５ｎｍ
の波長において２００ｍＪ／cm²とした。このような紫
外線露光により、感光性層のうち紫外線が照射された領
域には粘着性が発現していることが確認された。

【００３４】次に、感光性層の全面に黒色トナー（積水
化成品工業社製ＭＢ−１５ブラックＳＨＣ−３（試供
品）平均粒径＝１４．２μｍ）をふりかけ、その後、圧
縮空気により黒色トナーを吹き飛ばした。これによっ
て、上記の紫外線露光により粘着性が発現している領域
にのみ黒色トナーを付着してブラックマトリックスパタ
ーンを形成した。尚、この工程において圧縮空気により
吹き飛ばされた（除去された）黒色トナーは、回収して
再度使用することができた。この時の解像力は、ライン
＆スペースで１０μｍであった。

【００３５】次に、黒色トナーが付着している感光性層
に対して赤色パターン用のフォトマスクを介して所定位
置に紫外線露光を行った。紫外線露光条件は上記の露光
と同一とした。そして、黒色トナーの場合と同様に赤色
トナー（積水化成品工業社製ＭＢ−８レッド５０（試供
品）、平均粒径＝８．７μｍ）を用いて赤色パターンを
形成した。

【００３６】次に、黒色トナーおよび赤色トナーが付着
している感光性層に対して、赤色パターンと同様にして
緑色パターン用のフォトマスクを介して所定位置に紫外
線露光を行い、緑色トナー（積水化成品工業社製ＭＢ−
８グリーンＨＣ（試供品）、平均粒径＝８．１μｍ）を
用いて緑色パターンを形成した。

【００３７】さらに、黒色トナー、赤色トナーおよび緑
色トナーが付着している感光性層に対して、赤色パター
ンと同様にして青色パターン用のフォトマスクを介して
所定位置に紫外線露光を行い、青色トナー（積水化成品
工業社製ＭＢ−８ブルーＨＣ（試供品）、平均粒径＝
８．９μｍ）を用いて青色パターンを形成した。これに
より、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の着色パターンか
らなる着色層を形成した。次に、このような着色層を
覆うように保護層を形成した。この保護層はスパッタリ
ング法により厚さ約１００Åの二酸化ケイ素膜として形
成した。

【００３８】さらに、この保護層上にスパッタリング法
により厚さ約２２０Åの透明共通電極（ＩＴＯ膜）を形
成してカラーフィルタを得た。上記の方法により得られ
たカラーフィルターは、耐薬品性が良好で、４％水酸化
ナトリウム水溶液中への１５分間の浸漬によっても変化
は認められなかった。（実験例２）保護層をＳＣＧ（東京応化工業（株）製）
を用い、これをディッピング法により厚さ約２０００Å
の二酸化ケイ素膜として形成した他は実験例１と同様に
してカラーフィルタを得た。（実験例３）実験例１と同様にしてブラックマトリック
スと赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の着色パターンを有
する着色層を形成した後、２７０℃で３０分間の加熱処
理を施し、その後、実験例１と同様にして保護層と透明
共通電極（ＩＴＯ膜）とを形成してカラーフィルタを得
た。このカラーフィルタでは、感光性物質は昇華除去さ
れていた。（比較実験例１）保護層を形成しないことの他は実験例
１と同様にしてカラーフィルターを形成した。

【００３９】このカラーフィルターは、透明共通電極
（ＩＴＯ膜）の形成中に、スパッタリング時の温度上昇
に伴う感光性物質の昇華が同時に発生した。このため、
良好なＩＴＯ膜が得られず、ＬＣＤ用のカラーフィルタ
ーとしては、不適当であった。（比較実験例２）保護膜の厚さを約１０Åとした他は実
験例１と同様にしてカラーフィルタを得た。このカラー
フィルターでは、保護層による着色層の被覆が完全でな
かった。（比較実験例３）保護膜の厚さを約３０００Åとした他
は実験例１と同様にしてカラーフィルタを得た。このカ
ラーフィルターでは、保護層の応力によると推定される
シワが着色層の表面に発生していた。（比較実験例４）保護層として、日本合成ゴム（株）製
オプトマーＳＳ保護層用塗布液を用いてスピンコート法
に従って着色層上に厚さ約２５μｍの保護層を形成した
他は実験例１と同様にしてカラーフィルタを得た。この
カラーフィルターの耐アルカリ性を試験したところ、４
％水酸化ナトリウム水溶液中への１５分間浸漬により、
着色層の膨潤が認められた。

【００４０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によるカラ
ーフィルタは、透明基板上の感光性層が所定のパターン
を有するフォトマスクを介して露光されて粘着性が発現
された露光部分に着色粉末物質が付着されて形成された
複数色の着色パターンからなる着色層を備え、また、こ
の着色層上には透明無機材料により形成された保護層を
備えているため、微細パターン精度が良好であるととも
に、優れた耐薬品性、耐熱性、耐光性を有するという効
果が奏される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルタの一実施例を示す概略
断面図である。

【図２】本発明のカラーフィルタを用いたアクティブマ
トリックス方式による液晶ディスプレイの一例を示す斜
視図である。

【図３】図２に示される液晶ディスプレイの概略断面図
である。

【図４】本発明のカラーフィルタの製造を説明するため
の工程図である。

【図５】本発明のカラーフィルタの製造を説明するため
の工程図である。

【符号の説明】

１０…カラーフィルタ１２…透明基板１３…感光性層１４…ブラックマトリックス１６…着色層１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂ…着色パターン１８…保護層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板と、露光により粘着性を発現す
る感光性物質を前記透明基板上に塗布して形成された感
光性層を所定のパターンを有するフォトマスクを介して
露光し露光部分に着色粉末物質を付着させて形成した複
数色の着色パターンからなる着色層と、該着色層上に積
層され透明無機材料により形成されている保護層とを有
することを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２】前記透明無機材料は二酸化ケイ素、硫化
亜鉛および三酸化二ジルコニウムの少くも１種からなる
ことを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ。
【請求項３】前記感光性層をブラックマトリックス用
パターンを有するフォトマスクを介して露光し露光部分
に隠蔽粉末物質を付着させて形成したブラックマトリッ
クスを有することを特徴とする請求項１または２記載の
カラーフィルタ。
【請求項４】前記保護層上に透明導電膜を有すること
を特徴とする請求項１乃至３記載のカラーフィルタ。