JPH052866U - スライシングマシンにおけるウエハーの取り出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着盤の調整をウエハーとは離れた位置にて
行い、ダミーカーボン切断前ウエハーを停止状態で吸着
させるので精度的に従来よりラフで良い。 【構成】 切断されるウエハーＷに対向する吸着盤１１
を支持する保持体１２を先端に垂直状にしてベース板に
支持する。ベース板を支承するスライド板１４並びにベ
ース板をウエハーに対して前後に移行する移行部材１５
を備える。ベース板はスライド板に対し前後方向及び回
動支軸を中心に回動可能に支持する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、回転する環状切断刃の内孔に被切断部材（インゴット）を挿入し、 この被切断部材をウエハー状の切断片（以下ウエハーという）に切断したとき、 これを取り出すスライシングマシンにおけるウエハーの取り出し装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に高硬度脆性材料の被切断部材を順次ウエハーに切断するためには上記ス ライシングマシンが用いられている。この場合、ウエハーを切り落とし落下させ ることは、ウエハー自体を破損するのみでなく、切断刃に衝撃を与え損傷するお それがある。 このためインゴット切断前、あらかじめインゴット端面を吸着するかもしくは インゴット切断後下部ダミーカーボン切断中に吸着保持する吸着パットが用いら れている。この際吸着パットはウエハー面に正確に一致させる必要がある。これ はもし傾斜して吸着するとウエハーを傾斜し、切断刃に損傷を与えると共に、ウ エハーを破損するおそれがあるためである。

【０００３】 このため本願考案者が提案した方法がある（特願平２−１５６１９３）。この 方法の一つはインゴット切断中に吸着はせず、インゴット切断後内周刃よりイン ゴットが抜け出た状態でかつ停止した状態でウエハーを吸着させ、インゴット台 を切断方向反対側に送り下部のダミーカーボンを切断する方法である。 そのためウエハー吸着後テーブルと同期させるため、ガイドロッドを両端に取 付け中心軸に空気バネを設けテーブルの送り（切断と逆作動）より弱い力でバネ を働かせていた。

【０００４】 本考案はその機構を簡略化させたことにあり空気バネ部をガイドロッド兼用に したものである。これにより装置パット部がコンパクトになり軽量化が図れるメ リットがあり、スライドベースと共に機械外に搬送させることができる。

【０００５】 第２の提案は図７に示すが吸着パットをウエハー面に一致させる一つの手段と して球面座を用いる方法である。 この吸着パット５０は吸着盤５１と、この吸着盤５１を保持する保持体５２と を備え、両者間に球面座５３を配し、調整ボルト５４を緩めることにより吸着盤 ５１を球面座５３に沿って調整可能とし、ウエハーｗに正しく対向する如く調整 した後、ボルト５４を固定する。吸着盤５１は例えば合成樹脂により構成し、吸 引口５５を穿孔し、周囲に可撓性パッキン５６を備える。５７は吸着盤５１と保 持体５との間に設けた気密保持用パッキンであり、吸引口５５は吸着盤５１の後 方に開口し、吸着盤５１と保持体５２との間を適宣の吸引手段に連結し、吸引口 ５５を介して吸着盤５１の前面に吸引作用を及ぼし、切断したウエハーｗを吸着 盤５１に密着保持するようにしたものである。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

上記吸着盤５１の調整はウエハーｗに近接し、その後方において行う必要があ る。しかし吸着盤５１は保持体５とウエハーｗの間にあり、狭い場所に手を差し 込んで行うには手数を要する。

【０００７】 本考案は、その調整を後方即ちウエハーとは離れた位置にて行うことを目的と することと本切断方法については、ダミーカーボン切断前ウエハーを停止状態で 吸着させるので精度的に従来よりラフで良い（切断中に吸着しないため）。

【０００８】 第２の考案は上記構成において吸着盤をウエハーに吸着した状態でウエハーに 伴って移行可能としたことを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するための本考案は、上記切断されるウエハーに対向する吸着 盤と、この吸着盤を支持する保持体を先端に垂直状に支持するベース板と、この ベース板を支承するスライド板並びにベース板をウエハーに対して前後に移行す る移行部材とを備え、ベース板はスライド板に対し前後方向及び回動支軸を中心 に回動可能に支持したものである。

【００１０】 なお上記吸着盤は、ウエハー吸着後のインゴット台の移動と追従可能に弾圧支 持され、ウエハーに吸着状態にてインゴット台と共に移行を可能とすることが好 ましい。

【００１１】 また、吸着盤を支持する保持体は、吸着板とインゴット切断面の平行度を調整 するため、垂直及び水平方向に回動可能に支持するこのが好ましい。

【００１２】

【作用】

垂直に保持された吸着盤を左右方向に調整するに当たっては、これを支持する ベース板を回転支軸を中心として左右方向に回動すればよい。またウエハーとの 間隔の調整に際しては、移行部材の調整により吸着盤はベース板と共に前後に移 動し微調整が可能である。

【００１３】

【実施例】

図１乃至図６は本考案の実施例に関し、１は環状切断刃であり、内周にダイヤ モンド砥粒を固着して内周刃を形成してなるもので、外周はブレード受け３とト ップリング４とにより挟持される。ブレード受け３はベアリング（主として空気 ベアリング）の外筒５に取り付けられる。被切断部材Ｗは周知の如く下部にダミ ー材Ｄを取り付け、適宣の送り機構（図示省略）に支持され、所定量ずつ送り出 しと昇降とを行う。

【００１４】 １０は切断されるウエハーｗを吸着保持する取り出し装置を示す。この取り出 し装置１０はウエハーｗに対向する吸着盤１１と、この吸着盤１１を支持する保 持体１２と、この保持体１２を先端に取り付けるベース板１３及びこのベース板 １３を支承するスライド板１４並びに上記ベース板１３をウエハーｗに対し前後 に移行する移行部材１５を備える。

【００１５】 吸着盤１１は直接保持体１２に固定して取り付けられている。この保持体１２ は摺動筒２０と、シリンダ２１とからなり、摺動筒２０にはシリンダ２１内に嵌 入するプランジャ２２を連結し、前記吸着盤１１は摺動筒２０に取り付ける。プ ランジャ２２の上下には圧力空気室２３を形成し、吸着盤１１はウエハーｗに吸 着した状態で弾性支持し、ウエハーｗの下降（または上昇）に追随移行すると共 に、ウエハーｗの切断終了時には空気圧にて復行する如くなす。

【００１６】 シリンダ２１はベース板１３の先端に設けた軸受２４に支持される支軸２５に 固定され、支軸２５は回動部材例えば揺動シリンダー２６（図６参照）に連結さ れており、この揺動シリンダー２６の作動により垂直の吸着位置（実線位置）と 水平の移行位置（鎖線位置）とに往復移行される。２７は垂直位置保持のための ストッパ、また２８は水平位置保持用のストッパであり、何れもビス、ナットと よりなり調整可能としたものである。

【００１７】 上記ベース板１３はスライド板１４上に回転支軸３０を中心に水平方向に摺動 可能に支持される。３１は傾動機構で図は偏心軸で構成した例を示す。３２は偏 心軸上端に取り付けたつまみであり、このつまみ３２の回動により偏心軸３１は 回動し、これに伴いベース板１３は回転支軸３０を中心に回動する。

【００１８】 移行部材１５は螺軸３３及び螺筒３４とからなり、螺軸３３はスライド板１４ に取り付け、螺筒３４はベース板１３に係止する。ただし螺筒３４はベース板１ ３の左右移動を許容するように横長の溝３５に挿入されるピン３６を備える。４ ０はウエハーｗを移送するための搬送部材である。搬送部材４０は例えばロッド レスシリンダを以て構成しスライド板１４の基端はディスタンスピース４１を介 してこれを取り付ける。なおスライド板１４は直線形としてもよいが、必要によ っては図示の如くほぼＬ字形とする。特に被切断部材Ｗ及びこの取り出し装置１ ０を垂直状に配置し、吸着盤１１はウエハーｗを吸着した状態で支軸を中心とし た回動を必要とせず、そのまま下降する構造のときは、スライド板１４をＬ字状 とすることが好ましい。

【００１９】 上記構成において、予め吸着盤１１の面をウエハーｗの面に対し可及的に平行 となるように垂直保持ストッパ２７及び傾動機構３１により調整し、かつ吸着盤 １１とウエハーｗとの間に微小間隙を形成する如く移行部材１５により調整する 。ついでウエハーｗの切断に際し、切り落とし直前即ちダミーＤの切断中に吸着 盤１１に吸気作用を及ぼし、ウエハーｗに吸着させる。この場合、例えば被切断 部材Ｗを上下方向（または左右方向）に移動し切断する場合には、吸着盤１１は エアシリンダ２１内の空気圧に抗して移行し、切断終了と共に空気圧にて復行す る。同時に上記の微小間隙を形成することにより、ウエハーｗは切断刃とは離開 する。

【００２０】 ついで揺動シリンダ２６を作動し吸着盤１１を垂直の吸着位置から水平の搬送 位置に回動する。この場合必要によっては若干搬送部材４０により後退してから 回動するようにしてもよい。

【００２１】 搬送部材４０により所定位置まで後退した後、適宣の搬出手段４２によりウエ ハーｗを吸着し、搬出する。

【００２２】

【考案の効果】

以上の如く本考案によるときは、ウエハーを吸着する吸着盤をウエハーに対し 平行に調整する手段として吸着盤をベース板の先端に取り付け、このベース板を 回転支軸を中心として左右に調整可能とし、かつベース板を前後に調整可能とし たから、切断刃から離れた位置において調整可能で能率よく行うことができる。

【００２３】 また上記吸着盤はウエハー面と平行に移行可能に弾圧支持するときは、ウエハ ーの切り落とし前に吸着盤をウエハーに吸着支持し、その状態でウエハーと共に 移行可能であるからウエハーが切り落とされてもこれを保持し、ウエハー落下に よる損傷を防止することができる。

【００２４】 また吸着盤を吸着の垂直位置と搬送の水平位置とに回動可能とするときは、移 行部材による後方への移行と相俟って切断されたウエハーの取り出しに便利であ る。

【図面の簡単な説明】

【図１】全体正面図である。

【図２】その平面図である。

【図３】取り出し装置の平面図である。

【図４】図２の底面図である。

【図５】図３におけるＩ−Ｉ線に沿う断面図である。

【図６】回動部材の説明図である。

【図７】従来例の吸着盤の説明図である。

【符号の説明】

１ 環状切断刃 １０ 取り出し装置 １１ 吸着盤 １２ 保持体 １３ ベース板 １４ スライド板 １５ 移行部材 Ｗ 被切断部材 ｗ ウエハー

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転する環状切断刃の内周刃により被切
   断部材を順次ウエハー状に切断するスライシングマシン
   において、上記切断されるウエハーに対向する吸着盤
   と、この吸着盤を支持する保持体を先端に垂直状に支持
   するベース板と、このベース板を支承するスライド板並
   びにベース板をウエハーに対して前後に移行する移行部
   材とを備え、ベース板はスライド板に対し前後方向及び
   回動支軸を中心に回動可能に支持したことを特徴とする
   スライシングマシンにおけるウエハーの取り出し装置。
2. 【請求項２】 吸着盤は、ウエハー吸着後のインゴット
   台の移動と追従可能に弾圧支持され、ウエハーに吸着状
   態にてインゴット台と共に移行を可能としたことを特徴
   とする請求項１記載のスライシングマシンにおけるウエ
   ハーの取り出し装置。
3. 【請求項３】 吸着盤を支持する保持体は、吸着板とイ
   ンゴット切断面の平行度を調整するため、垂直及び水平
   方向に回動可能に支持されていることを特徴とする請求
   項１記載のスライシングマシンにおけるウエハーの取り
   出し装置。