JPH05286516A - Dust dispersion preventing device for traveling truck - Google Patents

Dust dispersion preventing device for traveling truck

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JPH05286516A
JPH05286516A JP11396392A JP11396392A JPH05286516A JP H05286516 A JPH05286516 A JP H05286516A JP 11396392 A JP11396392 A JP 11396392A JP 11396392 A JP11396392 A JP 11396392A JP H05286516 A JPH05286516 A JP H05286516A
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air
guide rail
traveling
dust
traveling carriage
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Akira Hasegawa
晃 長谷川
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Murata Machinery Ltd
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Abstract

PURPOSE:To prevent the dispersion of the dust which is produced between a guide rail in the lower part and traveling wheels placed on the guide rail and the dust produced by the revolution of the traveling wheels. CONSTITUTION:The dust produced between a guide rail 14 and traveling wheels 18 placed on the guide rail 14 and the dust produced by the revolution of the traveling wheel 18 are sucked, together with air, from a suction port 21, and after cleaned by a filter 24, the air is exhausted, and the dispersion of dust can be prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、塵埃を嫌う物品を収
納・保管する自動倉庫のスタッカークレーン等に有効に
設備・利用し得る走行台車における塵埃飛散防止装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dust scattering prevention device for a traveling carriage that can be effectively installed and utilized in a stacker crane or the like of an automatic warehouse that stores and stores articles that dislike dust.

【0002】[0002]

【従来の自動倉庫】従来の自動倉庫として以下の如きも
のは知られている。即ち、前後方向に所定間隔をあける
ようにして設けられた、上下・左右に多数の物品収納棚
を有する前後一対のラック装置と、前記前後のラック装
置間において下部のガイドレールに沿って左右動自在に
設けられたスタッカークレーンとを有しており、前記ス
タッカークレーンが、走行台車と、この走行台車に設け
られたマストに昇降自在となされた昇降台と、この昇降
台に設けられた物品移載装置(例えば、前後方向に摺動
自在に設けられたスライドフォーク)とを有しているも
のは知られている。
[Conventional automatic warehouse] The following are known as conventional automatic warehouses. That is, a pair of front and rear rack devices having a large number of article storage shelves vertically and horizontally provided at predetermined intervals in the front-rear direction, and left and right moving along the lower guide rail between the front and rear rack devices. The stacker crane is provided freely, and the stacker crane comprises a traveling carriage, an elevator that can be raised and lowered by a mast provided on the traveling carriage, and an article transfer provided on the elevator. A device having a mounting device (for example, a slide fork slidably provided in the front-rear direction) is known.

【0003】[0003]

【発明の背景】前記自動倉庫において、塵埃を嫌う物
品、例えば半導体ウエハ等を収納・保管する場合におい
ては、自動倉庫内において塵埃が飛散するのを防止する
必要がある。そのような場合、下部のガイドレールとそ
れに載っている走行車輪との間で発生する塵埃や、走行
車輪が回転することによって発生する塵埃が飛散するこ
とを防止することが必要となる。
BACKGROUND OF THE INVENTION In the above-mentioned automated warehouse, in the case of storing and storing articles that hate dust, such as semiconductor wafers, it is necessary to prevent dust from scattering in the automated warehouse. In such a case, it is necessary to prevent the dust generated between the lower guide rail and the traveling wheels mounted thereon and the dust generated by the rotation of the traveling wheels from scattering.

【0004】[0004]

【前記目的を達成するための手段】この発明は前記目的
を達成するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、ガイドレールに沿って走行する走行台車が中空状と
なされ、この走行台車の、ガイドレールに載った走行車
輪が設けられた部分に吸引口が形成され、この吸引口か
ら空気を吸引して走行台車に形成された排気口から空気
を排気する吸引装置が走行台車内に設けられ、前記排気
された空気が走行台車に設けられたフィルターによって
クリーンにされるようになされているものである。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following means. According to the present invention, a traveling carriage that travels along a guide rail is hollow, and a suction port is formed in a portion of this traveling carriage where traveling wheels mounted on the guide rail are provided, and air is sucked from this suction port. Then, a suction device for exhausting air from the exhaust port formed in the traveling carriage is provided inside the traveling carriage, and the exhausted air is cleaned by the filter provided in the traveling carriage. is there.

【0005】[0005]

【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。走行車輪が設けられた部分に形成された吸引口か
ら、ガイドレールとそれに載っている走行車輪との間で
発生する塵埃や、走行車輪が回転することによって発生
する塵埃を空気もろとも吸引して、フィルターでクリー
ンにして排気するので、塵埃の飛散を防止することが出
来る。
The present invention has the following functions. From the suction port formed in the part where the traveling wheel is provided, suck the dust generated between the guide rail and the traveling wheel mounted on it and the dust generated by the rotation of the traveling wheel together with the air. Since it is cleaned with a filter and exhausted, it is possible to prevent dust from scattering.

【0006】[0006]

【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図1下
側を、後とは同図上側をいい、左とは図1左側を、右と
は同図右側をいう。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on the embodiments shown in the drawings. In this specification, the front means the lower side of FIG. 1, the rear means the upper side of FIG. 1, the left means the left side of FIG. 1, and the right means the right side of FIG.

【0007】図1〜図3に示すごとく、クリーン倉庫1
の床2の上方に、床2との間に所定間隙3をあけるよう
にして前後一対の水平壁4が、両者の間に左右方向に長
い開口5を形成するようにして、設けられている。前記
前後一対の水平壁4各々に前後一対のラック装置7が設
けられ、これらラック装置7各々は上下・左右に多数の
物品収納棚8を有しており、これら前後の物品収納棚8
の出し入れ口9は相互に対向している。また、前記物品
収納棚8には後述のスライドフォーク38が上下に移動
するのを許容するフォーク通過間隙10が形成されてい
る。前記物品収納棚8に物品Wが載置・収納される。
As shown in FIGS. 1 to 3, a clean warehouse 1
A pair of front and rear horizontal walls 4 are provided above the floor 2 so as to form a predetermined gap 3 with the floor 2 so as to form a long opening 5 in the left-right direction between them. . A pair of front and rear rack devices 7 are provided on each of the pair of front and rear horizontal walls 4, and each rack device 7 has a large number of article storage shelves 8 vertically and horizontally.
The inlet / outlet ports 9 are opposite to each other. A fork passage gap 10 is formed in the article storage rack 8 to allow a slide fork 38, which will be described later, to move up and down. The articles W are placed and stored on the article storage rack 8.

【0008】図1に示すごとく、クリーン倉庫1の、右
側部に前後一対の物品搬入・搬出ステーション11が設
けられている。
As shown in FIG. 1, a pair of front and rear article loading / unloading stations 11 are provided on the right side of the clean warehouse 1.

【0009】図3〜図5に示すごとく、前記クリーン倉
庫1の前後方向中央の上下部に左右方向に長い上下一対
のガイドレール14が設けられ、これらガイドレール1
4にスタッカークレーン16が左右動自在に案内されて
いる。更に具体的に云うなら、スタッカークレーン16
の中空状の走行台車17の下部左右部各々に、下側のガ
イドレール14に載る走行車輪18及び下側のガイドレ
ール14を挟持する一対の挟持ローラー19が設けら
れ、走行車輪18の一方が走行台車17内に収納・設置
された正逆回転自在なモーター20によって回転させら
れるようになされている。また、後述のマスト28の上
端に、上側のガイドレール14を挟持する左右一対の挟
持ローラー25が2組設けられている。
As shown in FIGS. 3 to 5, a pair of upper and lower guide rails 14 which are long in the left-right direction are provided in the upper and lower portions of the center of the clean warehouse 1 in the front-rear direction.
A stacker crane 16 is guided to the left and right in a freely movable manner. More specifically, the stacker crane 16
Each of the lower left and right portions of the hollow traveling carriage 17 is provided with a traveling wheel 18 mounted on the lower guide rail 14 and a pair of sandwiching rollers 19 sandwiching the lower guide rail 14, and one of the traveling wheels 18 is It is adapted to be rotated by a motor 20 which is housed and installed in the traveling carriage 17 and which can be rotated normally and reversely. Further, a pair of right and left nipping rollers 25 nipping the upper guide rail 14 is provided on the upper end of a mast 28 described later.

【0010】図4及び図5に示すごとく、走行台車17
の底部の、走行車輪18が設けられた部分に吸引口21
が形成され、これら吸引口21から空気を吸引して走行
台車17に形成された排気口22から空気を排気する吸
引装置23が走行台車17内に設けられている。前記排
気口22にはフィルター24が取り付けられている。こ
のような構成によって、吸引口21から、下側のガイド
レール14と走行車輪18や挟持ローラー19との間で
発生する塵埃や、走行車輪18や挟持ローラー19が回
転することによって発生する塵埃を空気もろとも吸引し
て、フィルター24でクリーンにして排気して、塵埃の
飛散を防止することが出来る。
As shown in FIGS. 4 and 5, the traveling carriage 17
A suction port 21 is provided at the bottom of the vehicle where the traveling wheels 18 are provided.
A suction device 23 for sucking air from these suction ports 21 and exhausting air from an exhaust port 22 formed in the traveling carriage 17 is provided in the traveling carriage 17. A filter 24 is attached to the exhaust port 22. With such a configuration, dust generated between the lower guide rail 14 and the traveling wheel 18 or the sandwiching roller 19 or dust generated by the rotation of the traveling wheel 18 or the sandwiching roller 19 is discharged from the suction port 21. It is possible to prevent the scattering of dust by sucking in all the air, cleansing it with the filter 24 and exhausting it.

【0011】図4及び図6に示すごとく、前記走行台車
17にそれと連通するようにしてマスト28が設けられ
ている。このマスト28は上端部が閉塞され、下端部が
開放(開口)した筒状である。このマスト28に、その
高さ方向に沿ってスリット29が形成され、このスリッ
ト29を通じて中空状昇降台30に連通・接続された中
空状被案内部31がマスト28内に収納されており、こ
の中空状被案内部31が、これに設けられたローラー3
2を介して、マスト28の内部に設けられたガイドレー
ル33に沿って上下動するようになされている。前記中
空状昇降台30は公知の昇降装置35によって昇降させ
られるようになされている。前記マスト28内の空気は
吸引装置23によって吸引される。
As shown in FIGS. 4 and 6, a mast 28 is provided on the traveling carriage 17 so as to communicate therewith. The mast 28 has a tubular shape with its upper end closed and its lower end open. A slit 29 is formed in the mast 28 along the height direction thereof, and a hollow guided portion 31 that is communicated and connected to the hollow elevating table 30 through the slit 29 is housed in the mast 28. The hollow guided portion 31 is provided on the roller 3
It is configured to move up and down along a guide rail 33 provided inside the mast 28 via the guide rail 2. The hollow elevator 30 is moved up and down by a known elevator 35. The air in the mast 28 is sucked by the suction device 23.

【0012】図4及び図6に示すごとく、前記中空状昇
降台30には物品移載装置であるスライドフォーク38
が前後いずれにも水平突出するように水平摺動自在に設
けられている。前記スライドフォーク20は、公知のご
とく、物品Wの下方への突出・中空状昇降台30の上昇
による物品Wの持ち上げ・中空状昇降台30側への退入
という動作を行なって物品Wを中空状昇降台30に引き
込み、前記と逆の動作によって物品収納棚8等に物品W
を降ろすことが出来る。なお、物品移載装置は、前記ス
ライドフォーク20に限定されるものではなく、ロボッ
トハンドであってもよい。
As shown in FIGS. 4 and 6, a slide fork 38, which is an article transfer device, is attached to the hollow elevator 30.
Is horizontally slidably provided so as to horizontally project in both front and rear. As is well known, the slide fork 20 projects the article W downward, lifts the article W by raising the hollow elevating table 30 and retracts the article W to the hollow elevating table 30 side to hollow the article W. Of the article W on the article storage rack 8 or the like by the reverse operation.
Can be lowered. The article transfer device is not limited to the slide fork 20 and may be a robot hand.

【0013】前記中空状昇降台30の上壁左側に空気噴
出口51が形成され、この空気噴出口51に垂直ダクト
52が接続され、この垂直ダクト52の上端に、下向き
の空気噴出口54を有する水平ダクト53が接続されて
いる。前記水平ダクト53の空気噴出口54にヘパフィ
ルター等からなるフィルター55が取り付けられてい
る。なお、フィルター55は、中空状昇降台30、垂直
ダクト52及び水平ダクト53によって構成される空気
通路56に、それを横切るような状態で、設けるように
すればよい。前記垂直ダクト52に対向して、中空状昇
降台30の上壁右側と、水平ダクト53の右側とに跨っ
て垂直壁58が渡されている。なお、この垂直壁58
は、中空状被案内部31の垂直壁の一部を構成するもの
となされている。このような構成によって、中空状昇降
台30、垂直ダクト52、水平ダクト53及び垂直壁5
8によって、前後に貫通した物品収納空間が形成され
る。前記水平ダクト53の空気噴出口54から空気を噴
出するファン57が中空状昇降台30に設けられてい
る。上記の如き構成によって、清浄空気を水平ダクト5
3の空気噴出口54から下向きに噴出して、スリット4
7から中空状昇降台30内に吸引して、スライドフォー
ク38の上方の空間(物品収納空間)に、上から下に向
かう清浄空気の流れを作り、その空間を清浄に保持する
ことが出来る。
An air ejection port 51 is formed on the left side of the upper wall of the hollow elevator 30 and a vertical duct 52 is connected to the air ejection port 51. A downward air ejection port 54 is provided at the upper end of the vertical duct 52. The horizontal duct 53 which it has is connected. A filter 55 such as a hepa filter is attached to the air ejection port 54 of the horizontal duct 53. It should be noted that the filter 55 may be provided in the air passage 56 formed by the hollow lift table 30, the vertical duct 52, and the horizontal duct 53 so as to cross the air passage 56. A vertical wall 58 is provided across the right side of the upper wall of the hollow elevator 30 and the right side of the horizontal duct 53 so as to face the vertical duct 52. The vertical wall 58
Is a part of the vertical wall of the hollow guided portion 31. With such a configuration, the hollow elevator 30, the vertical duct 52, the horizontal duct 53, and the vertical wall 5
8 forms an article storage space that penetrates in the front-rear direction. A fan 57 for ejecting air from the air ejection port 54 of the horizontal duct 53 is provided on the hollow elevator 30. With the configuration as described above, clean air is passed through the horizontal duct 5
3 is blown downward from the air jet port 54, and the slit 4
It is possible to suck the air from 7 into the hollow elevating table 30, create a flow of clean air from the top to the bottom in the space above the slide fork 38 (article storage space), and keep the space clean.

【0014】前記昇降装置35には所要個の吸引口39
が形成されている。また、前記中空状被案内部31には
マスト28内に開口した空気通路40が形成されてい
る。このような構成によって、前記の吸引装置23によ
って中空状昇降台30上部の空気を吸引してマスト28
内に引き込み、中空状昇降台30上部の空気をクリーン
にすることが出来る。
The lifting device 35 has a required number of suction ports 39.
Are formed. In addition, an air passage 40 that opens into the mast 28 is formed in the hollow guided portion 31. With such a configuration, the suction device 23 sucks the air in the upper part of the hollow elevating table 30 to suck the mast 28.
The air above the hollow lift table 30 can be cleaned by drawing it in.

【0015】次に、クリーン倉庫1内に一定の空気の流
れを作るための構成について説明する。図3に示すごと
く、水平壁4より上方のクリーン倉庫1の前壁とラック
装置7との間に空気通路41を画するようにして、平板
状のフィルター42及び網・多孔板等からなる整流板4
3が、クリーン倉庫1内に垂直状に設けられ、また、同
様に、水平壁4より上方のクリーン倉庫1の後壁とラッ
ク装置7との間に空気通路41を画するようにして、平
板状のフィルター42及び網・多孔板等からなる整流板
43が、クリーン倉庫1内に垂直状に設けられている。
前記空気通路41に開口する、所要個の開口44が水平
壁4に形成され(図1も参照)ている。
Next, a structure for creating a constant air flow in the clean warehouse 1 will be described. As shown in FIG. 3, an air passage 41 is defined between the front wall of the clean warehouse 1 above the horizontal wall 4 and the rack device 7 so as to form a flat filter 42 and a net / perforated plate. Board 4
3 is provided vertically in the clean warehouse 1, and similarly, an air passage 41 is defined between the rear wall of the clean warehouse 1 above the horizontal wall 4 and the rack device 7 so as to form a flat plate. A filter 42 and a straightening plate 43 including a net and a perforated plate are provided vertically in the clean warehouse 1.
A required number of openings 44 opening in the air passage 41 are formed in the horizontal wall 4 (see also FIG. 1).

【0016】前記水平壁4各々の下部の間隙3を前後に
画するようにして垂直な仕切り板45が設けられ、この
仕切り板45に所要個の開口46が形成され、これら開
口46にファン47の吐出口が接続されている。前記開
口46と開口44を画するようにして垂直なフィルター
48が設けられている。前記水平壁4の下方に位置する
ファン47の設けられた空間と、下部のガイドレール1
4の設けられた空間とを区画するようにして、水平壁4
の、スタッカークレーン16側の縁部と床2とに渡るよ
うなかたちで、平板状のフィルター49がクリーン倉庫
1内に垂直状に設けられている。このような構成によっ
て、ファン47から噴出された空気は、空気通路41を
上昇し、物品収納棚8を通った後、前後のラック装置7
の間を通って下に行き、ファン47に再び吸引されると
いう経路を循環する。そして、フィルター49やフィル
ター48を通過する間に空気は浄化される。
A vertical partition plate 45 is provided so as to demarcate the gap 3 at the bottom of each of the horizontal walls 4 in the front-rear direction, and a required number of openings 46 are formed in this partition plate 45, and a fan 47 is formed in these openings 46. The discharge port of is connected. A vertical filter 48 is provided so as to define the opening 46 and the opening 44. A space provided below the horizontal wall 4 in which a fan 47 is provided and a lower guide rail 1
The horizontal wall 4
A flat plate-shaped filter 49 is vertically provided in the clean warehouse 1 so as to extend across the edge of the stacker crane 16 side and the floor 2. With such a configuration, the air ejected from the fan 47 rises in the air passage 41, passes through the article storage rack 8, and then the front and rear rack devices 7 are provided.
It circulates through a path that goes downward through the space between and is sucked again by the fan 47. Then, the air is purified while passing through the filter 49 and the filter 48.

【0017】[0017]

【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。走行車輪が設
けられた部分に形成された吸引口から、ガイドレールと
それに載っている走行車輪との間で発生する塵埃や、走
行車輪が回転することによって発生する塵埃を空気もろ
とも吸引して、フィルターでクリーンにして排気するの
で、塵埃の飛散を防止することが出来る。
The present invention has the following effects due to the above-mentioned configuration. From the suction port formed in the part where the traveling wheel is provided, suck the dust generated between the guide rail and the traveling wheel mounted on it and the dust generated by the rotation of the traveling wheel together with the air. Since it is cleaned with a filter and exhausted, it is possible to prevent dust from scattering.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例を示す水平断面図である。FIG. 1 is a horizontal sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1のII−II線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II of FIG.

【図3】図1のIII−III線に沿う中間省略の拡大
断面図である。
FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of an intermediate illustration along line III-III of FIG.

【図4】スタッカークレーンの拡大縦断面図である。FIG. 4 is an enlarged vertical sectional view of a stacker crane.

【図5】図4のV−V線断面図である。5 is a sectional view taken along line VV of FIG.

【図6】図4のVI−VI線断面図である。6 is a sectional view taken along line VI-VI of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

14 ガイドレール 16 スタッカークレーン 17 走行台車 18 走行車輪 21 吸引口 22 排気口 23 吸引装置 24 フィルター 14 Guide Rail 16 Stacker Crane 17 Traveling Cart 18 Traveling Wheel 21 Suction Port 22 Exhaust Port 23 Suction Device 24 Filter

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガイドレールに沿って走行する走行台車
が中空状となされ、この走行台車の、ガイドレールに載
った走行車輪が設けられた部分に吸引口が形成され、こ
の吸引口から空気を吸引して走行台車に形成された排気
口から空気を排気する吸引装置が走行台車内に設けら
れ、前記排気された空気が走行台車に設けられたフィル
ターによってクリーンにされるようになされている走行
台車における塵埃飛散防止装置。
1. A traveling carriage that travels along a guide rail is hollow, and a suction port is formed in a portion of this traveling carriage where traveling wheels mounted on the guide rail are provided. A suction device for sucking and exhausting air from an exhaust port formed in the traveling carriage is provided in the traveling carriage, and the exhausted air is cleaned by a filter provided in the traveling carriage. Dust scattering prevention device for trucks.
JP11396392A 1992-04-07 1992-04-07 Dust scattering prevention device for stacker crane Expired - Fee Related JP2914003B2 (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007276987A (en) * 2006-04-11 2007-10-25 Murata Mach Ltd Conveying device
JP2013006681A (en) * 2011-06-27 2013-01-10 Seibu Electric & Mach Co Ltd Transporting apparatus

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JP2007276987A (en) * 2006-04-11 2007-10-25 Murata Mach Ltd Conveying device
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